特氣管道施工與檢查ppt

特氣管道施工與檢查ppt

特氣管道施工與檢查、特氣概述一般在半導(dǎo)體制造業(yè)我們把砌體分為大宗氣體和特種氣體兩種。

大宗氣體一般是指集中供給且用量較大的氣體,涵蓋制程用氣如:2、、2、,以及非制程用氣如:、2、2等。

特種氣體主要有各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、蝕刻用氣體以及其他廣為各種制程設(shè)備機(jī)臺(tái)所使用的惰性氣體等。

隨著各種不同氣體的特性,設(shè)計(jì)出不同的氣體輸送系統(tǒng)來(lái)滿意各種不同制程設(shè)備的需求。

整理2二、特氣的分類我們將半導(dǎo)體制造業(yè)所使用的不同特種氣體一般根據(jù)使用時(shí)的特性分為五類:1、易燃性氣體2、毒性氣體3、腐蝕性氣體4、惰性氣體5、氧化性氣體整理3三、特氣管材介紹目前在半導(dǎo)體制程設(shè)備以及相關(guān)廠務(wù)系統(tǒng)中所使用的管件材料主要有不銹鋼、特***龍、高密度聚乙烯、以及聚偏二***乙烯等。

其中在氣體傳輸中一不銹鋼管件的應(yīng)用最為廣泛,通常在全部與制程相關(guān)的制程氣體的輸送方面都要應(yīng)用不銹鋼管件。

不銹鋼管件主要用來(lái)傳輸各種制程氣體的管件,尤其是一些劇毒易燃易爆的危急性氣體。

所以不銹鋼管件的制作和施工要求在以上幾種不同材質(zhì)的管件中要求最為嚴(yán)格。

整理4管材分類不銹鋼管管材等級(jí)級(jí)電解拋光級(jí)-光輝退火級(jí)酸洗鈍化一般對(duì)于級(jí)要求級(jí)的制程氣體的輸送,均要求采納316材質(zhì)的管材,對(duì)于一般非制程氣體的輸送采納316材質(zhì)的管材。

整理5四、干凈管道安裝之材料接收目的:主要確定管道在運(yùn)送過(guò)程中包裝的完整以及訂購(gòu)量和材質(zhì)的符合步驟:一、材料訂購(gòu)后在接收前最好能先到原廠抽檢。

%做氮?dú)鉁y(cè)漏測(cè)試以及的測(cè)試。

。

、真圓度、測(cè)試。

二、,在品保人員準(zhǔn)許后才可拆箱,拆箱需特別當(dāng)心以免傷到管材。

。

,同尺寸的管子會(huì)有不同的爐號(hào),需依照爐號(hào)區(qū)分出來(lái)。

,移入前需在擦拭潔凈整理6五、干凈管道安裝之材料檢驗(yàn)?zāi)康?主要是為了在次確定所購(gòu)買的材料質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。

步驟:一、材料在移入無(wú)塵室后預(yù)備取出10%做檢驗(yàn)二、檢驗(yàn)項(xiàng)目:1、外觀檢驗(yàn):目測(cè)表面有無(wú)凹痕、刮傷,內(nèi)表面有無(wú)缺陷、凹洞、刮傷、污點(diǎn)殘余物。

2、粗糙度的檢驗(yàn):利用粗糙度儀做內(nèi)部表面粗糙度的檢驗(yàn)。

3、管壁厚度及外徑的檢驗(yàn):利用光標(biāo)卡尺做管外徑和厚度的檢驗(yàn)。

整理7六、干凈管道安裝之焊工驗(yàn)證——1目的:此焊工驗(yàn)證的目的是要確保每位在現(xiàn)場(chǎng)或無(wú)塵焊接的人員,其焊接質(zhì)量的認(rèn)證并且可做日后管道追蹤的管理。

步驟:一、將管子分成四:”~15,20~80,100~150,200以上。

二、從每個(gè)中選一種尺寸的管子做焊接認(rèn)證,通過(guò)后在其范圍內(nèi)的尺寸均可施工,不行跨施工,除非通過(guò)各個(gè)的認(rèn)證。

三、覺(jué)得認(rèn)證的尺寸后焊接者需在限定的時(shí)間內(nèi)完成焊接測(cè)試。

四、認(rèn)證者先將幾臺(tái)焊接數(shù)據(jù)歸零,焊接者需要自行重新調(diào)整數(shù)據(jù)和管內(nèi)氣體流量并且要會(huì)更改鎢棒和調(diào)整鎢棒的間距。

五、焊接者最終需完成三塊試片,一塊即管子直接焊接,兩塊即管對(duì)管,對(duì)接的試焊。

整理8六、干凈管道安裝之焊工驗(yàn)證——2六、完成的試片在試片上必需填寫上爐號(hào)、日期、管子的尺寸、。

七、認(rèn)證者檢視完成的試片并填寫認(rèn)證表格的合格與否,合格者才可施工,合格者需經(jīng)10天后可再做認(rèn)證。

八、整理出一份合格者名單,傳到現(xiàn)場(chǎng)給人員,以掌控現(xiàn)場(chǎng)施工人員的施工質(zhì)量。

整理9七、干凈管道安裝之焊道檢驗(yàn)?zāi)康?此檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)主要是確保焊道的質(zhì)量良好以避開(kāi)日后的泄露或者腐蝕的危急。

步驟:一、焊道是否有氧化的現(xiàn)象二、焊道是否滲透完全三、焊道是否彎曲偏移嚴(yán)峻14”~2”→10%,3”管以上→15%四、焊道是否穿孔五、焊道是否過(guò)度凹陷14”