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ESD靜電防護(hù)基礎(chǔ)技術(shù)ESD靜電防護(hù)基礎(chǔ)技術(shù)1目錄:1、什么是靜電2、靜電是怎樣產(chǎn)生的3、靜電放電有那些危害4、靜電防護(hù)5、防止靜電放電產(chǎn)生的措施6、日常靜電防護(hù)管理要求7、公司推行的防靜電措施
目錄:21.什么是靜電1.1靜電(含義):在物體表面產(chǎn)生過剩或不足的靜止電荷,它是一種能量,存在于物體表面.1.什么是靜電1.131.什么是靜電1.2ESD是英文“ELECTROSTATICDISCHARGE”的縮寫,意思指
靜電放電。靜電放電:ElectrostaticDischarge(ESD)具有不同靜電電位的物體由于直接接觸或靜電感應(yīng)引起的物體間的靜電電、荷轉(zhuǎn)移。EPA=靜電保護(hù)區(qū)域1.什么是靜電1.241.什么是靜電1.3靜電現(xiàn)象:A.嚴(yán)寒的冬天,當(dāng)你脫下暖和的毛衣,你會聽到嗶嗶啪啪聲.B.干燥的冷天,當(dāng)伸手去開車門或窗戶,會感到觸電的感覺.C.當(dāng)伸手去撫摸家里的貓時,你會發(fā)現(xiàn)貓競?cè)粫鷼獍l(fā)脾氣.
D.用筆在頭皮上輕輕的摩擦,可以吸附一些細(xì)小的灰塵.E.用梳子梳頭時,你會發(fā)現(xiàn)頭發(fā)會隨著梳子走動!1.什么是靜電5ESD靜電防護(hù)基礎(chǔ)技術(shù)ppt課件6接觸→電荷轉(zhuǎn)移→偶電層的形成→電荷分離2.1靜電的產(chǎn)生:是正、負(fù)電荷在局部范圍內(nèi)失去平衡的結(jié)果,它是一種電能,留在物體表面。過程為:2、靜電的產(chǎn)生方式接觸→電荷轉(zhuǎn)移→偶電層的形成→電荷分離2.1靜71)直接接觸(步行)2)摩擦3)電壓差2、靜電的產(chǎn)生方式2.2靜電的產(chǎn)生方式:4)電解5)溫差6)靜電感應(yīng)1)直接接觸(步行)2)摩擦3)電壓差2、靜電的產(chǎn)生方式2.82、靜電的產(chǎn)生方式■靜電此時產(chǎn)生①摩擦兩個物體POINT!在重復(fù)摩擦和剝離的制造現(xiàn)場工程中產(chǎn)生較多的靜電。2、靜電的產(chǎn)生方式■靜電此時產(chǎn)生①摩擦兩個物體POINT!92、靜電的產(chǎn)生方式■靜電此時產(chǎn)生②剝離接觸的物體POINT!在重復(fù)摩擦和剝離的制造現(xiàn)場工程中產(chǎn)生較多的靜電。2、靜電的產(chǎn)生方式■靜電此時產(chǎn)生②剝離接觸的物體POINT!10主要是由人的行動(摩擦、行動、運動),包括人體與衣服、鞋襪等其它物體摩擦、接觸、分離、靜電感應(yīng)或直接接觸靜電體而產(chǎn)生(要想使人體靜電電位值降低,主要是通過降低人體對地電阻來實現(xiàn)的)。在一般的工業(yè)中,設(shè)備或物體上的靜電位最高可達(dá)數(shù)萬付以及數(shù)十萬伏。2、靜電的產(chǎn)生方式2.3人體靜電的產(chǎn)生:主要是由人的行動(摩擦、行動、運動),2、靜電的產(chǎn)生方式2.112.4人體帶電方式:1)摩擦起電:
1.操作中的動作和肢體運動,由衣服,鞋子與其他物體,地面摩擦,使衣服和鞋子帶電,再通過傳導(dǎo)和感應(yīng),使人體各部分帶電.人體可以看作一個導(dǎo)體.2.脫衣帽手套等使物體與人體間或物體與物體間剝離起電,通過傳導(dǎo)和感應(yīng)使人體帶電2、靜電的產(chǎn)生方式2.4人體帶電方式:2、靜電的產(chǎn)生方式122.4人體帶電方式:2)感應(yīng)起電當(dāng)不帶電的人體進(jìn)入帶電體的電場,靜電感應(yīng)而起電.3)傳導(dǎo)起電人體直接接觸帶電體,或與帶電體發(fā)生靜電放電人在由靜電的微塵粉體和霧狀液??臻g活動,使帶電微粒附著在人體及衣服上產(chǎn)生靜電.
2、靜電的產(chǎn)生方式2.4人體帶電方式:2、靜電的產(chǎn)生方式13電壓(伏)
動作0相對濕度10%40%55%在地毯上行走35000150007500在塑料地毯上行走1200050003000移動凳子6000800400從塑料管中取IC2000700400用泡沫和包裝線路板21000110005500人體的典型靜電電壓電壓(伏)相對濕度10%40143.靜電的危害3.1靜電吸附由于靜電的力學(xué)效應(yīng),車間的浮游塵埃會被吸附到芯片上,灰塵也可能附著、積存與芯片以外的物體上。即使極少量的、線度很小的灰塵粒子附著在芯片上也會嚴(yán)重影響半導(dǎo)體成品的制成率。3.靜電的危害3.1靜電吸附由于靜電的力學(xué)效應(yīng),車間的浮153.靜電的危害3.2靜電對電子元器件的危害靜電對元器件的損害會導(dǎo)致其硬擊穿,也可能會導(dǎo)致軟擊穿。硬擊穿是一次性造成芯片介質(zhì)擊穿、燒毀等永久性的失效;軟擊穿是指ESD造成元器件的性能劣化或參數(shù)指標(biāo)下降,因此軟擊穿比硬擊穿隱患性大。3.靜電的危害3.2靜電對電子元器件的危害靜電對元器件的163.靜電的危害3.3靜電對人體的傷害電流對人體傷害分析表(MIL-STD-454)mAAC(60HZ)DC結(jié)果0~10~11~44~154~2115~8021~4080~16040~100160~300有知覺感到驚訝有反射動作肌肉麻痹休克3.靜電的危害3.3靜電對人體的傷害電流對人體傷害分析表173.4靜電的特點A.靜電具有高電壓,低電流,小電量和作用時間短的特點.
B.靜電受環(huán)境條件,特別是溫度和濕度的影響特別大,靜電測量時線性差,瞬間現(xiàn)象多.靜電破壞:3.4靜電的特點A.靜電具有高電壓,低電流,小電量和作用時18ESD-ElectroStaticDischarge靜電放電(靜電瞬間泄放)4.1、靜電的控制原理將各種操作運行過程中產(chǎn)生的靜電荷迅速泄露和耗散,靜電泄露是通過替換電子生產(chǎn)過程中接觸到的各類絕緣物而改用靜電材料并使之接地來完成。
4、
靜電防護(hù)ESD-ElectroStaticDischarge19ESD-ElectroStaticDischarge靜電放電(靜電瞬間泄放)4.1、靜電的控制原理
從防靜電控制原理方面,我們可以將防靜電材料分為三類:導(dǎo)靜電類、靜電耗散類和電磁屏蔽耗散復(fù)合類。靜電耗散材料受到摩擦?xí)r,在其表面產(chǎn)生的電荷可以較快地擴散和泄露;導(dǎo)靜電材料置于靜電場所中,其表面累積的靜電荷,必須將其接地才能將表面的靜電荷泄露。這就是為什么要接地的原因。當(dāng)接地時,織物上的靜電除因?qū)щ娎w維的電暈放電被中和,還可經(jīng)由導(dǎo)電纖維向大地泄露,不接地時,則借助于導(dǎo)電纖維的微弱電暈放電。4、
靜電防護(hù)ESD-ElectroStaticDischarge20ESD-ElectroStaticDischarge靜電放電(靜電瞬間泄放)4.2、靜電防護(hù)的基本原則1)避免靜電的產(chǎn)生;2)疏導(dǎo)或中和所產(chǎn)生的靜電;3)屏蔽靜電場。4、
靜電防護(hù)ESD-ElectroStaticDischarge211)避免靜電的產(chǎn)生A、
潮濕法:水氣本身會有導(dǎo)電現(xiàn)象,故可降低絕緣體表面的電阻,達(dá)到靜電防護(hù)的目的。吹出口濕度發(fā)生器組裝型空調(diào)追加濕度排出口設(shè)置4、
靜電防護(hù)1)避免靜電的產(chǎn)生A、潮濕法:水氣本身會有導(dǎo)電現(xiàn)象,故可降22B、抗靜電涂布法:有靜電溶液可噴于絕緣體表面降低其表面電阻,達(dá)到靜電防護(hù)的目的。但此中涂層,日久會脫落而漸漸失去其效果,故必須考慮其有效期。4、
靜電防護(hù)1)避免靜電的產(chǎn)生B、抗靜電涂布法:有靜電溶液可噴于絕緣體表面降低其表面電423C、內(nèi)部靜電劑法:就是在材料中加入具有導(dǎo)電性和吸濕性的物質(zhì),使其外層具有輕微導(dǎo)電性。此方法不用考慮有效期,但成本高。本方法是靜電防護(hù)最好的辦法,但在設(shè)計半導(dǎo)體的抗靜電電路時,必須考慮到電路產(chǎn)生熱影響、反應(yīng)時間、最大電壓、能量傳導(dǎo)、寄生電容等因子,故并非隨心所欲可以辦到的。因此,還必須靠一些治標(biāo)的方法。導(dǎo)電盒周轉(zhuǎn)箱4、
靜電防護(hù)1)避免靜電的產(chǎn)生C、內(nèi)部靜電劑法:就是在材料中加入具有導(dǎo)電性和吸濕性的物質(zhì)242)疏導(dǎo)或中和靜電法a、疏導(dǎo)法:典型的疏導(dǎo)法就是佩帶靜電手環(huán),是將人體產(chǎn)生的靜電電荷由導(dǎo)線進(jìn)行傳導(dǎo)出去。通常靜電環(huán)中會接一個1MΩ左右的電阻來保護(hù)人員工作之安全疏導(dǎo)法靜電手環(huán)導(dǎo)電墊接地4、
靜電防護(hù)2)疏導(dǎo)或中和靜電法a、疏導(dǎo)法:疏導(dǎo)法靜電手環(huán)導(dǎo)電墊接地425b、中和法:利用靜電消除器來釋放出正、負(fù)離子以中和消除靜電效應(yīng)。中和法離子風(fēng)棒中和法離子風(fēng)扇高帶電包材要除電2)疏導(dǎo)或中和靜電法4、
靜電防護(hù)b、中和法:中和法離子風(fēng)棒中和法離子風(fēng)扇高帶電包材要除電2)263)屏蔽靜電場此種方法是利用FaradyCage之原理使靜電場被屏蔽在容器之外。防靜電工作服是盡量減少靜電場效應(yīng)或者避免衣服帶電(防靜電服在穿戴過程中,靜止頭發(fā)外露、內(nèi)穿衣服外漏等)。地面導(dǎo)電輪頭發(fā)嚴(yán)禁外露屏蔽法導(dǎo)電地板靜電手環(huán)佩帶嚴(yán)格遵守作業(yè)者的腳必須著地4、
靜電防護(hù)3)屏蔽靜電場此種方法是利用FaradyCage之原理使靜27(圖一)4.3、靜電標(biāo)識:a、靜電放電保護(hù)標(biāo)識(圖一):
表示在組裝成品或設(shè)備要提供靜電放電保護(hù)措施(用于工具或材料上具有控制ESD之功效。)(圖一)4.3、靜電標(biāo)識:28(圖一)(圖二)4.3、靜電標(biāo)識:b、靜電放電敏感標(biāo)識(圖二):
表示靜電敏感區(qū)域或未進(jìn)行靜電對策不可以接觸(適用于告知電子零組件對ESD極為敏感,易遭ESD破壞)(圖一)(圖二)4.3、靜電標(biāo)識:29(圖三)4.3、靜電標(biāo)識:c、敏感電子器件(圖三):
表示有此標(biāo)識的器件在運輸、儲存過程中不能接近強電、磁場、磁場有輻射的場所。(圖三)4.3、靜電標(biāo)識:30ESD靜電防護(hù)基礎(chǔ)技術(shù)ppt課件31控制靜電的生成環(huán)境防止人體帶電工藝控制措施5、防止產(chǎn)生靜電的措施防靜電材料的選用控制靜電的防止人體帶電工藝控制措施5、防止產(chǎn)生靜電的措施防靜321)
濕度控制。在不導(dǎo)致器材或產(chǎn)品腐蝕生銹或其他危害限定條件下,盡量加大濕度2)溫度控制。在可能條件下盡量降低溫度,包括環(huán)境溫度和物體接觸溫度3)地板、桌椅面料和工作臺等應(yīng)由防靜電材料制成,并正確接地4)靜電敏感產(chǎn)品的運送傳遞和存儲及包裝與拆包裝應(yīng)采取靜電防護(hù)措施控制靜電的生成環(huán)境1)濕度控制??刂旗o電的生成環(huán)境33控制靜電的生成環(huán)境A、防靜電工作區(qū)域的環(huán)境溫濕度控制要求:⑴特級/一級EPA區(qū)域溫度和濕度控制要求:溫度:10~30℃
相對濕度(RH):45~75%⑵二級EPA區(qū)域溫度和濕度控制要求:溫度:10~30℃相對濕度(RH):30~75%控制靜電的生成環(huán)境A、防靜電工作區(qū)域的環(huán)境溫濕度控制34控制靜電的生成環(huán)境B、防靜電工作區(qū)的建立:⑴選用靜電導(dǎo)體材料構(gòu)成的地面,如果是普通地面可在其上鋪設(shè)防靜電地墊,并實施有效的接地;并劃分EPA靜電防護(hù)區(qū)域。⑵對設(shè)備,靜電墊必須進(jìn)行可靠接地,半成品包裝采用防靜電屏蔽,如使用防靜電EPE袋、使用內(nèi)層為鋁箔的包裝袋,以防止接近有電物體時產(chǎn)品感應(yīng)上靜電;控制靜電的生成環(huán)境B、防靜電工作區(qū)的建立:⑵對設(shè)備,35防止人體帶電1、人體實施的防靜電方法:1)、佩戴防靜電腕帶2)、穿戴防靜電服裝、衣、帽3)、佩戴防靜電手套、指套4)、進(jìn)行離子化
防止人體帶電1、人體實施的防靜電方法:36防止人體帶電2、消除人體靜電消除人體靜電積累的有效方法是將人體接地,即減少人體的對地電阻,使人體電位不超過規(guī)定的安全值,減少人體對地電阻的基本方法是穿防靜電鞋和鋪設(shè)防靜電墊。1)工作桌面,地面鋪設(shè)防靜電墊;2)穿防靜電衣、防靜電鞋、戴測試OK的靜電環(huán),使用良好防靜電墊,靜電環(huán)到地之間串一個1MΩ
限流電阻(作業(yè)過程中雙腳必須著地);3)2KV作為人體靜電電擊的門限電壓,限流電阻的選擇應(yīng)保證通過人體的電流小于5MA,則限流電阻的限值取1MΩ,這樣可以避免靜電電擊和人體觸及動力電源電擊。防止人體帶電2、消除人體靜電消除人體靜電積累的37防靜電材料選用使用靜電導(dǎo)體材料和低電阻耗散材料A、使用表面電阻率106-109ohm/m2之間的材料,這種材料對產(chǎn)生的靜電易安全釋放,如綠色防靜電臺墊。防靜電材料選用使用靜電導(dǎo)體材料和低電阻耗散材料A、使用表面電38防靜電材料選用使用靜電導(dǎo)體材料和低電阻耗散材料B、對表面電阻率高的材料,現(xiàn)在工業(yè)中將其在制造過程中加入像碳這樣的導(dǎo)電顆粒,以減少其表面電阻率到103-105ohm/m2,如我們使用的黑色防靜電元件盒、托盤、周轉(zhuǎn)箱、黑色靜色墊等,這種材料在生產(chǎn)中即會產(chǎn)生靜電,也可以將其接觸的物品上的靜電安全釋放。防靜電材料選用使用靜電導(dǎo)體材料和低電阻耗散材料B、對表面電阻39防靜電材料選用使用靜電導(dǎo)體材料和低電阻耗散材料C、我們使用的綠色靜電墊和防靜電流水線皮帶,就由兩層構(gòu)成,綠色層為絕緣層,背面黑色或中間夾層為導(dǎo)體層,經(jīng)過科學(xué)試驗,在這種合格材料上工作,產(chǎn)生靜電量最小;防靜電材料選用使用靜電導(dǎo)體材料和低電阻耗散材料C、我們使用的40防靜電材料選用以物質(zhì)的抗導(dǎo)電性來區(qū)分材質(zhì):–
導(dǎo)電性(Conductive)材質(zhì):
表面電阻系數(shù)在105Ω/square以下;–
靜電衰減性(StaticDissipative)材質(zhì):表面電阻系數(shù)介于106~109Ω/square;–
抗靜電性(Anti-Static)材質(zhì):表面電阻系數(shù)介于109~1012Ω/square;–
絕緣體(Insulator)材質(zhì):表面電阻系數(shù)介于1012Ω/square以上。防靜電材料選用以物質(zhì)的抗導(dǎo)電性來區(qū)分材質(zhì):–導(dǎo)電性(C411、制定并實施防靜電操作程序2、使用防靜電周轉(zhuǎn)運輸盤、盒、箱及其他容器、小推車3、使用防靜電工具(烙鐵、吸銀器等)4、采用防靜電包裝
工藝控制措施1、制定并實施防靜電操作程序工藝控制措施42工藝控制措施工藝規(guī)程靜電防護(hù)的基本原則:
SSD意思指靜電敏感器件,是英文“STATICSENSITITYDEVICE”的縮寫。
SSD工藝控制措施工藝規(guī)程靜電防護(hù)的基本43工藝控制措施工藝規(guī)程a、所有SSD及其部件的操作都必須在靜電安全工作臺上進(jìn)行;b、在進(jìn)行操作前檢查是否做好靜電防護(hù)措施;c、貯存、運輸SSD及其部件時,應(yīng)妥善進(jìn)行防靜電包裝。SSD工藝控制措施工藝規(guī)程a、所有SSD及其部件的操44a、在防靜電區(qū)域的明顯位置應(yīng)安置防靜電警示標(biāo)志,如:圖一圖二圖三工藝規(guī)程a、在防靜電區(qū)域的明顯位置應(yīng)安置防靜電警示標(biāo)志,如:圖一圖二45b、為提高人員的防靜電意識,防止因標(biāo)識不清發(fā)生不符合靜電安全的操作與靜電危害,要求防靜電區(qū)域(EPA或ECA)、防靜電設(shè)施、器材等防靜電物品,以及靜電敏感器件及組件等有關(guān)包裝上應(yīng)標(biāo)注有醒目的ESD標(biāo)識,以便提醒員工采取合適的ESD防護(hù)措施,減少靜電風(fēng)險,提高產(chǎn)品質(zhì)量。工藝規(guī)程b、為提高人員的防靜電意識,防止因標(biāo)識不清發(fā)生不符合靜電安全46c、在廠房內(nèi)應(yīng)配備溫度計和濕度計,并每天上下午各作一次記錄。電氣保護(hù)接地電阻要求不大于4歐姆。防靜電接地母線與大地之間電阻要求不大于4歐姆(防靜電接地不得接在電源零線上,也不得與防雷地線共用工藝規(guī)程c、在廠房內(nèi)應(yīng)配備溫度計和濕度計,并每天上下午各作一次記錄。47d、設(shè)施的接地線宜采用黃綠色或黃色線,連接點應(yīng)該采用螺釘、焊接、雙線交繞的緊固連接方式,保證連接點連接可靠、接觸電阻小,禁止使用鱷魚夾、掛接等不可靠的連接方式。工藝規(guī)程工藝規(guī)程48
1)所有進(jìn)入EPA區(qū)域的人員都要穿防靜電衣、帽、防靜電工鞋,防靜電工衣、帽、工鞋或防靜電鞋套應(yīng)按規(guī)定穿著整齊。嚴(yán)禁防靜電工衣不扣紐扣或拉鏈拉不到位等行為;戴工帽時,要求將頭發(fā)全部裹入帽子內(nèi)。
2)進(jìn)入防靜電區(qū)域的所有人員每天上崗前應(yīng)使用腕帶測試儀對所配發(fā)的防靜電腕帶進(jìn)行測試,并做好測試記錄。
6、日常靜電防護(hù)管理要求1)所有進(jìn)入EPA區(qū)域的人員都要穿防靜電衣、帽、防靜電工鞋49
3)進(jìn)入防靜電區(qū)域的所有人員每天上崗前應(yīng)使用人體綜合電阻測試儀對自身人體綜合電阻進(jìn)行測試,并做好測試記錄。
4)接觸ESSD及組件之前應(yīng)戴好防靜電腕帶,防靜電腕帶接入防靜電地線系統(tǒng),要保證腕帶與皮膚接觸良好,在戴腕帶處皮膚上不得涂護(hù)膚油、防凍油等絕緣物質(zhì);不能只戴指套操作靜電敏感器件、或者用手套/工衣包裹單板后裸手拿單板。6、日常靜電防護(hù)管理要求3)進(jìn)入防靜電區(qū)域的所有人員每天上崗前應(yīng)使用人體綜合電阻50
5)操作時不得裸露疊放單板,不能將非防靜電的膠帶粘帖在防靜電工具或設(shè)備上。6)工作時注意檢查環(huán)境,保證嚴(yán)重的靜電源(例如:非防靜電拉伸膜/塑料袋,非防靜電海綿/泡沫等)遠(yuǎn)離靜電工作區(qū)域1m以上;工作區(qū)域內(nèi)不可避免的靜電源(如:顯示器、非防靜電物料包材等)遠(yuǎn)離靜電敏感器件、單板、組件等至少30CM以上。日常靜電防護(hù)管理要求日常靜電防護(hù)管理要求51
7)更換工作服應(yīng)在指定地點進(jìn)行,不允許在生產(chǎn)現(xiàn)場穿、脫工作服。8)工作服外部嚴(yán)禁攜帶除工卡和筆之外的金屬物件,防靜電鞋內(nèi)不得墊鞋墊或粘膠帶。日常靜電防護(hù)管理要求日常靜電防護(hù)管理要求52
9)所有操作ESD敏感部品或單板的人員或有可能接觸ESD敏感部品或單板的人員都應(yīng)該進(jìn)行ESD培訓(xùn)。同時為確認(rèn)防靜電培訓(xùn)的效果,參加ESD培訓(xùn)的員工需要通過防靜電指示的考核(認(rèn)證)。10)所有連接電源主線的設(shè)備、儀器、工具等,都必須可靠地和電源系統(tǒng)安全地線相連接。單相電源插頭插座必須使用具有接地芯的三芯插頭插座,且儀器工具、設(shè)備的外殼都要加強接地線,采用緊固連接。日常靜電防護(hù)管理要求日常靜電防護(hù)管理要求537、公司推行實施的防靜電措施及相關(guān)要求1、公司防靜電用品
2、靜電衣、帽的穿戴標(biāo)準(zhǔn)3、公司推行的靜電措施7、公司推行實施的防靜電措施及相關(guān)要求1、公司防靜電用品547、公司推行實施的防靜電措施及相關(guān)要求靜電衣、靜電鞋、靜電帽、靜電手環(huán)、靜電凳、防靜電手指套、靜電手套、離子風(fēng)扇、靜電皮、導(dǎo)電盒、周轉(zhuǎn)箱等等!1、我公司的主要防靜電用品靜電手環(huán)導(dǎo)電盒靜電衣靜電鞋離子風(fēng)扇靜電凳編號靜電帽離子風(fēng)扇定位、定量靜電皮靜電手套、手指套7、公司推行實施的防靜電措施及相關(guān)要求靜電衣、靜電鞋、55靜電衣拉鏈沒有拉標(biāo)準(zhǔn)衣服從靜電衣里露出來衣領(lǐng)不可外漏NGNGNG2、靜電衣、帽的穿戴相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)穿靜電衣時需將人體各部位完全屏蔽,紐扣全部扣上方為OK戴靜電帽時需將頭發(fā)全部放進(jìn)帽子內(nèi)屏蔽方為OK靜電衣拉鏈必須拉到離衣口10cm以內(nèi)屏蔽方為OK10cm靜電衣拉鏈沒有拉標(biāo)準(zhǔn)衣服從靜電衣里露出來衣領(lǐng)不可外漏NGNG56衣袖挽起過高NGNGNG頭發(fā)外漏衣服從靜電衣里露出來相關(guān)不合格圖片衣袖挽起過高NGNGNG頭發(fā)外漏衣服從靜電衣里露出來相關(guān)不合57公司推行的靜電措施7、6F生產(chǎn)入口風(fēng)淋設(shè)備清潔靜電衣表面所攜帶的灰塵8、物料車導(dǎo)電輪的使用9、除電器的使用(離子風(fēng)扇)12、靜電皮的鋪設(shè)使用并定期點檢(測試標(biāo)簽不可損壞)11、導(dǎo)電地板的使用,并定期進(jìn)行點檢10、空調(diào)實施調(diào)節(jié)生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)溫濕度調(diào)節(jié),環(huán)境影響降低公司推行的靜電措施7、6F生產(chǎn)入口風(fēng)淋設(shè)備清潔靜電衣表面所攜58靜電手環(huán)測試:將靜電手環(huán)戴在任一手腕上,緊貼皮膚,將靜電手環(huán)插頭插進(jìn)點檢儀器插孔內(nèi)(或用測試儀器鱷魚夾夾住手環(huán)
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