BPG400真空規(guī)管中文手冊(cè)詳解

BPG400真空規(guī)管中文手冊(cè)詳解11資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除IR090熱陰極電離復(fù)合真空計(jì)使用說明書BG804171BE資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除33資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除名目產(chǎn)品標(biāo)識(shí)安全使用符號(hào)人員素養(yǎng)一般安全規(guī)章賠償責(zé)任與保修技術(shù)參數(shù)安裝真空連接拆卸和安裝電子學(xué)單元安裝延長(zhǎng)件電源連接COMBIVACIT23一起使用與其它測(cè)量?jī)x器一起使用運(yùn)行測(cè)量原理，測(cè)量特性真空計(jì)工作原理除氣4.5.14.5.1.14.5.1.2維護(hù)5.1

顯示器RS232C接口功能說明IR090輸出IR090輸入維護(hù)5.25.35.45.55.65.7678910A.B.

安裝障板更換障板更換規(guī)管故障查找拆卸附件備件廢物處理污染申報(bào)表參閱本說明書中的章節(jié)，承受符號(hào)〔→XY〕。參閱其它文獻(xiàn)，承受符號(hào)〔→［Z］〕。資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除4產(chǎn)品標(biāo)識(shí) 聯(lián)系時(shí)，請(qǐng)標(biāo)明產(chǎn)品標(biāo)牌上給出的信息。將信息復(fù)制在標(biāo)牌的復(fù)印件上。有效范圍ISO-KF〕CF-R〕ISO-KF〕CF-R〕術(shù)更改權(quán)。

本說明書適用于以下件號(hào)的產(chǎn)品不帶顯示器12090〔DN2512092〔DN40帶顯示器12091〔DN2512094〔DN40產(chǎn)品的件號(hào)在標(biāo)牌上標(biāo)明。本公司保存對(duì)說明書不預(yù)先通知的技使用范圍

IR0905×10-10…1000毫巴范圍內(nèi)非易燃性氣體和氣體混合物的真空測(cè)量。SKYSmart真空計(jì)規(guī)管系列的一個(gè)組成局部?？膳cCOMBIVACIT23或其它測(cè)量?jī)x器一起工作。工作原理

在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)，熱陰極電離復(fù)合它的測(cè)量訊號(hào)是對(duì)數(shù)壓強(qiáng)輸出。BA規(guī)熱陰極電離測(cè)量系統(tǒng)〔p＜2.0×10-2毫巴〕和皮拉尼測(cè)量系統(tǒng)〔p＞5.5×10-3毫巴〕2.0×10-2p＞5.5×10-3毫巴的穿插壓強(qiáng)范圍內(nèi)，輸出兩個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的混合訊號(hào)。只有當(dāng)皮拉尼測(cè)量系統(tǒng)2.4×10-2毫巴的閾值時(shí)，才能轉(zhuǎn)換至熱陰極測(cè)量系統(tǒng)〔防止燈絲燒斷〕。當(dāng)壓3.2×10-2毫巴時(shí)切斷電源。注冊(cè)商標(biāo)

Combivac SKY LeyboldInficon安全使用符號(hào)危急有關(guān)防止任何人身損害的信息。警告危急有關(guān)防止任何人身損害的信息。警告有關(guān)防止設(shè)備和環(huán)境損傷的信息。注有關(guān)正確把握或使用的信息。如不留意可導(dǎo)致設(shè)備故障或局部損傷。提示，建議人員素養(yǎng)技術(shù)嫻熟的人員技術(shù)嫻熟的人員本說明書中涉及的全部工作必需由經(jīng)過技術(shù)培訓(xùn)、有閱歷的或由產(chǎn)品的最終用戶委派的人員執(zhí)行。1.3

一般安全規(guī)章

遵守安全使用規(guī)章，對(duì)過程介質(zhì)實(shí)行必要的預(yù)防措施。留意材料〔→第7頁〕與過程介質(zhì)之間可能的反響。留意用于產(chǎn)品產(chǎn)生的熱導(dǎo)致過程介質(zhì)可能產(chǎn)生的反響。全部工作必需在遵守安全使用規(guī)章和必要的預(yù)防措施下進(jìn)行。留意本說明書中的安全要點(diǎn)。在開頭工作前，檢查是否有被污染的真空元件。當(dāng)處理被污染的元件時(shí)，遵守有關(guān)的規(guī)程和實(shí)行必要的預(yù)防措施。與其它用戶溝通安全方面的閱歷。賠償與保修責(zé)任 如最終用戶或第三方有以下狀況，LeyboldInficon將不擔(dān)當(dāng)賠償與保修責(zé)任。不理睬本說明書中的要求在不適當(dāng)?shù)臓顟B(tài)下使用本產(chǎn)品對(duì)產(chǎn)品作任何變動(dòng)〔修改，更改等〕資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除使用不是相應(yīng)產(chǎn)品文件中所列的附件對(duì)所使用的過程介質(zhì)，由最終用戶負(fù)責(zé)。技術(shù)參數(shù)8資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除10測(cè)量 測(cè)量范圍〔空氣，氮，氧〕 10-10至1000毫巴,連續(xù)精度15%讀值〔10-8至10-2毫巴〕 〔5分鐘后穩(wěn)定〕重復(fù)性5%讀值〔10-8至10-2毫巴〕 〔5分鐘后穩(wěn)定〕

與氣體種類的關(guān)系 附錄B放射 放射on閾值2.4×10-2毫巴off閾值3.2×10-2毫巴放射電流p≤7.2×10-6毫巴 5毫安7.2×10-6＜p＜3.2×10-2毫巴25微安放射電流轉(zhuǎn)換7.2×10-6毫巴

25微安5毫安5毫安25微安3.2×10-5毫巴除氣 電流16/4.0瓦〔p＜7.2×10-6毫巴〕掌握輸入訊號(hào)0伏/24伏，PLC-值，高動(dòng)態(tài)時(shí)長(zhǎng)3分，接著自動(dòng)停頓在除氣模式中，IR090保持供給測(cè)量值，誤差大于正常運(yùn)行。10伏

輸出訊號(hào) 00.774伏5×10-10毫巴10伏1000毫巴

測(cè)量范圍電壓與壓強(qiáng)的關(guān)系 對(duì)數(shù)，0.75伏/量級(jí)誤差訊號(hào)＜0.3伏/0.5伏〔→第25頁〕最小負(fù)荷10仟?dú)W資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除RS232C接口9000波特

波特率數(shù)據(jù)格式二進(jìn)位數(shù)據(jù)組8數(shù)據(jù)位1停頓位無同步交換訊號(hào)值≈±8伏連接件接腳13

T×D〔傳送數(shù)據(jù)〕接腳14

R×D〔接收數(shù)據(jù)〕接腳15顯示器 LCD-點(diǎn)陣，32×16象素帶有本底照明尺寸16.0×11.2毫米2

GND〔外殼接地〕11資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除壓強(qiáng)單位 毫巴〔缺省〕，乇，帕電源危急危急〔SELV-E，依據(jù)EN61010〕要求的電源和測(cè)量?jī)x器。連接真空計(jì)必需有保險(xiǎn)絲。真空計(jì)電壓24伏直流〔2028伏〕2〕2Vpp功率損耗標(biāo)準(zhǔn)≤0.5安除氣≤0.8安放射起始〔＜200毫安〕 ≤1.4安功率損耗≤16瓦1〕≤1.25AT規(guī)管電纜 電連接件 Sub連接件，15腳，插頭電纜僅用于模擬值資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除12資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除1313資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除極加屏蔽

無除氣功能極加屏蔽

全部功能包括RS232C接口 7極加屏蔽

電纜長(zhǎng)度，最長(zhǎng)〔24伏直流〕 35毫米〔0.252導(dǎo)線〕50毫米〔0.342導(dǎo)線〕線〕

100毫米〔1.02導(dǎo)RS232C工作≤30真空 真空側(cè)的材料 銹鋼，銥，氧化釔，玻璃，NiFe，NiCr，鎢，鉬，銅內(nèi)容積≤24

DN25ISO-KF≤34

DN40CF-R2巴〔確定〕

壓強(qiáng)，最大環(huán)境 允許溫度儲(chǔ)存-2070℃工作050℃烘烤+150℃〔無電子學(xué)單元或帶延長(zhǎng)件→28頁〕相對(duì)濕度〔年平均/在60天中〕 ≤65/85%〔無分散〕使用僅室內(nèi)2023NNIP30

保護(hù)類型COMBIVACIT23滿足這些要求電源的最低電壓必需隨測(cè)量電纜的長(zhǎng)度等比增加尺寸 法蘭DN25ISO-KF測(cè)量［毫米］285克550克安裝

重量DN40CF-R測(cè)量［毫米］重量真空連接注留意：真空元件灰塵與損傷將影響真空元件的功能注留意：真空元件灰塵與損傷將影響真空元件的功能取持真空元件時(shí)實(shí)行適當(dāng)措施確保清潔和防止損傷危急留意：真空系統(tǒng)中有壓力＞1巴漏的保護(hù)氣體損害承受可使用工具翻開或夾緊的夾具〔如軟管卡箍夾環(huán)〕危急留意：電源電壓不正確接地的產(chǎn)品在故障中是極危急的真空計(jì)必需電連接至接地的真空室。連接件必需符合EN61010的保護(hù)接地要求：CF法蘭滿足這個(gè)要求KF法蘭的真空計(jì)，使用導(dǎo)體的金屬夾環(huán)真空計(jì)可任何方向安裝。但不允許任何微?；蚍稚⑽镞M(jìn)入測(cè)8頁〕。

量室。必需有足夠的安裝空間〔第

如必需無電子學(xué)單元時(shí)才能連10〕。〔超密封環(huán)28頁〕，因

建議承受金屬密封的真空法蘭為橡膠密封〔Vitilan，Viton〕可影響測(cè)量精度，釋放氣體于10-6毫巴量級(jí)。真空計(jì)內(nèi)裝有篩網(wǎng)。存在嚴(yán)峻污染的應(yīng)用條件下建議安裝選和快粒子損壞電極〔24

件障板〔28頁〕以防止光頁〕。50℃以上必需卸下電子學(xué)單元11頁〕延長(zhǎng)件〔附件28

150℃。溫度〔10頁〕或安裝〔第頁〕。步驟 1 取下保護(hù)蓋2 連接法蘭許插入調(diào)整針桿〔第21頁〕。安裝帶有顯示器的真空計(jì)時(shí)留意要便于閱讀顯示器。拆卸和安裝電子學(xué)單元拆卸釘〔1〕

L2.5毫米a〕 擰下電子學(xué)單元〔2〕側(cè)面的內(nèi)六角螺b〕資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除安裝 a〕 子學(xué)單元放置在規(guī)管〔3〕上〔留意接腳〔4〕的正確位置〕。b〕 將電子學(xué)單元插至機(jī)械止點(diǎn)，〔1〕鎖住它。安裝延長(zhǎng)件

使用選件延長(zhǎng)件〔→28頁〕規(guī)管可在運(yùn)〔p＜10-2毫巴，由于在高溫下皮拉尼規(guī)管測(cè)量不正確〕。注注留意：上升的熱量被損壞。將規(guī)管水平方向安裝。烘烤區(qū)域資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除19資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除2222資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除步驟 a〕 取下電子學(xué)單元〔2〕〔→見第10頁〕。

b〕 將規(guī)管〔3〕插入延長(zhǎng)件〔6〕至機(jī)械止點(diǎn)，留意接腳〔4〕的正確位置。c〕 用內(nèi)六角螺釘〔7〕緊固規(guī)管。d〕〔4a〕的正確

插入電子學(xué)單元〔2〕至機(jī)械止點(diǎn)，留意接腳位置。

用內(nèi)六角螺釘〔1〕緊固電子學(xué)單元〔2〕。電源連接與COMBIVACIT23一起使用COMBIVACIT23一起使用需要一根規(guī)管電纜〔→見28頁〕。并用螺絲緊固。電纜另一端的插頭與COMBIVACIT23連接，并緊固。與其它測(cè)量?jī)x器一起使用單獨(dú)的規(guī)管電纜〔預(yù)配置電纜→見第28頁〕。5米〔0.342〕，可在正訊號(hào)輸出〔2〕GND〔5〕之間測(cè)量，不影響測(cè)量精度。如電纜長(zhǎng)度超過5米，建議在正訊號(hào)輸出〔接腳2〕與訊號(hào)接地〔接腳12〕之間進(jìn)展測(cè)1.0伏〕。步驟 1 翻開電纜合〔D-Sub，15-腳，插座〕。預(yù)備電纜。按圖焊接規(guī)管電纜。圖1 電連接件1234

未用

〔測(cè)量訊號(hào)〕567電纜合，焊接側(cè)89

GND未用on，24伏直流未用接腳10 未用接腳11 未用接腳12 訊號(hào)接地GND接腳13 RS232C，T×D接腳14 RS232C，R×D接腳15 屏蔽外殼GND警告警告GND〔5〕和屏蔽〔15〕必需與保護(hù)接地連接。不正確的連接、不正確的極性或不允許的電源電壓將損壞真空計(jì)。裝回電纜合。依據(jù)測(cè)量?jī)x器連接件裝備電纜的另一端插入電纜合。將電纜的另一端與測(cè)量?jī)x器連接資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除運(yùn)行〔測(cè)量→A〕。on后，不on。測(cè)量原理，測(cè)量特性IR090包含兩個(gè)單獨(dú)的測(cè)量系統(tǒng)〔熱B-A計(jì)和皮拉尼計(jì)〕。計(jì) 原理，設(shè)計(jì)于低x-射線限值。測(cè)量系統(tǒng)原理基于氣體電離。由熱陰極〔F〕放射的電子,電離氣體分子，產(chǎn)生的離子與測(cè)量室的壓強(qiáng)

I+，并將其輸送p有關(guān)，其

Ie、氣體種關(guān)系式為：IIepC資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除24資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除系數(shù)C代表規(guī)管靈敏度。通常是指對(duì)氮?dú)獾撵`敏度。測(cè)量下限為5×10-10毫巴〔金屬密封〕。為使靈敏度掩蓋從5×10-10毫巴至10-2毫巴整個(gè)測(cè)量范圍，在高壓強(qiáng)范圍〔低真空〕使用低放射電流，低壓強(qiáng)范圍〔高真空〕使用高放射電流。放射電流的轉(zhuǎn)換在壓強(qiáng)7.2×10-6毫巴，在壓強(qiáng)上升時(shí)發(fā)生在3.2×10-5毫巴。在轉(zhuǎn)換閾值，IR090可臨時(shí)〔＜2秒〕偏離規(guī)定的精度。1B-A測(cè)量系統(tǒng)示意圖F 熱陰極〔燈絲〕IC 離子收集極EC 電子收集極〔篩網(wǎng)〕皮拉尼計(jì)

在肯定限值內(nèi)氣體的熱導(dǎo)與壓強(qiáng)有關(guān)。Pirani將這個(gè)物理現(xiàn)象用于壓強(qiáng)測(cè)量。承受自調(diào)整電橋作為測(cè)量電路電路將絲電阻〔即溫度〕保持不變。測(cè)量供給給絲的電功率來測(cè)量熱導(dǎo)從而測(cè)量壓強(qiáng)。自調(diào)整電2中。25資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除262電橋電壓U用于測(cè)量氣體壓強(qiáng)，并進(jìn)展進(jìn)一步電處理〔線性化，數(shù)字化〕。測(cè)量范圍 IR090掩蓋從5×10-10毫巴至1000毫巴整個(gè)連續(xù)的測(cè)量范圍。皮拉尼計(jì)始終監(jiān)測(cè)壓強(qiáng)。10-2毫巴下工作。尼計(jì)輸出訊號(hào)顯示測(cè)量值。當(dāng)皮拉尼計(jì)的測(cè)量值低于轉(zhuǎn)換閾值〔p=2.4×10-2毫在5.5×10-3至2.0×10-2毫巴的搭接范圍內(nèi)兩個(gè)計(jì)均輸出訊號(hào)〔→3〕。3當(dāng)壓強(qiáng)上升超過閾值〔p=3.2×10-2毫巴〕時(shí)，熱陰極計(jì)將被關(guān)斷。輸出將回到皮拉尼計(jì)的讀值。與氣體種類的關(guān)系氧是正確的。對(duì)其它氣體可轉(zhuǎn)換〔→B〕。真空計(jì)工作原理 規(guī)管測(cè)量電流〔B-A計(jì)和皮拉尼計(jì)〕由電流/頻率轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換成的數(shù)字輸出，即總壓強(qiáng)測(cè)量值。這個(gè)值有一個(gè)0至10伏的模擬輸出〔2/12〕，RS232C接口〔腳13/腳14/腳15〕讀出數(shù)字值。帶有顯示器的真空計(jì)〔產(chǎn)品號(hào)12091和12094〕顯示壓強(qiáng)值。通過軟10伏〔大氣壓〕。除轉(zhuǎn)換測(cè)量訊號(hào)的功能外，微處理器的功能還包括監(jiān)測(cè)放射電流、基于從兩個(gè)規(guī)管的兩次測(cè)量計(jì)算總壓強(qiáng)、壓強(qiáng)顯示〔產(chǎn)品號(hào)12091和12094〕和通過RS232C接口進(jìn)展通訊。資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除2828資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除除氣污染注注由于污染損壞的真空計(jì)不屬于保修范圍。熱陰極電離真空計(jì)電極系統(tǒng)上的淀積層可導(dǎo)致不穩(wěn)定的測(cè)量讀值。建議在低于7.2×10-6毫巴壓強(qiáng)下〔5毫安放射電流〕對(duì)掌握器〔PLC〕自動(dòng)啟動(dòng)。如烘烤未準(zhǔn)時(shí)切斷，3分鐘IR090將自動(dòng)關(guān)斷烘烤。對(duì)于重復(fù)的除氣過程，掌握訊號(hào)首先必需從ON〔24伏〕OFF〔0伏〕，ON〔24伏〕開頭除3分鐘除氣后通過系統(tǒng)掌握器重將烘烤OFF，以到達(dá)一個(gè)明確的工作狀態(tài)。除氣過程通過電子轟擊將電子收集極的柵絲加熱至約700℃。顯示器

1209112094

產(chǎn)品號(hào)為L(zhǎng)CD-點(diǎn)陣，32×16象素兩行顯示器?！踩笔　?、乇或帕。壓強(qiáng)單位RS232C接口轉(zhuǎn)變〔→20頁〕。壓強(qiáng)顯示 測(cè)量，壓強(qiáng)單位功能顯示 〔無〕EE1DR

皮拉尼模式放射電流25微安5毫安除氣1000毫巴調(diào)整〔皮拉尼計(jì)〕誤差顯示 ok 無誤差〔本底照明綠色〕4 皮拉尼計(jì)報(bào)警〔本底照明紅色〕9 皮拉尼計(jì)誤差〔本底照明紅色〕8 熱陰極電離計(jì)誤差〔本底照明紅色〕內(nèi)部數(shù)據(jù)連接故障〔本底照明紅色〕RS232C接口 通過RS232C接口可傳送數(shù)字測(cè)量數(shù)據(jù)和儀器狀況以及設(shè)定儀器參數(shù)。功能說明9字節(jié)的

RS232C接口工作于雙重模式。約每20毫秒字符串。工作參數(shù)

9600波特，設(shè)定值81無奇偶校驗(yàn)無信號(hào)交換要求接線 ? T×D 腳13R×DGND 15

14IR09輸出 發(fā)送的字符串〔幀〕是9個(gè)字節(jié)數(shù)據(jù)字符串〔17〕7個(gè)字節(jié)字符串的格式 例：數(shù)據(jù)0

數(shù)據(jù)字符串長(zhǎng)度 〔始終7〕字節(jié)1 頁碼

〔5〕位2狀態(tài)0放射狀態(tài)0=12狀態(tài)0放射狀態(tài)0=1放射2調(diào)整3切換4單位5單位3誤差4誤差5=5誤差6誤差7誤差狀態(tài) 2=5毫安 3=除氣狀態(tài) 1當(dāng)1000毫安調(diào)整時(shí)位，用每個(gè)的字符串轉(zhuǎn)變0=毫巴 1=除氣2=帕皮拉尼計(jì)未調(diào)整好8=電離計(jì)誤差9=皮拉尼計(jì)故障資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除45678

字節(jié)字節(jié)軟件版號(hào)〔缺省輸出〕規(guī)管型號(hào)〔IR090：始終10〕數(shù)據(jù)字符串的校驗(yàn)和壓強(qiáng)計(jì)算 p/毫巴p/乇p/帕例〔見上〕 高-字節(jié)=242，低-字節(jié)=48p［毫巴］=1000毫巴IR09輸入 傳送至真空計(jì)的指令，發(fā)送5個(gè)字節(jié)的字符串〔幀〕〔無＜CR＞〕。組成數(shù)據(jù)字符串。

13字符串的格式 字節(jié)0數(shù)據(jù)字符串長(zhǎng)度〔始終3〕字節(jié)1功能2地址3數(shù)據(jù)字節(jié)4數(shù)據(jù)字符串的校驗(yàn)和以下字符串是可能的：字節(jié)號(hào)01234在顯示中設(shè)定單位為毫巴31662078在顯示中設(shè)定單位為乇31662179在顯示中設(shè)定單位為帕31662280電源-故障-安全儲(chǔ)存當(dāng)前單位3326262156on〔3off〕3169314813off31693105214資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除32資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除維護(hù)維護(hù)危急危急留意：污染的部件污染的部件可損害您的安康。在工作前，檢查工作部件是否已污染。依據(jù)相關(guān)的規(guī)程，實(shí)行必要的措施處理這些部件。真空計(jì)調(diào)整 真空計(jì)在出廠前已校準(zhǔn)。通過使用中不同的

老化或污染〔→17頁〕和規(guī)管更換〔→25頁〕，可產(chǎn)生特性曲線的偏移，必需重校準(zhǔn)。僅皮拉尼計(jì)可33資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除10伏。在以下狀況下，調(diào)整是必需的：在大氣壓下輸出訊號(hào)＜10伏或顯示器讀值＜大氣壓在放空時(shí)輸出電壓在測(cè)量壓強(qiáng)到達(dá)大氣壓之前到達(dá)帶顯示器的真空計(jì)在大氣壓消滅誤差指示“5”〔18頁〕。1〕10伏。步驟

?1.3×50毫米〔例如，曲別針〕1 10分鐘。如真空計(jì)工作在電離30分鐘。〔室溫〕。2 插入針桿通過標(biāo)志＜全量程＞的5秒鐘。計(jì)將指示讀值“1000毫巴”和功能“A”。調(diào)整將自動(dòng)進(jìn)展并在另一個(gè)4秒鐘后停頓。功能“A”的指示消逝。資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除34資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除3939資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除真空計(jì)清洗 統(tǒng)上的少量淀積物可通過陽極除氣去除〔除氣→見第17〔→見第24頁〕。如規(guī)管被嚴(yán)峻污染必需更換不能清洗〔→見25頁〕。清洗劑。注注不要讓任何液體進(jìn)入規(guī)管。在再次使用前讓規(guī)管保持良好的枯燥狀態(tài)。

安裝障板

在嚴(yán)峻污染的過程中為保護(hù)電極不受

用選件障板來代替篩網(wǎng)〔→28頁〕。注注留意：對(duì)污染靈敏的區(qū)域污染將加長(zhǎng)抽空時(shí)間。戴上清潔的無纖維手套和使用清潔的工具。需用工具/材料 ? 障板〔→見28頁〕鑷子桿子〔如鉛筆〕步驟 a〕 用鑷子留神地取出篩網(wǎng)。在規(guī)管開口上留神地放入障板。在中心位置用桿子將障板往下壓，直至它被阻擋住。更換障板 污染的狀況下，可簡(jiǎn)潔地更換障板。注注留意：對(duì)污染靈敏的區(qū)域污染將加長(zhǎng)抽空時(shí)間。戴上清潔的無纖維手套和使用清潔的工具。需用工具/材料 ? 障板〔→見第28頁〕螺絲刀，1號(hào)桿子〔如鉛筆〕步驟 a〕 用螺絲刀留神地取出障板。在規(guī)管開口上留神地放入的障板。在中心位置用桿子將障板往下壓，直至它被阻擋住。更換規(guī)管 以下狀況必需更換規(guī)管：規(guī)管被嚴(yán)峻污染時(shí)規(guī)管損壞時(shí)，例如燈絲已斷。需用工具/材料步驟

L型六角板手，2.5毫米更換用規(guī)管〔→見第28頁〕a〕 取下規(guī)管〔→見第26頁〕b〕 從損壞的規(guī)管上取下電子學(xué)單

10頁〕c〕 調(diào)整真空計(jì)〔→21頁〕。5.7故障查找問題可能緣由解決方法測(cè)量訊號(hào)＜0.2伏連接電纜損壞或檢查連接電纜未插好測(cè)量訊號(hào)始終＜0.29無電源電壓on伏真空計(jì)在不確定的offon條件下〔復(fù)位〕測(cè)量訊號(hào)＜0.3伏〔=8〕熱陰極計(jì)誤差〔規(guī)管故障〕更換規(guī)管〔→25頁〕測(cè)量訊號(hào)＜0.5伏〔=9〕皮拉尼計(jì)誤差〔規(guī)管故障〕更換規(guī)管〔→25頁〕測(cè)量訊號(hào)＜0.5伏電子學(xué)單元未正確檢查連接安裝在規(guī)管上內(nèi)部數(shù)據(jù)連接不工作off，5秒鐘on更換電子學(xué)單元off，5秒鐘后再on，可能會(huì)有所助益。拆卸危急留意：污染的部件危急留意：污染的部件污染的部件可損害您的安康。施處理這些部件。注留意：真空元件灰塵與損傷將影響真空元件的功能取拿真空元件時(shí)實(shí)行適當(dāng)措施確保清潔和防止損傷步驟 1 將真空系統(tǒng)放空。2 將真空計(jì)退出運(yùn)行。3 拔下連接電纜插頭。從真空系統(tǒng)中卸下真空計(jì)。蓋上保護(hù)蓋。資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除資料內(nèi)容僅供您學(xué)習(xí)參考，如有不當(dāng)之處，請(qǐng)聯(lián)系改正或者刪除產(chǎn)品返修警告警告留意：發(fā)送已污染的產(chǎn)品LeyboldInficon返修應(yīng)無危害性物質(zhì)〔例如：放射性、毒性、腐蝕性或微生物〕。遵守有關(guān)國(guó)家和公司的規(guī)定，和附一份完整的污染申報(bào)表〔→見35頁〕無完整的污染申報(bào)表的產(chǎn)品將返回發(fā)送者。附件24/RS232C線延長(zhǎng)件，100毫米COMBIVACIT23，掌握器-另一端未規(guī)定，10米CF-R超密封圈的夾環(huán)

〔12106〕按要求〔12706〕1638016