微納米及其加工技術(shù)課件

微納米及其加工技術(shù)武漢理工大學(xué)盛步云教授、博導(dǎo)中職國培機(jī)械制造與控制專業(yè)微納米及其加工技術(shù)武漢理工大學(xué)盛步云教授、博導(dǎo)11微機(jī)械系統(tǒng)及其加工稱謂：美國：微型電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）

日本：微機(jī)器

歐洲：微系統(tǒng)按尺寸分類：微小型機(jī)械：1～10mm微機(jī)械：1μm～1mm納米機(jī)械：1nm～1μm現(xiàn)代微機(jī)械加工的特征：高寬比達(dá)到幾十以上幾個<=W<=幾十個微米幾十<=H<=幾百個微米2.具有集光、機(jī)、電性能于一體的生產(chǎn)器件的潛力1微機(jī)械系統(tǒng)及其加工稱謂：按尺寸分類：現(xiàn)代微機(jī)械加2微機(jī)械的概況--幾種典型產(chǎn)品（1）日本豐田公司早已造出長4．8毫米的4輪微型汽車美國斯坦福研究所的微觀“人造肌肉”則可利用“撲打”的方法，帶動微型飛機(jī)飛行

美國林肯實驗室的燃?xì)廨啓C(jī)只有鈕扣般大小，可產(chǎn)生0．64公斤推力麻省理工學(xué)院的噴氣式發(fā)動機(jī)，直徑只有1厘米，推力為13克，可帶動50克重的微型飛機(jī)以300公里時速飛行

德國的微型直升機(jī)有400毫克重，發(fā)動機(jī)直徑1—2毫米，轉(zhuǎn)速高達(dá)每分鐘4萬轉(zhuǎn)瑞典皇家理工學(xué)院設(shè)計微機(jī)械的概況--幾種典型產(chǎn)品（1）日本豐田公司早已造出長4．3微機(jī)械的概況--幾種典型產(chǎn)品（2）美國國家航空航天局準(zhǔn)備要研制重7磅（3．2公斤）的超微航天探測器廣東工業(yè)大學(xué)與日本筑波大學(xué)生物醫(yī)用微型機(jī)器人，一維二維聯(lián)動壓電陶瓷驅(qū)動器，位移50umX50um哈爾濱工業(yè)大學(xué)電致伸縮陶瓷驅(qū)動二自由度微型機(jī)器人，10umX10um,位移分辨率00.1um微機(jī)械的概況--幾種典型產(chǎn)品（2）美國國家航空航天局準(zhǔn)備要研4微機(jī)械的概況--幾種典型產(chǎn)品（3）四槳微直升機(jī)顯微鏡下齒輪機(jī)構(gòu)與螨蟲的比較微機(jī)械的概況--幾種典型產(chǎn)品（3）四槳微直升機(jī)顯微鏡下齒輪機(jī)5日本通產(chǎn)省工業(yè)技術(shù)院機(jī)械工程實驗室（MEL）于1996年開發(fā)了世界上第一臺微型化的機(jī)床——微型車床，長32、寬25mm、高30.5mm，重量為100g日本通產(chǎn)省工業(yè)技術(shù)院機(jī)械工程實驗室（MEL）于1996年開發(fā)6微機(jī)械材料與微型構(gòu)件硅體材料：單晶硅、多晶硅、二氧化硅、炭化陶瓷、石英、金剛石、記憶合金、壓電功能材料：電致伸縮材料、形狀記憶材料、永磁材料、受熱變相的凝膠材料微機(jī)械材料與微型構(gòu)件硅體材料：單晶硅、多晶硅、二氧化硅、炭化7微機(jī)械的應(yīng)用領(lǐng)域

微機(jī)械由于具有狹小空間內(nèi)進(jìn)行作業(yè)而又不擾亂工作環(huán)境和對象的特點，在航空航天、精密儀器、材料、生物醫(yī)療等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用潛力另外，微型機(jī)器人不久的將來可能出現(xiàn)在戰(zhàn)場上微機(jī)器人擅于管道檢查維修微組裝和微型工廠

微機(jī)械的應(yīng)用領(lǐng)域微機(jī)械由于具有狹小空間內(nèi)進(jìn)行作業(yè)而又不8微型機(jī)械在醫(yī)療領(lǐng)域的應(yīng)用脊椎援助機(jī)器人

生物細(xì)胞的典型尺寸為1～10微米；生物大分子的厚度為納米量級，長為微米量級。微加工技術(shù)制造的器件尺寸也在這范圍之內(nèi)，因而適合于操作生物細(xì)胞和生物大分子。另外，臨床分析化驗和基因分析遺傳診斷所需要的各種微泵、微閥、微攝子、微溝槽、微器皿和微流量計都可用MEMS技術(shù)制造。微型機(jī)械在醫(yī)療領(lǐng)域的應(yīng)用脊椎援助機(jī)器人生物細(xì)胞的典型尺寸為9微型機(jī)械在航空航天領(lǐng)域的應(yīng)用

MEMS在導(dǎo)航、飛行器設(shè)計、微型衛(wèi)星和軍事國防等方面都有重要應(yīng)用。

圖為一架由EPSON制造的微型直升機(jī)。雖然體積極小，但內(nèi)置了攝像頭。由超薄的超音速馬達(dá)提供動力，最大可負(fù)重17克。

微型機(jī)械在航空航天領(lǐng)域的應(yīng)用MEMS在導(dǎo)航、飛行器設(shè)計10便攜式工廠

便攜式工廠11微機(jī)械的一般結(jié)構(gòu)

典型的MEMS系統(tǒng)

傳感器信號處理執(zhí)行器外部信息微傳感器微執(zhí)行器微型構(gòu)件

微機(jī)械光學(xué)器件真空微電子器件

電力電子器件

信號處理的集成電路微機(jī)械的一般結(jié)構(gòu)典型的MEMS系統(tǒng)傳感信號執(zhí)行外部微傳感12微機(jī)械的設(shè)計方法--新的設(shè)計概念（1）

開發(fā)微機(jī)械必須建立新的設(shè)計概念：盡量設(shè)計無摩擦結(jié)構(gòu)，不出現(xiàn)旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，因為所有的旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)都有摩擦力（因為微機(jī)械尺寸很小，摩擦力超過了其它的力，控制了系統(tǒng)的運(yùn)動。）在我們身邊有很多毫米級的昆蟲，它們是開發(fā)基于昆蟲模型機(jī)械的基礎(chǔ)。微機(jī)械的設(shè)計方法--新的設(shè)計概念（1）開發(fā)微機(jī)械必須建立新13微機(jī)械的設(shè)計方法--新的設(shè)計概念（2）

開發(fā)微機(jī)械必須建立新的設(shè)計概念：我們學(xué)習(xí)昆蟲的知識對我們研究微型機(jī)械大有好處。昆蟲有很多有趣的特征，比如：外部骨骼、彈性關(guān)節(jié)、伸縮肌肉等。這些特點為我們設(shè)計微機(jī)械提供了基礎(chǔ)。（昆蟲只有104－106個神經(jīng)細(xì)胞，它的運(yùn)動是簡單的機(jī)械運(yùn)動，如往復(fù)運(yùn)動。但是為什么這些運(yùn)動看上去非常協(xié)調(diào)、靈活，這就是我們研制基于昆蟲模型機(jī)械的原因。）微機(jī)械的設(shè)計方法--新的設(shè)計概念（2）開發(fā)微機(jī)械必須建立新14微機(jī)械的設(shè)計方法--動力問題

微機(jī)械的動力問題

在微機(jī)械領(lǐng)域，由于尺寸及重量的限制，傳統(tǒng)的驅(qū)動器基本上都無法工作。目前，已經(jīng)提出的幾種典型方案如下：

形狀記憶合金（SMA）微驅(qū)動器DNA驅(qū)動超聲馬達(dá)（USM）驅(qū)動

微機(jī)械的設(shè)計方法--動力問題微機(jī)械的動力問題15形狀記憶合金（SMA）微驅(qū)動器原理：利用合金的相變(熱彈性馬氏體相變)來進(jìn)行能量轉(zhuǎn)換的，它可直接實現(xiàn)各種直線運(yùn)動或曲線運(yùn)動軌跡，而不需任何機(jī)械傳動裝置。優(yōu)點：1.形狀記憶合金驅(qū)動器可做成非常簡單的形式2.形狀記憶合金制作的驅(qū)動器便于實現(xiàn)獨立控制3.具有傳感功能4.所需的電源電壓較低，易與控制電路用的電源一致以簡化系統(tǒng)5.工作時不存在外摩擦，無任何噪聲，不會產(chǎn)生磨粒缺點：效率較低、疲勞壽命較短

微機(jī)械的設(shè)計方法--

SMA形狀記憶合金（SMA）微驅(qū)動器微機(jī)械的設(shè)計方法--SMA16DNA驅(qū)動原理：單股的DNA鏈?zhǔn)巧熘钡?，但是互補(bǔ)的DNA遇到一起，就會形成雙螺旋結(jié)構(gòu)，因此單股的DNA就會縮短。優(yōu)點：幾乎不需要我們另外提供任何能量，它的動力都是自然界自身所提供的絕對純凈的能源。缺點：適用范圍有限，只能在液體中工作。微機(jī)械的設(shè)計方法--

DNA驅(qū)動DNA驅(qū)動微機(jī)械的設(shè)計方法--DNA驅(qū)動17超聲馬達(dá)驅(qū)動原理：利用壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)將電能轉(zhuǎn)換成超聲波范圍內(nèi)的機(jī)械振動（頻率≥20kHz）來獲得驅(qū)動力，通過摩擦耦合將驅(qū)動力轉(zhuǎn)換成轉(zhuǎn)子或滑塊的運(yùn)動。優(yōu)點：1.不受磁場的干擾、不產(chǎn)生電磁波2.能量密度大,比電磁馬達(dá)大5～10倍

3.結(jié)構(gòu)緊湊

4.結(jié)構(gòu)形式多樣化

5.制動和響應(yīng)快

，控制性能好

6.運(yùn)行無噪音

缺點：1.由于靠摩擦力驅(qū)動，存在磨損問題，因此工作壽命較短2.高頻振動引起溫度升高，影響壓電陶瓷工作的穩(wěn)定性

微機(jī)械的設(shè)計方法--超聲馬達(dá)驅(qū)動（USM）超聲馬達(dá)驅(qū)動微機(jī)械的設(shè)計方法--超聲馬達(dá)驅(qū)動（USM）182納米技術(shù)及其應(yīng)用

2納米技術(shù)及其應(yīng)用

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內(nèi)容提要納米技術(shù)的概念納米科技的誕生和發(fā)展納米技術(shù)在世界各國的發(fā)展納米技術(shù)在各行業(yè)的應(yīng)用納米技術(shù)的發(fā)展趨勢內(nèi)容提要納米技術(shù)的概念20納米技術(shù)的概念納米（nano-meter）是一個長度單位，1nm為10的負(fù)6次方米。納米科技是研究在1納米至100納米尺度范圍內(nèi)物質(zhì)構(gòu)造的科技，通過直接操作和安排原子、分子來創(chuàng)造新的物質(zhì)。它是現(xiàn)代物理和先進(jìn)工程技術(shù)（計算機(jī)、微電子和掃描隧道顯微鏡等技術(shù)）結(jié)合的產(chǎn)物。納米技術(shù)的概念納米（nano-meter）是一個長度單位，121左圖所示花粉是納米級的粒子下圖所示的病毒也是納米級的粒子，30-100nm左圖所示花粉是納米級的粒子下圖所示的病毒也是納米級的粒子，322納米繪畫這是中國科學(xué)院化學(xué)所的科技人員利用納米技術(shù)在石墨表面利用搬遷碳原子技術(shù)繪制出的世界上最小的中國地圖納米繪畫這是中國科學(xué)院化學(xué)所的科技人員利用納米技術(shù)在石23納米科技的誕生和發(fā)展1959年，物理學(xué)家、諾貝爾獎獲得者理查德、費(fèi)曼預(yù)言，人類可以用小的機(jī)器制作更小的機(jī)器，最后將根據(jù)人類意愿，逐個地排列原子，制造產(chǎn)品，這是關(guān)于納米技術(shù)最早的夢想。1982年，科學(xué)家發(fā)明研究納米的重要工具――掃描隧道顯微鏡，為我們揭示一個可見的原子、分子世界，對納米科技發(fā)展產(chǎn)生了積極的促進(jìn)作用。1991年，碳納米管被人類發(fā)現(xiàn)，它的質(zhì)量是相同體積鋼的六分之一，強(qiáng)度卻是鋼的１０倍，成為納米技術(shù)研究的熱點。1997年，美國科學(xué)家首次成功地用單電子移動單電子。20世紀(jì)未21世紀(jì)初，納米技術(shù)逐步走向市場。

納米科技的誕生和發(fā)展1959年，物理學(xué)家、諾貝爾獎獲得者理查24納米技術(shù)在各國的發(fā)展美國：美國總統(tǒng)布什2003.12.3日簽署了《21世紀(jì)納米技術(shù)研究開發(fā)法案》，批準(zhǔn)聯(lián)邦政府在從2005財政年度開始的4年中共投入約37億美元，用于促進(jìn)納米技術(shù)的研究開發(fā)；到2010年，80萬納米科技人才,GDP1萬億美元。日本：政府和一會做出決定：發(fā)發(fā)展納米技術(shù)作為21世紀(jì)前20年的立國之本。德國：納米技術(shù)是21世紀(jì)高科技的制高點。2000年布署了跨部門的六大中心,發(fā)展納米技術(shù)。韓國、瑞典、印度……納米技術(shù)在各國的發(fā)展美國：美國總統(tǒng)布什2003.12.3日25納米技術(shù)的應(yīng)用納米技術(shù)應(yīng)用的領(lǐng)域

納米生物醫(yī)學(xué)納米電子學(xué)、納米材料學(xué)、納米機(jī)械學(xué)、納米化學(xué)其他方面……納米技術(shù)的應(yīng)用納米技術(shù)應(yīng)用的領(lǐng)域26納米生物學(xué)

納米生物學(xué)：是從微觀的角度來觀察生命現(xiàn)象、并以對分子的操縱和改性為目標(biāo)的?？梢岳眉{米加工技術(shù)，按照分子設(shè)計的方法合成、復(fù)制成各種用途的生命零件。

DNA開關(guān)納米生物學(xué)納米生物學(xué)：是從微觀的角度來觀察生命現(xiàn)象、并27納米醫(yī)學(xué)的應(yīng)用——納米機(jī)器人返回

研究納米技術(shù)在生命醫(yī)學(xué)上的應(yīng)用，可以在納米尺度上了解生物大分子的精細(xì)結(jié)構(gòu)及其與功能的關(guān)系，獲取生命信息。

納米醫(yī)學(xué)的應(yīng)用——納米機(jī)器人返回研究納米技術(shù)在生命醫(yī)學(xué)28納米電子學(xué)大規(guī)模集成電路的制造已經(jīng)進(jìn)入了微米和亞微米的量級。在納米尺度上，由于電子的波動性質(zhì)而呈現(xiàn)各種量子效應(yīng)，使得電子器件已無法按照通常的要求進(jìn)行工作。納米電子學(xué)正是面對這種挑戰(zhàn)而誕生的。分子記憶電路納米電子學(xué)大規(guī)模集成電路的制造已經(jīng)進(jìn)入了微米和亞微米29納米材料學(xué)原理：當(dāng)材料的顆粒縮小到只有幾納米到幾十納米時，由于顆粒表面相對活躍的原子數(shù)量與顆粒內(nèi)部結(jié)構(gòu)穩(wěn)定的原子數(shù)量的比例大大增加，使得材料的性質(zhì)發(fā)生了不穩(wěn)定的變化。碳納米管碳納米管韌性極高，具有金屬和半導(dǎo)體性。強(qiáng)度是鋼的100倍，重量是鋼的1/6。納米材料學(xué)原理：當(dāng)材料的顆粒縮小到只有幾納米到幾十納米時，30納米材料用途：納米級印刷電路的材料納米自潔玻璃納米固體燃料納米隱身飛機(jī)返回納米材料特點：熔點顯著降低：金的常規(guī)熔點為1064℃，當(dāng)顆粒尺寸10納米尺寸時，則降低27℃，2納米尺寸時的熔點僅為327℃左右力學(xué)性能：用納米材料制成的產(chǎn)品其強(qiáng)度、柔韌度、延展性都十分優(yōu)越光學(xué)、磁學(xué)性能都發(fā)生了改變納米材料用途：納米級印刷電路的材料返回納米材料特點：熔點顯31納米機(jī)械學(xué)機(jī)械加工的方法是用車、磨、銑、刨、鉆等機(jī)床把料材加工成各種需要的工件。納米制造技術(shù)是由相反的方向，直接由原子、分子來完整地構(gòu)造器件納米管光電檢查儀器納米機(jī)械學(xué)機(jī)械加工的方法是用車、磨、銑、刨、鉆等機(jī)床把料材加32納米技術(shù)在其他方面的應(yīng)用軍事方面人們的生活方面環(huán)境方面等等……納米技術(shù)在其他方面的應(yīng)用軍事方面33

34納米技術(shù)的發(fā)展趨勢納米科技的誕生使人類改造自然的能力直接延伸到分子和原子?？茖W(xué)家們認(rèn)為，納米科技將開發(fā)物質(zhì)潛在的信息和結(jié)構(gòu)潛力，使單位體積物質(zhì)儲存和處理信息的能力提高百萬倍以上。這一作用不亞于20世紀(jì)三、四十年代對核能的開發(fā)?？梢院敛豢鋸埖卣f，納米科技必將雄踞于21世紀(jì)，對人類社會產(chǎn)生重大而深遠(yuǎn)的影響納米技術(shù)的發(fā)展趨勢納米科技的誕生使人類改造自然的能力直接延353隧道掃描技術(shù)

在微加工中的應(yīng)用3隧道掃描技術(shù)

在微加工中的應(yīng)用36掃描隧道顯微鏡的工作原理什么是掃描隧道顯微鏡掃描隧道顯微鏡的特點掃描隧道顯微鏡的介紹掃描隧道什么是掃描隧道掃描隧道顯微鏡的介紹37隧道掃描技術(shù)原理圖隧道掃描技術(shù)原理圖38微納米及其加工技術(shù)ppt課件39隧道掃描技術(shù)觀察到的金剛石隧道掃描技術(shù)觀察到的金剛石40電子隧道掃描技術(shù)觀察到的硅表面電子隧道掃描技術(shù)觀察到的硅表面41光纖表面結(jié)構(gòu)隧道掃描光纖表面結(jié)構(gòu)隧道掃描42由STM技術(shù)引出的納米技術(shù)在化纖制品和紡織品中添加納米微?？梢韵o電，除味殺菌冰箱，洗衣機(jī)用了納米材料可以抗菌玻璃和瓷磚表面涂上納米薄層后產(chǎn)生了自潔的功能由STM技術(shù)引出的納米技術(shù)在化纖制品和紡織品中添加納米微?？?3原子操縱STM在微加工中的應(yīng)用由于STM中針尖和樣品表面的距離非常近，當(dāng)在兩者之間施加脈沖電壓時，將在針尖和樣品的間隙內(nèi)生成電場。樣品表面的原子在強(qiáng)電場的作用下，將被吸附到針尖端部，在表面層上只留下空穴;同樣，針尖上的原子物質(zhì)也可以轉(zhuǎn)移到樣品表面層上，從而實現(xiàn)了針尖與樣品之間物質(zhì)的交換。STM進(jìn)行納米加工時，在針尖微位移驅(qū)動器上施加一個電壓脈沖.電壓的突增使得隧道電流和針尖與樣品表面之間的電場強(qiáng)度迅速增大。根據(jù)電場梯度理論，針尖頂端的電場為最強(qiáng)，則針尖周圍的物質(zhì)在強(qiáng)電場的作用下，向針尖方向遷移。由于脈沖電壓頻率遠(yuǎn)大于反饋電路工作頻率，反饋電路對這一迅速增大的隧道電流不能及時地做出反應(yīng)，電場遷移使得針尖和樣品間距縮小，間距的縮小又使得電場進(jìn)一步加強(qiáng)，這種正反饋最終導(dǎo)致了針尖與樣品表面之間發(fā)生機(jī)械接觸。此時，間隙阻抗減到最小。此后，反饋電路動作，針尖驅(qū)動器使得針尖后退，則在樣品表面留下機(jī)械接觸所造成的表面層的變化表面刻寫原子操縱STM在微加工中的應(yīng)用STM進(jìn)行納米加工時，在針尖微44Cantilevers

siliconandsilicon-nitride

SEMimagesofConicalTipSEMimagesofBeamtypecantilever

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SEMimagesofPyramidalTipCantileverssiliconandsilico454光刻技術(shù)4光刻技術(shù)46光刻技術(shù)及其背景光刻技術(shù)的工藝過程先進(jìn)光刻技術(shù)及發(fā)展目錄光刻技術(shù)及其背景目錄47光刻技術(shù)及其背景光刻技術(shù)

光刻是一種圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)，將光刻版上的圖形轉(zhuǎn)移到涂有光敏材料，即光刻膠的硅片上。

技嘉CPU世界首款光刻筆記本一次性光刻版防偽標(biāo)

光刻技術(shù)及其背景光刻技術(shù)技嘉CPU世界首款光刻48一摩爾定律每3-4年芯片集成度翻兩番，工藝線寬約縮小30%二芯片集成工藝的主要指標(biāo)1．芯片上所集成的元器件密度（晶體管數(shù)/平方厘米）2．最小線寬（或稱特征尺寸）兩個晶體管之間的距離特征尺寸以每三年遞減30%，所集成的器件密度（晶體管數(shù)/平方厘米）以每三年遞增80%。到2010年，最小線寬可望達(dá)到0.07微米。三

芯片集成工藝的技術(shù)手段——光刻技術(shù)則從1μm以上發(fā)展到當(dāng)今的0.25μm大規(guī)模生產(chǎn)及0.1-0.13μm研發(fā)水平。光刻技術(shù)及其背景一摩爾定律光刻技術(shù)及其背景49微電子工業(yè)與光刻技術(shù)的發(fā)明和發(fā)展是分不開的現(xiàn)代光刻技術(shù)是與微電子工業(yè)用的光致抗腐蝕劑的開發(fā)和研究聯(lián)系在一起的光刻技術(shù)得到了廣泛應(yīng)用和迅猛發(fā)展光刻技術(shù)及其背景光刻技術(shù)及其背景50光刻技術(shù)的工藝過程光刻技術(shù)一般由以下幾個工藝過程構(gòu)成：

光刻技術(shù)的工藝過程光刻技術(shù)一般由以下幾個工藝過程構(gòu)成：51光刻技術(shù)一般由以下幾個工藝過程構(gòu)成：準(zhǔn)備工藝：原圖制作

按照產(chǎn)品圖紙的技術(shù)要求，采用CAD等技術(shù)對加工圖案進(jìn)行圖形設(shè)計，并按工藝要求生成圖形加工NC文件。光刻制母板

通過數(shù)控繪圖機(jī)，利用激光光源按NC程序直接對照相底片爆關(guān)制作原圖，為提高制版精度，常以單色綠光為（λ=546nm）做透射光源對原圖進(jìn)行縮版，制成母版。

光刻技術(shù)的工藝過程光刻技術(shù)一般由以下幾個工藝過程構(gòu)成：光刻技術(shù)的工藝過程52光刻技術(shù)一般由以下幾個工藝過程構(gòu)成：預(yù)處理基底（多為硅片）或被加工材料表面

通過脫脂、拋光、酸洗、水洗等方法對被加工表面進(jìn)行清潔，使其干燥清潔，以利于光刻膠與硅片表面有良好的粘著力。涂覆光刻膠層

在待光刻的硅片表面均勻涂覆一層粘著性好，厚度適當(dāng)?shù)墓饪棠z。光刻技術(shù)的工藝過程光刻技術(shù)一般由以下幾個工藝過程構(gòu)成：光刻技術(shù)的工藝過程53光刻技術(shù)一般由以下幾個工藝過程構(gòu)成：前烘

通過前烘使光刻膠干燥，以增加硅膜與膠片表面的粘附性和膠膜的耐磨性，同時使爆光時能充分的發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)。爆光

在涂好光刻膠的硅片表面上覆蓋掩膜，或?qū)⒀谀ぶ糜诠庠磁c光刻膠之間，利用紫外線光束等透過掩膜等對光刻膠繼續(xù)選擇性照射。在受到光照的地方，光刻膠發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，從而改變了感光部分的膠的性質(zhì)。爆光時準(zhǔn)確的定位和嚴(yán)格的控制爆光強(qiáng)度和時間是其關(guān)鍵。

光刻技術(shù)的工藝過程光刻技術(shù)一般由以下幾個工藝過程構(gòu)成：光刻技術(shù)的工藝過程54光刻技術(shù)一般由以下幾個工藝過程構(gòu)成：顯影及檢查

顯影的目的在于使爆過光的硅片表面上的膠膜呈現(xiàn)與掩膜相同（正性光刻膠）或相反（負(fù)性光刻膠）的圖形。為保證質(zhì)量，顯影后的硅片要進(jìn)行嚴(yán)格檢查。堅膜

通過堅膜使膠膜和硅片之間緊密粘附，