真空知識(shí)培訓(xùn)課件

真空常識(shí)真空常識(shí)1真空度量常用真空單位:帕;毫米汞柱;乇;毫巴相互關(guān)系1大氣壓=760毫米汞柱=1*105帕=1巴1毫米汞柱=1乇(torr)=133帕1毫巴(mbar)=100帕(Pa)1巴(bar)=1000mbar真空區(qū)域劃分

名稱壓強(qiáng)范圍(mbar)粗真空1000—1.33低真空1.33—1.33*10-3高真空1.33*10-3—1.33*10-8超高真空1.33*10-8—1.33*10-12極高真空<1.33*10-12真空度量常用真空單位:帕;毫米汞柱;乇;2真空元件及符號(hào)旋片真空泵羅茨泵擴(kuò)散泵所用泵液?jiǎn)螛O用單環(huán)雙環(huán)為多極單極用單環(huán)雙環(huán)為多極真空泵(不指明類型)閥門(不指明類型)插板閥球閥蝶閥手動(dòng)閥(可與結(jié)構(gòu)符號(hào)合并)磁動(dòng)閥(可與結(jié)構(gòu)符號(hào)合并)放氣閥擋板(不指明類型)擋板溫度帶接頭的管道交叉管路(不連接)波紋管道橡膠管道真空表(不指明類型)真空計(jì)熱偶規(guī)管真空表液位壓力計(jì)分真空計(jì)熱陰極電離規(guī)真空元件及符號(hào)旋片真空泵羅茨泵擴(kuò)散泵所用單極用單環(huán)單極用單環(huán)3理想氣體基本定律一定質(zhì)量的氣體,如果其溫度維持不變,氣體的壓力和體積的乘積為常數(shù).

P1V1=P2V2(M1=M2&T1=T2)一定質(zhì)量的氣體,如果維持其壓力不變,氣體的體積與其絕對(duì)溫度成正比V1/V2=T1/T2(T為絕對(duì)溫度(K),T=T°C+273.P1=P2,M1=M2)3)一定質(zhì)量的氣體,如果維持其體積不變,氣體的壓力與其絕對(duì)溫度成正比P1/P2=T1/T2(T為絕對(duì)溫度(K),T=T°C+273.V1=V2M1=M2)4)

相互不起化學(xué)作用的混合氣體總壓力等于各氣體分壓力之和

P=P1+P2+P3+…..Pn理想氣體基本定律一定質(zhì)量的氣體,如果其溫度維持不變,氣體的壓4管道流導(dǎo)及應(yīng)用一,氣體流量,流導(dǎo)基本公式:流量:單位時(shí)間內(nèi)通過給定截面的氣體量:Q=PV/TP—壓力(Pa)V—體積(L)T—時(shí)間(S)

流阻:管道兩端的壓力差與通過管道的流量之比：W=（P1-P2)/QQ---流量(Pa*L/S)

流導(dǎo):氣體沿管道流動(dòng)的能力,即流阻的倒數(shù):U=1/W=Q/(P1-P2)二,影響流導(dǎo)的因素:管道長(zhǎng)度:管道越長(zhǎng),管導(dǎo)越小.管道直徑:一般情況,直徑越小,管導(dǎo)越小.管道形狀:彎曲越多,管導(dǎo)越小.氣體種類氣壓三,應(yīng)用:在真空系統(tǒng)中,管道要粗,短,直.(但要注意油蒸氣返流和返爬)

管道流導(dǎo)及應(yīng)用一,氣體流量,流導(dǎo)基本公式:5真空泵機(jī)械泵一,油封式旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵進(jìn)氣口泵油旋片排氣腔轉(zhuǎn)子進(jìn)氣腔雙級(jí)泵泵體排氣閥片旋片壓緊彈簧圖一排氣口圖二圖三圖四工作原理:當(dāng)轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn),旋片緊貼泵腔內(nèi)壁(在彈簧壓緊力和離心力共同作用下)把泵腔分隔成進(jìn)氣和排氣兩部分,在開始進(jìn)氣(如圖一)隨著旋片旋轉(zhuǎn),進(jìn)氣腔體積容積不斷擴(kuò)大,吸入氣體.在圖二時(shí),容積達(dá)到最大隨著旋片繼續(xù)旋轉(zhuǎn),氣體被壓縮,達(dá)到一定壓力,推開排氣閥片(如圖三)排出氣體到大氣中.泵油作用:1)防止大氣從排氣口進(jìn)入泵腔2)通過油孔,排氣閥和泵體間隙進(jìn)入泵腔,使蚌腔內(nèi)所有運(yùn)動(dòng)表面被油覆蓋(如旋片和泵腔的接觸面)形成吸氣腔與排氣腔之間的密封.3)油還充滿了泵腔內(nèi)的一切有害空間,以消除它們對(duì)極限真空度的影響.雙極泵作用是當(dāng)?shù)谝患?jí)經(jīng)排氣腔壓縮的氣體不能推開排氣閥時(shí),氣體經(jīng)第二級(jí)再次壓縮從而推開排氣閥排出,因而雙級(jí)泵比單級(jí)的極限真空度要高.真空泵6旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵常見弊病,產(chǎn)生原因和解決辦法

弊病真空度低啟動(dòng)困難轉(zhuǎn)動(dòng)困難或卡死泵溫過高噴油漏油

抽速降低1)油量不足2)油臟,泵油牌號(hào)不對(duì),混油3)漏氣4)旋片彈簧折斷5)泵內(nèi)零件磨損6)進(jìn)氣口濾網(wǎng)被堵7)排氣閥片損壞,密封不好.8)滲氣閥密封圈損壞或沒擰緊1)油溫過低2)電機(jī)斷一相電源3)油以變質(zhì)4)停泵后泵腔未放氣5)泵內(nèi)潤(rùn)滑不良1)油嚴(yán)重皂化2)皮帶過緊或過松3)泵內(nèi)落入異物4)旋片彈簧損壞1)異物落入泵內(nèi)2)未開冷卻水或冷卻效果不好3)吸入氣體溫度過高4)裝配不當(dāng),導(dǎo)致單面磨損5)潤(rùn)滑不良或油變質(zhì)1)油量過多2)突然暴露大氣3)密封件損壞或沒有壓平,壓緊1)過濾網(wǎng)堵塞2)泵轉(zhuǎn)速過低3)系統(tǒng)管道過長(zhǎng)過細(xì)1)加油到油標(biāo)中心2)換符合牌號(hào)的油3)檢修密封圈4)拆泵,更換彈簧5)檢修磨損件6)清潔濾網(wǎng)7)修換閥門片8)換墊片,擰緊滲氣閥1)加溫油或用手盤皮帶幾圈2)檢修電源3)換油4)停泵注意放空5)調(diào)節(jié)油路1)換油2)調(diào)整電機(jī)位置3)拆泵檢修4)拆泵檢修1)拆泵檢修2)加大冷卻3)冷卻氣體4)拆泵檢修5)檢修潤(rùn)滑系統(tǒng)或換油1)放出多余油2)開泵要斷續(xù)啟動(dòng)電機(jī),應(yīng)慢慢打開系統(tǒng)閥門3)檢修密封圈,螺絲壓力要均勻1)清潔過濾網(wǎng)2)調(diào)整轉(zhuǎn)速3)重新設(shè)計(jì)管道產(chǎn)生原因解決辦法旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵常見弊病,產(chǎn)生原因和解決辦法弊病7機(jī)械旋片泵的使用和維護(hù):1)泵應(yīng)安裝在清潔,干燥,平坦和通風(fēng)的地方,環(huán)境溫度一般在10--45oC,泵四周應(yīng)留適當(dāng)空地,以方便

維護(hù)和保養(yǎng).2)在每次維護(hù)保養(yǎng)或電源改造后,應(yīng)檢查電機(jī)方向是否符合要求,若不符合,應(yīng)調(diào)整三相電源任意兩相接線.3)皮帶松緊應(yīng)合適(指非直聯(lián)泵).4)在管道要安裝放空兩位三通電磁閥,真空夾或其他方式,停泵后要放入1atm平衡氣體以防止回油.5)新泵的使用有100H左右磨合期,100H后,先放盡泵油,用手轉(zhuǎn)動(dòng)泵,使泵內(nèi)部件得到過洗,再將油放掉(經(jīng)過濾后仍可用),最后,加入一定量的新油,以后,換油期可視情況而定.6)在冬季,油粘度高,泵不易啟動(dòng),,應(yīng)用手盤皮帶幾圈或?qū)⒈眉訙氐?5oC以上再開電機(jī).防止電機(jī)因長(zhǎng)時(shí)間過載而失效.7)要經(jīng)常檢查泵油油標(biāo)是否合適,泵油顏色是否正常,泵油粘度是否合適,決定是否要加油或換油8)要經(jīng)常檢查泵的運(yùn)行聲音是否正常.9)泵進(jìn)氣口過濾網(wǎng)要定期檢查清潔.10)不同種類泵油不能混合使用,在使用過程,泵溫升不能超過70oC11)在接通待抽系統(tǒng)時(shí),應(yīng)慢“打開進(jìn)氣口閥門,,以減輕泵的負(fù)荷,避免噴油及產(chǎn)生大量油霧,不要使泵在過高壓強(qiáng)下連續(xù)工作,以避免損壞電機(jī)和噴油,在因故泵的進(jìn)氣口突然暴露大氣的場(chǎng)合,應(yīng)立即關(guān)閉閥門.12)要經(jīng)常清潔泵的外表,檢查是否有漏油現(xiàn)象,有漏油應(yīng)及時(shí)維修,以維護(hù)環(huán)保13)直聯(lián)泵要經(jīng)常檢查冷卻風(fēng)扇的冷卻效果.機(jī)械旋片泵的使用和維護(hù):8二,羅茨泵:A

BCDEV0V0V0工作原理:處在封閉狀態(tài)的空間V0羅茨泵工作時(shí)利用兩個(gè)8字型轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn),被抽氣體由進(jìn)氣口進(jìn)入轉(zhuǎn)子和泵體之間,如圖B,這時(shí)一個(gè)轉(zhuǎn)子和泵體把氣體與進(jìn)氣口隔開如圖C的V0空間此空間是處于封閉狀態(tài),因此沒有壓縮和膨脹,但當(dāng)轉(zhuǎn)子峰部轉(zhuǎn)到排氣口邊緣時(shí)如圖D,由于V0部分壓力可能較之排氣口低,氣體從排氣口擴(kuò)散到V0區(qū)域,使壓力均勻,擴(kuò)散方向與轉(zhuǎn)子方向相反,當(dāng)轉(zhuǎn)子再轉(zhuǎn)時(shí)把V0處氣體壓縮到排氣口將其排出如圖E到圖D,這時(shí)轉(zhuǎn)子另一面與進(jìn)氣口相連部分則吸入氣體,轉(zhuǎn)子不斷地旋轉(zhuǎn)就不斷排出氣體,這種過程相當(dāng)于轉(zhuǎn)子空間由最小到最大,然后由最大減小到最小,,這就是羅茨泵的容積作用原理.在進(jìn)氣口壓力很低時(shí),由于轉(zhuǎn)子高轉(zhuǎn)速,碰撞在轉(zhuǎn)子表面的氣體分子被轉(zhuǎn)子攜帶到壓力較高的排氣口,再被前級(jí)泵排除,這就是羅茨泵的分子作用原理.泵體轉(zhuǎn)子開始吸氣開始封閉與排氣口氣體相互擴(kuò)散氣體壓縮排出羅茨泵的特點(diǎn):1)轉(zhuǎn)子與泵腔,裝子與轉(zhuǎn)子之間有一定間隙互不接觸,不需油潤(rùn)滑.2)在低壓力下氣體分子自由程較大,氣體漏過微小縫隙的阻力很大,因而能得到較大的壓縮比..3)需要和前級(jí)泵串聯(lián)使用.氣體通過前級(jí)泵排到大氣中4)結(jié)構(gòu)緊湊,在1*103—1Pa壓力范圍有很大抽速?gòu)浹a(bǔ)了擴(kuò)散泵和旋片泵在此范圍抽速都很小的缺陷,5)可抽可凝性氣體,6)啟動(dòng)快,很快達(dá)到極限真空,維護(hù)費(fèi)用低.7)極限真空在10-2Pa,最大允許壓差103Pa數(shù)量級(jí)二,羅茨泵:ABCDEV0V0V0工作原理:處在封閉狀態(tài)9三,擴(kuò)散泵:1)原理泵油在真空(1Pa)中加熱至沸騰(200oC)產(chǎn)生大量油蒸汽,經(jīng)導(dǎo)流管由各級(jí)噴嘴定向高速噴出.由于擴(kuò)散進(jìn)氣口附近被抽氣體分壓蒸汽流中該氣體分壓,所以被抽氣體就不斷擴(kuò)散到蒸汽流中,油蒸汽撞擊被抽氣體分子,使被抽氣體沿蒸汽流束的方向高速運(yùn)動(dòng)經(jīng)過多次碰撞,氣體分子被壓縮到低真空端,再由下幾級(jí)噴射汽流多級(jí)壓縮,最后被前級(jí)泵抽走.而油蒸汽在冷卻的泵壁上冷凝后又返回到油鍋中重新被加熱,如此循環(huán)工作影響擴(kuò)散泵性能的因素:1)擴(kuò)散泵油蒸汽返流2)氣體分子的反擴(kuò)散(氫的反擴(kuò)散最大)3)擴(kuò)散泵油的裂化分解4)清洗不干凈的真空泵,污染物質(zhì)會(huì)留在泵內(nèi)并重復(fù)循環(huán)影響泵的極限真空.提高油擴(kuò)散泵極限真空的方法:1)擴(kuò)散泵結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上的改進(jìn),加分餾,裝置改進(jìn)噴嘴,合理分配加熱功率加大鍋爐中心區(qū).以減少油裂化,返流2)選用性能好的擴(kuò)散泵油(如275#硅油)3)加水冷擋油帽,或冷卻障板,冷阱,吸附阱,鈦升華阱4)在泵啟動(dòng)和停止后的一段時(shí)間有兩個(gè)高峰值,可用閥門避開.5)四級(jí)泵代替三級(jí)泵.三,擴(kuò)散泵:1)原理影響擴(kuò)散泵性能的因素:10油擴(kuò)散泵的常見故障,產(chǎn)生原因和解決辦法:故障產(chǎn)生原因解決辦法擴(kuò)散泵不起作用1)

真空系統(tǒng)漏氣2)電爐未接通3)油溫不足4)泵出口壓強(qiáng)過高5)泵本身漏氣6)泵底燒穿1)

關(guān)閉高真空閥門,系統(tǒng)檢漏.2)檢查電爐電源是否接觸良好,電爐絲是否燒斷3)檢查電爐功率和加熱電壓是否正確.4)檢查前級(jí)管道有無漏氣,前級(jí)泵的抽速是否符合要求,工作是否正常5)檢查各連接部位及焊逢6)換泵極限真空度低1)系統(tǒng)漏氣,泵本身漏氣2)系統(tǒng)和泵不清潔3)泵油變質(zhì)4)泵冷卻不好5)泵油不足6)泵過熱1)

檢漏2)檢查,清潔3)泵清洗后換油4)檢查水流量和進(jìn)水溫度5)加硅油至規(guī)定數(shù)量(約1.5-2CM油高)6)降低加熱功率,加大冷卻水用量抽速低1)泵油加熱不足2)金屬泵泵芯安裝不正確1)檢查電爐功率和加熱電壓是否正確.2)檢查各級(jí)噴口有無傾斜,間隙是否正確返油率大1)加熱功率過大2)泵芯內(nèi)結(jié)構(gòu)不合理1)檢查加熱功率2)加擋油裝置,泵口加冷阱油擴(kuò)散泵的常見故障,產(chǎn)生原因和解決辦法:故障產(chǎn)生原因解決辦法11擴(kuò)散泵的使用和維護(hù):

1)擴(kuò)散泵是次級(jí)泵,應(yīng)待前級(jí)泵將系統(tǒng)抽至壓強(qiáng)低于擴(kuò)散泵最大反壓強(qiáng)時(shí),才能使擴(kuò)散泵升溫工作同時(shí)也避免了泵油的氧化.2)擴(kuò)散泵在加熱前必須通冷卻水,最好配備熱保護(hù)裝置.以便一旦冷卻水中斷或發(fā)生故障時(shí)關(guān)閉泵的加熱裝置3)擴(kuò)散泵的加熱功率應(yīng)符合規(guī)定.4)擴(kuò)散泵停止工作時(shí),應(yīng)先切斷電源,待嘣體溫度降至50--60oC的溫度,才可切斷循環(huán)水,關(guān)閉前置真空泵.一般擴(kuò)散泵應(yīng)保持在低真空狀態(tài).5)擴(kuò)散泵工作一段時(shí)間后,必須補(bǔ)充油或換油,在換新油之前用有機(jī)溶劑洗干凈已氧化的泵油,再電吹風(fēng)吹干或烘干,然后加入適量新油.6)擴(kuò)散泵在工作時(shí)應(yīng)嚴(yán)防大氣漏入,在因故泵內(nèi)突然漏入大氣時(shí),應(yīng)立即關(guān)閉高真空閥門和加熱電源,使硅油快速冷卻,以防硅油過度氧化.

擴(kuò)散泵的使用和維護(hù):12泵的型式與參數(shù)2X--4旋片式機(jī)械泵的型式與使用參數(shù):兩級(jí)旋片抽速(L/S)型號(hào)抽速(L/S)極限壓力(Pa)電機(jī)功率進(jìn)氣口直徑(MM)2X--226*10-20.37252X--440.55252X--881.1402X--15152.2502X--3030363擴(kuò)散泵的型式與使用參數(shù):K--100入口通徑參數(shù)名稱入口通徑100150200320400幾何抽氣速率(L/S)280800140034005400極限壓力(Pa)7*10-5臨界前級(jí)壓力(Pa)35加熱功率(KW)1.22.02.54.06.0推薦前級(jí)泵抽速48815301)

各參數(shù)系指用KS-3#油時(shí)的值泵的型式與參數(shù)2X--13型號(hào)抽氣速率極限壓力(Pa)最大允許壓差(Pa)進(jìn)氣通徑(mm)出氣通徑(mm)零流量最大壓縮比電機(jī)功率(KW)泵轉(zhuǎn)速(r/min)推薦前級(jí)泵ZJ--30305*10-28*1035040250.7529502X-4,2X-8ZJ--70706*1038050251.129502X-8,2X-15ZJ--1501506*10310080302.229502X-15,2X-30ZJ--3003005*10316010030429502X-30,2X-70ZJ--6006004*103200160357.529502X-30,2X-70ZJ---30抽氣速率30L/S羅茨泵的型式和參數(shù):型號(hào)抽氣極限壓力(Pa)最大允許壓差(Pa)進(jìn)氣通徑(mm)14真空連接與密封一,橡膠密封1)橡膠的一般特性:橡膠的體積是很不容易被壓縮的,在某一方向上受壓就在另一方向伸長(zhǎng),總體積幾乎不變因此,橡膠可以作為壓緊密封或漲緊密封.橡膠長(zhǎng)期處于壓縮狀態(tài),會(huì)發(fā)生永久變形.

A)溫度對(duì)橡膠影響:溫度對(duì)橡膠的性能影響很大,橡膠的使用溫度范圍:普通為-30oC--90oC;氟橡膠-40--250oC;丁晴橡膠為-25—150oC

B)氣體能夠通過橡膠向真空一側(cè)滲透,滲透系數(shù)在0.3—5*10-7cm3/s*cm*cm2之間(壓力差1atm,80oC)C)橡膠在真空中因蒸發(fā)等原因有一定出氣速率.

D)如果橡膠硬度大于50(HS)密封表面沒有徑向擦傷,當(dāng)壓縮量為15%時(shí),不論形狀如何,其滲漏量都小于10-7Pa*L/S2)硅橡膠:硅橡膠使用溫度-100--350oC,硬度在45—65(HS)間,氣體滲漏率較大,只能用于低真空系統(tǒng).二,金屬密封:金屬密封圈優(yōu)點(diǎn):1)放氣很少;2)耐高溫.缺點(diǎn):1)彈性差,密封力要求很大;2)重復(fù)使用性差,一般只能使用一次.3)加工精度要求高;4)有膨脹系數(shù)匹配問題(在高溫烘烤下).常用密封材料:鋁,銅,金鋁可用Al—Si(3—5%)合金,能耐400--500oC,不和水銀反應(yīng).350oC退火1H,

NaOH清洗后,1600MPa壓力壓緊銅用無氧高導(dǎo)銅,950oC燒氫,需要更大密封力;金質(zhì)軟延展性好,化學(xué)穩(wěn)定性好,可重復(fù)加工使用,密封性好,20MPa壓力壓緊真空連接與密封一,橡膠密封1)橡膠的一般特性:二,金屬密15三,動(dòng)密封:動(dòng)密封可采用:1)金屬波紋管2)液態(tài)金屬3)磁力傳動(dòng)4)磁流體密封三,動(dòng)密封:動(dòng)密封可采用:16真空閥門型號(hào),編制和型式型號(hào),編制方法基本型號(hào)123456輔助型號(hào)代表產(chǎn)品使用范圍代號(hào)意義C超高真空G高真空D低真空代表閥板結(jié)構(gòu)型式或產(chǎn)品職能類別代號(hào)意義D擋板C插板F翻板M隔膜I蝶Z錐形W微調(diào)Q充氣代表產(chǎn)品驅(qū)動(dòng)形式代號(hào)意義D電動(dòng)C磁動(dòng)Q氣動(dòng)Y液動(dòng)代表產(chǎn)品通道形式代號(hào)意義S三通式J直角式代表產(chǎn)品規(guī)格參數(shù)--公稱直徑,數(shù)字表示單位mm,帶充氣的數(shù)字前加Q代表產(chǎn)品設(shè)計(jì)序號(hào)以羅馬數(shù)字表示真空閥門型號(hào),編制和型式型號(hào),編制方法基17真空零部件表面處理一,污染物類型:1)油脂,2)水份,3)表面氧化物,4)酸,堿,鹽類物質(zhì),5)空氣塵埃和其他有機(jī)物二,表面處理基本方法:

A)去油:礦物油可用有機(jī)溶劑去油,動(dòng)植物油可由堿液去除

1)堿液去油:油脂+NaoH=甘油+肥皂(溶解于水)這叫皂化作用礦物油在堿液中能使油脂凝聚成單獨(dú)的小滴,懸浮在溶液中這叫乳化作用加熱和攪拌更能提高去油效果.

Mg,Al,ZnSn一般不能用堿液去油(腐蝕)2)有機(jī)溶劑去油:

有機(jī)溶劑汽油丙酮四氯化碳三氯乙烯去油效率45707596三氯乙烯:不燃燒,125oC以上及與水,酸,鋁接觸會(huì)分解有毒物質(zhì),蒸氣對(duì)人體有害四氯化碳:是一種巨毒物質(zhì)丙酮是一種易燃品汽油易燃易爆合成洗滌劑去油煮沸容液或超聲波清洗真空零部件表面處理一,污染物類型:1)油脂,2)水份18B)清洗實(shí)例1)鉬的清洗:(去油后)

A)去氧化層:鉻酸液(CrO3,100g+H2SO4,30ml+H2O,1000ml)浸泡5min,水沖凈,5%HcL浸2min,水沖凈2%氨水中和,水沖凈,去離子水沖凈,無水乙醇脫水,烘干B)強(qiáng)侵蝕H2SO4,100ml+HNO3,20ml80oC2)不銹鋼清洗(去油后)

HcL:HNO3:H2O=5.5:2:2.5再加2.5%尿素70oC3)鎳的清洗:

HNO3,290ml+H2SO4,150ml+H2O,60ml(強(qiáng)侵蝕)5S4)銀銅焊料清洗50%HcL70oC浸泡5min5)真空橡膠管去硫:20%NaoH煮沸1H后,清水煮兩遍6)玻璃件清洗:

K2Cr2O7飽和溶液350ml,H2SO410ml丙酮去油后70oC24H

B)清洗實(shí)例1)鉬的清洗:(去油后)19真空檢測(cè)與真空規(guī)一,真空規(guī)1)U型液體壓力計(jì)原理:由兩根支管的液面高度差H可計(jì)算出兩個(gè)支管液面上的壓力差:?P=P1-P2=ρGHρ—工作液體密度G—9.8N/KgU形真空計(jì)是一種絕對(duì)真空規(guī)制作精密U型真空計(jì)應(yīng)注意:1)用密度小的液體(如:油的靈敏度是水銀的13—15倍)2)選用較大直徑的玻璃管3)選用透光性好的薄壁玻璃管4)嚴(yán)格恒溫5)降低安裝斜度U型壓力計(jì):在光源制造中一般用于低壓汞燈,霓虹燈,高壓汞燈,金屬鹵化物燈的放電管的手工排氣系統(tǒng).真空檢測(cè)與真空規(guī)一,真空規(guī)1)U型液體壓力計(jì)原理:制作精20放電真空計(jì)原理:利用氣體放電時(shí)放電形狀和顏色與氣體壓力有關(guān)來粗略估計(jì)真空度

放電顏色與氣體壓強(qiáng)間關(guān)系放電顏色系統(tǒng)真空度(Torr)說明不發(fā)光760--100電子能量不足以使氣體激發(fā)發(fā)光和電離紫色條紋100-10氧.氮的激發(fā)發(fā)光顏色一片紫紅色5-5*10-1

氧.氮的激發(fā)發(fā)光顏色一片淡紅色5*10-1-5*10-2氧.氮的激發(fā)發(fā)光顏色淡白色略帶藍(lán)5*10-2-5*10-3系統(tǒng)內(nèi)殘存的水汽,CO2,CnHn蒸氣激發(fā)發(fā)光顏色玻璃上有局部微光5*10-3-5*10-4系統(tǒng)內(nèi)殘存的水汽,CO2,CnHn蒸氣激發(fā)發(fā)光顏色不發(fā)光,在玻壁上有熒光<5*10-4氣體分子數(shù)太少,電子和氣體分子碰撞次數(shù)太少,發(fā)光微弱放電管放電形態(tài)與氣壓關(guān)系真空度(Torr)放電形態(tài)100樹枝狀放電10絲狀放電1層狀放電1*10-1

層狀開始消失1*10-2層狀逐步消失1*10-3層狀基本消失1*10-4層狀完全消失放電真空計(jì)原理:放電顏色系統(tǒng)真空度(Torr)說明不發(fā)光7621二,熱傳導(dǎo)真空規(guī)原理:

I2R=Qr+Ql+QcQr---輻射傳熱量Ql---引線傳熱量Qc---氣體傳熱量在低氣壓下Qc與壓力P成正比可利用檢測(cè)Qc相關(guān)參數(shù)來檢測(cè)氣壓值.Qc與氣體種類有關(guān)因此,熱傳導(dǎo)真空規(guī)的靈敏度與氣體種類有關(guān).熱偶式真空規(guī):加熱絲(鉑絲)熱電偶(康銅__鎳鉻絲)熱偶規(guī)一般用定流式工作加熱絲的溫度隨氣壓變化用熱電偶測(cè)量熱絲溫度,此電動(dòng)勢(shì)驅(qū)動(dòng)顯示電路.國(guó)產(chǎn)規(guī)一般加熱電流95—150mA量程133-10-1Pa二,熱傳導(dǎo)真空規(guī)原理:熱偶式真空規(guī):加熱絲(鉑絲)熱電偶(康22電阻式真空規(guī)(熱阻規(guī)):又稱皮拉尼規(guī),這種規(guī)的熱絲溫度是隨溫度壓力而變化的,由于溫度的改變導(dǎo)致熱絲電阻變化,用測(cè)量電阻變化來測(cè)量真空度.應(yīng)用時(shí)可分為:1)定溫型(惠斯頓電橋測(cè)功率)量程1Pa---10-1Pa.2)定電壓型(測(cè)電流)3)定電流型(測(cè)電壓)量程1Pa---10-2Pa改進(jìn):用單晶半導(dǎo)體的熱傳導(dǎo)規(guī)量程擴(kuò)展至1atm---10-3Pa電離真空規(guī):原理:陰極(F)零電位,柵極(G)正電位,收集極(C)負(fù)電位,從陰極發(fā)射的電子在柵極電場(chǎng)作用下加速獲得足以使氣體電離的能量,當(dāng)這些電子與氣體分子相撞,氣體分子被電離成電子和離子,正離子被收集極所收集,形成離子電流Ii,在壓強(qiáng)低于10-1PA時(shí),離子電流Ii陰極電流Ie及管內(nèi)殘余氣體的壓強(qiáng)P成正比Ii=KPIeK--靈敏度常數(shù)與氣體種類,規(guī)管結(jié)構(gòu)和各極電壓有關(guān).在恒定Ie通過測(cè)量離子電流的大小,就可間接測(cè)得真空度高低.電離真空規(guī)量程:10-1Pa--10-5Pa收集極柵極陰極電阻式真空規(guī)(熱阻規(guī)):電離真空規(guī):收集極柵極陰極23真空測(cè)量?jī)x表的使用:

一,安裝方法:1)應(yīng)盡量安裝在接近測(cè)量的部位2)規(guī)管進(jìn)氣口方向應(yīng)與氣流方向垂直,避免氣流方向直對(duì)進(jìn)氣口3)根據(jù)壓強(qiáng)的高低來決定規(guī)管進(jìn)氣口在真空系統(tǒng)內(nèi)應(yīng)否伸進(jìn)或縮出:(<10-3Torr時(shí),防止管壁及系統(tǒng)放氣,規(guī)管導(dǎo)管應(yīng)伸入10mm左右,>10-3Torr時(shí),導(dǎo)管不需伸入)4)連接管道應(yīng)盡量粗而短,管道的材料放氣要小.5)根據(jù)真空度高低來選擇系統(tǒng)和連接密封方法.真空度選用規(guī)管特殊需要下選用規(guī)管粗真空760—10Torr用彈簧管真空計(jì)帶腐蝕性氣體用電容式較精密用U型汞計(jì)同時(shí)測(cè)量粗真空和低真空的寬范圍時(shí)可用:1)振膜式規(guī)2)放射能規(guī)3)電容規(guī)低真空10—10-3Torr一般用電阻式,要求不高用熱偶規(guī)僅做粗略指示,用放電管指示器較精密測(cè)量用壓縮規(guī)與電容規(guī)在要求同時(shí)測(cè)量低,高真空時(shí),用:1)復(fù)合真空計(jì)2)高壓強(qiáng)電離規(guī)高真空10-3---10-8Torr主要用電離規(guī)二,真空儀表選用舉例真空測(cè)量?jī)x表的使用:真空度選用規(guī)管特殊需要下選用規(guī)管粗真