標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 42721-2023 電子特氣 一氧化氮》是一項國家標(biāo)準(zhǔn)，主要針對用于半導(dǎo)體制造等高技術(shù)領(lǐng)域的一氧化氮氣體提出了具體要求。該標(biāo)準(zhǔn)涵蓋了從生產(chǎn)到使用的多個環(huán)節(jié)，確保了一氧化氮作為特種電子氣體的質(zhì)量與安全性。

在質(zhì)量控制方面，《GB/T 42721-2023》規(guī)定了一氧化氮的純度等級及其雜質(zhì)含量的最大允許值。這些指標(biāo)對于保證最終產(chǎn)品的性能至關(guān)重要。此外，還詳細(xì)列出了檢測方法和驗收規(guī)則，包括取樣、分析測試等方面的要求，以確保測試結(jié)果準(zhǔn)確可靠。

安全使用方面，標(biāo)準(zhǔn)中包含了關(guān)于儲存條件、運輸方式以及操作過程中應(yīng)注意的安全事項等內(nèi)容。比如，在處理這種氣體時需要采取適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)措施來避免對人體健康造成危害，并且要防止與其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)引起事故。

同時，《GB/T 42721-2023》也強調(diào)了環(huán)境保護(hù)的重要性，提出了一些減少環(huán)境污染的具體措施。這表明在追求經(jīng)濟效益的同時，也不可忽視對自然環(huán)境的影響。


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  • 正在執(zhí)行有效
  • 2023-08-06 頒布
  • 2024-03-01 實施
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文檔簡介

ICS7110020

CCSG.86.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T42721—2023

電子特氣一氧化氮

Electronicspecialtygas—Nitricoxide

2023-08-06發(fā)布2024-03-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T42721—2023

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位大連科利德光電子材料有限公司昊華氣體有限公司湖州市南潯區(qū)佰通標(biāo)準(zhǔn)化

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研究院中船邯鄲派瑞特種氣體股份有限公司廣東華特氣體股份有限公司蘇州金宏氣體股份有限

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公司江西華特電子化學(xué)品有限公司華測檢測認(rèn)證集團股份有限公司綠菱電子材料天津有限公司

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北京高麥克儀器科技有限公司三峽大學(xué)湖北和遠(yuǎn)氣體股份有限公司湖北京瑞氣體有限公司蘭州裕

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隆氣體股份有限公司玉門大洋天慶石化有限責(zé)任公司昊華氣體有限公司西南分公司中昊光明化工

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研究設(shè)計院有限公司上海申南特種氣體有限公司上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司大連大特氣體有

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限公司上海市計量測試技術(shù)研究院中國計量科學(xué)研究院杭州新世紀(jì)混合氣體有限公司宿州伊維特

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新材料有限公司聯(lián)雄投資上海有限公司杭氧集團股份有限公司衢州杭氧特種氣體有限公司上海

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凡偉儀器設(shè)備有限公司浙江泓芯半導(dǎo)體有限公司布魯克北京科技有限公司空氣化工產(chǎn)品中國

、、()、()

投資有限公司浙江炬和科技有限公司紹興科藝標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)咨詢有限公司沈陽中復(fù)科金壓力容器有限

、、、

公司浙江西亞特電子材料有限公司浙江東開半導(dǎo)體科技有限公司和立氣體上海有限公司昆明廣

、、、()、

瑞達(dá)特種氣體有限責(zé)任公司西南化工研究設(shè)計院有限公司

、。

本文件主要起草人施旖旎付夢月陳輝劉穎焦培培郭瓊張?zhí)鞚衫钕栌钤鹆嵘壑纹?/p>

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傅鑄紅陳艷珊金向華孫猛廖恒易茹高藝曹雪楓湯萍牛艷東李長健馬彬淇杜大艷曹小林

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方強袁有錄王小波尹愛華常俠邊魯寧陽輝汪正宏陳潔吳靚方華王昭彬于慶偉高艷秋

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郝萍王德發(fā)張體強張金波楊金山秦遠(yuǎn)望何波楊康黃輝韓一松毛玲玲吳慧明蘭鋒尚柏羊

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耿朝曦王晶李倩董碩顧大正宮兵王大為楊利錢葉超吳乾康梁永強梁成科高靜馬昌寧

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趙剛賴曉峰周鵬云

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Ⅰ

GB/T42721—2023

電子特氣一氧化氮

1范圍

本文件規(guī)定了一氧化氮的技術(shù)要求采樣試驗方法檢驗規(guī)則標(biāo)志包裝運輸貯存及安全信息

、、、、、、、

的要求

。

本文件適用于集成電路等電子工業(yè)制造中使用的電子用一氧化氮

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險貨物包裝標(biāo)志

GB190

所有部分鋼質(zhì)無縫氣瓶

GB/T5099()

氣體中微量水分的測定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣瓶顏色標(biāo)志

GB/T7144

純氮高純氮和超純氮

GB/T8979、

鋁合金無縫氣瓶

GB/T11640

壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14194

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB/T16804

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

移動式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程

TSGR0005

氣瓶安全技術(shù)規(guī)程

TSG23

氣體分析采樣導(dǎo)則

ISO19230(Gasanalysis—Samplingguidelines)

3術(shù)語和定義

本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義

。

4技術(shù)要求

一氧化氮的技術(shù)要求應(yīng)符合表的規(guī)定

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