分子蒸餾泵設備工藝原理

分子蒸餾泵設備工藝原理簡介分子蒸餾泵是真空蒸餾法中必不可少的一種設備。它具有高抽速、高真空度、高抽氣速度和低氣體污染等優(yōu)點，在石油化工、食品、醫(yī)藥等領域廣泛應用。本文將介紹分子蒸餾泵的工藝原理。工藝原理分子蒸餾泵是一種能夠達到高真空度的真空泵。其工作原理基于分子擊穿效應。具體來說，分子蒸餾泵通過電子轟擊來解離氫分子，產生氫離子和電子，并經過反復碰撞后把氣體分子排出系統。分子蒸餾泵一般有兩個分子阱。在第一個分子阱中，氫分子被離解成為氫離子和電子。后者經過多次碰撞后被吸附在粘度屏的內側。離子則繼續(xù)前進到第二個分子阱，進一步分解為更小的分子。這些分子在粘度屏的內滑動時會根據慣性和分子運動機理在屏幕外壁形成旋渦。在旋渦作用下，分子被捕捉并排除系統外。分子蒸餾泵工作時需要與其他泵組合使用，如機械泵、擴散泵等。它們的配合可以極大地降低氣體落入分子蒸餾泵中的機會，從而提高真空度。一般情況下，分子蒸餾泵的入口壓力為10-3～10-6Pa，出口壓力為10-1～10-2Pa。在醫(yī)藥、半導體等領域，更高的真空度要求可以通過組合不同種類的泵來實現。設備構造分子蒸餾泵主要由電子槍、拖曳阱、分子阱、出口法蘭和泵體等部件組成。下面將對其進行更詳細的解釋。電子槍電子槍是分子蒸餾泵中最重要的部件之一，用于發(fā)射電子以離解氫分子。它一般由斑紋電極、電子過濾器和聚束電極組成。電子槍發(fā)射的電子必須具有較高的能量（約為100eV），才能夠有效地離解氫分子。拖曳阱拖曳阱位于電子槍的下游，主要用于捕獲電子轟擊離子中的電子，避免它們對真空度造成影響。分子阱分子阱是分子蒸餾泵最核心的部件，用于捕捉直徑小于波長的分子。一般情況下，分子阱包括繞線分子阱、磁聚焦分子阱、肖特基阱和弧形分子阱等。出口法蘭出口法蘭連接分子蒸餾泵和其它真空設備，用于將排出的氣體排出設備。出口法蘭一般采用碳鋼或不銹鋼制造，并具有良好的密封性能。泵體泵體包括缸體、轉子和穩(wěn)定板等部件，主要用于將空氣排出系統。泵體一般采用鋁合金、鎂合金或不銹鋼等材料制造，并具有較好的耐腐蝕性能。應用領域分子蒸餾泵具有高真空、低污染等特點，廣泛應用于石油化工、醫(yī)藥、半導體、光電子技術、食品等領域。常見的應用場景包括原子層沉積、真空熱處理、金屬薄膜蒸鍍、涂膜儀、核磁共振等?？偨Y分子蒸餾泵是一種高真空度泵，主要工作原理是通過分子擊穿效應達到氣體排除的目的。分子蒸餾泵由電子槍、拖曳阱、分子阱、出口法蘭和泵體等部件組成。它的優(yōu)點包括高真空度、高抽氣速度和低氣體污染。分子蒸餾泵被廣泛應用于石油化工、醫(yī)藥、半導體、光電子技術、食品等領域。參考文獻J.T.Cox.MolecularPumpPrincip