每日問題異常點

日期,設(shè)備,線別,故障類別,故障內(nèi)容,故障原因,對策,結(jié)案,問題補充及反饋

3/11,上料機,TP9,品質(zhì)異常,上料機破片三枚,,廠家暫未找出對策,NG,

3/11,前清洗,TP9,動作異常,入口基板破片檢知,玻璃傳送至前清洗入口時撞到邊導(dǎo)輪使傳感器誤判,廠家已調(diào)試OK,OK,

3/11,前清洗,TP9,動作異常,基板傳送至前清洗入口傳送時，玻璃振動發(fā)出聲音,玻璃撞到入口段人機界面?zhèn)冗厡?dǎo)輪所致,廠家調(diào)整邊導(dǎo)輪后測試OK,OK,

3/11,涂布機,TP9,傳送異常,玻璃在涂布臺面上傳送導(dǎo)輪轉(zhuǎn)動，玻璃不走,中間自由輪過高,廠家調(diào)整涂布機臺面自由輪后跑片OK,OK,

3/11,顯影機,TP9,品質(zhì)異常,風(fēng)刀吹不干凈,,廠家暫未調(diào)整,NG,

3/11,后烘烤,TP9,破片,玻璃在入口傳送處破片,此玻璃上有水漬導(dǎo)致頂Pin上升時使玻璃發(fā)生破片,將玻璃取走，無塵布擦拭水漬，OK,,

3/11,下料機,TP9,程序異常,下料機玻璃藍下降過程中前面玻璃因程序誤啟動傳送至玻璃藍，導(dǎo)致玻璃藍卡板,,廠家修改軟體增加互鎖狀態(tài)后觀察OK,OK,

3/11,下料機,TP9,其它,玻璃在玻璃藍內(nèi)參差不齊,,要求廠家進一步整改,NG,

3/11,前清洗,TP11,其它,前清洗入口一水管漏水,,廠家用焊槍修復(fù),OK,

3/11,顯影機,TP11,溫度異常,顯影A槽溫度單元跳閘,實際溫度高于設(shè)定問題,廠家將設(shè)定溫度高于實際設(shè)定值，并將空氣開關(guān)重啟后OK,OK,

3/11,前清洗,TP11,溫度異常,前清洗溫度單元報警導(dǎo)致停機,但實際溫度并未超過設(shè)定溫度值,將總電源關(guān)機重啟后OK,OK,

3/11,顯影機,,其它,要求廠家將信號線包裹起來，以免發(fā)生誤電操作,,廠家暫未調(diào)整,NG,

3/12,顯影機,,其它,要求廠家將信號線包裹起來，以免發(fā)生誤電操作,,廠家答復(fù)明天會進行包裹信號線,NG,已添加OK

3/12,顯影機,TP9,品質(zhì)異常,風(fēng)刀吹不干凈,,因TP9線未跑片，廠家回復(fù)明天進行處理,NG,OK

3/12,前清洗,TP10,泄漏,管道漏水,,廠家進行修復(fù),OK,

3/12,顯影機,TP10,泄漏,顯影槽管道漏水,,廠家進行修復(fù),OK,

3/12,后烘烤,TP10,信號異常,因兩根信號線脫落導(dǎo)致無輸出信號,,廠家修復(fù)OK,OK,

3/12,上料機,TP11,動作異常,玻璃進入前清洗入口振動幅度過大,,廠家未解決,NG,

3/12,上料機,TP11,動作異常,橫移超過右極限報警,,關(guān)機重啟，原點復(fù)位后OK,OK,出現(xiàn)兩次，要求廠家處理

3/12,前清洗,TP11,卡板,風(fēng)刀處卡板,機械式傳感器位置過低且螺絲松動，誤報警,廠家調(diào)整傳感器高度后觀察OK,OK,

3/12,前清洗,TP11,品質(zhì)異常,風(fēng)刀吹不干凈,,廠家調(diào)試OK,OK,

3/12,前烘烤,TP11,動作異常,橫移搬臂整列壓力過大導(dǎo)致玻璃輕微變形,,廠家暫未處理,NG,廠家處理處理OK

3/12,前烘烤,TP11,動作異常,橫移下降逾時報警,廠家設(shè)置參數(shù)有誤,廠家修改系統(tǒng)內(nèi)部參數(shù)后OK,OK,

3/12,顯影機,TP11,其它,顯影1槽缺少兩個噴嘴，與中壓噴淋槽噴淋管堵塞導(dǎo)致噴淋不均,,廠家明天對其處理,NG,已修復(fù)OK

3/13,前清洗,TP11,動作異常,玻璃傳送至前清洗入口卡板,上料機至前清洗入口玻璃易撞到兩邊邊導(dǎo)輪，且前清洗導(dǎo)輪與上料機傳送導(dǎo)輪排布不均,廠家調(diào)整導(dǎo)輪使導(dǎo)輪利于傳送，后測試OK,OK,

3/13,前清洗,TP11,動作異常,前清洗出口基板破片檢知,出口導(dǎo)輪撞到兩邊邊導(dǎo)輪所致,廠家調(diào)整OK,OK,

3/13,上料機,TP9,其它,廠家調(diào)整兩邊導(dǎo)輪與前清洗入口處兩邊導(dǎo)輪，使兩邊導(dǎo)輪在同一水平線上，防止玻璃振動使感應(yīng)器誤報警,,廠家調(diào)整OK,OK,

3/13,前清洗,TP9,臟污,前烘烤固定點臟污,,廠家擦拭，但未測實際效果,NG,

3/14,前烘烤,TP9,溫度異常,冷卻臺CP1超溫報警,因冰水機電源未開啟導(dǎo)致無冰水進入，有流量但壓力表無壓力顯示以及冰水機出管道漏水,已通知廠商，廠商告知明天處理,NG,

3/14,前烘烤,TP9,其它,揭開加熱蓋板無警報,,要求廠商追加軟體部分，已告知廠商,NG,

3/14,前烘烤,TP9,破片,前烘烤入口處破片,原因不詳,清理碎片，觀察OK,OK,

3/14,涂布機,TP9,信號異常,Buffer玻璃藍有玻璃不傳送，涂布機傳送導(dǎo)輪轉(zhuǎn)動但不接受上游玻璃,排查為：Buffer給下游涂布機已傳輸請求信號，但涂布機沒給上游Buffer信號,但Buffer廠家與涂布機廠家協(xié)商討論此異常之所屬設(shè)備，因下游前烘烤入口處破片導(dǎo)致停機，此以上兩廠家認為信號無異常，后觀察測試及模擬信號都異常,,

3/14,涂布機,TP9,品質(zhì)異常,玻璃整面性劍影,,廠家暫未解決,NG,

3/14,涂布機,TP10,動作異常,廠家調(diào)試涂布機，導(dǎo)入PGMEA及導(dǎo)入光阻均導(dǎo)不出,抽液泵不轉(zhuǎn)動，導(dǎo)致無壓力,廠家調(diào)試及增大抽液泵壓力后OK,OK,

3/14,前烘烤,TP11,動作異常,設(shè)備內(nèi)有玻璃但此設(shè)備不動作,排查為高溫第七層耐熱高溫放大器損壞,廠家無備品，需從臺灣發(fā)貨,NG,

3/14,曝光前BUFFER,TP11,動作異常,玻璃進入Buffer易卡板,前烘烤出口導(dǎo)輪與Buffer導(dǎo)輪不在同一水平線上所致,廠家調(diào)整兩邊導(dǎo)輪后觀察OK,OK,

3/14,曝光前Buffer,TP11,整列異常,整列異常,氣壓過小,廠家調(diào)節(jié)壓力控制閥后OK,OK,

3/14,顯影機,TP11,動作異常,顯影機2、3段卡板,玻璃易撞到兩邊邊導(dǎo)輪所致使傳感器誤報警,廠家未調(diào)整,NG,修復(fù)OK

3/14,顯影機,TP11,品質(zhì)異常,風(fēng)刀吹不干凈玻璃上有水漬,,廠家未調(diào)整,NG,修復(fù)OK

3/15,涂布機,TP11,其它,涂布機涂布泵異常,,廠家正查找原因中,NG,修復(fù)OK

3/15,前清洗,TP9,其它,脫脂槽已噴淋管脫落,,廠家調(diào)整OK,OK,

3/15,顯影機,TP9,破片,連續(xù)放四片白波測試輪印大角右下,大角處連續(xù)破片三枚,廠家未找到原因，后跑片測試OK，重點跟蹤,,

3/15,前清洗,TP10,品質(zhì)異常,風(fēng)刀吹不干凈,,,,

3/15,顯影機,TP10,品質(zhì)異常,風(fēng)刀吹不干凈,,廠家調(diào)整OK,OK,

3/15,顯影機,TP10,其它,顯影1槽兩個白色噴淋管脫落,,未調(diào)好NG,NG,處理OK

3/15,曝光前Buffer,TP10,動作異常,檢測玻璃藍下降的兩Sensor被拆下裝到其它線用,,暫無備品已告知發(fā)貨,NG,

3/15,前烘烤,,其它,前烘烤報警報黃燈非紅燈,,已告知廠家，暫未處理,NG,處理OK

3/16,前清洗,TP9,品質(zhì)異常,風(fēng)刀吹不干凈,,,,

3/16,曝光機,TP9,信號異常,曝光前Buffer內(nèi)有玻璃不往下游發(fā)片,曝光機人機界面CP段顯示信號接受中斷,Buffer廠家修改軟體，后觀察測試OK,OK,

3/16,顯影機,TP9,輪印,顯影機輪印一條輪印，一條膠輪印,,廠家正積極改善中,NG,處理OK

3/16,顯影機,TP9,卡板,顯影3槽卡板,玻璃撞到兩邊邊導(dǎo)輪導(dǎo)致玻璃不傳送,廠家調(diào)整兩邊導(dǎo)輪后觀察OK,OK,

3/16,前清洗,TP10,品質(zhì)異常,風(fēng)刀吹不干凈玻璃上有水漬,,廠家調(diào)試中,NG,處理OK

3/16,前清洗,TP11,品質(zhì)異常,風(fēng)刀吹不干凈玻璃上有水漬,,廠家調(diào)試中,NG,處理OK

3/16,前烘烤,TP11,破片,人為放片整列夾碎,,清理碎片，觀察OK,OK,

3/16,顯影機,TP11,品質(zhì)異常,風(fēng)刀吹不干凈玻璃上有水漬,,調(diào)試OK,OK,

3/16,后烘烤,TP11,破片,CP1破碎一片,破真空時間太慢,廠家修改破真空時間后，觀察OK,OK,

3/18,涂布機,TP9,箭影,涂布機涂布箭影,,廠家調(diào)整NG,NG,處理OK

3/18,涂布機,TP10,動作異常,玻璃在涂布臺面上傳送導(dǎo)輪轉(zhuǎn)動，玻璃打滑,中間自由輪過高,已告知廠家，廠家暫未處理,NG,處理OK

3/18,前烘烤,TP10,動作異常,人機界面顯示CP2破片（多次）,查看CP2上并沒有破片,真空泵過載，廠家修改線路后OK,OK,

3/18,曝光機,TP10,信號異常,曝光機人機界面?zhèn)菴P觸摸屏上顯示逾時停止中斷信息,顯影后Buffer信號向上游發(fā)送停止信號,Buffer廠家修改軟體，后觀察測試OK,OK,

3/18,前清洗,TP11,品質(zhì)異常,風(fēng)刀吹不干凈玻璃上有水漬,,廠家調(diào)試OK,OK,

3/18,涂布機,TP11,動作異常,刀頭放不到防干槽內(nèi),刀頭只能放到防干槽上方,已告知廠家，廠家修改參數(shù)后OK,OK,

3/18,前烘烤,TP11,溫度異常,高溫第八層溫度升不上去,,人機界面?zhèn)葏?shù)被修改，后調(diào)整參數(shù)OK,OK,

3/18,前烘烤,,其它,溫度到達，但開不起來,將溫度不使用，才能開啟,已通知廠商，廠商告知明天處理,NG,

3/18,顯影后buffer,TP11,動作異常,顯影出口玻璃進Buffer易卡板,,等待廠家進一步處理,NG,處理OK

3/19,顯影后buffer,TP11,動作異常,顯影出口玻璃進Buffer易卡板,,"廠家排查為顯影機與Buffer通訊電纜線路接觸不良，跟換電纜后OK

",OK,

3/19,顯影機,TP10,品質(zhì)異常,風(fēng)刀吹不干凈玻璃上有水漬,,調(diào)試NG,NG,

3/19,涂布機,TP9,品質(zhì)異常,涂布箭影,,調(diào)試NG,NG,

3/20,涂布機,TP9,品質(zhì)異常,涂布箭影,,廠家拆刀頭重新組裝后，涂布效果OK,OK,

3/20,顯影機,TP9,品質(zhì)異常,品質(zhì)異常,,調(diào)試OK,OK,

3/20,涂布機,TP10,品質(zhì)異常,涂布箭影,,廠家拆刀頭重新組裝后，涂布效果OK,OK,

3/20,上料機,TP11,信號異常,"清洗機發(fā)出傳送請求信號，

但上料機玻璃不傳送

",上游與下游信號傳輸異常,廠家修改軟體后OK,OK,

3/20,前清洗,TP11,動作異常,卡板,毛刷壓入量過緊，導(dǎo)致玻璃疊片,廠家調(diào)整毛刷壓入量，后觀察OK,OK,

3/20,曝光機,TP11,信號異常,"曝光機排出傳送段顯示Carrying,玻璃不傳送至下游",下游顯影機信號OK,排光罩，手動排出玻璃后OK,OK,

3/20,顯影機,TP11,動作異常,玻璃進顯影機入口時震動幅度過大,,廠家調(diào)整邊導(dǎo)輪，后OK,OK,

3/20,顯影機,TP11,卡板,顯影2、3卡板,,"廠家推測為玻璃在藥液段打滑所致，暫將藥液段噴淋壓力調(diào)小，觀察OK，待觀察

",NG,

3/20,后烘烤,TP11,其它,廠家調(diào)試設(shè)備時，誤接錯線路，導(dǎo)致24V電源損壞,,跟換24V電源后OK,OK,

3/20,蝕刻機,,其它,管道漏水,,已和廠家反饋，焊接后觀察OK,OK,

3/21,前清洗,TP10,動作異常,"前清洗高壓水洗段卡板

",卡板破片(4ST)，風(fēng)刀處有一廠家遺留零部件掉落到導(dǎo)輪上，導(dǎo)致玻璃卡板疊片，發(fā)生破片,廠家取走后OK,OK,

3/21,曝光前BUFFER,TP10,動作異常,玻璃在玻璃欄內(nèi)卡板,,廠家調(diào)整邊導(dǎo)輪后測試OK,OK,

3/21,曝光機,TP10,信號異常,曝光機人機界面?zhèn)菴P觸摸屏上顯示Pause信息，導(dǎo)致曝光機前玻璃已滿，不往下游發(fā)片,,廠家告知出現(xiàn)此異常，下次通知廠家查找原因,NG,

3/21,涂布機,TP11,動作異常,導(dǎo)BM光阻時光阻導(dǎo)不出,設(shè)備自帶濾芯賭塞,跟換新濾芯后OK,OK,

3/21,前烘烤,TP11,其它,烤爐內(nèi)玻璃破片誤報警,BM光阻，此放大器感應(yīng)不到造成誤報警,告知廠家，讓其整改,NG,

3/22,前清洗,TP10,動作異常,玻璃在風(fēng)刀處破碎,上下風(fēng)刀壓力過大所致,調(diào)節(jié)上小風(fēng)刀壓力暫時OK！待觀察,OK,

3/22,顯影機,TP10,品質(zhì)異常,玻璃上有輕微水漬,,調(diào)節(jié)上下風(fēng)刀壓力Ok,OK,

3/22,涂布機,TP11,動作異常,通過模式但玻璃在臺面上不傳送，無警報,刀頭在CUT-BAR位置,告知廠家，等待結(jié)果,NG,

3/22,前烘烤,TP11,動作異常,入口頂Pin與出口頂Pin上升時動作緩慢,,廠家調(diào)整氣壓大小，后OK,OK,

3/22,曝光機,TP11,信號異常,"曝光機人機界面?zhèn)菴P觸摸屏上顯示逾時停止信號，Buffer玻璃不傳送

","之前曝光機廠家解釋為Buffer有信號傳輸給下游曝光機，但此信號又自行消失所致導(dǎo)致曝光機無法接受信號

","將曝光機關(guān)機重啟，此類事件均已告知廠家，等待廠家答復(fù)，待處理

",NG,

3/25,前清洗,TP9,品質(zhì)異常,風(fēng)刀吹不干凈,,風(fēng)刀不穩(wěn)定時好時壞，調(diào)整OK,OK,

3/25,涂布前Buffer,TP9,信號異常,Buffer玻璃藍內(nèi)有玻璃不傳送玻璃藍也不下降，前清洗出口玻璃等待也無警報,"經(jīng)了解之前廠家調(diào)整風(fēng)刀時將設(shè)備打到暫停狀態(tài)，之后將其打到運行狀態(tài)

",前清洗廠家與Buffer廠家討論原因，原因未找到，待觀察,NG,處理OK

3/25,涂布機,TP9,其它,刀頭長時間不涂布時，涂第一片玻璃時會有箭影,,已告知廠家，廠家暫未處理，跟蹤中,NG,"廠家調(diào)整涂布閥門及參數(shù)

處理OK"

3/25,前烘烤,TP9,信號異常,"前烘烤搬臂上有玻璃，頂Pin不上升，也無警報，Buffer玻璃藍也無玻璃可發(fā)片

",,已告知廠家，廠家暫未處理，跟蹤中,NG,"因下游Buffer玻璃藍滿所致，已解決OK

"

3/25,前烘烤,TP9,其它,熱板1、熱板2、熱板3頂Pin彎曲變形,附圖片,已告知廠家，廠家調(diào)查原因中，待回復(fù),NG,"廠家告知因下游Buffer玻璃藍滿，前烘烤玻璃無法排出導(dǎo)致無警報也不報警，Buffer玻璃藍玻璃排出后前烘烤警報復(fù)位后，實際上入口玻璃并未到達其真正位置，因此頂Pin上升時此頂Pin彎曲變形

"

3/25,后烘烤,TP9,其它,熱板9超溫警報,后烘烤總共只有7個熱板，兩個冷卻板,已告知廠家，廠家明天處理,NG,軟體廠家未來，NG

3/25,顯影機,TP10,品質(zhì)異常,風(fēng)刀吹不干凈,,廠家調(diào)試中,NG,

3/25,顯影機,TP10,動作異常,顯影2、3卡板,,調(diào)整噴淋壓力OK,OK,

3/25,蝕刻機,,品質(zhì)異常,風(fēng)刀吹不干凈玻璃上有水漬,,廠家調(diào)試中,NG,

3/25,蝕刻機,,動作異常,蝕刻6槽感應(yīng)超時報警,,"打開噴淋蓋，發(fā)現(xiàn)玻璃破碎多片，廠家清理碎片，后觀察OK

",OK,

3/25,脫模機,,品質(zhì)異常,風(fēng)刀吹不干凈,,廠家調(diào)試中,NG,

3/25,脫模機,,動作異常,風(fēng)刀段馬達過載,,廠家調(diào)整其額定電流后，觀察OK,OK,

3/26,前烘烤,TP9,其它,針對之前頂Pin彎曲變形，廠家將入口傳送Sensor調(diào)整其位置，即玻璃到達停止感應(yīng)器時動作,軟體缺陷,效果觀察中，如若效果OK，將陸續(xù)改進TP10與TP11線,OK,

3/26,顯影機,TP10,動作異常,顯影機卡板多次,,更改噴淋壓力，OK，但未真正徹底解決,OK,

3/26,蝕刻后緩存機,,信號異常,BF-下游交訊中暫停,原因未知,"設(shè)備不停機，但玻璃停頓數(shù)秒后運行，

多次出現(xiàn)，告知廠家，讓其進行處理",NG,

3/27,前烘烤,TP10,動作異常,熱板4未開啟,信號線接觸不良,拆掉重新整理后OK,OK,

3/28,前清洗,TP10,動作異常,0.33測試玻璃在中壓至高壓噴淋段破片3枚,噴淋壓力過大,調(diào)整噴淋壓力，及導(dǎo)輪后OK,OK,

3/28,前清洗,TP10,壓力異常,風(fēng)刀處破片兩枚,風(fēng)刀壓力過大,"廠家調(diào)整風(fēng)刀上下壓力，并調(diào)整風(fēng)刀處抽風(fēng)量，但觀察風(fēng)刀未吹干，調(diào)試中

",NG,

3/28,前烘烤,TP10,漏液檢知,冰水機處漏水,浮球式液位感應(yīng)器進水,"因浮球進水，暫未徹底清理干凈，待備品，檢查TP10線冰水機浮球也有損壞

",NG,

3/28,曝光前Buffer,TP10,信號異常,Buffer不發(fā)片，導(dǎo)致曝光機CP人機界面顯示信號中斷,,Buffer廠家修改軟體，觀察效果，觀察中,OK,

3/28,顯影機,TP10,動作異常,品質(zhì)異常,玻璃上有水漬