GB 51385-2019 微波集成組件生產(chǎn)工廠工藝設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)

專用

人人文庫

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

微波集成組件生產(chǎn)工廠工藝設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)

Standardforprocessdesignofmicrowave

integratedmodulefactory

GB51385-2019

主編部門中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部

:

批準(zhǔn)部門中華人民共和國(guó)住房和城專用鄉(xiāng)建設(shè)部

:

施行日期年月日

:2019121

人人文庫

中國(guó)計(jì)劃出版社

2019北京

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

微波集成組件生產(chǎn)工廠工藝設(shè)計(jì)專用標(biāo)準(zhǔn)

GB51385-2019

☆

中國(guó)計(jì)劃出版社出版發(fā)行

網(wǎng)址

:

地址北京市西城區(qū)木樨地北里甲號(hào)國(guó)宏大廈座層

:11C3

郵政編碼電話發(fā)行部

:100038:(010)63906433()

北京市科星印刷有限責(zé)任公司印刷

印張千字

850mm×1168mm1/321.62537

年月第版年月第次印刷

20191112019111

☆

統(tǒng)一書號(hào)

人人文庫:155182·0583

定價(jià)元

:12.00

版權(quán)所有侵權(quán)必究

侵權(quán)舉報(bào)電話

:(010)63906404

如有印裝質(zhì)量問題請(qǐng)寄本社出版部調(diào)換

,

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告

2019年第186號(hào)

住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于發(fā)布國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

微波集成組件生產(chǎn)工廠工藝設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)的公告

《》

現(xiàn)批準(zhǔn)微波集成組件生產(chǎn)工廠工藝設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

《專用》,

編號(hào)為自年月日起實(shí)施其中第

GB51385—2019,2019121。,

條款為強(qiáng)制性條文必須嚴(yán)格執(zhí)行

4.2.3(1、2)(),。

本標(biāo)準(zhǔn)在住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部門戶網(wǎng)站

()

公開并由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國(guó)計(jì)劃出版

,

社出版發(fā)行

。

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

2019年7月10日

人人文庫

前言

根據(jù)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于印發(fā)年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

《2015

制訂修訂計(jì)劃的通知建標(biāo)號(hào)的要求由工業(yè)和信

、》(〔2014〕189),

息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院和中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二十九

研究所會(huì)同有關(guān)單位共同編制完成

。

本標(biāo)準(zhǔn)在編制過程中編制組對(duì)廠房設(shè)備工藝進(jìn)行廣泛調(diào)

,、、

查研究認(rèn)真總結(jié)工藝設(shè)計(jì)方面實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)和研究成果參考借鑒國(guó)

,,

外先進(jìn)技術(shù)和技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)并在廣泛征求行業(yè)內(nèi)設(shè)計(jì)生產(chǎn)研究單

,、、

位意見基礎(chǔ)上最后經(jīng)審查定稿

,。專用

本標(biāo)準(zhǔn)的主要技術(shù)內(nèi)容是總則術(shù)語總體設(shè)計(jì)廠房設(shè)計(jì)

:,,,,

工藝布局工藝設(shè)計(jì)要求公用工程電氣照明與通信

,,,、。

本標(biāo)準(zhǔn)中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文必須嚴(yán)格執(zhí)行

,。

本標(biāo)準(zhǔn)由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對(duì)強(qiáng)制性條文的解

釋工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二十

,,

九研究所負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋執(zhí)行過程中如發(fā)現(xiàn)需要修改

。

或補(bǔ)充之處請(qǐng)將意見和資料寄送給中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二

,

十九研究所地址四川省成都市營(yíng)康西路號(hào)郵政編碼

(:496,:

以便供今后修訂時(shí)參考

610036),。

本標(biāo)準(zhǔn)主編單位工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

:

人人文庫中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二十九研究所

本標(biāo)準(zhǔn)參編單位信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技

:

工程股份有限公司

成都西科微波通訊有限公司

中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司第六零七研究所

中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二研究所

·1·

成都海威華芯科技有限公司

中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十八研究所

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人員陸吟泉江元升胡蓉王波

:

晁宇晴徐榕青薛長(zhǎng)立閆詩源

王輝曾元祁何乖李維佳

余小輝高能武王貴平許冰

董樂

本標(biāo)準(zhǔn)主要審查人員鄭秉孝趙曉林何中偉李強(qiáng)

:

嚴(yán)偉程凱常青松汪志強(qiáng)

祝名艾生珍

專用

人人文庫

·2·

目次

總則…………………

1(1)

術(shù)語…………………

2(2)

總體設(shè)計(jì)…………………

3(3)

廠房設(shè)計(jì)…………………

4(4)

廠址選擇及布局…………

4.1(4)

建筑……………………

4.2(4)

結(jié)構(gòu)……………………

4.3(5)

工藝布局…………………

5專用(6)

一般要求………………

5.1(6)

功能區(qū)劃………………

5.2(6)

工藝設(shè)計(jì)要求……………

6(10)

一般要求………………

6.1(10)

設(shè)備配置………………

6.2(11)

工藝要求………………

6.3(14)

公用工程…………………

7(17)

通風(fēng)空調(diào)與凈化………

7.1、(17)

給排水…………………

7.2(17)

氣體……………………

7.3(18)

電氣照人人文庫明與通信…………

8、(19)

本標(biāo)準(zhǔn)用詞說明………………

(20)

引用標(biāo)準(zhǔn)名錄…………………

(21)

附條文說明…………………

:(23)

·1·

Contents

………

1Generalprovisions(1)

……………………

2Terms(2)

……………

3Overalldesign(3)

………………

4Productionbuildingdesign(4)

……………

4.1Siteselectionandmasterplan(4)

……………

4.2Architecture(4)

………………

4.3Structure(5)

……………

5Processlayout專用(6)

……

5.1Generalrequirements(6)

………

5.2Functiondivision(6)

……

6Processrequirements(10)

……

6.1Generalrequirements(10)

……

6.2Layoutofequipment(11)

……………

6.3Processspecificrequirements(14)

……………………

7Utilities(17)

……

7.1Ventilation,airconditionandcleaning(17)

………………

7.2Plumbing(17)

…………………

7.3Processgasandutility(18)

人人文庫………………

8Electric,illuminationandcommunication(19)

…

Explanationofwordinginthisstandard(20)

……

Listofquotedstandards(21)

………

Addition:Explanationofprovisions(23)

·2·

1總則

1.0.1為規(guī)范微波集成組件生產(chǎn)工廠工藝設(shè)計(jì)做到技術(shù)先進(jìn)

,、

安全適用經(jīng)濟(jì)合理節(jié)能環(huán)保制定本標(biāo)準(zhǔn)

、、,。

1.0.2本標(biāo)準(zhǔn)適用于新建改建和擴(kuò)建微波集成組件生產(chǎn)工廠工

、

藝設(shè)計(jì)

。

1.0.3微波集成組件生產(chǎn)工廠工藝設(shè)計(jì)除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)外尚應(yīng)

,

符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定

。

專用

人人文庫

·1·

2術(shù)語

2.0.1微波集成組件

microwaveintegratedmodule

由外殼基片元器件微模塊接口組成在至

、、、、,0.3GHz

頻段內(nèi)具有特定功能的構(gòu)件

300GHz。

2.0.2工藝布局

processlayout

滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程及產(chǎn)量需求的空間安排

。

2.0.3芯片

die

無封裝的襯底分割單元表面為半導(dǎo)體集成電路

,。

2.0.4微模塊

stageassemblies專用

微波集成組件中有獨(dú)立功能無完整封裝的微小構(gòu)件

、。

2.0.5局部封裝

partialpackage

微波集成組件特殊區(qū)域的密封保護(hù)

。

2.0.6調(diào)試

adjustment

材料結(jié)構(gòu)尺寸的調(diào)整使產(chǎn)品符合規(guī)定功能和指標(biāo)

、、。

人人文庫

·2·

3總體設(shè)計(jì)

3.0.1工廠總體設(shè)計(jì)應(yīng)組織各專業(yè)開展設(shè)計(jì)評(píng)審設(shè)計(jì)驗(yàn)證設(shè)

、,

計(jì)輸出應(yīng)符合總體設(shè)計(jì)大綱或總體設(shè)計(jì)指導(dǎo)書要求

。

3.0.2工廠總體設(shè)計(jì)大綱應(yīng)包含靜電防護(hù)環(huán)境保護(hù)節(jié)約能源

、、、

安全生產(chǎn)自動(dòng)化信息化等要求

、、。

3.0.3工廠總體設(shè)計(jì)應(yīng)審核各專業(yè)設(shè)計(jì)專業(yè)設(shè)計(jì)應(yīng)符合總體設(shè)

,

計(jì)要求專業(yè)間積極協(xié)調(diào)和優(yōu)化

,。

3.0.4工廠總體設(shè)計(jì)應(yīng)符合制造工藝流程并應(yīng)匹配工廠預(yù)期產(chǎn)

,

能滿足單班和周月度產(chǎn)能設(shè)計(jì)要求

,()。專用

3.0.5工廠總體設(shè)計(jì)應(yīng)使生產(chǎn)檢測(cè)周轉(zhuǎn)環(huán)節(jié)滿足產(chǎn)品合格率

、、

要求

。

3.0.6工廠總體設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)工藝需求合理設(shè)置潔凈室面積及潔

凈度等級(jí)

。

3.0.7工廠總體設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝特點(diǎn)采用新工藝新技術(shù)

,、、

新設(shè)備新材料并為施工調(diào)試檢修維護(hù)管理和安全運(yùn)行創(chuàng)造條

、,、、

件功能區(qū)應(yīng)柔性設(shè)置

,。

3.0.8工廠各工序能力和資源配置應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)需求合理設(shè)

,

置工位

。

3.0.9多層廠房?jī)?nèi)部宜設(shè)置電梯物流人流信息流應(yīng)合理簡(jiǎn)

,、、

潔流動(dòng)順人人文庫暢半自動(dòng)和自動(dòng)化生產(chǎn)應(yīng)節(jié)拍匹配

、,。

·3·

4廠房設(shè)計(jì)

4.1廠址選擇及布局

4.1.1廠址選擇應(yīng)根據(jù)國(guó)家及地方總體規(guī)劃綜合考慮給排水

,、

動(dòng)力供應(yīng)電力通信設(shè)施和交通條件和環(huán)境等因素

、、。

4.1.2廠區(qū)總平面布置應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)動(dòng)力輔助倉儲(chǔ)辦公與

、、、

管理等功能區(qū)要求確定

。

4.1.3廠區(qū)人流物流出入口宜分開設(shè)置

、。

4.1.4廠區(qū)車輛停放場(chǎng)地應(yīng)根據(jù)員工數(shù)量構(gòu)成特點(diǎn)以及周邊

、,

公共交通狀況合理確定并應(yīng)符合當(dāng)?shù)匾?guī)劃要求

,專用。

4.1.5生產(chǎn)廠房宜設(shè)置環(huán)形消防通道并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

,

建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范的有關(guān)規(guī)定

《》GB50016。

4.1.6廠區(qū)道路路面應(yīng)采用整體性能好發(fā)塵量少的材料

、。

4.1.7廠區(qū)綠化宜采用無飛絮的灌木或草坪

。

4.2建筑

4.2.1生產(chǎn)廠房火災(zāi)危險(xiǎn)性分類應(yīng)為丁類耐火等級(jí)不應(yīng)低于

,

二級(jí)

。

4.2.2生產(chǎn)廠房防火分區(qū)劃分應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)特點(diǎn)確定防火分

,

區(qū)面積應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范的有

《》GB50016

關(guān)規(guī)定人人文庫

。

4.2.3生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)設(shè)置中間倉庫時(shí)應(yīng)符合下列規(guī)定

,:

1甲、乙類中間倉庫應(yīng)靠外墻布置,儲(chǔ)量不應(yīng)超過24h的需

要量;

2設(shè)置甲、乙、丙類中間倉庫時(shí),應(yīng)采用防火墻和耐火極限不

低于1.5h的不燃性樓板與生產(chǎn)作業(yè)部位分隔;

·4·

3生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)設(shè)置丁戊類中間倉庫應(yīng)采用耐火極限不低于

、

的防火隔墻和的樓板與生產(chǎn)作業(yè)部位分隔

2h1h;

4中間倉庫耐火等級(jí)和面積應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計(jì)

《

防火規(guī)范的規(guī)定

》GB50016。

4.2.4生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)每個(gè)防火分區(qū)或一個(gè)防火分區(qū)內(nèi)的每個(gè)樓層

,

安全出口數(shù)量應(yīng)經(jīng)計(jì)算確定且不應(yīng)少于個(gè)當(dāng)所在防火分區(qū)

,2。

內(nèi)的每層建筑面積不大于2且所在防火分區(qū)內(nèi)同一時(shí)間作

250m,

業(yè)人數(shù)不超過人時(shí)可設(shè)置個(gè)安全出口

20,1。

4.3結(jié)構(gòu)

4.3.1建筑物抗震設(shè)防類別及抗震設(shè)防標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

建筑工程抗震設(shè)防分類標(biāo)準(zhǔn)確定

《》GB50223。

4.3.2生產(chǎn)廠房變形縫不宜穿越潔凈生產(chǎn)區(qū)

。專用

4.3.3生產(chǎn)廠房樓板承載應(yīng)大于2

500kg/m。

人人文庫

·5·

5工藝布局

5.1一般要求

5.1.1微波集成組件生產(chǎn)工廠工藝生產(chǎn)區(qū)應(yīng)包括生產(chǎn)車間和生

產(chǎn)輔助區(qū)

。

5.1.2工廠工藝生產(chǎn)區(qū)的設(shè)備設(shè)施應(yīng)與生產(chǎn)規(guī)模和流程相匹配

、。

5.1.3工廠工藝生產(chǎn)區(qū)人流及物流應(yīng)按生產(chǎn)工藝流程合理規(guī)劃

,

避免交叉

。

5.1.4工廠工藝生產(chǎn)區(qū)面積應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)所需的設(shè)備機(jī)位

、、

操作位周轉(zhuǎn)臺(tái)的要求并應(yīng)充分合理利用空間

、,專用。

5.1.5生產(chǎn)車間布局應(yīng)根據(jù)設(shè)備種類和數(shù)量操作空間人流物

、、、

流以及安全生產(chǎn)要求確定

。

5.1.6生產(chǎn)車間中流程相鄰工藝布局時(shí)宜彼此相鄰生產(chǎn)車間

。

中涉及芯片的組裝測(cè)試封裝等工序應(yīng)在潔凈區(qū)進(jìn)行其他工序

、、,

可在非潔凈區(qū)進(jìn)行

。

5.1.7潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間應(yīng)設(shè)置傳遞窗或?qū)Ｓ脗鬟f走道專

、

用傳送帶等

。

5.1.8生產(chǎn)車間運(yùn)輸通道安裝口或檢修口應(yīng)根據(jù)設(shè)備運(yùn)輸安

、、

裝維修要求確定

、。

5.1.9生產(chǎn)車間工藝布局應(yīng)保證配管配線空間和設(shè)備維修空間

人人文庫。

5.1.10生產(chǎn)車間應(yīng)合理設(shè)置環(huán)境條件檢測(cè)點(diǎn)

。

5.1.11生產(chǎn)車間工作臺(tái)選型應(yīng)有滿足人體特性機(jī)器操作工裝

、、

傳遞環(huán)境工程學(xué)要求的操作空間

、。

5.2功能區(qū)劃

5.2.1生產(chǎn)車間宜劃分為物料準(zhǔn)備區(qū)清洗區(qū)裝配區(qū)測(cè)試與調(diào)

、、、

·6·

試區(qū)封蓋區(qū)涂覆區(qū)環(huán)境試驗(yàn)區(qū)分析區(qū)檢驗(yàn)包裝區(qū)

、、、、、。

5.2.2物料準(zhǔn)備區(qū)應(yīng)具備耗材基板元器件外殼等材料和文件

、、、

資料的準(zhǔn)備和齊套功能位置宜臨近物流通道入口

,。

5.2.3清洗區(qū)應(yīng)具備耗材基板元器件外殼等的清潔功能并

、、、,

應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1清洗區(qū)應(yīng)與其他區(qū)物理隔斷

;

2清洗區(qū)應(yīng)考慮排水排液排風(fēng)的便利性宜靠外墻

、、,;

3清洗區(qū)宜臨近物料準(zhǔn)備區(qū)

;

4純水去離子水等用水點(diǎn)宜靠近純水站

、;

5批量大的產(chǎn)品宜采用流水線布局

。

5.2.4裝配區(qū)應(yīng)具備將基板元器件微模塊外殼等按要求組裝

、、、

為微波集成組件的功能并應(yīng)符合下列規(guī)定

,:

1裝配區(qū)宜包括釬焊電裝鉗裝貼片鍵合芯片倒裝芯

、、、、專用、、

片疊層底部填充檢測(cè)等工序

、、;

2裝配區(qū)宜臨近物料準(zhǔn)備區(qū)和清洗區(qū)

;

3釬焊工序和電裝工序宜與其他工序物理隔斷空間相對(duì)

,

獨(dú)立

;

4釬焊工序應(yīng)靠近清洗區(qū)方便焊后助焊劑等殘?jiān)逑?/p>

,;

5貼片工序應(yīng)靠近清洗區(qū)方便基片載體的清洗

,、;

6在線檢驗(yàn)工序應(yīng)根據(jù)質(zhì)量控制點(diǎn)的需要設(shè)置

;

7試制產(chǎn)品宜采用手動(dòng)或半自動(dòng)裝配線按照工藝導(dǎo)向布局

;

8多品種小批量生產(chǎn)產(chǎn)品宜采用工藝導(dǎo)向布局生產(chǎn)組織方

,

式宜適用工藝對(duì)象專業(yè)化

人人文庫;

9單一生產(chǎn)產(chǎn)品宜采用全自動(dòng)裝配線按產(chǎn)品導(dǎo)向布局設(shè)備

,

布置滿足產(chǎn)品生產(chǎn)流程及節(jié)拍要求

。

5.2.5測(cè)試與調(diào)試區(qū)應(yīng)具備功能測(cè)試直流參數(shù)檢測(cè)全溫微波

、、

參數(shù)測(cè)試和調(diào)整工藝試驗(yàn)等功能并應(yīng)符合下列規(guī)定

、,:

1測(cè)試與調(diào)試區(qū)宜臨近裝配區(qū)

;

2測(cè)試與調(diào)試區(qū)宜設(shè)定相對(duì)獨(dú)立的粘接鍵合調(diào)試工位或

、,

·7·

在裝配區(qū)設(shè)定配合調(diào)試的粘接鍵合工位

、;

3手動(dòng)或半自動(dòng)測(cè)試線宜按直流檢測(cè)微波測(cè)試和調(diào)試等工

、

藝導(dǎo)向布局

;

4全自動(dòng)測(cè)試線宜按產(chǎn)品的測(cè)試流程布局各測(cè)試設(shè)備和儀

,

器按測(cè)試節(jié)拍配置

;

5測(cè)試與調(diào)試區(qū)應(yīng)包括功能測(cè)試直流參數(shù)檢測(cè)微波調(diào)試

、、、

高低溫在線調(diào)試工藝試驗(yàn)工位和相應(yīng)的設(shè)備儀器

、、。

5.2.6封蓋區(qū)應(yīng)具備實(shí)現(xiàn)微波集成組件氣密性封裝的功能并應(yīng)

,

符合下列規(guī)定

:

1封蓋區(qū)宜靠近測(cè)試與調(diào)試區(qū)

;

2封蓋區(qū)宜與其他區(qū)物理隔斷

。

5.2.7涂覆區(qū)應(yīng)具備防護(hù)微波集成組件的功能應(yīng)與其他區(qū)物理

,

隔斷

。專用

5.2.8環(huán)境試驗(yàn)區(qū)應(yīng)具備檢測(cè)產(chǎn)品環(huán)境適應(yīng)性及評(píng)價(jià)產(chǎn)品可靠

性的功能并應(yīng)符合下列規(guī)定

,:

1環(huán)境試驗(yàn)區(qū)宜包括溫度振動(dòng)和老化等試驗(yàn)工序

、;

2環(huán)境試驗(yàn)宜與其他區(qū)物理隔斷

。

5.2.9分析區(qū)應(yīng)具備產(chǎn)品物理性能化學(xué)性能的定性定量分析

、、

的功能可與其他區(qū)物理隔斷

,。

5.2.10檢驗(yàn)包裝區(qū)應(yīng)具備成品最終外觀檢查和包裝出貨的功

能位置宜臨近物流通道出口

,。

5.2.11生產(chǎn)輔助區(qū)應(yīng)包括物料凈化區(qū)人身凈化區(qū)休息生

、、

活區(qū)

。人人文庫

5.2.12物料凈化區(qū)應(yīng)具備物料清潔和凈化功能并應(yīng)符合下列

,

規(guī)定

:

1物料凈化區(qū)應(yīng)靠近物料準(zhǔn)備區(qū)

;

2物料凈化區(qū)應(yīng)有獨(dú)立的開箱清潔整理場(chǎng)地

、、;

3物料凈化區(qū)風(fēng)淋室或風(fēng)淋通道可共用人身凈化風(fēng)淋室或

風(fēng)淋通道

。

·8·

5.2.13人身凈化區(qū)應(yīng)具備人員更衣和風(fēng)淋凈化功能并應(yīng)符合

,

下列規(guī)定

:

1人身凈化區(qū)應(yīng)緊鄰生產(chǎn)車間的入口

;

2人身凈化區(qū)應(yīng)具備換鞋一次更衣二次更衣場(chǎng)地

、、;

3風(fēng)淋室或風(fēng)淋通道的面積應(yīng)與人員總數(shù)相匹配

。

5.2.14休息生活區(qū)應(yīng)具備物品存放衣物洗滌人員休息等功

、、

能并應(yīng)符合下列規(guī)定

,:

1休息生活區(qū)應(yīng)設(shè)置于非潔凈區(qū)宜靠近人身凈化區(qū)

,;

2休息生活區(qū)應(yīng)包括物品存放廁所飲水休息區(qū)和衣物洗

、、

滌區(qū)

;

3物品存放區(qū)應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的雨傘存放區(qū)和衣物存放柜

。

專用

人人文庫

·9·

6工藝設(shè)計(jì)要求

6.1一般要求

6.1.1物料準(zhǔn)備區(qū)裝配區(qū)測(cè)試與調(diào)試區(qū)封蓋區(qū)環(huán)境試驗(yàn)區(qū)

、、、、、

分析區(qū)檢驗(yàn)包裝區(qū)內(nèi)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)電子工業(yè)潔凈

、《

廠房設(shè)計(jì)規(guī)范的有關(guān)規(guī)定

》GB50472。

6.1.2生產(chǎn)廠房防靜電設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)電子工程防靜

《

電設(shè)計(jì)規(guī)范和潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范的有關(guān)

》GB50611《》GB50073

規(guī)定

。

6.1.3防靜電工作區(qū)域工作臺(tái)貨架等宜采用間接靜電接地設(shè)

、專用,

備儀器宜采用直接靜電接地

、。

6.1.4生產(chǎn)車間空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)根據(jù)具體產(chǎn)品確定封蓋前的

,

微波集成組件應(yīng)在潔凈度等級(jí)級(jí)或優(yōu)于級(jí)的潔凈環(huán)境中

88

裝配

。

6.1.5生產(chǎn)車間中潔凈區(qū)溫度宜為相對(duì)濕度宜為

23℃±3℃,

40%~70%。

6.1.6生產(chǎn)車間供電配電應(yīng)滿足配置設(shè)備要求

。

6.1.7生產(chǎn)所需氣體應(yīng)包括氧氣氮?dú)夂鈿鍤鈮嚎s空氣氮

、、、、、

氫混合氣等并應(yīng)符合下列規(guī)定

,:

1壓縮空氣壓力宜為露點(diǎn)在時(shí)

0.6MPa~0.7MPa,0.7MPa

宜低于人人文庫

-40℃;

2高純氮?dú)鈮毫σ藶闅怏w純度宜為

0.4MPa~0.7MPa,

99.999%;

3純氮壓力宜為氣體純度宜為

0.4MPa~0.7MPa,

99.99%;

4高純氦氣壓力宜為氣體純度宜為

0.4MPa~0.7MPa,

·10·

99.999%;

5高純氧氣壓力宜為氣體純度宜為

0.4MPa~0.7MPa,

99.999%;

6高純氬氣壓力宜為氣體純度宜為

0.4MPa~0.7MPa,

99.999%;

7高純氮?dú)浠旌蠚怏w氣壓力宜為

(N295%H25%)0.4MPa~

氣體純度宜為

0.7MPa,99.999%。

6.1.8高純氣體用氣點(diǎn)前應(yīng)設(shè)高效氣體過濾器

。

6.1.9工藝真空度宜優(yōu)于

0.08MPa。

6.1.10生產(chǎn)所需水路宜包括給排水純水和工藝?yán)鋮s水工藝?yán)?/p>

、,

卻水宜采用循環(huán)系統(tǒng)

。

6.1.11純水的水質(zhì)水量水壓應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝所需

、、。

6.1.12工藝?yán)鋮s水應(yīng)使用軟化水使用端壓力宜為

,專用0.2MPa~

0.3MPa。

6.1.13生產(chǎn)過程中發(fā)熱量發(fā)塵量大的生產(chǎn)工藝應(yīng)采取防擴(kuò)散

、

措施

。

6.1.14生產(chǎn)車間應(yīng)配置壓差測(cè)試儀溫濕度記錄儀空氣微塵顆

、、

粒記錄儀等檢測(cè)設(shè)備

。

6.2設(shè)備配置

6.2.1設(shè)備選型及配置應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品種類和產(chǎn)能規(guī)劃確定

。

6.2.2物料準(zhǔn)備區(qū)設(shè)備配置應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1物料準(zhǔn)備區(qū)宜配置操作類設(shè)備存儲(chǔ)類設(shè)備和檢測(cè)類

、

設(shè)備人人文庫

;

2操作類設(shè)備應(yīng)配置防靜電工作臺(tái)放大鏡顯微鏡宜配置

、、,

編碼機(jī)真空包裝機(jī)或熱熔封口機(jī)等

、;

3元器件及耗材外觀復(fù)驗(yàn)宜采用帶照明燈的放大鏡顯微鏡

,

應(yīng)配獨(dú)立光源芯片外觀檢查應(yīng)配雙目低倍立體光學(xué)顯微鏡放大

;,

倍數(shù)宜為倍倍芯片細(xì)節(jié)檢查應(yīng)配高倍立體光學(xué)顯微鏡

10~60;,

·11·

放大倍數(shù)宜為倍倍

100~1000;

4庫房分選芯片等靜電敏感器件的區(qū)域應(yīng)配置離子風(fēng)機(jī)

;

5存儲(chǔ)類設(shè)備應(yīng)配置貨架充氮柜干燥柜

、、;

6檢測(cè)類設(shè)備宜配置數(shù)字式顯微鏡自動(dòng)光學(xué)檢查儀激光

、、

膜厚測(cè)試儀微波探針測(cè)試臺(tái)電子秤卡尺等

、、、;

7物料種類多信息化程度較高的廠房宜配置物料編碼機(jī)