防靜電管理規(guī)范

《防靜電管理標準》1.目的為了標準生產(chǎn)過程中的ESD控制要求，作為各部門實施和維護ESD的依據(jù)，特制定本程序。2.范圍適用于本公司靜電敏感器件(材料、半成品及成品)的生產(chǎn)組裝、檢驗測試、處置存儲及包裝運輸?shù)雀鳝h(huán)節(jié)。3.定義3.1ESD：英文electrostaticdischarge〔靜電放電〕縮寫。靜電是指暫時停留在物體某處的電荷。當具有不同靜電電位的物體，由于直接接觸或靜電感應引起的物體間靜電電荷的轉移叫靜電放電。3.2靜電接地：將帶靜電物體或有可能產(chǎn)生靜電的物體〔非絕緣體〕通過導體與大地構成電氣回路的接地叫做靜電接地。3.3直接靜電接地：通過金屬導體構成的靜電接地系統(tǒng)。3.4間接靜電接地：通過含有非金屬導體、防靜電材料或其制品使物體靜電接地的系統(tǒng)。3.5外表電阻：它代表每平方面積電介質外表對正方形的相對二邊間外表泄漏電流所產(chǎn)生的電阻。單位是歐姆。外表電阻的大小除決定于電介質的結構和組成外，還與電壓、溫度、材料的外表狀況、處理條件和環(huán)境濕度有關。環(huán)境濕度對電介質外表電阻的影響極大。外表電阻愈大，絕緣性能愈好。3.6接地電阻：從一條導電路徑上任意點到接地電極之間的電阻總和。3.7對地電阻：放置在被測試物體外表上的一個電極和地之間測量所得的歐姆電阻值。3.8導靜電材料：外表電阻小于1*10的4次方歐姆的材料。3.9靜電耗散材料：外表電阻≥1*10的4次方歐姆且＜1*10的11次方歐姆的材料。3.10EPA：靜電防護區(qū)，材料和設備的靜電電壓受到控制的工作環(huán)境。為保障靜電敏感器件〔SSD〕免受靜電傷害而采用必要的防靜電材料和設備建立和裝備起來的區(qū)域，通常有明顯的防靜電警示標志。進入防靜電工作區(qū)域的人員，必須嚴格遵循防靜電作業(yè)標準。又名靜電放電控制區(qū)ECA〔ESDcontrolledarea〕。3.11EBP:接地連接點。3.12ESDS：英文electrostaticdischargesensitivity〔靜電放電敏感度〕縮寫,導致元器件失效的靜電放電等級。4.權責4.1工程部：負責所有EPA區(qū)域和外部地線系統(tǒng)的規(guī)劃、實施、維護，主導對ESD相關問題的分析改良，對ESD治工具的驗收，及ESD相關培訓工作。4.2研發(fā)部：負責產(chǎn)品防靜電要求的設計與防靜電標準的提供，負責防靜電包裝、儲存及運輸?shù)脑O計。4.3生產(chǎn)部：按ESD相關標準操作，按工程部的組織下安排人員配合防靜電措施的安裝。4.4品質部：對ESD材料的驗收工作，EPA區(qū)域內(nèi)定期及不定期的靜電防護過程監(jiān)控檢測、預警、強制執(zhí)行。4.5體系辦：對本程序的實施進行監(jiān)督管理。4.6供給鏈：負責按ESD的相關要求確保ESD敏感材料在包裝，運輸、拆分過程中ESD防護有效5.內(nèi)容5.1個人平安：5.1.1使用接地斷路器及其它平安措施，預防人員觸電；5.1.2公司范圍內(nèi)應進行不定期的電氣平安演習；5.1.3遵循設備、機臺正確接地，并按照標準定期對設備、機臺接地情況進行巡查。5.2防靜電工作區(qū)技術要求：5.2.1環(huán)境條件：溫度、濕度管控按照《無塵車間管理標準》執(zhí)行。5.2.2標識要求：5.2.2.1EPA專用標記：在EPA車間及工作場所各入口處明顯位置懸掛如圖1示的EPA標識牌，標識牌采用黃底黑色。5.2.2.2接地線顏色定義：綠色接地線為人體接地時使用，一般位于工作臺下。黃色接地線為機臺、電源接地時使用。兩種接地線為專用，不能錯用、混用。5.2.2.3防靜電接地電極標記：防靜電接地電極處須張貼標識〔如：圖2〕，標識符號的尺寸大小應在普通照明條件下用肉眼能夠清楚識別，標記顏色采用黃底黑色。5.2.2.4接地點標識：EPA內(nèi)設置的公共接地點須進行接地連接點符號標記〔如：圖3〕，標識符號的尺寸大小應在普通照明條件下用肉眼能夠清楚識別，標記顏色采用黃底黑色。5.2.2.5離子風扇、工作臺、流水線、周轉盤、貨架、運輸車、工作椅等設施經(jīng)測試合格后，應張貼相應標識〔按如以下圖示中10.0的要求〕，標識應置于明顯不易受到磨損的地方，沒有張貼標識的，視為未經(jīng)過防靜電認證，不允許使用。5.2.2.6靜電防護器材應張貼如圖4標識，用于與非防靜電器材進行區(qū)分。5.2.3接地要求：5.2.3.1EPA內(nèi)所有的金屬導體、儀器設備、防靜電裝備、人員必須進行接地。5.2.3.2防靜電接地線不得與電源零線相接，不得與防雷地線共用，人體防靜電接地應采用獨立接地線；人體防靜電接地線不能直接與機器外殼相連，假設使用機器外殼固定的，必須保證人體接地線與機器外殼絕緣。5.2.3.3在使用防靜電裝備用品涉及到操作人員平安時，防靜電接地應采用間接靜電接地方式〔接地線串聯(lián)1MΩ的電阻〕，其對地電阻可采用外接電阻，材料或用品內(nèi)固有電阻或它們的組合構成串聯(lián)1MΩ的電阻時，電阻應接近該裝備。5.2.3.4防靜電接地系統(tǒng)應具有足夠的機械強度和可靠性。5.2.3.5各接地線出現(xiàn)斷線或者干線與支線之間的連接應采用釬焊、熔焊或壓力連接件、卡箍等進行連接，連接處不可出現(xiàn)松動。5.2.3.6接地線應保持連續(xù)的通路，在其通路上不得通過油漆、涂蠟或陽極氧化鋁等非導電的區(qū)域，不得使用導電工作臺等作為接地線用。5.2.3.7接地線或接地臺面需采用并聯(lián)參加方式參加總地線或EBP，且采用單一接入，不可串聯(lián)，不可形成環(huán)路。5.2.4防靜電臺墊接地要求：5.2.4.1從防靜電臺墊正面下安裝接頭〔可以用不銹鋼螺釘、螺母、墊片組成的連接點代替〕，使其穿過臺墊，與接地線進行機械連接。5.2.4.2防靜電臺墊鋪設在金屬工作臺〔貨架〕中也應按以上要求進行接地。5.2.4.3臺墊覆蓋工作臺面時，臺墊尺寸不少于臺面的大小，臺墊每3米距離內(nèi)必須保持一個接地點。5.2.4.4臺墊必須保持連續(xù)性，如中間出現(xiàn)斷層應使用導線將臺墊導通。5.2.5接地電阻要求：5.2.5.1防靜電接地系統(tǒng)接地電阻測試應小于25Ω，接地電壓小于10V〔AC〕。5.2.5.2電源接地系統(tǒng)接地電阻測試應小于1Ω，接地電壓小于10V〔AC〕。5.2.6接地線中間斷線維護：5.2.6.1電源接地線中間斷線維護：從電源接地電極至各生產(chǎn)用電設備不能出現(xiàn)斷線，電阻應小于10Ω。5.2.6.2防靜電接地線中間斷線維護：從人體防靜電接地電極至各生產(chǎn)線未端的防靜電接地線間不能出現(xiàn)斷線，電阻應小于10Ω。5.2.7EPA內(nèi)各設施的靜電性能技術要求：5.2.7.1工作臺：工作臺面必須為靜電耗散材料并采用軟接地，臺面不得使用金屬板制作，不得將防靜電地板作為工作臺的接地連接線。5.2.7.2靜電手環(huán)：必須內(nèi)藏有1MΩ限流電阻的有線手環(huán)，不得使用無線手環(huán)；佩帶時靜電手環(huán)的金屬片必須完全接觸到肌膚，靜電手環(huán)與接地點連接良好，采用鱷魚夾進行接地的應采用鱷魚齒夾住接地線進行接地，不得夾在桌面或桌邊的金屬體上。5.2.7.3流水線傳送帶：傳送帶應為靜電耗散材料，與接地的傳送帶金屬輪軸緊密接觸。5.2.7.4地板：地板應使用靜電耗散材料制作，并設置接地網(wǎng)絡并良好接地。5.2.7.5貨架：臺面必須為導電或靜電耗散材料，并通過支架與防靜電地板良好接觸或接地線與地連接，貨架每層均須接地。5.2.7.6運輸小車：臺面必須為導電或靜電耗散材料，并通過導電輪或鐵鏈與防靜電地板良好接觸，小車每層均必須與導電輪導通，必須保持至少2個輪子為導電輪，且保持導電輪子干凈。5.2.7.7周轉盤、盒等容器：靜電敏感器件必須采用防靜電周轉容器進行周轉，不允許使用金屬和普通塑料容器，包括容器里面的隔板等也必須采用靜電耗散材料。存放靜電敏感產(chǎn)品的容器應放置于已經(jīng)進行靜電防護處理的工作臺、小車或貨架上。5.2.7.8工作椅：工作支架或腳輪等用靜電耗散或導電材料制作，座椅外表用靜電耗散或導電材料制作并與腳輪構成電氣連接。5.2.7.9焊接設備〔烙鐵等〕：EPA內(nèi)使用焊接設備必須接地措施，焊接設備的焊頭與接地系統(tǒng)的連接阻抗應不大于2Ω，漏電電壓少于20mV〔AC〕，漏電電流少于10毫安AC〕。5.2.7.10工作服：工作服各部位應存在電氣連續(xù)性，并定期進行清洗。5.2.7.11防靜電鞋：穿著防靜電鞋時，鞋底應與防靜電地板接觸的情況下進行作業(yè)，特別是實施靜電手環(huán)有困難的崗位，利用防靜電鞋作為人體導靜電的唯一措施時，作業(yè)時必須保證雙腳與防靜電地板良好接觸；另外鞋底臟容易導致導電性低下，在EPA入口處應鋪設粘塵墊，進入時在粘塵墊上踩踏2~3下，以清潔鞋底的臟污。5.2.7.12離子風扇：靜電去除器的選擇應該能消除任何一種極性的電荷，測試標準：風速調至最大，電壓從1000v下降到100v的消散時間不超過3.5s，剩余電壓小于±35v。5.2.7.13設備、儀器：生產(chǎn)設備接觸靜電敏感器件部位應采用靜電耗散材料、導電材料或其具有摩擦電壓小的材料〔摩擦電壓＜100V〕，并保證這些部位具有可靠的接地通路、與靜電敏感產(chǎn)品接觸的導電體部位漏電壓＜2v〔AC〕。5.2.7.14防靜電劑：EPA內(nèi)使用的絕緣物品無法按要求進行存放時，必須對其外表進行加涂防靜電劑，經(jīng)防靜電劑處理的外表如經(jīng)常摩擦的必須每周檢測一次，通常不摩擦的每月檢測一次，并進行如圖5的標識。5.2.7.15夾具:EPA所使用的各種夾具應使用電木等抗靜電材料〔摩擦電壓＜100V〕，如夾具使用非電木材料應測試防靜電性能〔摩擦電壓＜100V〕，測試結果記錄于附表25.并張貼圖4標識，對特殊情況不可防止使用非防靜電材料的必須使用離子中和或定期涂防靜電劑等措施。5.2.7.16工具：EPA所使用的各種工具應具有防靜電性能，使用AC電源的工具必須具有硬接地措施接入電氣保護地，使用電池、氣開工具接地電阻應＜1.0×109Ω，工具在使用的過程中應不易產(chǎn)生靜電，外表電阻為≤1.0×109Ω，用于接觸靜電敏感器件的部位應防止使用導體或絕緣材料，如：不銹鋼鑷子等。5.2.7.16手套、指套：在EPA內(nèi)使用的手套、手指套，應具有防靜電性能，手套，手指套使用時出現(xiàn)臟污、破損應及時進行更換。防靜電指標必須符合表一要求EPA防靜電要求一覽表(表一)序號工程名稱檢測工程單位技術指標要求序號工程名稱檢測工程單位技術指標要求1進入EPA人體對地電阻人體綜合電阻Ω1.0×105~1.0×1092各類工作臺面(墊)點對點電阻Ω1.0×105~1.0×1093各類地面(墊)點對點電阻Ω1.0×105~1.0×109對地電阻Ω＜1.0×10?對地電阻Ω＜1.0×10?摩擦電壓V＜1005無塵鞋對地電阻Ω＜1.0×1094無塵服〔帽〕點對點電阻Ω＜1.0×10117靜電手環(huán)手環(huán)連接線兩端電阻Ω0.8×106~1.2×106摩擦電壓V＜100手環(huán)內(nèi)外表電阻Ω＜1×1056手套/手指套穿戴狀態(tài)下電阻Ω1.0×105~1.0×109手環(huán)外外表電阻Ω＞1×1078生產(chǎn)設備接地漏電電壓〔AC〕V＜29流水線傳送帶點對點電阻Ω1.0×105~1.0×109接地電阻Ω＜1對地電阻Ω＜1.0×10910離子風機〔棒〕消除時間

±1000v至±100vS≤3.5摩擦電壓V＜100殘留電壓V＜±3511工作椅點對點電阻Ω1.0×105~1.0×10912貨架點對點電阻Ω1.0×105~1.0×109對地電阻Ω＜1.0×109對地電阻Ω＜1.0×10?摩擦電壓V＜100摩擦電壓V＜10013運輸小車對地電阻Ω＜1.0×109剩余電壓V＜±60摩擦電壓V＜10014導電性材料〔包裝材料周轉容器〕點對點電阻Ω＜1.0×10415耗散性材料

〔包裝材料周轉容器〕點對點電阻Ω1.0×104~1.0×1010摩擦電壓V＜100摩擦電壓V＜10016防靜電生產(chǎn)輔助工具〔吸筆、鑷子〕點對點電阻Ω＜1.0×10917吸塑

〔片材〕點對點電阻Ω1.0×104~1.0×1011摩擦電壓V＜100漏電電壓V＜2〔AC〕18防靜電劑、蠟

(施工后〕點對點電阻Ω1.0×105~1.0×10919防靜電接地系統(tǒng)對地電阻Ω＜2520電源接地系統(tǒng)對地電阻Ω＜1對地電壓〔AC〕V＜10對地電壓〔AC〕V＜105.3EPA維護與檢查。5.3.1來料測試5.3.2各EPA技術性能與管理檢查工程序號測試工程標準檢測頻率檢查方式記錄表單測試單位檢測儀器1離子風機使用情況依記錄表要求1次/班目視防靜電工程日常目視檢查表各使用單位負責人N/A2靜電手環(huán)使用情況依記錄表要求1次/班3防靜電測試標識情況依記錄表要求1次/日4接地線接地情況依記錄表要求1次/日5電烙鐵焊頭接地電阻和漏電電壓接地電阻＜2Ω

漏電電壓〔AC〕＜20mV

漏電電流〔AC〕＜10mV1次/周測量電烙鐵防靜電測試記錄表萬用表/搖表6防靜電手環(huán)佩戴時系統(tǒng)電阻通過靜電手環(huán)測試儀測試1次/班測量防靜電手環(huán)測試記錄表各使用單位負責人靜電手環(huán)測試儀7人體綜合電阻測量通過人體綜合電阻測試儀測試1次/周測量人體綜合電阻測試記錄表品質部人體綜合電阻測試儀8防靜電手環(huán)接地線電阻測試手環(huán)連接線二端電阻：

0.8×106~1.2×106Ω

手環(huán)內(nèi)外表電阻＜1×105

手環(huán)外外表電阻＞1×1071次/月測量防靜電手環(huán)接地線電阻測試記錄表品質部萬用表9離子靜電消除器靜電消除能力〔包括離子風槍〕消除時間±1000v至±100v：

≤3.5S

殘留電壓：＜±35V1次/月測量

〔全測〕靜電消除器的中和能力測試記錄表品質部，設備內(nèi)部的由工程部測試靜電消除器中和能力測試儀10工作臺面對地電阻、外表電阻和摩擦電壓點對點電阻：

1.0×105~1.0×109Ω

對地電阻：＜1.0×109Ω

摩擦電壓：＜100V1次/3個月測量

〔全測〕工作臺面防靜電測試記錄表品質部重錘式外表電阻測試儀

靜電電壓測試儀11流水線傳送帶對地電阻、外表電阻和摩擦電阻點對點電阻：

1.0×105~1.0×109Ω

對地電阻：＜1.0×109Ω

摩擦電壓：＜100V1次/3個月測量

〔全測〕流水線傳送帶對地電阻和外表〔點對點〕電阻測試記錄表品質部重錘式外表電阻測試儀

靜電電壓測試儀12防靜電工具點對點電阻外表電阻：＜1.0×109Ω摩擦電壓＜100V1次/3個月測量

〔全測〕治工具摩擦電壓&外表(點對點)電阻測試記錄表品質部外表電阻測試儀13防靜電地板對地電阻、外表〔點對點〕電阻點對點電阻：

1.0×105~1.0×109Ω

對地電阻：＜1.0×109Ω1次/3個月測量

〔抽測〕地板的對地電阻和外表〔點對點〕電阻測試記錄表品質部重錘式外表電阻測試儀14周轉容器外表〔點對點〕電阻點對點電阻：

1.0×103~1.0×109Ω1次/3個月測量

〔全測〕周轉容器外表〔點對點〕電阻測試記錄表品質部外表電阻測試儀15貨架對地電阻、外表電阻和摩擦電壓點對點電阻：

1.0×105~1.0×109Ω

對地電阻：＜1.0×109Ω

摩擦電壓：＜100V1次/3個月測量

〔全測〕貨架對地電阻和外表〔點對點〕電阻測試記錄表品質部重錘式外表電阻測試儀

靜電電壓測試儀16運輸小車對地電阻對地電阻：＜1.0×109Ω

摩擦電壓：＜100V1次/3個月測量

〔全測〕運輸小車對地電阻測試記錄表品質部重錘式外表電阻測試儀

靜電電壓測試儀17防靜電工作椅對地電阻和外表〔點對點〕電阻點對點電阻：

1.0×105~1.0×109Ω

對地電阻：＜1.0×109Ω

摩擦電壓：＜100V1次/3個月測量

〔全測〕工作椅對地電阻和外表〔點對點〕電阻測試記錄表品質部重錘式外表電阻測試儀

靜電電壓測試儀18防靜電大褂、凈服外表〔點對點電阻〕點對點電阻：＜1.0×1011Ω

摩擦電壓：＜100V1次/3個月測量

〔抽測〕凈服/防靜電大褂外表〔點對點〕電阻測試記錄表品質部重錘式外表電阻測試儀19防靜電鞋、凈服鞋體積電阻對地電阻：＜1.0×109Ω1次/3個月測量

〔抽測〕凈服鞋/防靜電鞋體積電阻測試記錄表品質部重錘式外表電阻測試儀20防靜電手套/手指套穿戴狀態(tài)下電阻點對點電阻：

1.0×103~1.0×109Ω1次/月測量

〔抽測〕防靜電手套、手指套穿戴狀態(tài)下電阻測試記錄表品質部外表電阻測試儀21生產(chǎn)設備、測試治具接地電阻：＜1Ω

漏電電壓〔AC〕：＜2V1次/3個月測量

〔全測〕生產(chǎn)設備、測試治具接地電阻及漏電電壓測試記錄表品質部萬用表22電源接地系統(tǒng)接地電阻，接地電壓對地電阻：＜1Ω

對地電壓〔AC〕：＜10V1次/6個月測量防靜電接地系統(tǒng)、電源接地系統(tǒng)接地電阻、接地電壓測試記錄表工程部萬用表23防靜電接地系統(tǒng)接地電阻、接地電壓對地電阻：＜25Ω

對地電壓〔AC〕：＜10V1次/3個月測量工程部萬用表24接地線中間斷線保護〔保護防靜電接地及電源接地〕點對點電阻：＜10Ω1次/6個月測量

〔全測〕接地線中間斷線測量記錄表工程部萬用表5.3.3倉庫測試工程序號測試工程頻率檢查方式測試單位記錄方法1貨架防靜電性能1次/6個月測量〔全撿〕品質部貨架對地電阻和外表〔點對點〕電阻測試記錄表2運輸小車防靜電性能1次/6個月測量〔全撿〕運輸小車對地電阻測試記錄表注：1、5.3測試工程必須用紙張表格作原始記錄，并由體系專員保存原始記錄三年；2、測試NG的，按5.5要求進行處理。OK投入使用提交測試結果給跟進人部門防靜電負責人測試認證新投入ESD防護器材NG5.4新投ESD防護器材認證流程。OK投入使用提交測試結果給跟進人部門防靜電負責人測試認證新投入ESD防護器材NG測試結果測試結果反應給跟進人5.4.1新布置的生產(chǎn)線或工位應通知部門防靜電負責人進行測試認證，只有認證合格后，方可投入使用。5.4.2新投入使用的防靜電工具、材料、靜電去除器、運輸小車、周轉容器、工作椅等應通知部門防靜電負責人進行測試認證，只有認證合格后，方可投入使用。5.4.3防靜電負責人測試后，將測試結果記錄于附表21〔記錄由體系專員保存三年〕，測試合格的貼上相關標識，后續(xù)按要求進行定期檢測。5.5各工程測使用的儀器及測試NG的處理方法。序號測試工程測試NG的處理方法1防靜電手環(huán)佩戴時系統(tǒng)電阻檢測手環(huán)與人體、測試儀器是否良好接觸，重新測試，再次NG更換手環(huán)，直至測試OK2防靜電手環(huán)接地線電阻更換新的防靜電手環(huán)3防靜電工作服外表電阻檢測不達標的應立即停止使用、更換新的〔出現(xiàn)破孔或導電線斷裂時及時更換〕4人體綜合電阻將鞋底清潔干凈重新測試，更換工作鞋重新測試，直至測試OK5電烙鐵接地電阻、漏電電壓將焊頭清潔干凈重新測試，再次NG，更換焊頭仍不能達標通知設備部檢修接地線、電烙鐵，直至測試OK才能繼續(xù)使用。6手套、手指套電阻手套、手指套測試不達標，及時反應給采購處理，測試其它批次，達標的才允許使用。7離子靜電消除器靜電消除能力對離子靜電消除器進行清潔后重新測試，再次NG通知工程部維修，直至OK才能繼續(xù)使用。8臺面將臺面擦拭干凈重新測試，再次NG，更換臺墊，直至測試OK才能繼續(xù)使用。9對地電阻檢查接地線，出現(xiàn)斷線通知工程部重新接地；使用防靜電輪的，將輪子清潔干凈重新測試，再次NG更換防靜電輪子；采用支架與地板導通接地的，檢查接觸的良好，直到測試OK后，才能繼續(xù)使用。10工具、周轉容器防靜電性能立即更換防靜電工具、周轉容器11設備、儀器漏電電壓通知工程部進行接地，接地后重新測試，直至測試OK才能繼續(xù)使用12系統(tǒng)接地電阻相關部門停產(chǎn)，工程部維修，重測OK才能繼續(xù)生產(chǎn)。13接地線中間斷線測試停產(chǎn)，工程部維修該處接地線路，直至OK；注：測試NG后要貼NG標識，并在標識上注明NG工程，待處理并測試合格后，貼相應合格標貼。5.6包裝要求5.6.1進入EPA的靜電敏感器件必須進行防靜電包裝，即使已被發(fā)現(xiàn)為失效的產(chǎn)品在送往修復或進行失效原因分析之前，同樣需與正常品一樣實行防靜電包裝，并且包裝與拆包裝操作必須在EPA內(nèi)進行。5.6.2所用靜電電荷的發(fā)生源，例如未經(jīng)處理的塑料薄膜、泡沫塑料、合成纖維、膠粘帶都禁止作為直接或間接包裝材料使用，不準帶入EPA內(nèi)。5.6.3產(chǎn)品所采用的包裝由研發(fā)定義并編入BOM中。5.7進入EPA人員靜電防護凡進入EPA人員必須穿防靜電工作服、防靜電工作鞋、工作服外嚴禁攜帶除工卡、筆外的金屬物品、塑料物品、不得將個人物品〔如：個人衣物、各種塑料等〕帶入EPA，穿脫工作服裝應在EPA外或指定地方進行不得在EPA穿脫工作服，著裝工作服服裝時防靜電服拉鏈必須拉滿〔紐扣式的扣上所有紐扣〕，將頭發(fā)盤起，不能把非防靜電工作服的衣領翻出蓋住防靜電服衣領，防靜電服袖口不得挽起、手表、首飾等飾品不得露出防靜電服外，頭發(fā)不得外露。在EPA內(nèi)應保持防靜電鞋與防靜電地板或地墊妥善接觸以泄漏人體電荷。凡與SSD接觸人員，包括操作人員、工程技術或管理人員，參觀人員等，需佩戴防靜電手環(huán)，并應保持與人體，接地系統(tǒng)接觸可靠。必要時，應佩戴防靜電手套或手指套進行操作。在EPA內(nèi)的人員不準進行與工作無關的肢體活動。5.8靜電敏感器件的處置，存貯和轉移5.8.1靜電敏感器件在檢測、轉移、存貯過程中不能隨便更換原防靜電包裝，如需更換時，要使用防靜電包裝，不得任意使用塑料袋，普通塑料盒等容器。5.8.2拆開防靜電包裝拿取靜電敏感產(chǎn)品時人員必須采取靜電防護措施，一切操作必須要EPA內(nèi)進行。5.8.3轉移靜電敏感產(chǎn)品時應使用防靜電運輸工具。5.8.4靜電敏感產(chǎn)品轉移、存貯時必須使用防靜電容器，不允許使用金屬和普通塑料容器，并放置于符合防靜電要求的運輸小車、貨架或工作臺等。5.8.5靜電敏感產(chǎn)品轉移、存貯中要遠離強靜電、強電磁場或放射場的位置。5.9絕緣體〔靜電源〕控制5.9.1為了減少靜電對靜電敏感產(chǎn)品的破壞，所有不必要的易產(chǎn)生靜電的材料〔如：普通塑料、橡膠、合成纖維等〕和個人物品不允許帶入EPA內(nèi)。5.9.2在操作、儲存靜電敏感產(chǎn)品的位置附近擱置有直流高壓設備〔CRT顯示器、電源燈〕，應采用靜電防護措施。5.9.3在EPA內(nèi)，儀器設備、工裝夾具均應采取防靜電措施，確認不會對靜電敏感產(chǎn)品造成損害前方可使用。5.9.4對于接觸靜電每個產(chǎn)品的材料，靜電電壓不得超過該EPA允許范圍，如超過必須采取措施進行控制，應采用以下措施的其中一個a、將2000v以上電壓的絕緣體遠離高靜電敏感產(chǎn)品至少30cm，將100v以上電壓的絕緣體遠離高靜電敏感產(chǎn)品至少2.5cm；b、將絕緣體置于靜電消除器的有效范圍內(nèi)將電荷中和；c、在絕緣體外表進行防靜電劑處理。5.9.5不具備防靜電功能的必備工具、用具，應放在防靜電工作臺面上，并置于靜電消除的作用范圍內(nèi)或采用防靜電劑進處理。5.9.6EPA內(nèi)非防靜材料須進行測試評估其平安性，并對非防靜電材料進行登記并建立附表23建立清單管理。5.9.7各EPA敏感期間須建立靜電敏感器件清單〔表24〕，以使相關人員清楚該器件為靜電敏感器件，以便采用靜電防護措施。5.10孤立導體控制在ESD管控體系里，如果一個與ESDS物品接觸的導體材料不能有效與接地或等電位連接系統(tǒng)連接時，則需保證該導體和ESDS物品之間的電位差小于35伏。這一點可通過用非接觸式靜電壓儀，或高阻抗的接觸式靜電壓儀，分別對ESDS物品和導體進行測量來完成。5.11操作標準5.11.1靜電防護操作的根本原則；a、所有ESDS產(chǎn)品及其他的操作都必須在ESD防護工作臺上進行；b、進入防靜電工作區(qū)的所有