B4能源管理報告201302

B4能源管理報告能源管理委員會匯報內(nèi)容

Ⅰ.節(jié)能小組檢查報告Ⅱ.B4單耗對比分析報告Ⅲ.B4CF分廠能耗分析動力技術(shù)2部2013.02Ⅳ.B4Cell分廠節(jié)能對策前言按公司能源管理委員會會議要求，組建了由主要用能單位人員組成的節(jié)能檢查小組，并初步討論確定了辦公區(qū)能源管理辦法，發(fā)給各用能單位參照執(zhí)行。各節(jié)能檢查小組于每周五下午，分別對1#、2#、3#、5#及小棟號四個區(qū)域進行辦公節(jié)能檢查?，F(xiàn)在將2013年2月份檢查結(jié)果整理匯總?cè)缦拢孩?節(jié)能小組檢查報告檢查項辦公能源使用不符合項每項評分出現(xiàn)次總評分合計照明①、在白天自然光充足的情況下，有照明燈開啟數(shù)量超過一半-54-20-38③、辦公區(qū)域無人時，該區(qū)域內(nèi)有照明燈長時間開啟-36-18空調(diào)③、無人員工作的會議室內(nèi)空調(diào)常開-31-3-3電腦④、長時間離開期間，電腦未進入待機狀態(tài)-22-4-4①③空調(diào)①照明空調(diào)/電腦合計根據(jù)辦公區(qū)能源管理辦法進行檢查的統(tǒng)計，節(jié)能檢查問題點分布如下：Ⅰ.節(jié)能小組檢查報告電腦④典型不符項照片Ⅰ.節(jié)能小組檢查報告區(qū)域無人，照明未關(guān)無人使用，照明長開照明充足，照明過半空調(diào)溫度設定超標長時間離開顯示屏未關(guān)無人房間，空調(diào)常開Ⅰ.節(jié)能小組檢查報告全廠辦公節(jié)能檢查評分匯總序號所屬部門門牌小計合計備注

序號所屬部門門牌小計合計備注

序號所屬部門門牌小計合計備注1品質(zhì)保證部-7-72F西南敞開7A4-05會議室1-4-201-6-6需各檢查小組區(qū)分責任區(qū)域及負責人2BMS制造部3-3-043-5-78機械光學實驗室2-5-036-3-3BMS技術(shù)部-29電路實驗室2-5-045-3-33整機開發(fā)實驗室2-4-069-3-62#整機QE實驗室2-4-025-34整機開發(fā)-5-53#4F東南5行政保衛(wèi)-5-52#1F西側(cè)連廊6CSMO組織1-6-？-3-3再次重申：請各節(jié)能檢查小組在檢查過程中明確責任區(qū)域，注明各下級（例如各實驗室、會議室）所屬部門，以方便進行匯總報告。附：節(jié)能檢查原始記錄附：節(jié)能檢查原始記錄3#附：節(jié)能檢查原始記錄Ⅱ.B4單耗對比分析報告前言B3、B4工廠各項單耗數(shù)據(jù)是以其Cell分廠產(chǎn)出玻璃基板面積為基準計算得出，各項數(shù)據(jù)以自然月計算（每月1日到每月31日）。B3工廠數(shù)據(jù)由B3工廠生管部門提供的數(shù)據(jù)計算得出，B4數(shù)據(jù)引用動力2部的能源月報數(shù)據(jù)，兩工廠數(shù)據(jù)采用相同計算方法，進而對比。

因為2月份有春節(jié)放假因素影響，數(shù)據(jù)采集周期有變動，故2月份計算數(shù)據(jù)有波動。注：B3工廠Module分廠與Cell分廠產(chǎn)出玻璃基板數(shù)差較大，故未使用Module分廠數(shù)據(jù)計算。Ⅱ.B4單耗對比分析報告注：全廠動能單耗=全廠消耗動能費用之和/Cell分廠產(chǎn)出panel面積總和。（因B3工廠Module分廠和Cell分廠產(chǎn)量差距較大，但B4工廠兩大分廠數(shù)據(jù)差別不大，故采用Cell分廠產(chǎn)量作為基準計算。）B3-B4產(chǎn)量及動能費用單耗（元/㎡）注：全廠用水單耗=廠區(qū)消耗再生水總量及自來水總量之和/Cell分廠產(chǎn)出panel面積總和(B3無再生水）。B3-B4全廠用水單耗（m3/m2）Ⅱ.B4單耗對比分析報告Ⅱ.B4單耗對比分析報告B3-B4四大分廠UPW單耗趨勢B4三大分廠UPW單耗均低于B3，只B4Module分廠微高于B3，且Module單耗呈上揚趨勢，疑為Cell分廠用水增多。2013年3月開始，Cell分廠和Module分廠計量將劃分清楚，Module分廠不再包含Cell分廠數(shù)據(jù)，兩分廠數(shù)據(jù)將出現(xiàn)波動。B3-B4電力單耗（kWh/㎡）Ⅱ.B4單耗對比分析報告淺析：從2012年11月開始B4工廠電力單耗均低于B3工廠，但4個月里整體卻呈上升趨勢，需要逐步分析其原因。Ⅱ.B4單耗對比分析報告B3-B4四大分廠電力單耗趨勢B4三大分廠電力單耗均低于B3，只B4Cell分廠微高于B3，且Cell單耗呈上揚趨勢，需分析其中原因。Ⅲ.B4CF分廠能耗分析前言按公司能源管理委員會會議要求，由動力牽頭對B4四大分廠進行能耗分析，并有針對性的制定節(jié)能項目來推進能源管理。以下是動力對B4CF分廠進行能耗分析后，由電力科黎輝榮高級工程師制作的《B4CF分廠能源管理報告》，對其他分廠進行能耗分析具有指導意義。動力部規(guī)劃在5月前由1#、2#、3#樓電力科擔當牽頭對剩余三大分廠進行能耗分析檢測，現(xiàn)Cell分廠能耗分析已開始檢測，具體進度逐步跟進中。(測量采用電能質(zhì)量分析儀和鉗形電流表搭配，以4分鐘為時間段，在線監(jiān)測多個運行節(jié)拍的方式，對各類設備電源接入點進行監(jiān)測，測量的耗電量不能保證100%精確，但數(shù)據(jù)具有橫向比較的價值)B3/B4CF車間配套動力設備（FFU、MAU、AHU、PCW、PV、HV、VOC、酸堿有毒排風、普通排風、PGEX、照明等）裝設容量及生產(chǎn)運行實際容量對比：配電用途裝設容量

（kW）實際容量

（kW）負荷率（%）B3動力設備4,3002,80065.12%B4動力設備6,2083,37554.36%Ⅲ.B4CF分廠能耗分析B3/B4CF工廠工藝設備裝設容量及生產(chǎn)運行實際容量對比表配電用途裝設容量實際容量負荷率（%）（kW）（kW）B3工藝設備

14,4094,65632.31%B4工藝設備

29,9968,17427.25%Ⅲ.B4CF分廠能耗分析B3、B4工廠CF分廠生產(chǎn)運行實際電力消耗對比表配電用途實際容量（kW）每塊玻璃基板尺寸（㎡）實際產(chǎn)能（k）良品率（%）實際單耗（kWh/㎡）備注B3B4B3B4B3及B4B3B4B3B4產(chǎn)能按滿產(chǎn)90k;

動力設備2,8003,3752.7755.59095%93%8.505.17工藝設備4,6568,17414.1312.78工藝、動力設備總量7,45611,54922.6318.06B4/B3154.90%198.20%100%97.8%79.80%Ⅲ.B4CF分廠能耗分析line名設備工序名稱Run(kW)備注line名設備工序名稱Run(kW)備注BMcleaner/清洗12.28月16日,17日,20日實測Redcleaner/清洗12.28月16日,17日,20日實測Coater/涂布85.58月16日,17日,20日實測Coater/涂布85.58月16日,17日,20日實測HPCP/加熱86.08月16日,17日,20日實測HPCP/加熱86.08月16日,17日,20日實測EXPO/曝光118.08月16日,17日,20日實測EXPO/曝光118.08月16日,17日,20日實測Develop/顯影10.78月16日,17日,20日實測Develop/顯影10.78月16日,17日,20日實測OVEN/烘烤295.0最大的耗電設備，且idle狀態(tài)與RUN狀態(tài)耗電量相當，甚至還高OVEN/烘烤295.0最大的耗電設備，且idle狀態(tài)與RUN狀態(tài)耗電量相當，甚至還高Greencleaner/清洗12.28月16日,17日,20日實測Bluecleaner/清洗12.28月16日,17日,20日實測Coater/涂布85.58月16日,17日,20日實測Coater/涂布85.58月16日,17日,20日實測HPCP/加熱86.08月16日,17日,20日實測HPCP/加熱82.08月16日,17日,20日實測EXPO/曝光123.98月16日,17日,20日實測EXPO/曝光123.98月16日,17日,20日實測Develop/顯影10.78月16日,17日,20日實測Develop/顯影10.78月16日,17日,20日實測OVEN/烘烤295.0最大的耗電設備，且idle狀態(tài)與RUN狀態(tài)耗電量相當，甚至還高OVEN/烘烤292.5最大的耗電設備，且idle狀態(tài)與RUN狀態(tài)耗電量相當，甚至還高PScleaner/清洗12.28月16日,17日,20日實測OCcleaner/清洗12.28月16日,17日,20日實測Coater/涂布85.58月16日,17日,20日實測Coater/涂布85.58月16日,17日,20日實測HPCP/加熱62.08月16日,17日,20日實測OVEN/烘烤292.5最大的耗電設備，且idle狀態(tài)與RUN狀態(tài)耗電量相當，甚至還高EXPO/曝光123.98月16日,17日,20日實測ITOcleaner/清洗12.29月6日實測Develop/顯影10.78月16日,17日,20日實測Sputter/濺射180.09月6日實測OVEN/烘烤292.5最大的耗電設備，且idle狀態(tài)與RUN狀態(tài)耗電量相當，甚至還高OVEN/烘烤245.5最大的耗電設備，且idle狀態(tài)與RUN狀態(tài)耗電量相當，甚至還高offline檢查島檢查設備62.0包括較多設備，8月16日,17日,20日實測RepairFeeder27.0

9月6日實測ReworkFeeder7.08月16日,17日,20日實測Repair390.0有39臺10kW的設備Rework804.0包括較多設備，9月6日實測附件1：B4工廠CF分廠PH1工藝設備耗電情況實測數(shù)據(jù)Ⅲ.B4CF分廠能耗分析附件1：B4工廠CF分廠工藝設備耗電情況實測數(shù)據(jù)分析設備分類實際運行功率（kW）工藝設備實際運行總功率（kW)比例（%）備注B3B4B3B4B3B4Coater/涂布2001,0264,6568,1744.30%12.55%較B3偏高HPCP/加熱2038044.35%9.84%較B3偏高Expo/曝光6451,21513.86%14.87%較B3偏高Oven/烘烤1,4854,01631.89%49.13%較B3偏高Sputter/濺射2293604.92%4.40%較B3略低Ⅲ.B4CF分廠能耗分析附件2：B4

CF分廠工藝設備耗電統(tǒng)計分析表序號配電用途Run（kW）Idle（kW）Idle/Run（%）備注1P58%

2PH1Repair43215134.95%3PH24087370290.58%4PH2Repair43215134.95%5Rework810.968584.47%產(chǎn)線設備總計9,8498,39185.20%

Ⅲ.B4CF分廠能耗分析CF電能使用調(diào)查分析：①B4配套動力設備、工藝設備設計均較B3保守，設計裝機容量均偏大；②從附件1可以看出，產(chǎn)線中Coater/涂布，HPCP/加熱，Expo/曝光，Oven/烘烤及Sputter/濺射等主要工序及設備能耗較大，其中Oven/烘烤為最大能耗設備；且以上設備B4能耗占總能耗比例大都高于B3。③從附件2可以看出，工藝設備在Idle狀態(tài)下能耗與Run狀態(tài)下相當。④CF分廠采取節(jié)能措施時可參考以上調(diào)查數(shù)據(jù)。Ⅲ.B4CF分廠能耗分析月份1月2月3月4月5月6月7月8月9月10月11月12月B4實際消耗613190461337246668646644672068875776793779718522672173236657890663527265668336906687B3實際消耗3103451276841528608403050125302914629873722926067308379830910092937307307721829157761.B4-B3Cell分廠2012年全年電力實際消耗比較及動力統(tǒng)計范圍分析(動力data)ItemB4B3Remark耗電范圍1.ArrayTest部分設備2.Cell工藝設備-.PILine(3EA),PISub-.RubLine(18EA),RubSub-.AssyLine(3EA),AssySub3.Cell棟3F&4F

潔凈間外設備(實驗室…….)4.Cell棟3F&4F

動力設施(照明,FFU,MAU……)1..Cell工藝設備-.PILine(3EA),PISub-.RubLine(11EA),RubSub-.AssyLine(3EA),AssySub-.CutLine(14EA),CutSub-.C/TLine2.

Cell棟動力設施(照明,FFU,MAU……)由于耗電范圍差異較大,基準不同,故無法整體對比ItemB4B3B4:B3RemarkCell

工藝設備總電耗31381KVA23181KVA1.35含

PI,Rub,Assy,Cut,CellTest全部設備的Utility統(tǒng)計Glass面積5.5m22.775m22單耗B4-B3設備在相同運轉(zhuǎn)率&相同月產(chǎn)能的情況下，單耗B4：B3=0.7Remark:由于動力提供Data統(tǒng)計基準不同,

故無法整體進行比較,

從設備Utility比較,B4單耗應低于B3.

邀請動力分別提供各工藝段電耗數(shù)據(jù).2.B4-B3設備Utility能耗比較分析Ⅳ.B4Cell分廠節(jié)能對策1.B4-B3Cell分廠工藝段別能耗分析注：圖中數(shù)據(jù)來自B4&B3Cell設備Utility統(tǒng)計得出2.針對差異較大的三類設備進行能耗比較分析B3Cell分廠AssyPH1~3工藝段無ARCOven設備注：圖中數(shù)據(jù)來自B4&B3Cell設備Utility統(tǒng)計得出B4UVCure設備Lamp數(shù)量是B3的2倍B4MainCure設備的尺寸較大Ⅳ.B4Cell分廠節(jié)能對策NO.設備改造效果Countermeasure改造前改造后節(jié)能效果1MainCure4327KVA4100KVA5%1.PH4設備密封性改造，預計改造后Heater部分可降低50%電力消耗，由于設備廠商不同，PH1~3設備Modify再檢討，設備改造后總體可降低5%電力消耗。

Attachment12.在發(fā)生計劃外Idle的時候，自動切換到IdleStop，停止供排氣及AirHeater加熱。2ARCOven930KVA880KVA5%PH4設備增加熱交換器，改造后Heater部分可降低50%電力消耗，PH1~3檢討Modify可行性，設備改造后總體可降低5%電力消耗。

Attachment2在發(fā)生計劃外Idle的時候，自動切換到IdleStop，停止供排氣及AirHeater加熱。3UVCure1664KVA1580KVA-PM時將UVLamp關(guān)閉，降低能耗。設備Idle時關(guān)燈可行性再檢討。4HeatCure2783KVA2640KVA約20%PH1~3設備增加熱交換器，與KoyoSpec檢討進行中Ⅳ.B4Cell分廠節(jié)能對策Item一般模式節(jié)能模式設備密封性改造節(jié)能效果總結(jié)設備總體節(jié)能效果AirHeater耗電量為全體使用電力的10%左右，設備全體節(jié)能效果=50%X10%=約