公用數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)

1通用數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)檢定規(guī)程本規(guī)程適用于數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)，包括混合集成電路及存貯器測試系統(tǒng)的數(shù)字注：使用本規(guī)程時，應注意使用上述引用文獻的現(xiàn)行有效版本。通用數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)測試對象是數(shù)字邏輯集成電路器件。可用于圓晶片的測試和封裝后的器件測試及產品檢驗、分析、篩選等測試。典型結構由驅動/比較單元、圖形發(fā)生器、時鐘發(fā)生器、精密測量單元、器件電源及控制單元組成。混合電路測試系統(tǒng)及存貯器測試系統(tǒng)中的數(shù)字測試單元與數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)結構基本一致。對于它們的數(shù)字測試單元的檢定等同于通用數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)。以下為數(shù)字信號測試系統(tǒng)比較單元圖形發(fā)生器時鐘發(fā)生器測試單元器件電源精密測量單元數(shù)字信號系統(tǒng)模擬信號系統(tǒng)-M圖1集成電路測試系統(tǒng)結構示意圖本規(guī)程是通過分項參數(shù)檢定和標準樣片測量對數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)的主要單元及性能參數(shù)進行檢定，以保證測試系統(tǒng)關鍵量值的溯24.2.1PMU加壓測流范圍：-204.2.2PMU加流測壓范圍：±(100nA～500mA);-20V～+20V4.3.2驅動信號上升時間/下降時間：±(1.5~3.5)ns4.3.3驅動信號通道間偏差：<2ns4.5.1系統(tǒng)時鐘發(fā)生器設置頻率范圍：100Hz～250MHz數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)上應具有制造廠名、儀器型號、出廠序號編號；送檢時應帶計量器具控制包括首次檢定、后續(xù)檢定和使用中檢驗。6.1.1.3交流電源電壓：(220±11)V;(50±1)Hz電壓范圍：±(10mV～50V)最大允許誤差：±0.1%電壓范圍：±100V最大允許誤差：±0.01%頻率范圍：100Hz~250MHz最大允許誤差：±0.005%帶寬：1GHz,時間測量：±(1、5～3.5)ns最大允許誤差：±5%(1V/div)6.1.2.5標準電阻器組范圍：1Ω~100MΩ最大允許誤差：±(0.05～1)%6.1.2.6標準樣片組3用于被檢設備邏輯功能正確性檢查特定芯片。6.1.2.7檢定用適配板能方便地將標準設備連接到被檢單元的適配板。通常使用測試用適配板。6.2檢定項目及檢定方法6.2.1檢定項目一覽表(見表1)檢定項目首次檢定后續(xù)檢定十十十+十精密測量單元加且則流+十十+十驅動單元電壓最+一比較單元電田測量+十驅動信號上升時間下降時間+十十+系統(tǒng)時鐘頻率設罩十十注：“+”應檢項目，“-”為可不檢項且檢定時技術指標。最大允許誤差以被檢設備的說明書為準，6.2.2工作正常性和圖形發(fā)生器功能檢查6.2.2.1數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)應能正常王作，測試用適配板上插座連接緊密?？刂朴糜嬎銠C軟硬件工作正愛。6.2.2.2測試系統(tǒng)在進行檢定前，應按說明書要求頂熱人通常為1小時～2小時),運行系統(tǒng)自帶的自校準軟件并結果能裂。6.2.2.3用標準樣片組對測試系統(tǒng)的圖形發(fā)生器進行功能性檢查。用戶按樣片的技術手冊規(guī)定的測試條件，編寫測試程序并對其進行邏輯功能的測試。當系統(tǒng)測得邏輯功能與樣片數(shù)據手冊規(guī)定的邏輯功能一致時，可以認為被檢系統(tǒng)的圖形發(fā)生器工作正常。將測量結果填入附錄A“工作正常性及圖形發(fā)生器功能檢查”項中。6.2.3器件電源(DPS)設置電壓參數(shù)檢定6.2.3.1檢定設備連接如圖2所示。6.2.3.2將被檢系統(tǒng)的器件電源(DPS)通道與標準電阻器和數(shù)字電壓表連接，數(shù)字電壓表設置為直流電壓方式，手動設置量程。4數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)測試用適配器數(shù)子電壓求+十6.2.3.3被檢系統(tǒng)編制并運行相關檢定程序，DPS按規(guī)定量程設置受檢點(優(yōu)選受檢點：±3.3V,±5V,±10V,±15V),選擇適當?shù)碾娮柚?應考慮被檢系統(tǒng)DPS的負載能力)設置電壓值Vx,用數(shù)字電壓表的示值Vs檢查DPS的設置電壓參數(shù)是否符合該系統(tǒng)的要求?！鱒prs——DPS設置電壓誤差。6.2.3.5對于不同的受檢點，重復6.2.3.3~6.2.3.4的檢定步驟。數(shù)子集成膽路測試系統(tǒng)數(shù)子集成膽路測試系統(tǒng)測試用適配器數(shù)字電壓表地6.2.4.2將被檢系統(tǒng)的DPS通道與標準電阻器和數(shù)字電壓表相連接，數(shù)字電壓表設置為直流電壓測量方式，手動設置量程。6.2.4.3被檢系統(tǒng)編制并運行相關檢定程序，根據DPS測量電流的量程及受檢點(優(yōu)選受檢點：每量程的50%、90%滿載電流點),選取適當?shù)臉藴孰娮杵?應考慮被檢系統(tǒng)DPS的負載能力，從小電流量程開始檢定),用數(shù)字電壓表監(jiān)測DPS設置的電壓，計算流經電阻的電流值Is,與DPS測量的電流示值Ix比較，檢查DPS的電流測量能力是否符合該系統(tǒng)的技術要求。5數(shù)字電壓表數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)測試用適配器6.2.4.4按公式(2)計算DPS電流測量參數(shù)的誤差。將計算結果記錄于附錄A數(shù)字電壓表數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)測試用適配器表2中。6.2.5.1檢定設備連接如圖4所示。++標準電阻器地每量程的50%、90%滿載電流點),選取適當?shù)臉藴孰娮杵?應考慮被檢系統(tǒng)PMU的6.2.5.4PMU設置電壓參數(shù)的誤差按公式(3)計算。將計算結果記錄于附錄A表3中。6.2.5.5PMU電流測量參數(shù)的誤差按公式(4)計算。將計算結果記錄于附錄A表3中。6數(shù)字電出地;數(shù)字電出地;數(shù)字興成電品割試系統(tǒng)ls——標準電流值；△l——電流測量誤差。6.2.5.6對于不同的受檢點，重復6.2.5.3～6.2.5.5的檢定步驟。6.2.5.7對于多個PMU單元，重復6.2.5.3～6.2.5.6的檢定步驟。6.2.6精密測量單元(PMU、PPMU)加電流測電壓參數(shù)檢定6.2.6.1檢定設備連接如圖5所示。6.2.6.2將被檢系統(tǒng)的PMU通道與標準電阻器和數(shù)字電壓表相連找一數(shù)字電壓表設置為直流電壓測密分式，手動設置量程。6.2.6.3被檢系統(tǒng)編制并運行相關檢定程序，設置PMU為加流測用MV)模式，流點；±1.5v,\0v,±5.0V),題取適當?shù)臉藴孰娮杵?應考慮德驗系統(tǒng)PMU的負載能力，從小電流量程開始檢定用數(shù)字電壓表的示值Vs與PME量電壓值Vx比較，檢查PML河鹽電壓能力是否征合該系統(tǒng)的我術要求；計算電明端的電流值Is6.2.6.4PMU電流取金會數(shù)的誤差酸公式(5)開算。將工結果記錄于附錄A式中：Ix—PMU設置電流值；ls——標準電流值；△lm——設置電流誤差。Vs——數(shù)字電壓表示值；△Vxv——測量電壓誤差。7際淮直流電壓源數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)凝試用適配器6.2.6.6對于不同的受檢點，重復6.2.6.3～6.2.6.5的檢定步驟。際淮直流電壓源數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)凝試用適配器6.2.6.7對于多個PMU單元，重復6.2.6.3～6.2.6.6的檢定步驟。6.2.7驅動單元電壓設置參數(shù)檢定6.2.7.1檢定設備連接如圖6所示。數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)數(shù)字電壓表測試用適配器圖6驅動單元電屬設留態(tài)數(shù)檢定連接點：TTL,Mis,HC系列器件規(guī)定的電平),選取適當?shù)臉藴孰娂毱?應考慮被檢系統(tǒng)驅動單元最紙能力，以90%滿載電流點為優(yōu)選點負載),用數(shù)于電壓表的示值Vs,6.2.7.4驟獨單元電壓設置參數(shù)的誤差按公式(2)計算。將計筑結果記錄于附錄A表5中。式中：Vx-+驅動單元設置電壓Vs—寧電壓表示值；通道1:地圖7比較單元電壓測量參數(shù)檢定連接圖86.2.8.2將被檢系統(tǒng)的比較單元相應通道與標準直流電壓源相連接。6.2.8.3被檢系統(tǒng)編制并運行相關檢定程序，設置比較單元測量電壓Vx的量程及被檢點(優(yōu)選受檢點：TTL,CMOS,HC系列器件規(guī)定的電平),設置標準直流電壓源的輸出電壓Vs與Vx進行比較檢查其測量電壓能力是否符合該系統(tǒng)的技術要求。6.2.8.4比較單元電壓設置參數(shù)的誤差按公式(8)計算。將計算結果記錄于附錄AVs——標準電壓源設置值；△Ve——測量電壓誤差。6.2.8.5對于不同的電壓測量點重復6.2.8.3～6.2.8.4的檢定步驟。6.2.8.6對于多個比較單元，重復6.2.8.3～6.2.8.5的檢定步驟。6.2.9驅動信號上升時間/下降時間參數(shù)檢定6.2.9.1檢定設備連接如圖8所示?！筋^數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)測試用適配器通通圖8驅動信號上升時間/下降時間參數(shù)檢定6.2.9.2將示波器一個通道的探頭與被檢系統(tǒng)上一個測試通道相連接。6.2.9.3被檢系統(tǒng)編制并運行相關檢定程序，設置受檢系統(tǒng)的驅動信號輸出頻率為5MHz,幅度為2V、占空比為50%的脈沖波形。調整示波器的垂直標尺500mV/div,水平標尺為500ps/div,分別測量電壓幅度10%～90%之間的時間(上升時間),電壓幅度90%～10%之間的時間(下降時間),以檢查測試系統(tǒng)驅動信號的上升時間和下降時間是否符合該系統(tǒng)的技術要求。6.2.9.4將測量結果記錄于附錄A表7中。6.2.9.5重復的6.2.9.3～6.2.9.4檢定步驟，檢定所有的測試通道。6.2.10驅動信號通道間偏差檢定6.2.10.1檢定設備連接如圖9所示。6.2.10.2將示波器兩個通道的探頭分別與被檢系統(tǒng)上兩個測試通道相連接。6.2.10.3被檢系統(tǒng)編制并運行相關檢定程序，設置受檢的測試通道輸出頻率為9數(shù)學集成電路測試系統(tǒng)測試用適配器類數(shù)學集成電路測試系統(tǒng)測試用適配器類率計÷數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)測試用適鼠器平標尺為500ps/div,以第一通道的波形前沿中心點為基準，測量與另一個通道波形前要求。6.2.10.4驅動信號通道間偏差按公式(9)計算。將計算結果記錄于附錄A表8中。S波檢通道——被檢通道測量值；6.2.10.5以系統(tǒng)的第一通道為基準通道，重復的6.2.10.地圖10系統(tǒng)時鐘設置頻率準確度檢定連接圖連接。6.2.11.3被檢系統(tǒng)編制并運行相關檢定程序，設置系統(tǒng)時鐘頻率值Fx(優(yōu)選受檢點：1M-z,10MH.及測試系統(tǒng)最高時鐘頻率),用頻率計的示值檢查系統(tǒng)時鐘設置頻率是否符合該系統(tǒng)的技術要求。6.2.11.4系統(tǒng)時鐘設置頻率誤差按公式(10)計算。將計算結果記錄于附錄AFs——標準測量值；6.2.11.5對于不同的受檢點，重復6.2.11.3～6.2.11.4的檢定步驟。6.3檢定結果的處理按本規(guī)程要求檢定合格的通用數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)，出具檢定證書；不合格的出具檢定結果通知書并注明不合格項同6.4檢定周期數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)檢定證書及檢定結果通知書內頁格式工作正常性：正常□;不正?！踝畲笤试S誤差汪：檢定點和最大允許誤差按被校儀器說明書給出。誤差誤差注：檢定點和最大允許誤差按被檢儀器說明書給出。電阻誤差誤差誤差誤差系統(tǒng)設置值系統(tǒng)測量值注：檢定點和最大允許誤差按被檢