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熱膨脹系數(shù)重要意義：引起面形變化，影響成像質(zhì)量（石英玻璃500nm/m.℃）影響成像質(zhì)量降低分辨率3.2光學石英玻璃的熱膨脹系數(shù)第三章：光學石英玻璃關(guān)鍵性能探索
3.2低膨脹石英玻璃第三章：光學石英玻璃關(guān)鍵性能探索OR+4OOO摻雜石英玻璃固相摻雜技術(shù)液相摻雜技術(shù)1974年中國建材總院顧真安院士帶領(lǐng)團隊采用臥式CVD工藝，成功研制低膨脹石英玻璃材料，并制定相關(guān)標準（JC227-1981QSD低膨脹石英玻璃管、JC-T679玻璃平均線性熱膨脹系數(shù)試驗方法）2014年，我院率先采用立式氣相摻雜工藝，開展低膨脹石英玻璃塊體材料研究立式CVD摻雜沉積工藝圖臥式CVD摻雜沉積工藝圖3.2光學石英玻璃的發(fā)展歷史第三章：光學石英玻璃關(guān)鍵性能探索化學氣相沉積工藝（CVD）：通過氣化器將一定含量的SiCl4和TiCl4液體氣化后通過燃燒器噴射到1600-1700℃氫氧焰中，形成SiO2-TiO2沉積顆粒，顆粒在旋轉(zhuǎn)的沉積基底上熔融玻璃化，最終制得低膨脹石英玻璃。
FurnaceBurnerSiCl4+TiCl4O2H2Ingot3.2.2低膨脹石英玻璃制備原理第三章：光學石英玻璃關(guān)鍵性能探索性能參數(shù)高純石英玻璃超低膨脹微晶玻璃低膨脹石英玻璃膨脹系數(shù)5.7×10-7/℃（1±5）×10-8/℃（1±5）×10-8/℃密度2.19g/cm32.53g/cm32.21g/cm3可焊接性一般不可焊接良好單體鏡坯米級以上米級以上米級以上組分SiO2以Li2O、Al2O3、SiO2為主要成分SiO2+TiO2主要應用透鏡、光掩膜基板等地面精密光學系統(tǒng)反射鏡極紫外光刻、空間反射鏡等3.2.2低膨脹石英玻璃特點第三章：光學石英玻璃關(guān)鍵性能探索6名稱反射鏡外形尺寸(mm)加工數(shù)量加工后面形主鏡Ф456×8910.0137λ次鏡Ф135×2810.012λ三鏡380×117×6410.015λ平面鏡80×4810.012λ3.2.2
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