智研咨詢發(fā)布：CMP設(shè)備行業(yè)市場簡析（附行業(yè)市場現(xiàn)狀、商業(yè)模式、行業(yè)壁壘及競爭格局分析）

精品研報·專題定制·產(chǎn)研服務(wù)智研咨詢出品CMP設(shè)備精品研報·專題定制·產(chǎn)研服務(wù)智研咨詢出品CMP設(shè)備智研產(chǎn)業(yè)百科·產(chǎn)業(yè)研究第一站/CMP設(shè)備/實用的產(chǎn)研百科工具CMP設(shè)備TOC\o"1-5"\h\z\u一、定義及分類 1二、商業(yè)模式 21、采購模式 22、研發(fā)模式 23、生產(chǎn)模式 24、銷售模式 2三、行業(yè)政策 31、主管部門及監(jiān)管體制 32、相關(guān)政策 3四、行業(yè)壁壘 51、技術(shù)壁壘 52、驗證壁壘 53、資金及人才壁壘 5五、產(chǎn)業(yè)鏈 61、行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈分析 62、行業(yè)領(lǐng)先企業(yè)分析 7（1）華海清科股份有限公司 7（2）北京晶亦精微科技股份有限公司 7六、行業(yè)現(xiàn)狀 9七、發(fā)展因素 101、有利因素 10（1）國家產(chǎn)業(yè)政策的支持 10（2）國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逐步向中國大陸轉(zhuǎn)移 10（3）國產(chǎn)化趨勢加快 102、不利因素 11（1）國際領(lǐng)先企業(yè)具有先發(fā)優(yōu)勢 11（2）產(chǎn)業(yè)環(huán)境有待改善 11（3）高端技術(shù)人才相對缺乏 11八、競爭格局 12九、發(fā)展趨勢 13一、定義及分類化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）設(shè)備系依托CMP技術(shù)的化學(xué)-機(jī)械動態(tài)耦合作用原理，通過化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同配合作用，實現(xiàn)晶圓表面多余材料的高效去除與全局納米級平坦化——全局平整落差5nm以內(nèi)的超高平整度；其是一種集摩擦學(xué)、表/界面力學(xué)、分子動力學(xué)、精密制造、化學(xué)/化工、智能控制等多領(lǐng)城最先進(jìn)技術(shù)于一體的設(shè)備，是集成電路制造設(shè)備中較為復(fù)雜和研制難度較大的專用設(shè)備之一。根據(jù)應(yīng)用端需求，CMP設(shè)備主要分為8英寸CMP設(shè)備、12英寸CMP設(shè)備和6/8英寸兼容CMP設(shè)備。二、商業(yè)模式1、采購模式企業(yè)根據(jù)客戶訂單或采購意向確定具體投產(chǎn)計劃并形成需求BOM清單（物料清單），供應(yīng)鏈管理部依據(jù)需求BOM清單確認(rèn)原材料采購內(nèi)容，依據(jù)投產(chǎn)計劃確認(rèn)采購周期。CMP設(shè)備是實現(xiàn)化學(xué)機(jī)械拋光工藝的全自動超精密裝備，零部件的精度、潔凈度、穩(wěn)定性、可靠性和一致性對于整機(jī)的工藝性能和質(zhì)量產(chǎn)生較大影響。為保證產(chǎn)品的質(zhì)量和性能，企業(yè)制定了嚴(yán)格的供應(yīng)商準(zhǔn)入和審核制度，根據(jù)供應(yīng)商技術(shù)能力、質(zhì)量管控能力、生產(chǎn)能力、價格水平、交貨周期、資產(chǎn)管理和服務(wù)等因素，選定合格的供應(yīng)商納入合格供應(yīng)商名錄。CMP設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)一般會與主要供應(yīng)商簽訂框架協(xié)議并以訂單形式具體執(zhí)行采購。對于新品研發(fā)中出現(xiàn)的新物料需求，若現(xiàn)有合格供應(yīng)商無法供應(yīng)，則啟動新供應(yīng)商及相應(yīng)原材料的評估和驗證，驗證通過后進(jìn)行采購。2、研發(fā)模式CMP設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)品研發(fā)主要采取自主研發(fā)模式，建立了多部門協(xié)同配合的自主創(chuàng)新機(jī)制，研發(fā)實驗室、產(chǎn)品研發(fā)部、工藝技術(shù)部和設(shè)備技術(shù)部對新技術(shù)、新產(chǎn)品進(jìn)行協(xié)同研發(fā)。新產(chǎn)品研發(fā)流程主要包括規(guī)劃與可行性分析階段、開發(fā)實現(xiàn)階段、小批量試制及改進(jìn)階段、產(chǎn)品定型標(biāo)準(zhǔn)化階段。3、生產(chǎn)模式CMP設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)模式主要根據(jù)客戶訂單或采購意向確定具體投產(chǎn)計劃，首先進(jìn)行通用化模塊的生產(chǎn)，后續(xù)按照客戶確認(rèn)的明確參數(shù)、配置等具體需求完成定制化模塊的生產(chǎn)，模塊生產(chǎn)完成后進(jìn)行單元組裝及軟件和參數(shù)配置，最終完成整機(jī)裝配和測試驗證。4、銷售模式在境內(nèi)市場，CMP設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)銷售模式主要以直銷模式銷售產(chǎn)品，通過與境內(nèi)客戶商業(yè)談判或招投標(biāo)的方式獲取訂單。在境外市場，CMP設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)主要以代銷模式銷售產(chǎn)品，通過代銷商協(xié)助進(jìn)行客戶開拓、維護(hù)及售后服務(wù)；企業(yè)與最終用戶直接簽署購銷合同并交付產(chǎn)品，同時企業(yè)按照代銷協(xié)議的約定支付代銷商綜合服務(wù)費(fèi)。CMP設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)設(shè)有市場部負(fù)責(zé)市場分析、市場開發(fā)和產(chǎn)品銷售；設(shè)有設(shè)備技術(shù)部為客戶提供駐場服務(wù)，負(fù)責(zé)企業(yè)產(chǎn)品在客戶端的安裝、調(diào)試、質(zhì)保、維修、技術(shù)咨詢及服務(wù)等相關(guān)工作；通過代銷商為境外客戶提供設(shè)備安裝、調(diào)試及售后服務(wù)。三、行業(yè)政策1、主管部門及監(jiān)管體制CMP設(shè)備行業(yè)主管部門為工業(yè)和信息化部和科技部。工信部主要職責(zé)包括擬訂并組織實施工業(yè)、通信業(yè)、信息化的發(fā)展規(guī)劃和產(chǎn)業(yè)政策，協(xié)調(diào)解決新型工業(yè)化進(jìn)程中的重大問題，推進(jìn)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)戰(zhàn)略性調(diào)整和優(yōu)化升級；監(jiān)測分析工業(yè)、通信業(yè)運(yùn)行態(tài)勢，統(tǒng)計并發(fā)布CMP設(shè)備行業(yè)相關(guān)信息，進(jìn)行預(yù)測預(yù)警和信息引導(dǎo)；統(tǒng)籌推進(jìn)國家信息化工作，組織制定CMP設(shè)備行業(yè)相關(guān)政策并協(xié)調(diào)信息化建設(shè)中的重大問題等。科技部主要職責(zé)包括擬訂國家創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略方針以及科技發(fā)展、引進(jìn)國外智力規(guī)劃和政策并組織實施；統(tǒng)籌推進(jìn)國家創(chuàng)新體系建設(shè)和科技體制改革，會同有關(guān)部門健全CMP設(shè)備行業(yè)技術(shù)創(chuàng)新激勵機(jī)制；牽頭建立統(tǒng)一的國家科技管理平臺和科研項目資金協(xié)調(diào)、評估、監(jiān)管機(jī)制；擬訂國家基礎(chǔ)研究規(guī)劃、政策和標(biāo)準(zhǔn)并組織實施，組織協(xié)調(diào)國家重大基礎(chǔ)研究和應(yīng)用基礎(chǔ)研究；編制國家重大科技項目規(guī)劃并監(jiān)督實施等。CMP設(shè)備行業(yè)自律組織是中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會。中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會主要職責(zé)包括貫徹落實政府有關(guān)的政策、法規(guī)，向政府業(yè)務(wù)主管部門提出本行業(yè)發(fā)展的經(jīng)濟(jì)、技術(shù)和裝備政策的咨詢意見和建議；做好信息咨詢工作。調(diào)查、統(tǒng)計、研究、預(yù)測CMP設(shè)備行業(yè)行業(yè)產(chǎn)業(yè)與市場，及時向會員單位和政府主管部門提供行業(yè)情況調(diào)查、市場趨勢、經(jīng)濟(jì)運(yùn)行預(yù)測等信息，做好政策導(dǎo)向、信息導(dǎo)向、市場導(dǎo)向工作；廣泛開展經(jīng)濟(jì)技術(shù)交流和學(xué)術(shù)交流活動。組織舉辦CMP設(shè)備行業(yè)行業(yè)國內(nèi)外新產(chǎn)品、新技術(shù)研討會和展覽會，為企業(yè)開拓國內(nèi)外兩個市場服務(wù)；開展國際交流與合作。發(fā)展與國外團(tuán)體的聯(lián)系，促進(jìn)CMP設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展，推動CMP設(shè)備產(chǎn)業(yè)國際化等。2、相關(guān)政策近年來，國家大力推進(jìn)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)化，政府相繼推出許多相關(guān)政策促進(jìn)CPM設(shè)備行業(yè)發(fā)展。如工信部發(fā)布的《首臺（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2019年版）》中將化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)作為集成電路生產(chǎn)裝備之一列入該目錄，我國對于CMP設(shè)備的支持力度逐漸加大?！缎聲r期促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展若干政策》、《做好2022年享受稅收優(yōu)惠政策的集成電路企業(yè)或項目、軟件企業(yè)清單制定工作有關(guān)要求的通知》等政策提供了投融資、稅收優(yōu)惠等支持，降低了CMP設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)的成本和風(fēng)險，提高了企業(yè)的競爭力?！峨娮有畔⒅圃鞓I(yè)2023—2024年穩(wěn)增長行動方案》提出，聚焦集成電路等領(lǐng)域，推動短板產(chǎn)業(yè)補(bǔ)鏈、優(yōu)勢產(chǎn)業(yè)延鏈、傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)升鏈、新興產(chǎn)業(yè)建鏈，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈上中下游融通創(chuàng)新、貫通發(fā)展，全面提升產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈穩(wěn)定性。CMP設(shè)備企業(yè)將與材料供應(yīng)商、芯片設(shè)計公司、終端應(yīng)用廠商等建立更緊密的合作關(guān)系，加快新技術(shù)的應(yīng)用和推廣。四、行業(yè)壁壘1、技術(shù)壁壘CMP等半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)是技術(shù)高度密集型行業(yè)，研發(fā)及制造過程中涉及微電子、電氣、機(jī)械、材料、化學(xué)工程、流體力學(xué)、自動化、圖像識別、通訊、軟件系統(tǒng)等多學(xué)科知識、多領(lǐng)域技術(shù)的交叉綜合運(yùn)用。此外，在CMP等半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)中，國際巨頭市場占有率較高，其在大部分技術(shù)領(lǐng)域已采取了知識產(chǎn)權(quán)保護(hù)措施，CMP等半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的技術(shù)壁壘較高。2、驗證壁壘下游客戶對于CMP等半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品的技術(shù)參數(shù)、運(yùn)行的穩(wěn)定性有苛刻的要求。為保障生產(chǎn)效率、質(zhì)量和良率，客戶設(shè)有嚴(yán)格的認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)和程序，除了需要通過業(yè)內(nèi)權(quán)威的質(zhì)量管理體系認(rèn)證以外，還需要經(jīng)過較長時間的采購認(rèn)證程序，產(chǎn)品通過客戶驗證難度較大。后進(jìn)入的企業(yè)如果不具備相當(dāng)?shù)募夹g(shù)積累和研發(fā)實力，將難以通過客戶的驗證。3、資金及人才壁壘CMP等半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)前期研發(fā)投入大，實現(xiàn)量產(chǎn)及盈利周期較長，系資金密集型行業(yè)。研發(fā)投入、廠房建設(shè)、購置設(shè)備及市場拓展等方面均需要大量資金的支持，進(jìn)入該行業(yè)的企業(yè)需要具備雄厚的資金實力，資金壁壘較高。CMP等半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)過程較為復(fù)雜，涉及多學(xué)科領(lǐng)域知識，需要具備綜合專業(yè)知識和豐富生產(chǎn)經(jīng)驗的復(fù)合型人才。要打造一支高技術(shù)水平團(tuán)隊，需要大量的人力資源投入及時間積累，人才壁壘較高。五、產(chǎn)業(yè)鏈1、行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈分析我國CMP設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈上游主要包括檢測系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、拋光墊、拋光液等。中游則主要為CMP設(shè)備的生產(chǎn)制造。下游則主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造。中國CMP設(shè)備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈如下圖所示：從上游來看：CMP設(shè)備的核心組成部分，如拋光墊、拋光液等，其性能直接影響拋光質(zhì)量和效率。上游供應(yīng)商提供的材料若具有更高的性能，將有助于提升CMP設(shè)備的整體性能和市場競爭力。且上游原材料的價格波動會影響CMP設(shè)備的制造成本。如果上游材料價格上升，可能會導(dǎo)致CMP設(shè)備成本增加，從而影響最終產(chǎn)品的定價和利潤空間。從下游來看：半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈可分為晶圓材料制造、半導(dǎo)體設(shè)計、半導(dǎo)體制造、封裝測試四大環(huán)節(jié)，除了半導(dǎo)體設(shè)計環(huán)節(jié)，其他領(lǐng)域均有CMP設(shè)備應(yīng)用。在全球半導(dǎo)體市場規(guī)模不斷擴(kuò)大的影響下，CMP設(shè)備的需求也將逐漸增加，半導(dǎo)體制造行業(yè)的發(fā)展直接影響著CMP設(shè)備行業(yè)的發(fā)展方向、技術(shù)進(jìn)步和市場策略。2、行業(yè)領(lǐng)先企業(yè)分析（1）華海清科股份有限公司華海清科股份有限公司成立于2013年，主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù)，主要產(chǎn)品為12英寸CMP設(shè)備、減薄設(shè)備、供液系統(tǒng)、晶圓再生、關(guān)鍵耗材與維保服務(wù)。華海清科是一家擁有核心自主知識產(chǎn)權(quán)的半導(dǎo)體設(shè)備制造商。近年來，華海清科營業(yè)收入逐年增加，2023年1-9月華海清科營業(yè)收入達(dá)18.4億元，同比增長62.37%。（2）北京晶亦精微科技股份有限公司資并與電科裝備、電科投資、爍科精微合伙和國元基金共同設(shè)立北京晶亦精微科技股份有限公司，開展CMP設(shè)備的技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。主要從事半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù)，主要產(chǎn)品為化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）設(shè)備及其配件，并提供技術(shù)服務(wù)。晶亦精微立足國際市場，是目前國內(nèi)唯一實現(xiàn)8英寸CMP設(shè)備境外批量銷售的設(shè)備供應(yīng)商。晶亦精微12英寸CMP設(shè)備已在28nm制程國際主流集成電路產(chǎn)線完成工藝驗證，設(shè)備性能和技術(shù)指標(biāo)均可滿足該客戶產(chǎn)線要求；同時，晶亦精微把握第三代半導(dǎo)體發(fā)展機(jī)遇，推出了國產(chǎn)6/8英寸兼容CMP設(shè)備，可用于包含碳化硅、氮化鎵等第三代半導(dǎo)體材料在內(nèi)的特殊需求表面拋光處理工藝。近年來，晶亦精微CMP設(shè)備銷售收入逐年增加，2022年，晶亦精微CMP設(shè)備銷售收入達(dá)4.96億元；2023年1-6月，銷售收入為3億元。六、行業(yè)現(xiàn)狀CMP設(shè)備在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中扮演著至關(guān)重要的角色。是實現(xiàn)晶圓表面平整化的關(guān)鍵步驟，對于后續(xù)光刻、蝕刻、離子注入和金屬化等工序具有決定性影響。在先進(jìn)的制程技術(shù)中，化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）過程的精確度直接關(guān)系到電路圖案的準(zhǔn)確轉(zhuǎn)移和芯片性能的表現(xiàn)。根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，近年來，我國大陸CPM設(shè)備市場規(guī)模逐年擴(kuò)大，由2020年的4.29億美元擴(kuò)大至2022年的6.66億美元。下游半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)市場規(guī)模逐漸擴(kuò)大，對CMP設(shè)備的需求也在不斷增長，使得CMP設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模也不斷增加。七、發(fā)展因素1、有利因素（1）國家產(chǎn)業(yè)政策的支持CMP設(shè)備行業(yè)是國家產(chǎn)業(yè)政策重點支持發(fā)展的行業(yè)。近年來，我國相繼出臺了多項政策，推動我國CMP設(shè)備行業(yè)的發(fā)展并加速了國產(chǎn)化進(jìn)程。《首臺（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2019年版）》中將化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)作為集成電路生產(chǎn)裝備之一列入目錄；《中華人民共和國國民經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展第十四個五年規(guī)劃和2035年遠(yuǎn)景目標(biāo)綱要》中明確集中優(yōu)勢資源攻關(guān)核心技術(shù)，CMP設(shè)備作為集成電路領(lǐng)域的重點裝備亦被納入其中。利好政策相繼出臺，有助于我國CMP設(shè)備行業(yè)技術(shù)水平的提高和市場規(guī)模的快速提升。（2）國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逐步向中國大陸轉(zhuǎn)移根據(jù)WSTS數(shù)據(jù)，2022年全球半導(dǎo)體市場規(guī)模為5740億美元；根據(jù)中國半導(dǎo)體協(xié)會數(shù)據(jù)，2022年中國大陸半導(dǎo)體市場規(guī)模為13839億元，市場規(guī)模占比較高。全球半導(dǎo)體產(chǎn)能不斷向中國大陸轉(zhuǎn)移，產(chǎn)能轉(zhuǎn)移的同時也帶動了我國半導(dǎo)體的產(chǎn)業(yè)規(guī)模和技術(shù)水平提高，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)環(huán)境的良性發(fā)展為我國半導(dǎo)體行業(yè)的升級提供了良好機(jī)遇。（3）國產(chǎn)化趨勢加快隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逐步向中國大陸轉(zhuǎn)移，我國開始重視并支持本土CMP設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)。近年來在國家科技重大專項和集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金的支持下，我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈不斷完善，特別是國內(nèi)CMP設(shè)備制造業(yè)技術(shù)水平不斷提高，并涌現(xiàn)一批優(yōu)秀的CMP設(shè)備制造企業(yè)。未來半導(dǎo)體的國產(chǎn)化勢必向著CMP設(shè)備國產(chǎn)化方向傳導(dǎo)，國產(chǎn)設(shè)備進(jìn)口替代趨勢將日益明顯，國產(chǎn)替代空間巨大。CMP設(shè)備國產(chǎn)化趨勢加快，這不僅有助于打破國際巨頭的壟斷，提高本土企業(yè)的市場份額，還能促進(jìn)技術(shù)的迭代創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。同時，國產(chǎn)化趨勢也有助于降低設(shè)備成本，提高國內(nèi)半導(dǎo)體制造企業(yè)的競爭力，從而進(jìn)一步推動整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展。2、不利因素（1）國際領(lǐng)先企業(yè)具有先發(fā)優(yōu)勢CMP等半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)具有投資周期長、研發(fā)投入大等特點，屬于典型的資本密集型和技術(shù)密集型行業(yè)。從全球范圍來看，CMP等半導(dǎo)體設(shè)備市場份額長期被阿斯麥、美國應(yīng)用材料等國際巨頭占據(jù)。阿斯麥、美國應(yīng)用材料、日本荏原等國際CMP設(shè)備領(lǐng)先企業(yè)在經(jīng)營規(guī)模、產(chǎn)品認(rèn)知度、運(yùn)營時間、客戶資源等方面都存在較大的先發(fā)優(yōu)勢，國產(chǎn)CMP等半導(dǎo)體設(shè)備廠商在與其競爭過程中面臨較大的壓力和挑戰(zhàn)。（2）產(chǎn)業(yè)環(huán)境有待改善CMP設(shè)備等半導(dǎo)體設(shè)備屬于超精密的自動化裝備，研發(fā)和生產(chǎn)均需使用高精度元器件，對原材料機(jī)械結(jié)構(gòu)的精度和材質(zhì)要求較高，我國與此相關(guān)的核心原材料供應(yīng)體系尚未完全建立，設(shè)備部分零部件需要依賴進(jìn)口。雖然中國一直致力于建立并完善集成電路制造領(lǐng)域的國產(chǎn)零部件供應(yīng)鏈體系，但仍然需要一定時日的支持和培育才能達(dá)到自主可控的目標(biāo)。（3）高端技術(shù)人才相對缺乏CMP設(shè)備行業(yè)具有涉及技術(shù)領(lǐng)域多、技術(shù)要求高的特點，對于技術(shù)人員的知識背景、研發(fā)能力及操作經(jīng)驗均有較高要求。半導(dǎo)體工藝節(jié)點的持續(xù)縮減，對CMP技術(shù)的精密度和創(chuàng)新性要求越來越高。這需要專業(yè)人才具備深厚的理論知識、豐富的實踐經(jīng)驗以及對新材料、新工藝的敏銳洞察力。現(xiàn)有人才難以滿足行業(yè)日益增長的人才需求，外部引進(jìn)高端人才又需要支付較高的人力成本，依靠內(nèi)部培養(yǎng)形成人才梯隊所需時間較長，制約了CMP設(shè)備行業(yè)的快速發(fā)展。八、競爭格局全球CMP設(shè)備市場主要由美國應(yīng)用材料和日本荏原占據(jù)，處于高度壟斷狀態(tài)。從全球市場來看，202