半導體擴散設備

KEC-C?5??????2011.08.11?????????????????BIPDIFF????2011.08.11~????1:1????????????????????作業(yè)內(nèi)容敎育內(nèi)容備考8/111.FURNACE工作原理2.TEMPRESS結(jié)構(gòu)組成由Loadstation.Furnace.GasCabinet.MainPower.DPC.DTC.TSC等部分組成3.業(yè)務感想8/121.Implant的四個真空DRYPUMP工作原理*I/S:IonSourcePump*B/L:BeamLinePump*CYROPump*E/S:EndStationPump2.SourceControl界面.ImplantSETUP界面了解3.Beam波形調(diào)整方法8/15Furnace的開、關(guān)以及緊急情況對策*設備的POWERON方法*設備的POWEROFF方法*設備的緊急關(guān)閉與開啟方法1.在開啟MAINSWITCH時，先要復位（想左旋轉(zhuǎn)）2.電源的開啟一定要嚴格遵守一定的順序，不可顛倒.???陸愛國???????????BIPDIFF????2011.08.11~????1:1????????????????????作業(yè)內(nèi)容敎育內(nèi)容備考8/16SYSTEMControl不可控制原因（一）1.Display不能工作：*PowerSupply不良

*

DisplayUnit有不良點

2.

實際溫度超過1500℃：*

ConverterCard

*ProcessorCard不良3.實際溫度不穩(wěn)定的情況：*

1Zone:PreAmpCard不良

*

AllZone：ConverterCard不良1.ControlNG原因分析2.Control故障處理方法*ConverterCard：變頻器*ProcessorCard：數(shù)據(jù)處理器*PreampCard：前置放大器8/17SYSTEMControl不可控制原因（二）1.實際溫度為25℃.但顯示是0℃：PreAmpCard不良2.實際溫度ALLZONE是1499.9℃：T/C接口OPEN3.Display：softwareVersError*BasicUnit上的Software不良*POWER不良4.Recipe不能正常運行出現(xiàn)JUMP:Recipe有誤或丟失1.ControlNG原因分析2.Control故障處理方法8/18SYSTEMControl不可控制原因（三）1.POWERControl正常，實際溫度卻不能UP2.DTCControl正常，溫度卻顯示為1499.9℃3.POWER正常狀態(tài)，溫度卻持續(xù)上升4.POWER正常，溫度上升的速度很慢5.SPIKET/C交換后溫度不良6.BreakerTrip（斷路器跳閘）情況1.ControlNG原因分析2.Control故障處理方法???陸愛國???????????BIPDIFF????2011.08.11~????1:1????????????????????作業(yè)內(nèi)容敎育內(nèi)容備考8/19BOATIN/OUT不可故障分析：1.檢查”MANUAL/AUTO”SWITCH是否在’AUTO”狀態(tài)/POWER是否打開2.FAN的LED變紅，檢查Filter過濾器是否停止3.檢查PADDLE運行軌道狀態(tài)（污染，障礙物.超重.不在一條直線）4.通過FPD”servostatusdisplay”檢查MOTER的狀態(tài)，確認AXIS是否在正確的條件下1.ControlNG原因分析2.Control故障處理方法FPD:FlatPanelDisplay控制顯示器SCDU:ServoDriveControlUnit

伺服驅(qū)動控制裝置8/22GASCONTROL不能執(zhí)行情況ProgramControl正常情況下，GAS流量異常1.SolenoiodValve確認點檢2.DCPOWERSUPPLY24V電壓檢查3.AIRVALVE動作檢查4.MFC電壓檢查5.INTERFACEBOARD檢查6.H2不能供給時（K型T/C檢查）1.ControlNG原因分析2.Control故障處理方法3.設備點檢確認一個月制造學習??作業(yè)內(nèi)容敎育內(nèi)容備考8/231.PS.TOX檢測方法2.PS.TOX檢測設備的使用方法和原理8/24VBEF檢測方法：1.制品的確認（N型還是P型.檢測的條件及SPEC范圍)2.檢測條件的調(diào)節(jié)3.EM極.BASE極查找4.波形的調(diào)整與讀數(shù)以及臺賬的記錄1.不同品種的制品檢測條件不同2.不同品種的制品SPEC范圍不同3.EM.BASE極不要混調(diào)8/258/26hFE散布圖制作方法??作業(yè)內(nèi)容敎育內(nèi)容備考8/29ProgramControl正常而GAS流量異常情況原因：1.Solenoidvale（螺線管閥門）確認點檢2.DCpowersupply24V電壓檢查3.AIRvale動作.InterfaceBoard檢查4.MFC電壓檢查5.H2不能供給時“K”型T/C檢查1.ControlNG原因分析2.Control故障處理方法3.設備點檢確認8/30GasCabinet故障分析1.GAS壓力過低檢查Regulator（調(diào)節(jié)器）設定，檢查GAS是否提供；過濾器阻塞；瓶中的GAS用完；MFC故障2.NOflow氣體閥關(guān)閉；調(diào)節(jié)器不受控制；MFC故障解決方案：1.更換過濾器2.更換氣體閥3.更換MFC1.ControlNG原因分析2.Control故障處理方法8/31CSDcoating設備介紹1.設備的工作原理及要求2.設備的主要組成.操作及Program的編寫方法3.設備故障分析與解決方法（1）CHUCKVACUUM異常發(fā)生不良原因（2）SOURCE涂在WAFER表外觀異?，F(xiàn)象發(fā)生不良原因.（3）因MOTOR不能SPIN而不能Coating不良原因1.不良原因分析2.故障處理方法1.CUP拆卸注意點2.作業(yè)前確認作業(yè)RECIPE3.作業(yè)完成后5分鐘內(nèi)測出TOX,SOURCE6MK-37有很強的揮發(fā)性???陸愛國???????????BIPDIFF????2011.08.11~????1:1????????????????????作業(yè)內(nèi)容敎育內(nèi)容備考9/1Troubleshooting：1.ExcessTemperature報警:Thermocouple熱電偶損壞.溫度低于設定的值.2.Alarmbuzzer：查詢touchpanel上顯示報警信息3.Temperature太低：SCR(可控硅整流器)FUSE(保險絲故障).POWER問題4.TempController報警：Thermocouple熱電偶損壞，溫度不穩(wěn)定，未達到設定的值1.ControlNG原因分析2.Control故障處理方法9/2ETC:ExcessTemperatureController介紹1.ETC的工作原理及功能2.ETC描述及格部位的功能（1）LoadZoneT1：Load.Center.Source3個Zone，T1代表Tube1，T2代表Tube2（2）PV1874.0℃：PV代表ProcessValue（3)AL1(AL2.AL3):三個區(qū)域可設定最高溫度（4）1：選擇的Tube（5）：Alarms復位功能（6）Loop:Tube的選擇（7)Ind：Zone的選擇???陸愛國???????????BIPDIFF????2011.08.11~????1:1??????????????????DPC???陸愛國???????????BIPDIFF????2011.08.11~????1:1??????????????????DTCDMCTouchscreenTSCETCT/CST/CAI/ODI/OTEMPRESS系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖??作業(yè)內(nèi)容敎育內(nèi)容備考9/201.CvrveTracer副標準具檢測方法2.BASEDIFFT/PMarking以及確認方法3.BASSDIFFTUBE先行條件作業(yè)方法9/21GASPANEL1.氣路系統(tǒng)由MFC.氣動閥對氣流進行控制。2.氣動閥門可以控制單獨氣路的通斷，除設備維護外氣動閥門是一直打來的。3.GASPANEL由PressureGauge壓力計.PressureRegulator壓力調(diào)節(jié)器.DigitalPressureSwitch數(shù)字壓力計.PneumaticValve氣動閥.過濾器.MFC(MassFlowControllers）等部分組成4.MFC系統(tǒng)控制核心主要是FlowSensor控制，F(xiàn)lowSensor是由2個TemperatureSensor和一個發(fā)熱元件組成。5.一個機臺有一根O2氣管.兩根N2氣管.其中一根N2氣管為TUBEI和TUBE2供氣。另一根為TUBE3和TUBE4供氣。???陸愛國???????????BIPDIFF????2011.08.11~????1:1????????????????????作業(yè)內(nèi)容敎育內(nèi)容備考9/22BubblerSystems1.Bubbler系統(tǒng)的工作原理及組成（1）工作原理：是基于微型處理器的溫度控制系統(tǒng)，能夠?qū)ocl3進行精確穩(wěn)定的溫度控制（2）組成部分：控制部分.源箱和基座2.基座是由散熱器.加熱器以及溫度傳感器組成，實現(xiàn)對磷源溫度的控制3.TLC工作原理：通過載氣帶進TUBE，可以略微提高Oxidation的速度，最主要用于捕獲MobileIonCharge，還可以用來CleanOxidationTube。1.Bubbler系統(tǒng)的工作原理及組成2.TLC工作原理TLC：C2H2Cl2

二氯乙烯9/23HeliumLeakCheck方法1.將要檢測的連接點接好2.打開壓力調(diào)節(jié)器3.打開handvalve4.打開MFC(這一部必須通過DPC操作）5.打開GASSystem所有閥門HeliumLeakCheck方法9/26HeliumLeakCheck方法1.把Switch打到OFF狀態(tài)Heater斷電，Tube降溫至常溫2.拆除Paddle及相關(guān)部件3.拆除Tube，拔出SpikeT/C和ProfileT/CHeliumLeakCheck方法*TUBE拆裝過程中應小心，必須兩人一起操作*TorchHeater確認點檢是否完好???陸愛國???????????BIPDIFF????2011.08.11~????1:1?????????????????????陸愛國???????????BIPDIFF????2011.08.11~????1:1????????????????????作業(yè)內(nèi)容敎育內(nèi)容備考9/27LeakCheck方法1.Check條件：ATM狀態(tài).Tube處于Vacuum狀態(tài)2.Check過程（1）當開關(guān)(15)ON(16)OFF時，S-PUMP進行（2）當開關(guān)（15)和（16）同時ON時，M-PUMP進行（3）當開關(guān)（15)和（16）同時OFF時，LECKCHECK進行3.CHECK結(jié)果確認1.TUBE真空VACUUM狀態(tài)確認，即Boatin和EndCAP是否密封2.MotorA8CHECK結(jié)果大小確認（Spec為10-20正常）9/28*H2OPENNG原因分析：1.TorchHeaterTEMP不能達到750℃2.冷卻水沒有打開，Torch外部溫度很高3.TtypeT/C位置有偏移不能感應最高溫度及表面有氧化膜4.U/VSENSOR清潔狀態(tài)不良*H2OPENNG解決方法1.用萬用表檢測Heater是否有故障2.檢查冷卻水閥3.檢查KTYPET/C4.U/VSENSOR清潔1.H2OPENNG原因分析方法2.H2OPENNG解決方法9/291.DTC/DPC各有哪些Board2.DTC/DPC各Board的作用???陸愛國???????????BIPDIFF????2011.08.11~????1:1????????????????????作業(yè)內(nèi)容敎育內(nèi)容備考9/30一.BoatControl故障原因分析及解決方法1.BoatLoader不能移動：檢查是否在AUTO狀態(tài)2.BoatLoader移動是跳動：檢查Boater軸承等;檢查是否有障礙物；檢查內(nèi)部Switch；檢查后進行Reset.3.BoatLoader只能移動一點：確認程序是否合理.二.BoatLoaderReset的方法

POWEROFF→S/WTURNTO“0”→POWERON→Wait15秒→POWEROFF→TURNTO“1”→POWERON1.POWERON后需等待10s-20s2.MANUAL狀態(tài)下運行Boat3.若復位后BOATIN/OUT不可以，且“smoothstop:on”狀態(tài)時，說明SINGLE混亂，需將S-300電源關(guān)閉然后打開，Boater重新Reset即可10/4一.DIFF工程點檢事項及其注意點1.日常點檢事項（1）GAS流量是否在規(guī)定的范圍內(nèi)（2）TORCH冷卻水是否打開或有無LEAK(3)TUBE與TORCH連接是否到位2.日常Parts點檢二.GAS校準方法及注意點1.結(jié)束后把數(shù)據(jù)改回原來的設定值

2.沒有流量的情況下，保持管道流通才可以改變大小。1.點檢事項確認2.注意點細心10/5S-300操作與維護1.S-300構(gòu)造介紹2.S-300操作方法與日常維護3.S-300Calibration方法作業(yè)時，不能用制品。并需要兩名操作者，同時作業(yè)。??作業(yè)內(nèi)容敎育內(nèi)容備考10/6一.Torch內(nèi)部結(jié)構(gòu)組成部分Tube.Balloon.Heater.K型T/C.H2/O2inlet.Sensor二.Torch工作原理

H2與O2反應生成水蒸氣進入TUBE，形成WETOXIDESi+2H2OSiO2+2H2三.Torch常見故障原因分析與解決方法(1)Torch表面溫度高，原因是冷卻水不良（2）Sensor感應不好，導致H2沒有打開（3）Heater能力不足或K型T/C位置不良導致沒有達到設定的溫度

一.Torch內(nèi)部結(jié)構(gòu)組成部分二.Torch工作原理三.Torch常見故障原因分析與解決方法10/7VerticalFurnace設備知識1.設備整體介紹及性能優(yōu)勢（1）VerticalFurnace的優(yōu)點（2）設備的外觀及其構(gòu)造2.設備參數(shù)的設定方法按“JOB”兩次→按”13“選擇PROCRECP選擇作業(yè)程序→按下”EDITSYSTEM”更改參數(shù)→按下“ENDEDIT