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文檔簡介

傳感器應(yīng)用技術(shù)

電容式傳感器電容式傳感器電容式傳感器應(yīng)用

41.差動式電容差壓傳感器2.電容式加速度傳感器3.電容式液位傳感器差動式電容差壓傳感器電容差壓傳感器廣泛應(yīng)用于液體、氣體的壓力、液體位置及密度等的檢測，通常采用差動式結(jié)構(gòu)1一彈性平膜片(動極)；2一凹玻璃圓片；3一金屬鍍層(定極)；4一低壓側(cè)進(jìn)氣孔；5一輸出端子；6一空腔；7—過濾器；8—?dú)んw；9一高壓側(cè)進(jìn)氣孔工作原理：當(dāng)被測壓力p1及p2通過過濾器進(jìn)入空腔時(shí)，由于彈性膜片兩側(cè)壓力差，使膜片凸向壓力小的一側(cè)，這一位移改變了兩個(gè)鍍金玻璃圓片與彈性膜片之間的電容量特點(diǎn)：1、差動式電容差壓傳感器分辨力高，適合測量較小的壓力差；2、測量響應(yīng)速度快，可達(dá)數(shù)十毫秒注意事項(xiàng)：若測量含有雜質(zhì)的液體，須在兩個(gè)進(jìn)氣孔前設(shè)置波紋隔離膜片，并在兩側(cè)空腔中充滿導(dǎo)壓硅油，使得彈性平膜片感受到的壓力之差仍等于p1—p2電容式加速度傳感器電容式加速度傳感器采用差動式結(jié)構(gòu)，有兩個(gè)固定電極，兩極板之間有一個(gè)用彈簧片支撐的質(zhì)量塊，此質(zhì)量塊的兩個(gè)端面經(jīng)過磨平拋光后作為可動極板1一絕緣體；2—固定電極；3一質(zhì)量塊；4一彈簧片工作原理：傳感器測量垂直方向的微小振動時(shí)，由于質(zhì)量塊的慣性作用，使兩固定極板相對質(zhì)量塊產(chǎn)生位移，此時(shí)，上下兩個(gè)固定電極與質(zhì)量塊端面之間的電容量產(chǎn)生變化而使傳感器有一個(gè)差動的電容變化量輸出，其值與被測加速度的大小成正比特點(diǎn)：1、頻率響應(yīng)快，量程范圍大2、傳感器還可做得很小，與測量電路一起封裝在一個(gè)厚膜集成電路的殼體中注意事項(xiàng)：在結(jié)構(gòu)上大多以空氣或其他氣體作阻尼物質(zhì)電容式液位傳感器電容式液位傳感器主要利用被測介質(zhì)液面變化轉(zhuǎn)換為電容變化的工作原理工作原理：在忽略邊緣效應(yīng)情況下傳感器電容量C與被測液位高

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