AFM保養(yǎng)維護作業(yè)指導書

文件編號頁次文件名稱AFM維護保養(yǎng)作業(yè)指導書制定部門制訂日期1.0目的：本文旨在規(guī)范AFM之預防保養(yǎng)及維修作業(yè),以維護產(chǎn)品于制程中之品質,與工作人員之安全。2.0范圍：本標準適用于AFM預防保養(yǎng)與維修作業(yè)。3.0定義：無。4.0作業(yè)內(nèi)容：針對設備維護保養(yǎng)、更換探針及開關機步驟。5.0注意事項：實施保養(yǎng)作業(yè)前，將機臺上之雜物清理干凈，并把機臺標識牌調(diào)到“設備保養(yǎng)”位置。保養(yǎng)時，應帶上口罩和手套，并做好各項安全措施。保養(yǎng)時，須按部就班地進行保養(yǎng)，且注意安全。6.0日常保養(yǎng)：AFM機臺編號:______保養(yǎng)日期:保養(yǎng)周期：周、月、季、年序號周期計劃保養(yǎng)項目處理方法完成打√標準值執(zhí)行人備注1周運動平臺清潔用無塵布蘸酒精擦拭6.1運動平臺清潔：6.1.1用無塵布蘸酒精擦拭STAGE運動平臺，預防臟污或顆粒影響STAGE在平臺上勻速運動。校準審查擬案版本修訂內(nèi)容修訂日期符號版本號A修改號0文件編號頁次6.2更換探針：（更換前戴好乳膠手套，準備好鑷子、探針和治具）6.2.1雙擊桌面上的AutoMET圖標，打開AutoMET測試軟件運行軟件后，系統(tǒng)會自動進入初始化界面。6.2.2等待出現(xiàn)復位提示窗口，點擊‘Yse’按鈕，樣品會自動移動到初始化位置。6.2.3待狀態(tài)窗口出現(xiàn)‘Ready’的提示字樣，表示系統(tǒng)初始化已完成。6.2.4點擊按鈕按鈕，TIP往上抬起，然后取下激光器，旋轉松開位于掃描頭卡槽右側中部的螺絲，釋放掃描頭，小心地將掃描頭從卡槽上部取出，取出探針夾。文件編號頁次6.2.5將探針器平放在桌面上，將探針夾滑入裝針器相應的位置，裝針時，將探針夾上的彈簧片后端壓下，并向后拉。用鑷子小心地將探針夾緊放入探針夾凹槽里，使探針后部正好與凹槽里的邊緣相抵。輕輕地將彈簧片壓住向前推動，然后松開手指，使彈簧片壓緊探針。6.2.6完成裝探針步驟后將探針夾取出安裝到激光器上。6.2.7然后把裝好探針夾的掃描頭輕輕沿卡槽放回顯微鏡基座，并旋轉擰緊位于掃描頭卡槽右側中部的螺絲，將掃描頭固定住。6.3調(diào)整激光：6.3.1將激光打在懸臂前端。掃描頭上部右側有兩個激光調(diào)節(jié)旋鈕，并有兩個箭頭標明了順時針旋轉激光調(diào)節(jié)旋鈕時激光光斑位置的移動方向。文件編號頁次6.3.1取一張白紙置于掃描管正下方，紅色的激光光斑將反映在白紙上。若看不到激光光斑，逆時針旋轉右后方的激光調(diào)節(jié)旋鈕，直到看到激光光斑。6.3.2順時針旋轉右后方的激光調(diào)節(jié)旋鈕，直到激光光斑消失。這時，激光應該打在探針基底的左側邊緣上。逆時針旋轉右后方的激光調(diào)節(jié)旋鈕，直到激光光斑剛好出現(xiàn)。6.3.3順時針或逆時針旋轉左前方的激光調(diào)節(jié)旋鈕，直到激光光斑突然變暗，繼續(xù)旋轉旋鈕則又變亮。調(diào)回光斑突然變暗的位置，此時激光應該打在懸臂的后端。6.3.4逆時針旋轉右后方的激光調(diào)節(jié)旋鈕，直到看到激光光斑。順時針旋轉右后方的激光調(diào)節(jié)旋鈕，直到激光光斑剛好消失，此時激光應該打在懸臂的最前端。激光調(diào)試完畢的狀態(tài)類似于眼鏡的形狀激光調(diào)試完畢的狀態(tài)類似于眼鏡的形狀6.4調(diào)整激光檢測器位置：6.4.1點擊按鈕，系統(tǒng)將對激光自動校準，等待跳出“LaserAlignment”窗口，微調(diào)左側兩個檢測器的位置，調(diào)節(jié)旋鈕，使Vert.Defl.和Hori.Defl.兩個值接近于零。6.4.2激光檢測器調(diào)試完畢，點擊，stage會移動到激光器的對準位置。Stage上面有透明反光Stage上面有透明反光鏡通過圖像上顯示將激光打到離針尖三分之一處即可。文件編號頁次6.5設備開關機：6.5.1開機程序：確認實際電壓與系統(tǒng)設定的工作電壓相符合，確認所有的線纜都已正確連接，確保操作環(huán)境符合要求且防震臺處于正常工作狀態(tài)，確認沒有任何障礙物阻礙樣品臺的移動，打開計算機和顯示器，打開vacuum控制器打開Nanodrive控制器,在打開軟件初始化完成即可，反正關機順序相反。6.6使用設備及材料：乳膠手套、鑷子、安裝治具。6.7異常處理：6.7.1異常停電處理：設備所有電源開關關閉。待廠務正常供電，檢查廠務二次配電源是否正常，若電源供應無問題，則機臺依供電復機。機臺復機完畢，依序對各機臺進行操作及TestRun，確定機臺正常后使可交予工藝/生產(chǎn)。6.7.2機臺異常處理：現(xiàn)場操作人員須立即停止作業(yè)并通知其單位主管及設備工程師進行檢查維修。設備維修完成后，需先TestRun后，使可交給產(chǎn)線。將