《 全自動化學(xué)鍍鎳鈀金設(shè)備 》（征求意見稿）

3T/ACCEM—XXXX全自動化學(xué)鍍鎳鈀金設(shè)備本文件規(guī)定了全自動化學(xué)鍍鎳鈀金設(shè)備的術(shù)語和定義、產(chǎn)品命名、規(guī)格以及組成、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運輸和貯存。本文件適用于半導(dǎo)體封裝測試領(lǐng)域?；瘜W(xué)鍍是通過對晶圓表面金屬材料上涂履一層均勻的鎳鈀金金屬薄膜，保護鋁層/銅層以避免其在空氣中暴露氧化，從而改善器件的性能（如金屬抗氧化、耐腐蝕、電學(xué)性能等），具有可焊性、可接觸導(dǎo)通、可散熱等功能。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件。不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T1184形狀和位置公差未注公差值GB/T3768聲學(xué)聲壓法測定噪聲源聲功率級和聲能量級采用反射面方包絡(luò)測量面的簡易法GB/T5226.1機械電氣安全機械電氣設(shè)備第1部分:通用技術(shù)條件GB/T12670聚丙烯(PP)樹脂GB50058爆炸危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范(附條文說明)JB/T4735.1鋼制焊接常壓容器(附標(biāo)準(zhǔn)釋義)(同NB/T47003.1-2009)JB/T7742磁力傳動離心泵3術(shù)語和定義3.1全自動化學(xué)鍍鎳鈀金設(shè)備FullyAutomaticElectrolessNickelElectrolessPalladiu㎜mersionGoldEquipment以鎳、鈀、金三種化學(xué)品為主要工藝(包含其中所需的化鍍前處理工藝)利用化學(xué)置換反應(yīng)將鎳、鈀、金三種金屬鍍于晶圓表面的設(shè)備。3.2前處理槽PreTreatmentTank涂裝工藝中的一個重要組成部分，其主要目的是對工件進行預(yù)處理，以去除表面的油污、灰塵和銹跡，并為涂層提供一個良好的基礎(chǔ)。這個過程包括幾個關(guān)鍵步驟：除油、微蝕、沉鋅。4T/ACCEM—XXXX3.3QDR槽QDRTank全稱為快排沖洗槽。QDR槽由多個組件構(gòu)成，包括噴淋槽、溢流槽、勻流板、快排汽缸體、噴嘴噴管、管路和管件等，這些組件共同作用，以實現(xiàn)高效的清洗效果。3.4藥水槽PotionTank藥水槽是用于存放化學(xué)藥水的容器，主要用于化學(xué)反應(yīng)、電鍍、藥水處理等工藝過程中。3.5IPA槽是一種用于干燥和清潔工件的設(shè)備，主要作用是通過蒸汽浴洗和高溫處理，實現(xiàn)工件表面的高清潔度和干燥。3.6烘干槽DryingTank烘干槽是一種用于對材料進行烘干處理的設(shè)備。通常由一個具有適當(dāng)密封性能的容器構(gòu)成，容器內(nèi)部設(shè)置有加熱裝置、攪拌裝置等工作設(shè)施，主要作用是通過加熱裝置提供熱量，使材料中的水分蒸發(fā)，從而達到烘干的目的。4產(chǎn)品命名、規(guī)格以及組成4.1命名GMC-WH-**-**(公司簡稱)(設(shè)備制程功能)(產(chǎn)品規(guī)格)(設(shè)備順序號)4.2規(guī)格4.2.1全自動化學(xué)鎳鈀金設(shè)備按產(chǎn)品基材可分為兩類：銅基材和鋁基材。4.2.2全自動化學(xué)鎳鈀金設(shè)備按產(chǎn)品尺寸可分為四類：4/6/8/12英寸。4.3組成全自動化學(xué)鎳鈀金設(shè)備主要由主體構(gòu)架、槽體（前處理槽、QDR槽、藥水槽、IPA槽、烘干槽等）、行車單元、控制系統(tǒng)等組成。5要求5.1一般要求5.1.1全自動化學(xué)鎳鈀金設(shè)備應(yīng)符合本文件的規(guī)定，并按規(guī)定程序批準(zhǔn)的圖樣和技術(shù)文件制造。5T/ACCEM—XXXX5.1.2全自動化學(xué)鎳鈀金設(shè)備所采用的原材料、外購件應(yīng)符合相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定,并附有質(zhì)保書或合格證。5.2質(zhì)量要求5.2.1鍍層表面應(yīng)色澤均勻，結(jié)晶細(xì)致，無顆粒物及結(jié)瘤。5.2.2鍍層無漏鍍；線條間、焊盤間、線條和焊盤間均無粘連；在非鍍區(qū)域無金屬附著。5.3性能指標(biāo)全自動化學(xué)鎳鈀金設(shè)備系統(tǒng)性能指標(biāo)應(yīng)符合表1的規(guī)定。表1全自動化學(xué)鎳鈀金設(shè)備系統(tǒng)性能指標(biāo)性能名稱性能指標(biāo)前處理槽循環(huán)流量（L/min）化學(xué)鎳循環(huán)流量（L/min）化學(xué)鈀循環(huán)流量（L/min）化學(xué)金循環(huán)流量（L/min）前處理槽標(biāo)準(zhǔn)工藝溫度(℃)化學(xué)鎳槽標(biāo)準(zhǔn)工藝溫度(℃)化學(xué)鈀槽標(biāo)準(zhǔn)工藝溫度(℃)化學(xué)金槽標(biāo)準(zhǔn)工藝溫度(℃)抖動機構(gòu)垂直搖擺最小速度范圍為20～60±3rpm，擺幅30㎜±1%前處理槽加熱方式Teflon或不銹鋼加熱器的加熱方式，從室溫加熱至工作溫度時間≤60min鎳槽加熱方式間接加熱水浴的加熱方式，水浴槽配備SUS316加熱器和SUS316盤管，從室溫加熱至工作溫度為≤120min鈀金槽加熱方式間接加熱水浴的加熱方式，水浴槽配備SUS316加熱器和石英盤管，從室溫加熱至工作溫度依次為≤100min、140min前處理槽循環(huán)泵采用磁力泵（材質(zhì)碳化硅）鎳鈀金循環(huán)泵采用磁懸浮泵（符合JB/T7742）連續(xù)運行率（%）平均故障間距時間(MTBF)（h）平均故障修復(fù)時間(MTTR)（h）QDR進水時間（min）QDR排水時間（s）抖動頻率（rpm）10～60，精確到正負(fù)3rpmWPH（片）破片率（%）0.00015.4板材、厚度及其誤差要求5.4.1板材采用PP時，其材質(zhì)應(yīng)符合GB/T12670的規(guī)定。6T/ACCEM—XXXX5.4.2PVC/石英板厚度及誤差范圍應(yīng)符合表2的規(guī)定。表2PVC/石英板材板的厚度以及誤差范圍材質(zhì)厚度（㎜）誤差范圍（㎜）PVC5PVCPVC石英5SUS35.5技術(shù)要求5.5.1主體構(gòu)架5.5.1.1主體由厚度＞10㎜的PP阻燃板材焊接而成，內(nèi)部骨架由規(guī)格＞40㎜x40㎜x2㎜的SUS316L不銹鋼方鋼焊接而成，整體置于厚度＞5㎜的PPW板材焊接而成的接水托盤上。5.5.1.2采用密封式設(shè)計，并配有透明推拉門，便于作業(yè)和維修。5.5.1.3內(nèi)部設(shè)有排風(fēng)系統(tǒng)。5.5.1.4控制面板置于設(shè)備前方，高度適中。5.5.1.5電路設(shè)計安全合理，強電與弱電隔離。5.5.1.6操作區(qū)域內(nèi)裝有防腐防爆照明燈。5.5.2槽體5.5.2.1前處理槽5.5.2.1.1按不同化學(xué)品，槽體材質(zhì)使用具有耐溫耐酸堿功能的厚度＞10㎜的NPP/PVDF。5.5.2.1.2槽體配備四級液位檢測系統(tǒng)，具備超高液位、高液位、低液位、超低液位報警和保護功能。5.5.2.1.3槽體應(yīng)使用精度1um的10英寸PP濾芯，確保對液體進行精密過濾。5.5.2.1.4藥水為底部注入，四周溢流，槽內(nèi)溶液均勻流動，槽體配有純水補水管路。5.5.2.1.5藥水排放使用氣動泵自動排放，排空時間控制在＜8min。5.5.2.1.6槽體具有自動洗槽功能。5.5.2.2QDR槽5.5.2.2.1槽體使用具有快排快注水及噴淋功能的厚度＞10㎜的NPP。5.5.2.2.2槽體具備噴淋、注水、快排、氮氣鼓泡功能。5.5.2.2.3槽體底部配置氮氣鼓泡管路，保證鼓泡的均勻性。5.5.2.2.4噴淋管路選擇合適尺寸，布局合理，確保噴淋效果。5.5.2.2.5注水與噴淋同時進行時能溢流多余的水。5.5.2.2.6可設(shè)定QDR的工藝參數(shù):噴淋，注水，快排、氣鼓泡的作用時間、循環(huán)次數(shù)和工藝順序等。5.5.2.2.7槽體配有自動洗槽功能。5.5.2.3藥水槽5.5.2.3.1藥水槽分為鎳槽、鈀槽以及金槽。7T/ACCEM—XXXX5.5.2.3.2鎳槽采用厚度＞3㎜的SUS316L鏡面不銹鋼，鈀槽和金槽采用厚度＞5㎜的高純度石英，藥水導(dǎo)入后必須具有24h不間斷循環(huán)功能。。5.5.2.3.3槽體配備四級液位檢測系統(tǒng)，具備超高液位、高液位、低液位、超低液位報警和保護功能。5.5.2.3.4槽體應(yīng)使用精度1μm的10英寸PP濾芯，確保對液體進行精密過濾。5.5.2.3.5槽體循環(huán)主管道采用PFA材質(zhì)管件管材，配置PFA手動閥門。5.5.2.3.6藥水為底部注入，四周溢流，槽內(nèi)溶液均勻流動，每個藥水槽配有純水補水管路。5.5.2.3.7藥水排放使用氣動泵自動排放，排空時間控制在＜8min。5.5.2.3.8槽體具有自動洗槽功能。5.5.2.4IPA槽5.5.2.4.1槽體采用厚度＞3㎜的SUS316L鏡面不銹鋼。5.5.2.4.2槽體配備四級液位檢測系統(tǒng)，具備超高液位、高液位、低液位、超低液位報警和保護功能。5.5.2.4.3槽體配置滅火裝置，保證設(shè)備的安全性。5.5.2.4.4藥水為底部注入，四周溢流，槽內(nèi)溶液均勻流動，槽體配有純水補水管路。5.5.2.4.5藥水排放使用氣動泵自動排放，排空時間控制在＜8min。5.5.2.4.6槽體具有自動洗槽功能。5.5.2.5烘干槽5.5.2.5.1槽體采用厚度＞3㎜的SUS316L鏡面不銹鋼。5.5.2.5.2槽體循環(huán)主管道采用PFA材質(zhì)管件管材，配置PFA手動閥門。5.5.2.5.3槽體的加熱方式采用SUS316在線加熱器，從室溫加熱至工作溫度≤60min。5.5.2.5.4槽體配有雙重溫控系統(tǒng)，標(biāo)準(zhǔn)工藝溫度為60±1℃。5.5.2.5.5產(chǎn)品進入烘干槽，通過加熱箱進入風(fēng)管在產(chǎn)品上方對產(chǎn)品進行烘干處理，體兩側(cè)配進風(fēng)口，熱氣溫度控制在50～60℃,同時槽內(nèi)加熱管道布局合理，確保熱風(fēng)快速烘干產(chǎn)品。5.5.3行車單元5.5.3.1行車主體材質(zhì)為鋁+PTFE外包覆。5.5.3.2行車數(shù)量3臺，并配備伺服控制系統(tǒng)。5.5.3.3每臺行車配備一對機械手用于抓取化學(xué)鍍掛具，行車根據(jù)工藝流程自動運行，將掛具放置到指定的槽位中。5.5.3.4行車具有防疊掛功能，確保產(chǎn)品安全。5.5.3.5行車具有防碰撞功能，保證設(shè)備運行安全。5.5.3.6行車中的導(dǎo)軌、絲桿、齒輪、齒條等機械部件均進行抗腐蝕處理，具有良好的耐酸性化學(xué)藥液腐蝕性能。5.5.4控制系統(tǒng)5.5.4.1主控單元、元器件性能可靠，運算功能正常。5.5.4.2主機單元、位置控制單元、速度控制單元、連接單元的元器件性能可靠，定位準(zhǔn)確，運行平穩(wěn)。5.5.4.3手動控制輸入和顯示功能操作可靠。5.5.4.4按鍵動作靈活可靠，控制裝置組成部分完整，功能齊全，性能良好，顯示清晰。5.5.4.5人機界面正常，通電自檢正常。5.5.4.6具有參數(shù)編輯功能。8T/ACCEM—XXXX5.5.4.7具有對關(guān)鍵參數(shù)的監(jiān)控和記錄及保存功能。5.5.4.8具備自診斷能力。5.5.5電氣安全5.5.5.1全自動化學(xué)鎳鈀金設(shè)備所有電器設(shè)備設(shè)計安裝應(yīng)符合GB50058的要求。5.5.5.2電控柜電源進線端與外殼間的絕緣電阻應(yīng)不小于2MΩ。5.5.5.3電控柜電源進線端與外殼間應(yīng)能承受50Hz、1760V、歷時1min的耐電壓試驗，無擊穿或閃絡(luò)現(xiàn)象。5.5.5.4全自動化學(xué)鎳鈀金設(shè)備控制系統(tǒng)應(yīng)有可靠的接地裝置和明顯的接地標(biāo)記。5.5.6其他安全與噪聲5.5.6.1全自動化學(xué)鎳鈀金設(shè)備帶溢出報警系統(tǒng)。5.5.6.2全自動化學(xué)鎳鈀金設(shè)備控制系統(tǒng)應(yīng)有液體內(nèi)溫度、壓力測量、顯示、控制及安全報警功能。5.5.6.3全自動化學(xué)鎳鈀金設(shè)備控制系統(tǒng)的其它操作、控制、安全保護功能應(yīng)正?？煽?。5.5.6.4主體及水槽結(jié)構(gòu)和強度應(yīng)按常壓容器的要求進行設(shè)計，其制造和驗收應(yīng)符合JB/T4735.1的有關(guān)規(guī)定，其中水壓試驗按0.3MPa進行。5.5.6.5全自動化學(xué)鎳鈀金設(shè)備正常工況下噪聲聲壓級不大于80dB(A)。6試驗方法6.1一般要求6.1.1按設(shè)計圖紙規(guī)定進行檢驗，圖示尺寸有公差要求的按其規(guī)定進行，無公差要求的按GB/T1184的規(guī)定進行。6.1.2原材料、外購件應(yīng)符合相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定,并附有質(zhì)保書或合格證。6.2質(zhì)量要求6.2.1在高倍光學(xué)顯微鏡下檢驗，結(jié)果應(yīng)符合5.2.1條款的要求。6.2.2在高倍光學(xué)顯微鏡下檢驗，結(jié)果應(yīng)符合5.2.2條款的要求。6.3性能指標(biāo)設(shè)備安裝完成后，按照性能指標(biāo)選用合適方式進行逐項檢測，結(jié)果應(yīng)符合5.3條款的要求。6.4板材、厚度及其誤差板材有質(zhì)保書或合格證，必要時按相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)檢測；厚度及其誤差用滿足精度要求的量具按常規(guī)方法測量。6.5主體框架采用卷尺測量、手感目視檢查或模擬操作進行檢驗，結(jié)果應(yīng)符合5.5.1.1～5.5.1.6條款的要求。6.6槽體采用卷尺測量、手感目視檢查或模擬操作進行檢驗，結(jié)果應(yīng)符合5.5.2.1～5.5.2.5條款的要求。9T/ACCEM—XXXX6.7行車單元手感目視檢查或模擬操作進行檢驗，結(jié)果應(yīng)符合5.5.3.1～5.5.3.6條款的要求。6.8控制系統(tǒng)手感目視檢查或模擬操作進行檢驗，結(jié)果應(yīng)5.5.4.1～5.5.4.8條款的要求。6.9電氣安全按GB/T5226.1規(guī)定的方法進行。6.10其他安全手感目視檢查或模擬操作進行，符合5.5.6.1～5.5.6.4條款的要求。6.11噪聲按GB/T3768規(guī)定的方法進行。7檢驗規(guī)則7.1檢驗分類檢驗分為出廠檢驗和型式檢驗。7.2出廠檢驗全自動化學(xué)鎳鈀金設(shè)備需經(jīng)零部件、單機驗收合格，現(xiàn)場安裝后試運行正常，出廠檢驗項目如表3。表3出廠檢驗項目項目出廠檢驗型式檢驗一般要求√√質(zhì)量要求√√性能指標(biāo)前處理槽循環(huán)流量（L/min）√√化學(xué)鎳循環(huán)流量（L/min）√√化學(xué)鈀循環(huán)流量（L/min）√√化學(xué)金循環(huán)流量（L/min）√√前處理槽標(biāo)準(zhǔn)工藝溫度(℃)√√化學(xué)鎳槽標(biāo)準(zhǔn)工藝溫度(℃)√√化學(xué)鈀槽標(biāo)準(zhǔn)工藝溫度(℃)√√T/ACCEM—XXXX表3出廠檢驗項目（續(xù)）項目出廠檢驗型式檢驗化學(xué)金槽標(biāo)準(zhǔn)工藝溫度(℃)√√抖動機構(gòu)√√前處理槽加熱方式√√鎳槽加熱方式√√鈀金槽加熱方式√√前處理槽循環(huán)泵√√鎳鈀金循環(huán)泵√√連續(xù)運行率（%）√√平均故障間距時間√√平均故障修復(fù)時間√√QDR進水時間（min）√√QDR排水時間（s）√√抖動頻率（rpm）√√WPH（片）√√破片率（%）√√板材、厚度及其誤差要求PP√√PVC√√石英√√SUS√√主體架構(gòu)5.5.1.1-√5.5.1.2 √5.5.1.3-√5.5.1.4-√5.5.1.5-√5.5.1.6-√槽體5.5.2.1 √5.5.2.2-√5.5.2.3-√5.5.2.4-√5.5.2.5 √行車單元5.5.3.1-√5.5.3.2-√5.5.3.3-√5.5.3.4-√5.5.3.5 √5.5.3.6-√T/ACCEM—XXXX表3出廠檢驗項目（續(xù)）項目出廠檢驗型式檢驗項目控制系統(tǒng)5.5.4.1-√5.5.4.2-√5.5.4.3-√5.5.4.4 √5.5.4.5-√5.5.4.6-√5.5.4.7-√5.5.4.8-√電氣安全按GB/T5226.1-2019規(guī)定的方法進行。其他安全5.5.6.1-√5.