編制說(shuō)明《光學(xué)非球面鏡片面形三維測(cè)試方法》

編制說(shuō)明《光學(xué)非球面鏡片面形三維測(cè)試方法》任務(wù)來(lái)源及計(jì)劃要求經(jīng)中國(guó)材料與試驗(yàn)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)委員會(huì)（CSTM標(biāo)準(zhǔn)委員會(huì)）光電材料及產(chǎn)品領(lǐng)域委員會(huì)審查，CSTM標(biāo)準(zhǔn)委員會(huì)批準(zhǔn)CSTM標(biāo)準(zhǔn)《光學(xué)非球面鏡片面形三維測(cè)試方法》由湖北新華光信息材料有限公司牽頭，項(xiàng)目公告文件號(hào)：材試標(biāo)字[2019]197號(hào)，歸口管理委員會(huì)為CSTM/FC60、TC01光電材料及產(chǎn)品領(lǐng)域委員會(huì)光學(xué)玻璃標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)，標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃編號(hào)為CSTMLX600100493-2020。編制說(shuō)明編制原則本標(biāo)準(zhǔn)符合國(guó)家有關(guān)法規(guī)和政策，貫徹執(zhí)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)家軍用標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定，充分吸收適用于本技術(shù)要求的相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)家軍用標(biāo)準(zhǔn)的內(nèi)容，與相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)協(xié)調(diào)一致。本標(biāo)準(zhǔn)的構(gòu)成、內(nèi)容、文字的表述、條文的編排、文件的引用等符合GB/T1.1—2009給出的規(guī)則要求。編制出的標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)具有先進(jìn)性、適用性、科學(xué)性和可操作性。工作內(nèi)容本標(biāo)準(zhǔn)由湖北新華光信息材料有限公司牽頭。具體工作如下：1）湖北新華光信息材料有限公司負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目研制申請(qǐng)報(bào)告、測(cè)試原理和測(cè)試方法的確定，標(biāo)準(zhǔn)的起草及編制,大綱的匯總、征求意見的組織和歸納。自接到標(biāo)準(zhǔn)任務(wù)后，根據(jù)計(jì)劃要求成立了由技術(shù)人員和標(biāo)準(zhǔn)化人員共同組成的項(xiàng)目編制組,并編制了計(jì)劃表，按照計(jì)劃表開展具體工作。結(jié)合公司研發(fā)階段積累的經(jīng)驗(yàn)及調(diào)研情況進(jìn)行分析，確定了以多波長(zhǎng)干涉原理為技術(shù)路線的光學(xué)非球面鏡片面形三維測(cè)試方法，并通過(guò)與行業(yè)內(nèi)認(rèn)可度較高的UA3P測(cè)量結(jié)果進(jìn)行比對(duì)，編制出了標(biāo)準(zhǔn)草案。標(biāo)準(zhǔn)草案完成后，逐步對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)行了多次修改完善，最終形成標(biāo)準(zhǔn)征求意見稿初稿。主要技術(shù)內(nèi)容的說(shuō)明測(cè)試范圍本標(biāo)準(zhǔn)主要適用于光學(xué)非球面鏡片面形的三維非接觸測(cè)試。測(cè)試原理光學(xué)非球面鏡片面形三維測(cè)試原理如圖1所示。說(shuō)明：1—測(cè)量頭；2—水平直線測(cè)量軸R軸；3—垂直直線測(cè)量軸Z軸；4—傾斜旋轉(zhuǎn)T軸；5—旋轉(zhuǎn) C軸；6—待測(cè)工件待測(cè)面；圖1光學(xué)非球面鏡片面形三維測(cè)試原理如圖在單個(gè)測(cè)量過(guò)程中，使用了4個(gè)參考軸，C軸帶動(dòng)被測(cè)件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，其他兩個(gè)測(cè)量軸帶動(dòng)主測(cè)量頭在整個(gè)測(cè)量平面上進(jìn)行螺旋式掃描。測(cè)試過(guò)程中待測(cè)樣品保持旋轉(zhuǎn)狀態(tài)，測(cè)頭沿著過(guò)中心的理論輪廓進(jìn)行等距移動(dòng)，兩次經(jīng)過(guò)樣品中間區(qū)域，準(zhǔn)確找到樣品中心。測(cè)試設(shè)備3.1測(cè)量系統(tǒng)組成測(cè)試系統(tǒng)由測(cè)量頭、測(cè)量參考軸、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、工裝夾具以及主控電腦五個(gè)部分組成。3.2儀器要求樣品測(cè)試前，與設(shè)備參考軸的相對(duì)偏心、傾斜值不大于100um。試驗(yàn)驗(yàn)證的情況和結(jié)果湖北新華光信息材料有限公司是目前國(guó)內(nèi)光學(xué)玻璃材料主要生產(chǎn)單位之一，多年從事光學(xué)玻璃的研發(fā)和生產(chǎn)工作，和國(guó)內(nèi)外多家客戶進(jìn)行了廣泛的合作。近年來(lái)，公司對(duì)光學(xué)非球面精密模壓鏡片的面形測(cè)試進(jìn)行了深入研究，通過(guò)多波長(zhǎng)干涉原理，完成非接觸測(cè)量。4.1測(cè)量重復(fù)性驗(yàn)證對(duì)某常規(guī)光學(xué)非球面鏡片面形進(jìn)行了相近條件下的測(cè)量重復(fù)性測(cè)量，其數(shù)據(jù)見表4.1。由表中數(shù)據(jù)分析得出，本次實(shí)測(cè)面形（D-PV）的重復(fù)性較好，2σ=0.037，滿足使用要求。表4.1上述某常規(guī)光學(xué)非球面鏡片面形測(cè)量數(shù)據(jù)樣品編號(hào)取點(diǎn)間距取點(diǎn)數(shù)Tiltoff-CenterD-PVPWRA-PVA-R**0.06786516.496.2250.856-0.760.15912.65990.06786516.796.2100.866-0.7690.15812.65980.06786516.596.2290.868-0.7740.16012.65980.06786516.036.2630.875-0.7800.16212.65980.06786515.946.2720.884-0.7910.16312.65974.2與其他權(quán)威設(shè)備測(cè)量結(jié)果比對(duì)驗(yàn)證表4.2LuphoScan比UA3P測(cè)量不同直徑鏡片的測(cè)量結(jié)果比對(duì)1.測(cè)試數(shù)據(jù)對(duì)比（um）DPVBPVBRAPVARф4.9mm（UA3P-LuphoScan）0.1300.0400.00080.0140.0003ф16mm（UA3P-LuphoScan）0.4820.0790.00060.0960.00008以上兩種不同規(guī)格的鏡片測(cè)試指標(biāo)：均是LuphoScan比UA3P所測(cè)值偏小，與ф16mm相比ф4.9mm差值更大；2.測(cè)試曲線對(duì)比曲線Ф16mmLuphoScan與UA3P測(cè)試曲線大體走向趨于一致，且一致性非常好ф4.9mm（1）LuphoScan與UA3P測(cè)試曲線大體走向趨于一致，但LuphoScan與UA6P測(cè)試曲線相比，整體彎曲幅度偏小，中部略顯突出；綜合對(duì)比：（1）LuphoScan測(cè)試曲線：ф4.9mm較ф16mm相比，存在明顯尖峰；（2）LuphoScan與UA3P測(cè)試曲線的走向一致性：大鏡片（GMO）較小鏡片好；但LuphoScan與UA3P的DPV差值：ф4.9mm更小。采用國(guó)際先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)的情況無(wú)。標(biāo)準(zhǔn)涉及的知識(shí)產(chǎn)權(quán)情況說(shuō)明無(wú)。與現(xiàn)行法律法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)系本標(biāo)準(zhǔn)符合我國(guó)目前法律、法規(guī)的規(guī)定。實(shí)施標(biāo)準(zhǔn)的要求和措施建議建議需求方可根據(jù)需求在鍍膜機(jī)安裝后的材料試驗(yàn)中采用本標(biāo)準(zhǔn)本標(biāo)準(zhǔn)的膜層數(shù)學(xué)模型和計(jì)算方法，對(duì)膜層的光學(xué)常數(shù)和設(shè)備工具因子進(jìn)行計(jì)算，作為以后實(shí)際膜系設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)。修改或廢止有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的建議及理由無(wú)。標(biāo)準(zhǔn)印刷數(shù)量建議具體發(fā)行量由機(jī)關(guān)確定。其他需說(shuō)明的事項(xiàng)無(wú)。參考資料清單無(wú)

密級(jí)：公開CSTM團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)編制說(shuō)明（征求意見稿）標(biāo)準(zhǔn)名稱光學(xué)非球面鏡片面形三維測(cè)試方法主編單位湖北新華光信息材料有限公司參編單位