GB/T 44759-2024高純鎳靶材

ICS

77.150.40

CCS

H62

中華人民共和國國家標準

GB/T44759—2024

高純鎳靶材

Highpuritynickeltarget

2024-10-26發(fā)布2025-05-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T44759—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草規(guī)則》的規(guī)

定起草。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任。

本文件由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出。

本文件由全國有色金屬標準化技術委員會（SAC/TC243）歸口。

本文件起草單位：寧波江豐電子材料股份有限公司、金川集團股份有限公司、有研億金新材料有限

公司、上海同創(chuàng)普潤新材料有限公司、南京達邁科技實業(yè)股份有限公司。

本文件主要起草人：姚力軍、邊逸軍、廖培君、胡家彥、楊慧珍、王學澤、周友平、楊曉艷、

湯婷、吳東青、張亞東、朱孜毅、吳宇寧、干科軍、鐘成銘、黃引馳、時曉旭。

Ⅰ

GB/T44759—2024

高純鎳靶材

1范圍

本文件規(guī)定了高純鎳靶材的分類、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存及隨

行文件和訂貨單內容。

本文件適用于半導體行業(yè)用的高純鎳靶材。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文

件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用

于本文件。

GB/T1031產品幾何技術規(guī)范（GPS）

表面結構輪廓法表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值

GB/T6394金屬平均晶粒度測定方法

GB/T8651金屬板材超聲板波探傷方法

GB/T14265金屬材料中氫、氧、氮、碳和硫分析方法通則

GB/T25915.1—2021潔凈室及相關受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

GB/T39159集成電路用高純銅合金靶材

YS/T837濺射靶材?背板結合質量超聲波檢驗方法

YS/T1012高純鎳化學分析方法雜質元素含量的測定輝光放電質譜法

3術語和定義

GB/T39159界定的術語和定義適用于本文件。

4分類

4.1產品按外形分為圓形和方形，或由需方提供圖紙。

4.2產品按化學成分分為Ni4N、Ni4N5、Ni5N三個牌號。

4.3產品按結構形式分為復合體靶材和單體靶材，結構示意圖如圖1所示。

a）復合體靶材b）單體靶材

標引序號說明：

1─靶坯；

2─背板。

圖1

靶材結構示意圖

5技術要求

5.1化學成分

產品的化學成分應符合表1和表2的規(guī)定。