《泵浦-探測瞬態(tài)熱反射檢測方法》編制說明_第1頁
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文檔簡介

附件2

《泵浦-探測瞬態(tài)熱反射檢測方法》

團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)編制說明

一、項目簡況

1.項目來源

根據(jù)《《中國計量測試學(xué)會關(guān)于公布2023年度第四批團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)立項的通知》,由中

國計量測試學(xué)會提出并歸口制定團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)《泵浦-探測瞬態(tài)熱反射檢測方法》。

2.標(biāo)準(zhǔn)制定的必要性

本標(biāo)準(zhǔn)的建立確定了泵浦-探測瞬態(tài)熱反射檢測方法的系統(tǒng)組成、技術(shù)構(gòu)架、涉及

到的光、機(jī)、電零部件指標(biāo)要求和參數(shù)分析方法,并規(guī)定了檢測的一般步驟、相關(guān)要求

等。以技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的形式對該測試方法進(jìn)行規(guī)范化約定,確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性,提高材

料的熱工性能和在實際應(yīng)用中的可靠性,推動該技術(shù)在半導(dǎo)體料與器件研發(fā)生產(chǎn)領(lǐng)域

的廣泛應(yīng)用。

二、標(biāo)準(zhǔn)的研制情況

1.國內(nèi)外情況

國內(nèi)外均有該方法的文獻(xiàn)報道,在一些科研和企業(yè)單位中進(jìn)行了測試應(yīng)用,應(yīng)用

效果顯著,解決了工業(yè)上半導(dǎo)體器件散熱問題。然而,目前國際、國內(nèi)均沒有形成該方

法的統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn),在系統(tǒng)構(gòu)建、測試流程和要求上還沒有具體的規(guī)范,沒有方法評價測試

結(jié)果是否可信或可靠。

2.制定過程(或主要工作過程)

本評測標(biāo)準(zhǔn)由武漢大學(xué)牽頭和中國科學(xué)院微電子技術(shù)研究所、北京青禾晶元半導(dǎo)

體科技有限責(zé)任公司、西安電子科技大學(xué)、北京科技大學(xué)、中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信

息技術(shù)研究所、湖北九峰山實驗室成立編制組,落實分工;開展各階段標(biāo)準(zhǔn)編制技術(shù)協(xié)

調(diào),質(zhì)量審查;負(fù)責(zé)組織協(xié)調(diào)討論會、審查會等;負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)主編工作,完成標(biāo)準(zhǔn)編制各

階段工作;提供全套標(biāo)準(zhǔn)審查和報批材料。內(nèi)容適用于泵浦-探測瞬態(tài)熱反射檢測方法。

3.主要參加單位、成員

主要參與單位和參與人員為見表1。

表1標(biāo)準(zhǔn)研制工作組成員名單

序號姓名工作單位

1袁超武漢大學(xué)

2王鑫華中國科學(xué)院微電子所

北京青禾晶元半導(dǎo)體科

3母鳳文

技有限責(zé)任公司

4武枚西安電子科技大學(xué)

5魏俊俊北京科技大學(xué)

中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)

6歐欣

與信息技術(shù)研究所

7肖科湖北九峰山實驗室

三、標(biāo)準(zhǔn)編制的原則和主要內(nèi)容

1.標(biāo)準(zhǔn)編制的原則

本文件編寫時遵循《一致性、協(xié)調(diào)性、易用性”的原則,根據(jù)當(dāng)前設(shè)計、生產(chǎn)及使

用現(xiàn)狀,結(jié)合多年研發(fā)和應(yīng)用經(jīng)驗,提出泵浦-探測瞬態(tài)熱反射檢測方法。

2.標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容的確定

泵浦-探測瞬態(tài)熱反射檢測方法的系統(tǒng)組成、技術(shù)構(gòu)架、涉及到的光、機(jī)、電零部

件指標(biāo)要求和參數(shù)分析方法,并規(guī)定了檢測的一般步驟、相關(guān)要求等。

3.解決的主要問題

國家、行業(yè)、地方目前暫無熱反射測試相關(guān)的正式標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布,僅有中國電子學(xué)會立

項《半導(dǎo)體熱學(xué)性能的時域熱反射測試方法”。針對測試裝置整合配置復(fù)雜,測試原理

深奧,測試操作和流程要求嚴(yán)格,數(shù)據(jù)分析方法要求高等問題,本標(biāo)準(zhǔn)對熱反射測試方

法進(jìn)行規(guī)范化約定從而實現(xiàn)可靠的熱物性測試評價,推動該技術(shù)在半導(dǎo)體薄膜材料與

器件研發(fā)生產(chǎn)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用,解決日益凸顯的器件散熱問題。

四、主要試驗(或驗證)情況分析

無。

五、標(biāo)準(zhǔn)中涉及專利情況

無。

六、預(yù)期達(dá)到的社會效益等情況

本標(biāo)準(zhǔn)將力圖填補(bǔ)領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)的空白,對行業(yè)進(jìn)行引導(dǎo)。以技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的形式,對行業(yè)

形成統(tǒng)一規(guī)范并對客戶體驗做出有力保障。

七、采用國際標(biāo)準(zhǔn)和國外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)情況

無。

八、與現(xiàn)行相關(guān)法律、法規(guī)、規(guī)章及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),特別是強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)的協(xié)

調(diào)性

本標(biāo)準(zhǔn)符合我國現(xiàn)行法律、法規(guī)和規(guī)章的相關(guān)規(guī)定,與強(qiáng)同類標(biāo)準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)體系中

其他標(biāo)準(zhǔn)無矛盾和不協(xié)調(diào)的地方。

九、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)

本標(biāo)準(zhǔn)無重大分歧意見。

十、標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)的建議說明

建議將本標(biāo)準(zhǔn)作為推薦性團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)盡快發(fā)布并實施。

十一、貫徹標(biāo)準(zhǔn)的要求和措施建議(包括組織措施、技術(shù)措施、過渡辦

法、實施日期等)

建議由中國計量測試學(xué)會組織貫徹本標(biāo)準(zhǔn)的相關(guān)活動,利用各種條件(如技術(shù)交

流、標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)刊物、網(wǎng)上信息、產(chǎn)品認(rèn)證等)盡最大可能向所有相關(guān)產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)學(xué)研用

相關(guān)單位宣貫本標(biāo)準(zhǔn),使所有相關(guān)泵浦-探測瞬態(tài)熱反射檢測系統(tǒng)的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)、認(rèn)證文

件、技術(shù)文件、產(chǎn)品說明書等與本標(biāo)準(zhǔn)最大限度地保持一致。建議本標(biāo)準(zhǔn)于發(fā)布之日

起,各方即以最快的速度執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)。

十二、廢止現(xiàn)行相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的建議

本標(biāo)準(zhǔn)是首次制定,沒有需要廢止相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。

十三、其他

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