QCC改善案例降低不良率.ppt

1、Prepared by: yinyiqing July. 10, 2008,Improvement Project,降低線開方邊長不良率,D M A I C,課題背景,從FQC處(硅片車間的最后一道工序)統(tǒng)計結(jié)果:,重點改善,D M A I C,一月到四月邊長不良率,0.89%,？,0.24%,D M A I C,Team Organization,負(fù)責(zé)整個項目的推 進與成果的總結(jié),生產(chǎn)安排,督促員工 培訓(xùn)班組長,制定嚴(yán)格的作業(yè)指導(dǎo) 優(yōu)化工藝,設(shè)備的一二級保養(yǎng) 培訓(xùn)員工,數(shù)據(jù)的持續(xù)收集， 向生產(chǎn)、工藝反映 改善過程中出現(xiàn)的問題,D M A I C,Milestone & Schedule,Ac

2、tual,Plan,D M A I C,Measure definition,規(guī)格1250.5MM,邊長不良率=邊長不良的硅片數(shù)量/投入數(shù)量(理論出片數(shù)),邊長1250.5MM,備注:理論出片數(shù)= 晶棒合格長度/導(dǎo)輪槽距 (180um硅片導(dǎo)輪槽距為0.34mm,200um硅片導(dǎo)輪槽距為0.35mm),D M A I C,Current status investigation,線開方位置損失對比:,線開方位置分布:,A位置,1位置,D M A I C,Improvement opportunity,法,料,人,機,新進員工沒有培訓(xùn),未按作業(yè)指導(dǎo)書操作,定期的保養(yǎng)維護,去膠不干凈,砂漿堵塞,個別

3、位置切割能力不足,導(dǎo)輪槽位磨損未及時更換,砂漿流量不夠,紅色表示主要的問題,線開方尺寸偏差,收線輪毛刺,D M A I C,D M A I C,Improvement Plan,粘棒尾部去膠不干凈,鋼線切入膠水中,切割能力下降,影響晶棒尺寸,尾部有膠,Before,After,尾部無膠,D M A I C,Improvement Plan,線開方設(shè)備清洗不全面,砂漿噴嘴未清洗干凈,導(dǎo)致砂漿堵塞,砂簾不完整,鋼線上附著的懸浮液減少,影響鋼線的切割能力,導(dǎo)致邊長偏差.,砂漿噴嘴清洗干凈,砂漿簾連貫,開始執(zhí)行,D M A I C,Improvement Plan,減少開方斷線,線開方斷線(線痕影響尺

4、寸),起初懷疑系統(tǒng)問題(張力臂抖動異常)系統(tǒng)重裝后依然斷線:,碰撞產(chǎn)生的內(nèi)徑毛刺，凸?fàn)钗?廢線切割時把輪子槽切變形了,廢線切割時把輪子槽切深了,打磨前,D M A I C,Improvement Plan,第二十一周星期一已完成,備注:,D M A I C,Improvement Plan,減少開方斷線,打磨后,D M A I C,Improvement Plan,防止數(shù)錯槽,Before,After,備注:,第二十一周星期一已完成,D M A I C,Improvement Plan,防止數(shù)錯槽,數(shù)槽器,D M A I C,Improvement Plan,A位置處于收線輪端,即鋼線切割的尾

5、部,鋼線的切割能力受到影響,導(dǎo)致邊長偏差,導(dǎo)輪與收線端滑輪垂直度調(diào)整,A位置,D M A I C,Improvement Plan,改善前,效果明顯，但是沒有達到目標(biāo),D M A I C,Improvement Plan,使用MSA系統(tǒng)預(yù)防,X-BAR控制圖,D M A I C,取點注意事項,D M A I C,minitab 軟件在線分析線開方制程能力,數(shù)據(jù)選取時間最新連續(xù)一個月：2.24-3.24,X方向尺寸CPK：1.56 Y方向CPK尺寸：1.56,過程受控狀態(tài)抽取數(shù)據(jù)（6西格瑪計算）,D M A I C,效果確認(rèn),D M A I C,效果確認(rèn),改善有效,D M A I C,Effec

6、t & Cost Summary,降本效果計算,不良改善會議記要,最終財務(wù)張所娟核算： 416萬元,D M A I C,標(biāo)準(zhǔn)化,1. HCT線開方導(dǎo)輪材料規(guī)格受控文件 編號：MS-W-0031,2. 線開方受控文件 編號：PI-W-0002 8.1.9：更換槽位對導(dǎo)輪進行垂直度校準(zhǔn)，確認(rèn)滑輪支架 與導(dǎo)輪間的垂直度。 8.2.0：選擇設(shè)備的一個位置準(zhǔn)確測量晶棒尺寸描寫X-R 圖，防止不良情況發(fā)生。,一車間線開方成功改善后開展到二，三車間也在開方工序開展了MSA，X-BAR等質(zhì)量控制手段,制片單位,WAFER&CI TEAM,導(dǎo)演組,WAFER TEAM,投資人,F. TEAM,道具,WAFER TEAM,創(chuàng)意中心,WAFER