依據(jù)規(guī)范書所載明之各廢氣風(fēng)管數(shù)量尺寸與材質(zhì)進行驗收

1、家奈米元件實驗室 NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES 案號：NDL-C-101207 頁數(shù)PAGE: 1 OF 7 購案名稱：10000級潔淨(jìng)室之廠務(wù)廢氣配 管 國家奈米元件實驗室 10000級潔淨(jìng)室之廠務(wù)廢氣配管 招標規(guī)範書 本文件為國家奈米元件實驗室專有之財產(chǎn)，非由書面許可，不準透露或使用本文件，亦不準複製或轉(zhuǎn)變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF NATIONAL NANO DEVICE 案號：NDL-C-101207 頁數(shù)PAGE: 2 OF 7

2、購案名稱：10000級潔淨(jìng)室之廠務(wù)廢氣配 管 目錄 、 說明 二、 採購標的規(guī)範及數(shù)量 三、 未來擴充情形 四、 履約期限 五、 驗收標準 六、 保固 本文件為國家奈米元件實驗室專有之財產(chǎn)，非由書面許可，不準透露或使用本文件，亦不準複製或轉(zhuǎn)變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF NATIONAL NANO DEVICE 案號：NDL-C-101207 頁數(shù)PAGE: 3 OF 7 購案名稱：10000級潔淨(jìng)室之廠務(wù)廢氣配 管 1 說明 本規(guī)範適用於國家奈米元件實驗室奈米 10000級潔淨(jìng)

3、室之廠務(wù)廢氣配管規(guī)範，如有任 何疑慮依業(yè)主解釋為準。 2 採購標的規(guī)範及數(shù)量 2.1 一般排氣4組（pump熱排至一般排氣主管） 2.1.1 使用端接頭NW40 2.1.2 材質(zhì)：SUS304螺旋風(fēng)管。 2.1.3 管徑：主管150mn支管100mm 2.1.4 pump熱排上方風(fēng)門一組。 2.1.5 支管與pump需以軟管銜接，軟管需為SUS304材質(zhì)。 2.1.6 軟管長度500 mm 2.1.7 Pump出 口需設(shè)置門型架固定，管路不得搖晃。 2.2 一般排氣 1組（pump出口至一般排氣主管） 2.2.1 使用端接頭NW50 2.2.2 材質(zhì)：SUS304螺旋風(fēng)管。 2.2.3 管徑：

4、主管150mn支管100mm 2.2.4 Pump出 口上方風(fēng)門一組。 2.2.5 支管與pump需以軟管銜接，軟管需為SUS304材質(zhì)。 2.2.6 軟管長度500 mm 2.2.7 Pump出 口需設(shè)置門型架固定，管路不得搖晃。 本文件為國家奈米元件實驗室專有之財產(chǎn)，非由書面許可，不準透露或使用本文件，亦不準複製或轉(zhuǎn)變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF NATIONAL NANO DEVICE 案號：NDL-C-101207 頁數(shù)PAGE: 4 OF 7 購案名稱：10000級潔淨(jìng)

5、室之廠務(wù)廢氣配 管 2.3 般排氣1組（Gas box至一般排氣主管） 2.3.1 使用端接頭NW50 2.3.2 材質(zhì)：SUS304螺旋風(fēng)管。 2.3.3 管徑：主管 150mn支 管 100mm 2.3.4 Gas box出口上方風(fēng)門一組。 2.4 一般排氣1組（PM exhaust至一般排氣主管） 2.4.1 使用端接頭NW50 2.4.2 材質(zhì)：SUS304螺旋風(fēng)管。 2.4.3 管徑：主管150mm支管100mm 2.4.4 Gas box出口上方風(fēng)門一組。 2.4.5 NW5接頭後銜接PVC軟管，軟管最末端需接一組 PVC2球閥。 2.4.6 管徑：NW50 2.4.7 長度 4m

6、 2.5 一般排氣1組（Local Scrubber至一般排氣主管） 2.5.1 材質(zhì)：SUS304螺旋風(fēng)管。 2.5.2 管徑：主管150mm支管100mm 2.5.3 Local Scrubbe 出口上方風(fēng)門一組。 2.6製程排氣3組（pump出口至製程排氣主管） 2.6.1 使用端接頭NW50 2.6.2 材質(zhì)：SUS304。 本文件為國家奈米元件實驗室專有之財產(chǎn)，非由書面許可，不準透露或使用本文件，亦不準複製或轉(zhuǎn)變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF NATIONAL NANO

7、DEVICE 案號：NDL-C-101207 頁數(shù)PAGE: 5 OF 7 購案名稱：10000級潔淨(jìng)室之廠務(wù)廢氣配 管 2.6.3 管徑：2”。 2.6.4 pump出口端各含球閥一組（球閥：已3片式大流量； SUS316）。 球閥材質(zhì) 2.6.5 製程管路與pump及Local Scrubber銜接需加裝軟管, SUS304材 質(zhì)。 軟管需為 2.6.6 軟管長度200 mm 2.6.7 Pump出口至Local Scrubber端管路需以咼架方式配置。 2.6.8 咼度至少2.5m以上。 2.6.9 Pump出 口需設(shè)置門型架固定，管路不得搖晃。 2.6.10 製程排氣管路有高溫可能（2

8、5110C）各接頭使用ORing需可承受 2.6.11 製程排氣管路配管方式：以手銬夾可拆式銜接。 2.7製程排氣1組（Local Scrubber出口至製程排氣主管） 2.7.1 管徑：主管100mn支管100mm 2.7.2 材質(zhì)：全部管路須以SUS304 coating鐵氟龍（主管及各支管含風(fēng) 門一組）。 2.7.3 管路各支點須設(shè)置風(fēng)門，並於風(fēng)門後安裝0250mmA壓差表。 2.7.4 製程排氣管路配管方式：以手銬夾可拆式銜接。 2.8自來水供應(yīng)管1組（自來水管路配至Local Scrubber進水端）。 2.8.1 管徑： 主管11/2 ” 2.8.2 材質(zhì)： SUS304。 2.8

9、.3 管徑： 支管1”。 本文件為國家奈米元件實驗室專有之財產(chǎn)，非由書面許可，不準透露或使用本文件，亦不準複製或轉(zhuǎn)變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF NATIONAL NANO DEVICE 案號：NDL-C-101207 頁數(shù)PAGE: 6 OF 7 購案名稱：10000級潔淨(jìng)室之廠務(wù)廢氣配 管 2.9排水管路1組（Local Scrubber排水端配至一般廢水管路） 2.9.1 LocalScrubber排水端配至一般廢水管路銜接。 2.9.2 管徑：111/2 ”。 2.9.3

10、 材質(zhì)：PVC Ssh80 2.9.4 原有一般廢水及氫氟酸廢水管路需設(shè)置保護蓋。 2.10機臺擺放位置與風(fēng)管主管垂直相關(guān)位置、穿牆與樓板部分即施工難度，請參 予投標廠商務(wù)必進行現(xiàn)場丈量與評估。 2.11各類排氣管路須有足夠支撐架，在本實驗室各風(fēng)車馬達60Hz運轉(zhuǎn)下或真空 幫浦運轉(zhuǎn)下不得晃動或有異音。 2.12每日施工完畢後需清理工作區(qū)域，並恢復(fù)原狀。 3 未來擴充情形 無 八、 4 履約期限 本實驗室通知日起30個日曆天（所有假日皆計入）內(nèi)完工。 5 驗收標準 5.1依據(jù)規(guī)範書所載明之各廢氣風(fēng)管數(shù)量、尺寸與材質(zhì)進行驗收。 5.2附前後施工照片。 6 保固 6.1所有施工部分保固一年 本文件為

11、國家奈米元件實驗室專有之財產(chǎn)，非由書面許可，不準透露或使用本文件，亦不準複製或轉(zhuǎn)變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF NATIONAL NANO DEVICE 案號：NDL-C-101207 頁數(shù)PAGE: 7 OF 7 購案名稱：10000級潔淨(jìng)室之廠務(wù)廢氣配 管 7 附圖 Power ?777 o J np P Powe box (1933) ICP-RIE 504 Etcher Lhiller crubbe 囂 :置未確嵐 拿- 寸浜G 寸寸6 丄管I If 學(xué)藥品 亍櫃 LABORATORIES. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSI