E8握手流程中文版

1、E84-握手流程（中文版）標(biāo)準(zhǔn)化文件發(fā)布號(hào)：（9456-EUATWKMWUB-WUNNINNULDDQTYKII配布先-COPY計(jì)SUM承認(rèn)APP3神鋼電機(jī)株式會(huì)社ouTkiizrx ci UErac cc i tf iAnaki7変更來歴Rev日付內(nèi)容承認(rèn)作成000.11.2初版藤原SSG佐野Translated by Don Lee/ASTW/Training Center1 背景目的62 E84E23之不同點(diǎn)63 限制44 機(jī)器構(gòu)成65 用語說明86 控制信號(hào)之種類67 Intel lock Timeout 138 通信程序981裝載移載98.2卸載移載119 1291移載動(dòng)作開始前之異

2、常129 2移載動(dòng)作中之異常139 3異常移載動(dòng)作後之異常149.4 GO 信號(hào)=OFF 變化229 5異常之復(fù)舊1510注意事項(xiàng)1511 Connector及各信號(hào)之分配 1612 電路圖 Sensor Unit 尺寸261 背景目的半導(dǎo)體製造工廠中，因隨著晶圓尺寸之?dāng)U大，載體重量增加及製造工程複雜化，有導(dǎo)入以AGV/OHT為代表之自動(dòng)搬送系統(tǒng)(AMHS)的趨勢(shì)。AMHS中、製造裝置與OHV (臺(tái)車)藉由使 用Photo I/O之通信、來取得LoadAJnload之同步。此Photo I/O通信係藉由SEMI規(guī)格來定 義、製造裝置及0HV需進(jìn)行遵守此規(guī)格的通信控制。SEMI規(guī)格中、雖定義E2

3、3作為上述Photo I/O通信規(guī)格、但於99年以E23為基本而重新 定義了功能強(qiáng)化之E84、此E84規(guī)格有成為主流的趨勢(shì)。本書係記述E84規(guī)格之概要。又， 本書之對(duì)象係定為進(jìn)行與AMHS裝置及半導(dǎo)體製造裝置間之介面相關(guān)的設(shè)計(jì)/管理。2 E84 L E23之不同點(diǎn)追加/變更於E84之項(xiàng)目如下。連續(xù) Handoff Sequence同時(shí) Handoff Sequence追加HO_AVBL信號(hào)、ES信號(hào) Timer之規(guī)定改訂Connector pin之分配3 限制本書僅記述導(dǎo)入於OHT系統(tǒng)之E84規(guī)格。因此、以下項(xiàng)目與該系統(tǒng)不相關(guān)故予以割愛。連續(xù) Handoff/同時(shí) Handoff Sequen

4、ce使用於連續(xù)Handoff之Timer4 機(jī)器構(gòu)成圖4.1顯示本規(guī)格之E84 I/O Interface的適用例。図4.1 E84I/O介面例5 用語説明表5.1顯示本書使用之用語。表5.1用語説明用語解説Active裝置具備移載機(jī)構(gòu)之裝置。遵循SEMI E23規(guī)格 （OHT系統(tǒng)中、OHV屬於Active裝置。）Passive 裝置藉由Active裝置來進(jìn)行移載之裝置。遵循SEMI E23規(guī)格 Passive裝置包含加工裝置/Stocker等。本書中、Passive裝置係與裝置同義。AMHS裝置 (=Automated Material Handling System)具有可在Passive

5、裝置間搬送載體之功能的裝置。RGV: Rail Guided Vehicles / AGV: Automated Guided Vehicles / OHT: Overhead Hoist Transports if oAuto Access ModeAMHS裝置以自動(dòng)方式進(jìn)行Handoff之模式。Manual AccessModeOperator以手動(dòng)方式進(jìn)行Handoff之模式。載體卡匣/Box/Pod/Boat/FOUP等、用來收藏晶圓之箱子。 遵循SEMI E 1.9規(guī)格Handoff表示藉由Active裝置對(duì)Passive裝置進(jìn)行裝載及卸載之移載動(dòng)作。 本書中、係與裝載/卸載移載同義

6、。Handoff干涉區(qū)域Handoff中Active裝置之載體有可能與Passive裝置之載體衝突的空間。Handoff - Interlock 異常Handoff中Passive裝置檢測(cè)到異常之狀態(tài)。Active裝置之載體與Passive 裝置之載體、有可能在Handoff干涉區(qū)域衝突衝突。無法Handoff利用狀態(tài)Passive裝置無法進(jìn)行Handoff之狀態(tài)。Loadport加工裝B/Stocker 等之 Interface Port。遵循 SEMI E15 規(guī)格Load從Act i ve裝置往Pass i ve裝置之卸載移載。Unload從Pass i ve裝置往Act i ve裝置之

7、裝載移載?？刂菩盘?hào)之種類使用於E84通信之各信號(hào)的種類如表6.1所示。 關(guān)於通信方向:A二Active裝置.P二Passive裝置。表6.1信號(hào)之名稱及功用信號(hào)名稱通信方向信號(hào)之說明CS_O ( = Carrier Stage0)A=P指定使用於載體Handoff之Loadporto ON :使用於載體Handoffo OFF :不使用。CS_1( = Carrier Stage 1)A=P指定使用於載體Handoff之Loadport。ON :使用於載體Handoffo OFF :不使用。盯系統(tǒng)中、由於各Loadport設(shè)置有Photo I/O （1 Photo 1/0/1 LoadPort

8、）.因此不使用本信號(hào)。VALID ( = Indicates that the signal transition i s active and selected.)可以通信A=P表示Act i ve裝置oPass ive裝置間之通信為有效。 0N :通信為有效。OFF 涌信為甸效cAct i ve裝置在施余信號(hào)0N之前、需以CS_0信號(hào)或CS_1信號(hào)（或兩者）來指定移載對(duì)象之Loadporto 探OHT系統(tǒng)中、僅使用CS 0L REQ ( = Load Request) 要求裝載PnA表示Loadport被指定為載體之裝載（Active裝置之卸 載）。0N : Loadpoll被指定為載體之

9、裝載 OFF : Loadport未被指定為載體之裝載。由Act i ve裝置以CS_0信號(hào)指定Loadport.當(dāng)VALID二ON 時(shí)、Passive 裝置使本信號(hào) ON。當(dāng) Passive 裝置確認(rèn)到載體被放置到正確位置之後、即將本信號(hào) 0FFoU_REQ ( = UnloadRequest)要求卸載PnA表不Loadport被指定為載體之卸載（Act i ve裝置之裝 載）。0N : Loadpoll被指定為載體之卸載 OFF : Loadport未被指定為載體之卸載。由Act i ve裝置以CS_0信號(hào)指定Loadport.當(dāng)VALID二ON 時(shí)、Passive 裝置即將本信號(hào) ON。

10、Passive 裝置在載體被完全取走後、即將本信號(hào)OFF。TR_REQ ( = TransferRequest)要求 HandoffA=P對(duì)Pass i ve裝置要求HandoffoON :已提出Handoff要求。 OFF :未已提出Handoff要求。當(dāng)BUSY信號(hào)OFF時(shí)、本信號(hào)亦OFF。READY ( = Ready for Transfer)準(zhǔn)備 HandoffP=A表示Pass i ve裝置、已從Act i ve裝置收到TR_REQ信 號(hào)。ON : Passive裝置已做好Handoff之準(zhǔn)備。OFF : Passive裝置尚未做好Handoff之準(zhǔn)備。當(dāng)確認(rèn)到Act i ve裝置

11、之TR_REQ二ON後.Pass i ve裝置 即將本信號(hào)0No當(dāng)確認(rèn)到Handoff結(jié)束且Act ive裝置 之COMPTON後.Pass i ve裝置即將本信號(hào)0FFoBUSY ( = Busy for Transfer)Handoff進(jìn)行中A=P表示Active裝置、正進(jìn)行Handoff中。ON :正進(jìn)行Handoff中。 OFF :非進(jìn)行Handoff中。Pass ive裝置在READY二ON狀態(tài)、可開始進(jìn)行Handoff 時(shí)、Active裝置將使本信號(hào)0No Handoff中Passive 裝置不可進(jìn)行任何物理性動(dòng)作。當(dāng)Pass i ve裝置將 L_REQ （或 U_REQ）信號(hào) O

12、FF、結(jié)束 Handoff時(shí)、Active 裝置即將本信號(hào)OFF。（此時(shí)、把持裝置需退出至干涉區(qū)域之外）COMPT (= Comp 1ete Transfer)Handoff 結(jié)束A=P表示Act i ve裝胃已結(jié)束Handoff操作。ON :已結(jié)束 Handoff。OFF :尚未結(jié)束Handoffo 當(dāng)結(jié)束Handoff操作時(shí)（Active裝置將BUSY信號(hào) OFF）、Active裝置即將本信號(hào)ON。Passive裝置在確 認(rèn)到READY二OFF後、Active裝置即將本信號(hào)OFF。CONT ( = ContinuousHandoff)連續(xù) HandoffA=P表示有連續(xù)Handoff。ON

13、 :表示連續(xù)Handoff持續(xù)中。OFF :無連續(xù) Handoff。當(dāng)有連續(xù)Handoff時(shí)、根據(jù)最初移載時(shí)Passive裝置之 BUSY二ON Act i ve裝置即將本信號(hào)ON、根據(jù)最後移載時(shí) Passive裝置之BUSY二ON、Active裝置即將本信號(hào) 0FFo探OHT系統(tǒng)中、現(xiàn)在不使用本信號(hào)。HO.AVBL(=Handoff Available) 可 HandoffP=A表示Pass i ve裝置裝置可進(jìn)行Handoff。 又亦有表不Passive裝置存在某種異常之情形。ON :可配合 Handoff。OFF :存在某種異常無法配合Handoffo 本信號(hào)係在開始進(jìn)行Handoff操

14、作前、向Act i ve裝置 表示Passive裝置之狀態(tài)。當(dāng)Passive裝置正常時(shí)、 本信號(hào)為ON。當(dāng)Passive裝置檢測(cè)到CS_0信號(hào)所指定 之Loadport存在某種異常時(shí)、藉由Active裝置將 VALID信號(hào)ON或TR_REQ信號(hào)ON、Passi ve裝置即將本 信號(hào)OFF。又當(dāng)檢測(cè)到該P(yáng)ass i ve裝置之其他Loadport 有異常時(shí)、本信號(hào)亦可能OFF。 所謂異常係指無正確地進(jìn)行載體檢測(cè)。Passive裝置一直停留於Manual Mode。 Passive裝置無法配合Handoff之狀態(tài)。ES (二 Emergency Stop) 緊急停止PnA係要求緊急停止Act i

15、ve裝置之動(dòng)作。ON :正常操作OFF :要求緊急停止當(dāng)Pass i ve裝置判斷為危險(xiǎn)狀況時(shí)、為立即停止 Handoff而將本信號(hào)OFF。所謂危險(xiǎn)狀況係指恐傷及資源或製造物時(shí)。對(duì)作業(yè)工程會(huì)造成傷害之情形。發(fā)生Handoff-Interlock異常之情形。當(dāng)按下Pass i ve裝置側(cè)之ES （或EMO）按鈕 時(shí)。通常、Active裝置在VALID ONOFF之間監(jiān)測(cè)本信 號(hào)。197 Interlock TimeoutActive 裝置側(cè)之Timer (TA二Timer of Active equipment)及 Passive 裝置側(cè)之Timer (TP=Timer of Passive e

16、quipment)如表 7.1 及表 7. 2 所示。各Tinier.係以檢測(cè)裝載/卸載時(shí)Interlock之異常為目的。表7Active裝置所監(jiān)視之TimerTimer監(jiān)視Timer之期間範(fàn)圍（秒）預(yù)設(shè)值（秒）TAIVALID ON L_REQ ON VALID ON U REQ ON1 - 9992TA2TR REQ ON READY ON1 - 9992TA3COMPT ON READY OFF1 - 9992表7.2 Passive裝置所監(jiān)視之TimerTimer監(jiān)視Timer之期間範(fàn)圍（秒）預(yù)設(shè)值（秒）TP1L_REQ ON TR_REQ ON U REQ ON TR REQ ON1

17、 - 9992TP2READY ON BUSY ON1 - 9992TP3BUSY ON CARRIER DETECT （卸載移載開始= 至檢測(cè)到載體為止）BUSY ON CARRIER REMOVE（裝載移載開始n至取走載體為止）1 - 99960TP4L.REQ OFF BUSY OFF U REQ OFF BUSY OFF1 - 99960TP5READY OFF VALID OFF1 - 99928 通信餅81裝載移載裝載移載時(shí)Photo I/O之Timing Chart如圖8.1所示、Active裝置與Passive裝宜間之通信內(nèi)容如表8.1所示。圖& 1裝載移載時(shí)之Timing C

18、hartStep信號(hào)名信號(hào)方向動(dòng)作說明CS_0 ONA=P當(dāng)Act i ve裝置到達(dá)要進(jìn)行裝載移載之Pass i ve裝呂時(shí)、即使用CS_O信號(hào)來指定 移載對(duì)象之LoadportoVALID ONA=P表示可與以CS O信號(hào)所指定之Loadport進(jìn)行通信。U_REQ ONPnA在完成從Passive裝旨之Loadport使POUP卸載（Active裝置進(jìn)行裝載移載）之 準(zhǔn)備時(shí)、即將U REQ信號(hào)ON。TR.REO ONAnPAct i ve裝魚對(duì)Pass i ve裝宜側(cè)要求開始移載。READY ONP=APassive裝直側(cè)對(duì)Active裝豐表示已完成移載之準(zhǔn)備。BUSY ONA=P開始移載

19、。U-REQ OFFP=A當(dāng)從Loadport上FOUP被完全取走時(shí)、Pass i ve裝宜側(cè)即將U_REQ信號(hào)OFF。BUSY OFFA=P當(dāng)結(jié)束移載操作且脫離與Pass ive裝遺側(cè)干涉之區(qū)域時(shí)、即將BUSY信號(hào)OFF。TR_REQ OFFA=P當(dāng)BUSY信號(hào)OFF時(shí)、即將本信號(hào)OFF。COMPT ONA=P通血Passive裝呂已結(jié)束裝載移載。READY OFFPnA當(dāng)確認(rèn)到COMPT信號(hào)ON後、即將本信號(hào)OFF。COMPT 0阡當(dāng)確認(rèn)到READY信號(hào)OFF後、即將本信號(hào)0阡。VALID 0 阡AnP當(dāng)確認(rèn)到READY信號(hào)OFF後、即將本信號(hào)OFF。 此時(shí)、即結(jié)束Act i ve裝邏oP

20、ass i ve裝直之通信。CS_O OFF當(dāng)確認(rèn)到READY信號(hào)OFF後、即將本信號(hào)OFF。8. 2卸載移載卸載移載時(shí)Photo I/O之Timing Chart如圖8.2所示.Active裝宜與Passive裝萱間之通信內(nèi)容如表8.2所示。圖8.2卸載移載時(shí)之Timing Chart信號(hào)名信號(hào)方向Timingcs_o/VALIDAct i ve裝置 Passive 裝 置:/o，TR.REQ； A(S)BUSY:： / i、!COMPTi n / /READY：；j :i:!: ；1 心仃1):L_REQ_ ;丨 1 : 1 :1111Passive 裝 置 Active 裝置!：:空：:

21、1111U_REQ：!;!I111:11：!：111111 ： 1 ! ! !11H0_AVBL| 1 1 1丨丨b111111:11ES丨i111111TimerActive 裝宣 TimerTAITA2 ATA3Passive 裝置 TimerTP1TP2TP3 TP4 TP5K-動(dòng)作內(nèi)容Active裝宜到逹? r一誠體正確地移至罰1 開始通信J .開始卸載移J 1上J,結(jié)束移載D 結(jié)束誦信表& 2卸載移載時(shí)之通信內(nèi)容Step信號(hào)名信號(hào)方向動(dòng)作說明CS_0 ONAnP當(dāng)Active裝置到達(dá)要進(jìn)行卸載移載之Passive裝置時(shí)、即使用CS_O信號(hào)來指定 移載對(duì)鑒之LoadportoVALID

22、 ONA=P表示可與以CS 0信號(hào)所指定之Loadport進(jìn)行通信。L_REQ ONPnA自完成將FOUP從Pass i ve裝逝之Loadport裝載（Act i ve裝呂進(jìn)行卸載移載）之 準(zhǔn)備時(shí)、即將L REQ信號(hào)ON。TR.REQ ONA=PAct i ve裝呂對(duì)Pass i ve裝邏側(cè)要求開始移載。READY ONPnAPass i ve裝遺對(duì)Act i ve裝直表示已完成移載準(zhǔn)備。BUSY ONA=P開始移載。L_REQ 0阡P=A當(dāng)FOUPiE確地裝載於Loadport上時(shí)、Passive裝邏側(cè)即將L_REQ信號(hào)OFF。BUSY OFFA=P在結(jié)束移載操作且脫離與Pass i ve

23、裝遺側(cè)之干涉區(qū)域時(shí)、即將BUSY信號(hào)OFF。TR.REQ OFFA=P當(dāng)BUSY信號(hào)OFF時(shí)、即將本信號(hào)OFF。COMPT ONA=P通知Passive裝置側(cè)已結(jié)束卸載移載。READY 0阡PnA當(dāng)確認(rèn)到COMPT信號(hào)ON後.即將本信號(hào)OFF。COMPT 0 阡AnP當(dāng)確認(rèn)到READY信號(hào)OFF後、即將本信號(hào)0阡。VALID OFFAnP當(dāng)確認(rèn)到READY信號(hào)0阡後、即將本信號(hào)0阡。 此時(shí)、即結(jié)束Active裝宜Passive裝總之通信。CS_0 OFF當(dāng)確認(rèn)到READY信號(hào)0阡後、即將本信號(hào)0阡。9異常檢測(cè)以卜-舉例說明OHT系統(tǒng)在Hnndoff中發(fā)生異常Z模式。91移載動(dòng)作開始前之異常1）

24、 OHV雖已到達(dá)對(duì)象Port、但不開始進(jìn)行移載而立即通過。原因：裝置尚未完成移載準(zhǔn)備（Manual Mode等）或在異常狀態(tài)。信號(hào)變化：一直處於HO_AVBL=OFF或ES=OFF之狀態(tài)（亦可能兩者皆O(shè)FF）。信號(hào)名信號(hào)方向Timingcs_oOHV今裝置VALIDREADY裝置=0HV:1HO.AVBL1111 11 1ES111動(dòng)作內(nèi)容fOHV至茴廠冷|於HO.AVBL為OFF J1開始通信J 1故結(jié)束通信追記：若該Loadport未經(jīng)Teaching亦會(huì)有同樣現(xiàn)象、而未執(zhí)行E84 1/F即結(jié)束搬送。2）已到達(dá)對(duì)象Port、雖短暫待機(jī)但未開始進(jìn)行移載即通過。原因：裝置尚未完成移載準(zhǔn)備等。或

25、在READY=ON前HO_AVBL=OFFo信號(hào)變化：TA1或TA2發(fā)生Timeout後、使OHV側(cè)之信號(hào)全部OFF。（以下之 Timing Chart 中、為在 TA2 Timeout 時(shí)。）信號(hào)名信號(hào)方向TimingCS 0:0 VALID1 -: zTR RFQunvT董宜:#11_1匸匕:; /busy1丨：舄/ iI：17 : IREADY裝置=OHVL_REQU_REQ1 111HO.AVBL1111111ES11111TimerOHV TimerTAITA2裝置TimerTP1動(dòng)作內(nèi)容rOHV 到達(dá)1 r 等待 READY ON 1L開始通信J I TA2 Timeout Jl結(jié)

26、束通信9. 2移載動(dòng)作中之異常1）在Gripper升降中或開閉中OHV變成異常狀態(tài)、而中止移載動(dòng)作。a） OHV檢測(cè)到異常。原 因：在OHV發(fā)生了某種異常（偏離Teaching位置/搖晃檢知/在荷ON=OFF變 化等）。信號(hào)變化：使OHV側(cè)之信號(hào)全部OFF之後、使HO_AVBL=OFF或ES=OFFob）裝置檢測(cè)到異常。原 因：裝置因某種異常而要求緊急停止（按下EMO/在荷Sensor不一致等）。信號(hào)變化：H0_AVBL二OFF 或 ES二OFF。（亦有兩者皆O(shè)FF之情形、依裝置規(guī)格而不同。）信號(hào)名信號(hào)方向TimingCS.0lVALIDnut/! 2TTR_REQ:A1BUSYREADYU_

27、REQ站 LJ裝宜=UHV:! I !：:HO.AVBL；：!L :ESHLT 1o19ITimerOHV TimerTAITA2裝宜Timer動(dòng)作內(nèi)容0HVL_REQnH0_AVBL-: ! ： ! :ES丨丨 TimerOHV Timer _ 1 : 1:TAI ；. TA2 !:裝 STimerJ:! TP1 ；! TP2 ： *TP3!*：動(dòng)作內(nèi)容OHV到達(dá) j 一jpOUP已正確放呂/ 等待L REQ OnH通信開始 J創(chuàng)載移載開始JL 在Pn上 JL TP3 Timeout J9 3 移載動(dòng)作後之異常1）結(jié)束裝載/卸載移載後、短暫停留後重新開始移動(dòng)。原因：裝置側(cè)未確認(rèn)到0HV之移載

28、結(jié)束通知。或確認(rèn)過遲。（COMPT-ON之後、超過指定時(shí)間亦未READY二OFF。）U_REQ1iii11HO.AVBL1 11 11 11 11 1ES111111111Ti tYiprOHV TimerTAITA2*TA3*11111U1裝迫TimerTP1TP2TP3 TP4 動(dòng)作內(nèi)容fOHV 減l 通信開妒1|r-UP 已不在 PortT待 READY OFF J、JJ l裝載移載開J l上JI TA3Timeout J l畀常結(jié)束J299 4 GO信號(hào)nOFF變化1）突然異常結(jié)束。 原因：Device破損、Sensor光遮斯、外部光之干涉等。信號(hào)變化：60信號(hào)產(chǎn)生ON=OFF變化、通

29、信中之所有信號(hào)皆被Reseto 其後即不再進(jìn)行通信。探G0信號(hào)係用來確認(rèn)光信號(hào)被正確地被接收的信號(hào)。 光信號(hào)受信時(shí)0N 光路遮斷時(shí)（非受信時(shí)）OFF9. 5異常之復(fù)舊 以下說明OHT系統(tǒng)之復(fù)舊方法。 收集OHV之Event Log以探尋異常原因。（最好從發(fā)生現(xiàn)狀及Log來判斷。） 找出異常模式後再進(jìn)行復(fù)舊作業(yè)。OHV之復(fù)舊如以下所示。a）自ST停止後到等待READY-ON期間裝置若將HO_AVBL二OFF時(shí)、OHV即結(jié)束E84程序並自動(dòng)進(jìn)行復(fù)舊後再開始移動(dòng)。TA3 Timeout發(fā)生後亦進(jìn)行同樣之處理。（移載中若OFF時(shí)、即進(jìn)行與b 相同之處理。）b）當(dāng)移載動(dòng)作中裝置將ES-OFF時(shí)、OHV即立刻停止並顯示異常Code後、即等待人工復(fù)舊作業(yè)。（將OHV Ret並進(jìn)行再入線。）c）若以上述操作仍無法復(fù)舊時(shí)、由於有可能是Hard/Soft之問題因此須進(jìn)行OHV及周邊機(jī)器之調(diào)查。探裝萱之異常