晶向檢測(cè)之一

1、第二章第二章 晶向與晶體缺陷檢測(cè)晶向與晶體缺陷檢測(cè)本章內(nèi)容本章內(nèi)容一、晶向檢測(cè)一、晶向檢測(cè)二、晶體缺陷檢測(cè)二、晶體缺陷檢測(cè)三、光學(xué)顯微鏡技術(shù)三、光學(xué)顯微鏡技術(shù)四、電子顯微鏡技術(shù)四、電子顯微鏡技術(shù)一、一、 晶向檢測(cè)晶向檢測(cè)1 1、硅單晶的特點(diǎn)、硅單晶的特點(diǎn)硅單晶晶體結(jié)構(gòu)硅單晶晶體結(jié)構(gòu)a= 5.43 硅單晶晶體結(jié)構(gòu)：兩套簡(jiǎn)單面心立方格子套構(gòu)形成的金剛石結(jié)構(gòu)金剛石結(jié)構(gòu)。 是垂直于晶面的矢量。通常用密勒指數(shù)是垂直于晶面的矢量。通常用密勒指數(shù)(h,k,l)(h,k,l)表示。表示。 hklhkl晶向和晶向和晶面垂直晶面垂直 (a)100 (b) 110 (c) 1112、晶向晶向硅單晶的不同晶面結(jié)構(gòu)及其

2、特點(diǎn)硅單晶的不同晶面結(jié)構(gòu)及其特點(diǎn)110二、晶向檢測(cè)的常用方法二、晶向檢測(cè)的常用方法 外貌觀察法外貌觀察法 光點(diǎn)定向法光點(diǎn)定向法 （工業(yè)生產(chǎn)中常用方法）（工業(yè)生產(chǎn)中常用方法） x x射線衍射法射線衍射法 （工業(yè)生產(chǎn)中常用方法）（工業(yè)生產(chǎn)中常用方法）（一）光點(diǎn)定向測(cè)試（一）光點(diǎn)定向測(cè)試1、光點(diǎn)定向測(cè)試儀原理結(jié)構(gòu)圖、光點(diǎn)定向測(cè)試儀原理結(jié)構(gòu)圖 硅單晶的光學(xué)定向圖形硅單晶的光學(xué)定向圖形g 2 2、樣品處理、樣品處理腐蝕坑的顯示腐蝕坑的顯示 硅單晶硅單晶 的光學(xué)定向圖形的光學(xué)定向圖形 晶向偏離度晶向偏離度晶體的軸與晶體方向不吻合時(shí)，其偏離的角度稱為晶向偏離度。 晶錠端面與被測(cè)晶向偏離，腐蝕坑對(duì)稱性就會(huì)偏離

3、，利用這種特性可以確定晶向偏離度。 g 3 3、晶向偏離度的測(cè)試、晶向偏離度的測(cè)試 此型儀器設(shè)有兩個(gè)工作臺(tái)，可同時(shí)進(jìn)行操作，右側(cè)工作臺(tái)帶有托板，可對(duì)圓柱形晶體進(jìn)行端面與柱面定向，也可以對(duì)晶片的端面進(jìn)行定向，左側(cè)工作臺(tái)可對(duì)晶片的端面進(jìn)行定向，儀器精度為30最小讀數(shù)為1，數(shù)字顯示。 g 4 4、光點(diǎn)定向的應(yīng)用、光點(diǎn)定向的應(yīng)用 該型定向儀儀專門用于硅單晶錠的粘結(jié)，是和多線切割機(jī)配套使用的半導(dǎo)體行業(yè)專用設(shè)備。（三）（三） x射線衍射法射線衍射法 x射線的波長(zhǎng)范圍一般為10-2102，有強(qiáng)的穿透能力，原子和分子的距離（110 ）正好在x射線的波長(zhǎng)范圍之內(nèi)，x射線對(duì)物質(zhì)的散射和衍射能傳遞豐富的微觀結(jié)構(gòu)信息

4、，因此x x射線衍射是研究物質(zhì)微觀結(jié)構(gòu)的最主要的方法射線衍射是研究物質(zhì)微觀結(jié)構(gòu)的最主要的方法。 當(dāng)用波長(zhǎng)為的單色x射線照射晶體時(shí)，在x射線作用下晶體的若干層原子面會(huì)發(fā)生布喇格定律衍射布喇格定律衍射，應(yīng)用x射線在晶體中的衍射現(xiàn)象，可以得到晶向、晶向偏離度、晶體的原子面間距、晶體表面缺陷等許多晶體結(jié)構(gòu)信息。使用x射線衍射儀確定晶向及偏離度，具有快速、精確的特點(diǎn)。 g 1 1、x x射線簡(jiǎn)介射線簡(jiǎn)介 衍射衍射（diffraction）又稱為散射，波遇到障礙物或小孔后通過(guò)散射繼續(xù)傳播的現(xiàn)象。衍射現(xiàn)象是波的特有現(xiàn)象，一切波都會(huì)發(fā)生衍射現(xiàn)象。衍射時(shí)產(chǎn)生的明暗條紋或光環(huán)，叫衍射圖樣。產(chǎn)生衍射的條件是：產(chǎn)生衍

5、射的條件是：當(dāng)孔或障礙物尺寸與光的波長(zhǎng)相同數(shù)量級(jí)，甚至比波長(zhǎng)還要小時(shí)，產(chǎn)生衍射。因此光波長(zhǎng)越小，越容易產(chǎn)生衍射現(xiàn)象。晶體可以作為晶體可以作為x射線的空間衍射光柵射線的空間衍射光柵,即當(dāng)一束 x射線通過(guò)晶體時(shí)將會(huì)發(fā)生衍射；衍射波疊加的結(jié)果使射線的強(qiáng)度在某些方向上增強(qiáng)、而在其它方向上減弱；分析在照相底片上獲得的衍射花樣，便可確定晶體結(jié)構(gòu)。1913年英國(guó)物理學(xué)家布拉格布拉格父子(w.h.bragg,w.l.bragg)在勞厄勞厄發(fā)現(xiàn)的基礎(chǔ)上,不僅成功地測(cè)定了nacl、kcl等的晶體結(jié)構(gòu),并提出了作為晶并提出了作為晶體衍射基礎(chǔ)的著名公式體衍射基礎(chǔ)的著名公式布拉格定律布拉格定律：g 2 2、x x射線衍

6、射及布喇格定律射線衍射及布喇格定律 n當(dāng)相鄰原子面散射后的光程差當(dāng)相鄰原子面散射后的光程差(2dsin(2dsin) )等于入射光波長(zhǎng)等于入射光波長(zhǎng)的整數(shù)倍時(shí)，即的整數(shù)倍時(shí)，即 相鄰原子面散射波干涉加強(qiáng)，產(chǎn)生明顯的衍射光束。相鄰原子面散射波干涉加強(qiáng)，產(chǎn)生明顯的衍射光束。ndsin2布拉格定律衍射布拉格定律衍射掠射角掠射角x x射線入射射線入射x x射線被晶格原子散射后出射射線被晶格原子散射后出射上原子層上原子層下原子層下原子層 對(duì)于半導(dǎo)體硅，它具有金剛石結(jié)構(gòu)，其晶格常數(shù)a5.43073，其面間距與一些主要的低指數(shù)晶面(h、k、l)的關(guān)系為； 222/lkhadhkl (2.2)，表2.4x-r

7、ay diffraction pattern2 isimple cubic =2dhklsin hklbraggs law: (cu k)=1.5418batio3 at t130ocdhkl20o 40o60o(hkl)圖圖2.9 x射線衍射儀的原理結(jié)構(gòu)示意圖射線衍射儀的原理結(jié)構(gòu)示意圖 l x x射線衍射儀由射線衍射儀由x x射線發(fā)生器、測(cè)角儀和探測(cè)記錄系統(tǒng)射線發(fā)生器、測(cè)角儀和探測(cè)記錄系統(tǒng)3 3部分組成部分組成3 3、x x射線衍射儀的組成射線衍射儀的組成x x射線發(fā)生器射線發(fā)生器測(cè)角儀測(cè)角儀探測(cè)記錄系統(tǒng)探測(cè)記錄系統(tǒng)2. x射線測(cè)角儀射線測(cè)角儀3. x射線的探測(cè)射線的探測(cè)4. （1 1）晶體

8、結(jié)構(gòu)（晶向、晶格常數(shù)、原子面間距）的測(cè)量）晶體結(jié)構(gòu)（晶向、晶格常數(shù)、原子面間距）的測(cè)量測(cè)量時(shí)將樣品置于衍射儀的測(cè)角儀上，由x射線源發(fā)出的射線，經(jīng)濾光片后得到單色經(jīng)濾光片后得到單色x x射線照射到樣品上射線照射到樣品上，使樣品表面與入射x射線束的掠射角為。l 4 4、x x射線衍射儀的使用與測(cè)量射線衍射儀的使用與測(cè)量2 isimple cubic =2dhklsin hklbraggs law: (cu k)=1.5418dhkl20o 40o60o(hkl)u通過(guò) x射線衍射儀測(cè)試得到衍射角，根據(jù)布拉格公式求根據(jù)布拉格公式求得晶體的原子面間距得晶體的原子面間距d d；根據(jù)晶面與面間距的關(guān)系示，

9、確定晶；根據(jù)晶面與面間距的關(guān)系示，確定晶體晶向體晶向. .（2 2）晶向偏離度的測(cè)量）晶向偏離度的測(cè)量 轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)角儀，使樣品圍繞水平和垂直軸轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)樣品表面轉(zhuǎn)到一定位置時(shí)，在計(jì)數(shù)管內(nèi)會(huì)出現(xiàn)最大的衍射強(qiáng)度，記下圍繞水平方向轉(zhuǎn)動(dòng)角和垂直方向轉(zhuǎn)動(dòng)角。可以證明，晶向的可以證明，晶向的偏離角度偏離角度與與、角的關(guān)系為角的關(guān)系為coscoscos由此可以求出樣品表面的晶向偏離度。由此可以求出樣品表面的晶向偏離度。5 5、半導(dǎo)體工業(yè)中單晶定向儀、半導(dǎo)體工業(yè)中單晶定向儀該型x射線定向儀主要用于4英寸以下小直徑晶棒的of面定向，晶錠水平放置在夾具內(nèi)，在x-ray照射下，測(cè)出of面，依機(jī)械方式緊固晶錠，然后將晶錠帶同夾具一起固定在磨床上加工of面。精密快速地測(cè)定天然和人造單晶(壓電晶體,光學(xué)晶體,激光晶體,半導(dǎo)體晶體)的切割角度,與切割機(jī)配套可用于上述晶體的定向切割,是精密加工制造晶體器件不可缺少的儀器.該儀器廣泛應(yīng)用于晶體材料的研究,加工,制造行業(yè) 6 6、x x射線衍射的應(yīng)用（擴(kuò)展了解）射線衍射的應(yīng)用（擴(kuò)展了解）應(yīng)用之一：應(yīng)用之一：xrdxrd應(yīng)用之二應(yīng)用之二表表2.2 2.2 三種測(cè)定晶向方法的說(shuō)明三種測(cè)定晶向方法的說(shuō)明本節(jié)復(fù)習(xí)題（本節(jié)復(fù)習(xí)題（請(qǐng)做請(qǐng)做2、3序號(hào)題序號(hào)題）1 1、理解測(cè)定晶向、晶向偏離度在半導(dǎo)體工業(yè)制造中的意義。、