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與微驅(qū)動器原理（一）與微驅(qū)動器原理（一）1;.234Micro-System567RRLLRRstrainchangeceresisrelativeGF/tan8ALRLdLDdDLLDD/21dAALdALdLAdR2AdAdLdLRdR9DdDAdA2LdLAdA2dLdLRdR)21 (11/)21 (/dRdRLdLRdRGF10Table comparing the gauge factors of differential types of strain gauge1112131415dACr0).(22110nnrrdddAC16返回dACr01718)(0zeII19返回2021dtddtddtdvdtxda2222;22bmkQmkdtdxkxdtxdFrelrel;/;0222324基本的加工工藝是這樣的 首先在Si上加工對準(zhǔn)用的孔，然后生長和加工1.5um厚的氧化膜。然后擴(kuò)散10歐區(qū)域用于歐姆接觸和100歐的壓阻區(qū)。最后利用陽極健和Si和7740玻璃。25262728293031323244)()1 (37)()1 (316PrhyhyEh這里P-所施加的壓力，Pa;r-薄膜直徑;E-楊氏模量，Pa;h-薄膜厚度，m;-泊松比;y-膜中心點(diǎn)位移。33343536dxdyyxddCCy x),(00ddACdAC20037
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