半導(dǎo)體制造技術(shù)—淀積工藝PPT課件

1、概概 述述 薄膜淀積是芯片加工過程中一個至關(guān)重要的工藝步驟，通過淀積工藝可以在硅片上生長導(dǎo)各種導(dǎo)電薄膜層和絕緣薄膜層。 各種不同類型的薄膜淀積到硅片上，在某些情況下，這些薄膜成為器件結(jié)構(gòu)中的一個完整部分，另外一些薄膜則充當(dāng)了工藝過程中的犧牲品，并且在后續(xù)的工藝中被去掉。 本章將討論薄膜淀積的原理、過程和所需的設(shè)備，重點討論SiO2和Si3N4等絕緣材料薄膜以及多晶硅的淀積。金屬和金屬化合物薄膜的淀積將在第13章中介紹。第1頁/共67頁目目 標(biāo)標(biāo)通過本章的學(xué)習(xí)，將能夠：通過本章的學(xué)習(xí)，將能夠：1.描述出多層金屬化。敘述并解釋薄膜生長的三個階段。2.提供對不同薄膜淀積技術(shù)的慨況。3.列舉并描述化學(xué)

2、氣相淀積（CVD）反應(yīng)的8個基本步驟，包括不同類型的化學(xué)反應(yīng)。4.描述CVD反應(yīng)如何受限制，解釋反應(yīng)動力學(xué)以及CVD薄膜摻雜的效應(yīng)。5.描述不同類型的CVD淀積系統(tǒng)，解釋設(shè)備的功能。討論某種特定工具對薄膜應(yīng)用的優(yōu)點和局限。6.解釋絕緣材料對芯片制造技術(shù)的重要性，給出應(yīng)用的例子。7.討論外延技術(shù)和三種不同的外延淀積方法。8.解釋旋涂絕緣介質(zhì)。 第2頁/共67頁MSI時代時代nMOS晶體管的各層膜晶體管的各層膜p+ silicon substratep- epi layer場氧化層n+n+p+p+n-wellILD氧化硅墊氧化層氧化硅氮化硅頂層?xùn)叛趸瘜觽?cè)墻氧化層金屬前氧化層Poly金屬多晶金屬Fi

3、gure 11.1第3頁/共67頁引引 言言 從MSI到LSI時代，芯片的設(shè)計和加工相對較為直接，上圖給出了制作一個早期nMOS所需的淀積層。圖中器件的特征尺寸遠(yuǎn)大于1m。如圖所示，由于特征高度的變化，硅片上各層并不平坦，這將成為VLSI時代所需的多層金屬高密度芯片制造的限制因素。 隨著特征尺寸越來越小，在當(dāng)今的高級微芯片加工過程中，需要6層甚至更多的金屬來做連接（第六頁的圖），各金屬之間的絕緣就顯得非常重要，所以，在芯片制造過程中，淀積可靠的薄膜材料至關(guān)重要。薄膜制備是硅片加工中的一個重要工藝步驟。 第4頁/共67頁ULSI硅片上的多層金屬化硅片上的多層金屬化Figure 11.3鈍化層壓點

4、金屬p+ Silicon substrateViaILD-2ILD-3ILD-4ILD-5M-1M-2M-3 M-4p- Epitaxial layerp+ILD-6LI oxideSTIn-wellp-wellILD-1Poly gaten+p+p+n+n+LI metal第5頁/共67頁芯片中的金屬層芯片中的金屬層Photo 11.1 第6頁/共67頁 薄膜淀積薄膜淀積 半導(dǎo)體器件工藝中的“薄膜”是一種固態(tài)薄膜，薄膜的種類和制備方法在第四章中已作過簡單介紹。 薄膜淀積是指任何在硅片襯底上物理淀積一層膜的工藝，屬于薄膜制造的一種工藝，所淀積的薄膜可以是導(dǎo)體、絕緣材料或者半導(dǎo)體材料。比如二氧化

5、硅（SiO2）、氮化硅（Si3N4）、多晶硅以及金屬（Cu、W）. 第7頁/共67頁固態(tài)薄膜固態(tài)薄膜Silicon substrateOxide寬長厚與襯底相比薄膜非常薄Figure 11.4第8頁/共67頁薄膜特性薄膜特性好的臺階覆蓋能力填充高的深寬比間隙的能力好的厚度均勻性高純度和高密度受控制的化學(xué)劑量高度的結(jié)構(gòu)完整性和低的膜應(yīng)力好的電學(xué)特性對襯底材料或下層膜好的黏附性第9頁/共67頁膜對臺階的覆蓋膜對臺階的覆蓋 我們期望膜在硅片表面上厚度一致，但由于硅片表面臺階的存在，如果淀積的膜在臺階上過渡的變薄，就容易導(dǎo)致高的膜應(yīng)力、電短路或在器件中產(chǎn)生不希望的誘生電荷。應(yīng)力還可能導(dǎo)致襯底發(fā)生凸起或

6、凹陷的變形。共形臺階覆蓋非共形臺階覆蓋均勻厚度第10頁/共67頁高的深寬比間隙高的深寬比間隙可以用深寬比來描述一個小間隙（如槽或可以用深寬比來描述一個小間隙（如槽或孔），深寬比定義為間隙的深度和寬度的比孔），深寬比定義為間隙的深度和寬度的比值值(見下圖見下圖)深寬比 = 深度 寬度=2 1深寬比 = 500 250 500 D250 WFigure 11.6第11頁/共67頁高的深寬比間隙高的深寬比間隙Photograph courtesy of Integrated Circuit EngineeringPhoto 11.2第12頁/共67頁薄膜生長的步驟薄膜生長的步驟連續(xù)的膜氣體分子成核凝

7、聚SubstrateFigure 11.7第13頁/共67頁膜淀積技術(shù)膜淀積技術(shù)Table 11.1第14頁/共67頁化學(xué)氣相淀積化學(xué)氣相淀積 化學(xué)氣相淀積（CVD）是通過氣體混合的化學(xué)反應(yīng)在硅片表面淀積一層固體膜的工藝。硅片表面及其鄰近的區(qū)域被加熱來向反應(yīng)系統(tǒng)提供附加的能量。包括：1. 產(chǎn)生化學(xué)變化，這可以通過化學(xué)反應(yīng)或熱分解；2. 膜中所有的材料物質(zhì)都源于外部的源；3. 化學(xué)氣相淀積工藝中的反應(yīng)物必須以氣相形式參加反應(yīng)。 第15頁/共67頁化學(xué)氣相淀積的設(shè)備化學(xué)氣相淀積的設(shè)備Photo 11.3第16頁/共67頁CVD 化學(xué)過程化學(xué)過程1. 高溫分解：高溫分解： 通常在無氧的條件下，通過加

8、熱化 合物分解（化學(xué)鍵斷裂）；2.光分解：光分解： 利用輻射使化合物的化學(xué)鍵斷裂分解；3.還原反應(yīng)：還原反應(yīng)： 反應(yīng)物分子和氫發(fā)生的反應(yīng)；4.氧化反應(yīng)：氧化反應(yīng)： 反應(yīng)物原子或分子和氧發(fā)生的反應(yīng)；5. 氧化還原反應(yīng)：氧化還原反應(yīng)： 反應(yīng)3與4地組合，反應(yīng)后形成兩 種新的化合物。 第17頁/共67頁 以上5中基本反應(yīng)中，有一些特定的化學(xué)氣相淀積反應(yīng)用來在硅片襯底上淀積膜。對于某種特定反應(yīng)的選擇通常要考慮淀積溫度、膜的特性以及加工中的問題等因素。 例如，用硅烷和氧氣通過氧化反應(yīng)淀積SiO2膜。反應(yīng)生成物SiO2淀積在硅片表面，副產(chǎn)物事是氫。 SiH4 + O2 SiO2 + 2H2第18頁/共67

9、頁CVD 反應(yīng)反應(yīng) CVD 反應(yīng)步驟反應(yīng)步驟 基本的化學(xué)氣相淀積反應(yīng)包含8個主要步驟，以解釋反應(yīng)的機(jī)制。1）氣體傳輸至淀積區(qū)域；2）膜先驅(qū)物的形成；3）膜先驅(qū)物附著在硅片表面；4）膜先驅(qū)物黏附；5）膜先驅(qū)物擴(kuò)散；6）表面反應(yīng)；7）副產(chǎn)物從表面移除；8）副產(chǎn)物從反應(yīng)腔移除。 第19頁/共67頁CVD 傳輸和反應(yīng)步驟圖傳輸和反應(yīng)步驟圖CVD 反應(yīng)室Substrate連續(xù)膜 8) 副產(chǎn)物 去除 1) 反應(yīng)物的質(zhì)量傳輸副產(chǎn)物 2) 薄膜先驅(qū) 物反應(yīng) 3) 氣體分 子擴(kuò)散 4) 先驅(qū)物 的吸附 5) 先驅(qū)物擴(kuò)散 到襯底中 6) 表面反應(yīng) 7) 副產(chǎn)物的解 吸附作用排氣氣體傳送Figure 11.8第20

10、頁/共67頁 在化學(xué)氣相淀積中，氣體先驅(qū)物傳輸?shù)焦杵砻孢M(jìn)行吸附作用和反應(yīng)。列入，下面的三個反應(yīng)。反應(yīng)1）顯示硅烷首先分解成SiH2先驅(qū)物。 SiH2先驅(qū)物再和硅烷反應(yīng)形成Si2H6。在中間CVD反應(yīng)中， SiH2隨著Si2H6被吸附在硅片表面。然后Si2H6分解形成最終需要的固態(tài)硅膜。1)SiH4(氣態(tài)) SiH2(氣態(tài)) + H2(氣態(tài)) （高溫分解）2)SiH4(氣態(tài)) + SiH2(氣態(tài)) Si2H6(氣態(tài)) （反應(yīng)半成品形成）3) Si2H6(氣態(tài)) 2Si (固態(tài)) + 3H2(氣態(tài)) （最終產(chǎn)品形成） 以上實例是硅氣相外延的一個反應(yīng)過程第21頁/共67頁 速度限制階段速度限制階段

11、 在實際大批量生產(chǎn)中，CVD反應(yīng)的時間長短很重要。溫度升高會促使表面反應(yīng)速度增加?；贑VD反應(yīng)的有序性，最慢的反應(yīng)階段會成為整個工藝的瓶頸。換言之，反應(yīng)速度最慢的階段將決定整個淀積過程的速度。 CVD的反應(yīng)速度取決于質(zhì)量傳輸和表面反應(yīng)兩個因素。在質(zhì)量傳輸階段淀積工藝對溫度不敏感，這意味著無論溫度如何，傳輸?shù)焦杵砻婕铀俜磻?yīng)的反應(yīng)氣體的量都不足。在此情況下，CVD工藝通常是受質(zhì)量傳輸所限制的。 第22頁/共67頁 在更低的反應(yīng)溫度和壓力下，由于只有更少的能量來驅(qū)動表面反應(yīng)，表面反應(yīng)速度會降低。最終反應(yīng)物達(dá)到硅片表面的速度將超過表面化學(xué)反應(yīng)的速度。在這種情況下。淀積速度是受化學(xué)反應(yīng)速度限制的，此

12、時稱表面反應(yīng)控制限制。 CVD 氣流動力學(xué)氣流動力學(xué) CVD氣流動力學(xué)對淀積出均勻的膜很重要。所謂氣體流動，指的是反應(yīng)氣體輸送到硅片表面的反應(yīng)區(qū)域（見下圖）。CVD氣體流動的主要因素包括，反應(yīng)氣體從主氣流中到硅片表面的輸送以及在表面的化學(xué)反應(yīng)速度。第23頁/共67頁CVD 中的氣流中的氣流氣流淀積的膜 硅襯底反應(yīng)副產(chǎn)物反應(yīng)物的擴(kuò)散Figure 11.9第24頁/共67頁硅片表面的氣流硅片表面的氣流 氣流 邊界層 氣流滯留層Figure 11.10第25頁/共67頁CVD 反應(yīng)中的壓力反應(yīng)中的壓力 如果CVD發(fā)生在低壓下，反應(yīng)氣體通過邊界層達(dá)到表面的擴(kuò)散作用會顯著增加。這會增加反應(yīng)物到襯底的輸運

13、。在CVD反應(yīng)中低壓的作用就是使反應(yīng)物更快地到達(dá)襯底表面。在這種情況下，速度限制將受約于表面反應(yīng)，即在較低壓下CVD工藝是反應(yīng)速度限制的。 CVD 過程中的摻雜過程中的摻雜 CVD淀積過程中，在SiO2中摻入雜質(zhì)對硅片加工來說也是很重要。例如，在淀積SiO2的過程中，反應(yīng)氣體中加入PH3后，會形成磷硅玻璃?；瘜W(xué)反應(yīng)方程如下： SiH4(氣)+2PH3(氣)+O2(氣) SiO2(固)+2P(固)+5H2(氣)第26頁/共67頁 在磷硅玻璃中，磷以P2O5的形式存在，磷硅玻璃由P2O5和SiO2的混合物共同組成；對于要永久黏附在硅片表面的磷硅玻璃來說， P2O5 含量（重量比）不超過4，這是因為

14、磷硅玻璃（PSG）有吸潮作用。 應(yīng) 用 高 密 度 等 離 子 體 C V D 可 以 在600650的溫度下淀積PSG，由于它的淀積溫度、相對平坦的表面、好的間隙填充能力，近來也常采用PSG作為第一層層間介質(zhì)（ILD-1）。在SiO2中引入P2O5可以減小膜應(yīng)力，進(jìn)而改進(jìn)膜的完整性。摻雜會增加玻璃的抗吸水性。PSG層還可以有效地固定離子雜質(zhì)。離子會吸附到磷原子上，因而不能通過PSG層擴(kuò)散達(dá)到硅片表面。第27頁/共67頁CVD 淀積系統(tǒng)淀積系統(tǒng) CVD 設(shè)備設(shè)計 CVD 反應(yīng)器的加熱 CVD 反應(yīng)器的配置 CVD 反應(yīng)器的總結(jié) 常壓 CVD（ APCVD ） 低壓 CVD（ LPCVD） 等離

15、子體輔助 CVD 等離子體增強(qiáng) CVD（PECVD） 高密度等離子體 CVD（HDPCVD） 第28頁/共67頁CVD 反應(yīng)器類型反應(yīng)器類型Figure 11.11第29頁/共67頁各種類型各種類型 CVD 反應(yīng)器及其主要特點反應(yīng)器及其主要特點Table 11.2第30頁/共67頁連續(xù)加工的連續(xù)加工的APCVD 反應(yīng)爐反應(yīng)爐硅片膜反應(yīng)氣體 2反應(yīng)氣體 1惰性分隔氣體(a) 氣體注入類型N2反應(yīng)氣體加熱器N2N2N2N2N2硅片(b) 通氣類型Figure 11.12第31頁/共67頁APCVD TEOS-O3改善后的臺階覆蓋改善后的臺階覆蓋Liner oxidep Silicon substr

16、atep Epitaxial layern-wellp-wellTrench CVD oxideTEOS-O3Trench fill by chemical vapor depositionNitride-+Figure 11.3第32頁/共67頁 用用TEOSO3淀積淀積SiO2 T E O S 是 正 硅 酸 乙 脂 。 分 子 式 為Si(C2H5O4)，是一種液體。臭氧（O3）包含三個氧原子，比氧氣有更強(qiáng)的反應(yīng)活性，因此，這步工藝可以不用等離子體，在低溫下（如400）進(jìn)行，因為不需要等離子體，O3就能是TEOS分解，因此反應(yīng)可以在常壓（APCVD,760托）或者亞常壓(SACVD，60

17、0托)下。淀積的二氧化硅薄膜改善了臺階覆蓋輪廓，均勻性好，具有作為絕緣介質(zhì)優(yōu)異的電學(xué)特性。 優(yōu)點：對于高的深寬比槽有良好的覆蓋填充能力。 缺點：SiO2膜多孔，因而通常需要回流來去掉潮氣并增加膜密度。第33頁/共67頁PSG 回流后平坦化的表面回流后平坦化的表面回流后PSG回流前PSG金屬或多晶硅Figure 11.14第34頁/共67頁LPCVD 與APCVD相比，LPCVD系統(tǒng)有更低的成本、更高的產(chǎn)量及更好的膜性能，因此應(yīng)用更為廣泛。為了獲得低壓，必須在中等真空度下阿（約0.15托），反應(yīng)溫度一般在300900，常規(guī)的氧化爐設(shè)備就可以應(yīng)用。 LPCVD的反應(yīng)室通常是反應(yīng)速度限制的。在這種低

18、壓條件下，反應(yīng)氣體的質(zhì)量傳輸不再限制反應(yīng)的速度。 不同于APCVD的是，LPCVD反應(yīng)中的邊界層由于低壓的緣故，距離硅片表面更遠(yuǎn)（見下圖）。邊界層的分子密度低，使得進(jìn)入的氣體分子很容易通過這一層擴(kuò)散，是硅片表面接觸足夠的反應(yīng)氣體分子。一般來說，LPCVD具有優(yōu)良的臺階覆蓋能力。第35頁/共67頁硅片表面的邊界層硅片表面的邊界層連續(xù)氣流淀積膜 硅襯底邊界層反應(yīng)物擴(kuò)散Figure 11.15第36頁/共67頁LPCVD Reaction Chamber for Deposition of Oxides, Nitrides, or Polysilicon三溫區(qū)加熱部件釘式熱電偶 (外部，控制)壓力表

19、抽氣至真空泵氣體入口熱電偶 (內(nèi)部)Figure 11.16第37頁/共67頁用用 TEOS LPCVD 淀積氧化硅淀積氧化硅壓力控制器三溫區(qū)加熱器加熱器TEOSN2O2真空泵氣流控制器LPCVD爐溫度控制器計算機(jī)終端工作接口爐溫控制器尾氣Figure 11.17第38頁/共67頁Key Reasons for the Use of Doped Polysilicon in the Gate Structure1. 通過摻雜可得到特定的電阻；2. 和二氧化硅優(yōu)良的界面特性；3. 和后續(xù)高溫工藝的兼容性；4. 比金屬電極（如AI）更高的可靠性；5. 在陡峭的結(jié)構(gòu)上淀積的均勻性；6. 實現(xiàn)柵的自對

20、準(zhǔn)工藝。 第39頁/共67頁Doped Polysilicon as a Gate electroden-wellp-wellp- Epitaxial layerp+ Silicon substratePolysilicon gatep+p+p+n+n+n+Figure 11.18 第40頁/共67頁等離子體輔助等離子體輔助CVDCVD 過程中使用等離子體的好處過程中使用等離子體的好處1. 更低的工藝溫度 (250 450)；2. 對高的深寬比間隙有好的填充能力 (用高密度等離子體)；3. 淀積的膜對硅片有優(yōu)良的黏附能力；4. 高的淀積速率；5. 少的針孔和空洞，因為有高的膜密度；6. 工藝溫

21、度低，因而應(yīng)用范圍廣。 第41頁/共67頁在等離子體輔助在等離子體輔助 CVD 中膜的形成中膜的形成PECVD 反應(yīng)室連續(xù)膜 8) 副產(chǎn)物 去除 1) 反應(yīng)物進(jìn) 入反應(yīng)室襯底 2) 電場使反 應(yīng)物分解 3) 薄膜初始 物形成 4) 初始物吸附 5) 初始物擴(kuò)散到襯底中 6) 表面反應(yīng) 7) 副產(chǎn)物的解 吸附作用排氣氣體傳送RF 發(fā)生器副產(chǎn)物電極電極RF 場Figure 11.19 第42頁/共67頁General Schematic of PECVD for Deposition of Oxides, Nitrides, Silicon Oxynitride or TungstenProces

22、s gasesGas flow controllerPressure controllerRoughingpumpTurbopumpGas panelRF generatorMatching networkMicrocontroller operator InterfaceExhaustGas dispersion screenElectrodesFigure 11.20 第43頁/共67頁用用LPCVD 和和 PECVD 氮化硅的性質(zhì)氮化硅的性質(zhì)Table 11.3 第44頁/共67頁高密度等離子體淀積腔高密度等離子體淀積腔Photo 11.4 第45頁/共67頁淀積刻蝕淀積工藝淀積刻蝕淀積

23、工藝用 PECVD 淀積的膜在間隙入口處產(chǎn)生夾斷現(xiàn)象，導(dǎo)致在間隙填充中的空洞鑰匙孔效應(yīng)面包塊效應(yīng)MetalSiO2在這里開始分開1) 離子誘導(dǎo)薄膜初始產(chǎn)物的淀積2) 氬離子濺射刻蝕掉間隙入口處多余的膜，在膜上導(dǎo)致斜面外形3) 再淀積被刻蝕的材料。重復(fù)該過程，最終形成上下一致的形貌CapFigure 11.21 第46頁/共67頁HDPCVD 工藝的五個步驟工藝的五個步驟1. 離子誘導(dǎo)淀積：指離子被托出等離子體并淀積形成間隙填充的現(xiàn)象；2. 濺射刻蝕：具有一定能量的Ar和因為硅片偏置被吸引到薄膜的反應(yīng)離子轟擊表面并刻蝕原子；3. 再次淀積：原子從間隙的底部被剝離，通常會再次淀積到側(cè)壁上；4. 熱

24、中性 CVD：這對熱能驅(qū)動的一些淀積反應(yīng)有很小的貢獻(xiàn)；5. 反射：離子反射出側(cè)壁，然后淀積，是另一種貢獻(xiàn)。 第47頁/共67頁在渦輪泵出口放置硅片的在渦輪泵出口放置硅片的 HDPCVD機(jī)械泵微波2.45 GHz電磁渦輪泵閥門氣體噴頭靜電吸盤上的硅片F(xiàn)igure 11.22 第48頁/共67頁介質(zhì)及其性能介質(zhì)及其性能 介電常數(shù) 間隙填充 芯片性能 低k值介電常數(shù) 高k值介電常數(shù) 器件隔離 局部氧化（LOCOS） 淺曹隔離（STI） 第49頁/共67頁介質(zhì)間隙填充的三個過程介質(zhì)間隙填充的三個過程2) PECVD 帽帽1) HDPCVD 間隙填充SiO2鋁3)化學(xué)機(jī)械 平坦化Figure 11.23

25、 第50頁/共67頁ULSI 互連中可能的低互連中可能的低K值值ILD材料材料Table 11.4 第51頁/共67頁互連延遲互連延遲 (RC) 與特征尺寸的關(guān)系與特征尺寸的關(guān)系 ( m)Figure 11.24 2.52.01.51.00.500.51.01.52.0特征尺寸 (m)延遲時間 (10-9 sec)互連延遲 (RC)門延遲第52頁/共67頁芯片性能芯片性能 芯片性能的一項指標(biāo)是信號的傳輸速度。芯片的不斷縮小導(dǎo)致互聯(lián)線寬度減小，使得傳輸信號導(dǎo)線電阻（R）增大。而且，導(dǎo)線間距的縮小產(chǎn)生了更多的寄生電容（C）。最終增加了RC信號延遲（RC信號延遲降低芯片速度，減弱芯片性能）。這是在亞

26、0.25m中凸現(xiàn)的問題，通常稱為互連延遲 （如上圖所示）。從本質(zhì)上講，減小互連尺寸帶來的寄生電阻和電容效應(yīng)而導(dǎo)致更大的信號延遲。這與晶體管的發(fā)展正好相反，對晶體管而言，隨著柵長變小，延遲變小，晶體管的速度增加。 線電容C正比于絕緣介質(zhì)的k 值，低K值的絕緣介質(zhì)可以減小芯片總的互連電容，減小RC信號延遲 ，提供芯片性能。第53頁/共67頁總互連線電容總互連線電容電容 (10-12 Farads/cm)7654321000.51.01.52.02.53.0間距 (m)K = 4K = 3K = 2K= 1Figure 11.25 第54頁/共67頁低低-k 值絕緣介質(zhì)要求值絕緣介質(zhì)要求Table

27、11.5 第55頁/共67頁DRAM 疊層電容的示意圖疊層電容的示意圖SiO2 介質(zhì)摻雜多晶硅電容極板摻雜多晶硅電容極板埋接觸孔擴(kuò)散SiO2 dielectricDoped polysiliconcapacitor plateDoped polysiliconcapacitor plateBuried contact diffusionFigure 11.26 第56頁/共67頁淺槽隔離淺槽隔離Photo 11.5 第57頁/共67頁旋涂絕緣介質(zhì)旋涂絕緣介質(zhì) 旋涂玻璃 (SOG) 旋涂絕緣介質(zhì) (SOD) 外延 外延生長方法 氣相外延（VEP） 金屬有機(jī) CVD 分子束外延(MBE) CVD質(zhì)量測量 CVD