ERT基礎(chǔ)--ERT概論

1、Sep 2006ERT(緊急應(yīng)變小組）緊急應(yīng)變小組） 概論概論 ERT基礎(chǔ)課程基礎(chǔ)課程緊急應(yīng)變訓(xùn)練課程種類緊急應(yīng)變訓(xùn)練課程種類 1. ERT1. ERT基礎(chǔ)基礎(chǔ)訓(xùn)練訓(xùn)練 ERTERT概論概論 ERCERC介紹介紹 危害物認(rèn)知危害物認(rèn)知 火災(zāi)原理與消防系火災(zāi)原理與消防系統(tǒng)統(tǒng) 2. ERT2. ERT進(jìn)階進(jìn)階訓(xùn)練訓(xùn)練 意外事故指揮系統(tǒng)意外事故指揮系統(tǒng) 醫(yī)護(hù)急救訓(xùn)練醫(yī)護(hù)急救訓(xùn)練 緊急應(yīng)變器材介紹緊急應(yīng)變器材介紹 沙盤推演沙盤推演 緊急應(yīng)變訓(xùn)練課程種類緊急應(yīng)變訓(xùn)練課程種類 3. ERT3. ERT指揮系統(tǒng)訓(xùn)練指揮系統(tǒng)訓(xùn)練 緊急應(yīng)變組織與程序緊急應(yīng)變組織與程序 事故指揮官系統(tǒng)事故指揮官系統(tǒng) ERCERC

2、介紹介紹 沙盤推演沙盤推演 ERTERT概論概論 主要危害主要危害 Significant risk and hazard芯片制造廠的火災(zāi)危害芯片制造廠的火災(zāi)危害高資產(chǎn)、高產(chǎn)能；危險集中高資產(chǎn)、高產(chǎn)能；危險集中使用種類繁多的溶劑、化學(xué)使用種類繁多的溶劑、化學(xué)品與危險性氣體品與危險性氣體大量的塑料制品大量的塑料制品 大量的電氣與加熱設(shè)備大量的電氣與加熱設(shè)備氧氣供應(yīng)快速充裕氧氣供應(yīng)快速充裕 寬闊的密閉式空間寬闊的密閉式空間 局部性的小火災(zāi)或意外事故可能全面性的導(dǎo)致潔凈室嚴(yán)局部性的小火災(zāi)或意外事故可能全面性的導(dǎo)致潔凈室嚴(yán)重的污染與巨額的財產(chǎn)、營業(yè)中斷損失重的污染與巨額的財產(chǎn)、營業(yè)中斷損失Flamma

3、ble/Pyrophoric Gas or ChemicalFlammable/Pyrophoric gas: CH4 DCS H2, SiH4，Si2H6Combustible chemical: IPA Developer Acetone EKC 光阻液光阻液 etc.案例案例日月光大火日月光大火13:47發(fā)生大火發(fā)生大火第一時間：死亡第一時間：死亡 4 人；人；2人受傷（最后澄清為人受傷（最后澄清為6人受輕人受輕傷，傷，1人受重傷）人受重傷）直接損失直接損失 2.5 億人民幣，間接損失可能達(dá)億人民幣，間接損失可能達(dá)25億人民幣；億人民幣；財務(wù)長與總經(jīng)理出來對事故說明財務(wù)長與總經(jīng)理出來對事

4、故說明自身的損失自身的損失顧客產(chǎn)品的損失顧客產(chǎn)品的損失違法罰款違法罰款民眾求償民眾求償復(fù)工沒有時間表復(fù)工沒有時間表Case 2:法國法國Philips FAB 火災(zāi)火災(zāi)防火區(qū)劃防火區(qū)劃 3rd Floor（保持一開一閉） 2nd Floor（保持常閉）Fab區(qū)域區(qū)域2F/3F分別為一個防火區(qū)劃分別為一個防火區(qū)劃火警警報系統(tǒng) 火警探測器火警探測器室內(nèi)消火栓室內(nèi)消火栓火警監(jiān)視器火警監(jiān)視器火警探測器的警報air samplesmokeultravioletinfraredheatsprinklerIncipient fireVisible SmokeFlamesIntensive HeatSMOKE

5、 DENSITY芯片制造廠的危害特性芯片制造廠的危害特性( (二）二）有害氣體有害氣體 Examples of Gas CategoryInert room: 0.5%O2/He 20%O2/N2 C2F6 CF4 CO2 1.2%Kr/Ne 30%O2/He C4F8 CHF3 SF6Toxic/Flammable: 4%H2/N2 CH3F N2O NO CH2F2 CH4/Ar NF3 DCSCorrosive: Cl2 F2/Kr/Ne HCl SiF4 ClF3 HBr NH3Pyrophoric: 1%PH3/N2 CO 5%PH3/N2 SiH4FAB 2F: BCl3 WF6

6、C5F8 HF F2N2氣體供應(yīng)系統(tǒng)氣體供應(yīng)系統(tǒng)特殊氣體特殊氣體Special gas大宗氣體大宗氣體Bulk gas毒性毒性/可燃?xì)怏w：可燃?xì)怏w：ClF3/CH4腐蝕性氣體：腐蝕性氣體：HCl、NH3自燃性氣體：自燃性氣體：SiH4、 PH3低蒸汽壓氣體：低蒸汽壓氣體：WF6、C5F8惰性氣體：惰性氣體：C4F8、CHF3氧氣氧氣 O2氮氣氮氣 N2氬氣氬氣 Ar氫氣氫氣 H2氦氣氦氣 HeCDA、HPCDASpecial gas特殊氣體供應(yīng)流程簡圖FAB 1FRaised floorValve Box制程機(jī)臺制程機(jī)臺 VMB/P氣瓶柜氣瓶柜 ExhaustPumpLocal scrubbe

7、rFAB 2FFAB 3Fgas room氣體偵測系統(tǒng)氣體采樣氣體泄漏信號氣體分析氣體可能泄漏源（1）Gas Cabinet采樣點氣體可能泄漏源(3)機(jī)臺Gas Box采樣點其他氣體可能泄漏源(4)Pipes/TubesPumpToolsGas room、CW2與高架地板下有環(huán)境采樣點芯片制造廠的危害特性（三）芯片制造廠的危害特性（三）液態(tài)化學(xué)品液態(tài)化學(xué)品Chemical PropertiesFab1 1FPOU VMB0.05 um filter12000LFab1 2FFab1 3FPUMPFlow Chart (CDS) of Chemical Supply 12000L 300L 30

8、0L N2 Tool可能泄漏源可能泄漏源(1)Chemical Tank 泄漏偵測器泄漏偵測器可能泄漏源可能泄漏源(2)Clean Unit泄漏偵測器泄漏偵測器可能泄漏源可能泄漏源(3)VMB泄漏偵測器泄漏偵測器其他可能泄漏源其他可能泄漏源Chemical pipes雙套管雙套管芯片制造廠的危害特性（四）芯片制造廠的危害特性（四）危害物質(zhì)不易排除危害物質(zhì)不易排除氣體可能泄漏源（2）VMBVMP/非有害氣體采樣點 Clean-room air return systemMUAMixed stationFFUpartitionMUA FFU FFURaised floorTOOLTOOLTOOLT

9、OOLfloorCeilingDry cooling coilClean-roomSub-FAB法律法規(guī)的要求法律法規(guī)的要求-緊急應(yīng)變緊急應(yīng)變中國安全生產(chǎn)法第五章生產(chǎn)安全事故的應(yīng)急救援與調(diào)查處理規(guī)定第六十九條危險物品的生產(chǎn)、經(jīng)營、儲存單位以及礦山、建筑施工單位應(yīng)當(dāng)建立應(yīng)急救援組織；FM7-7中2.3.2要求半導(dǎo)體廠在每一班都應(yīng)有ERT人員,ERT人員應(yīng)按期訓(xùn)練包括火災(zāi),氣體泄漏,化學(xué)品事故緊急應(yīng)變, ERT人員應(yīng)熟悉各系統(tǒng)緊急狀況處理方法,并能對如地震,洪水等事故做好應(yīng)變準(zhǔn)備。 緊緊 急急 應(yīng)應(yīng) 變變 政政 策策1.1.生命保護(hù)生命保護(hù) 2.2.環(huán)境保護(hù)環(huán)境保護(hù) 3.3.資產(chǎn)保護(hù)資產(chǎn)保護(hù) 4.

10、4.生產(chǎn)復(fù)原生產(chǎn)復(fù)原事件事件氣體警報氣體警報火警警報火警警報化學(xué)品泄漏化學(xué)品泄漏異味異味停電停電地震地震其它其它策略策略救援救援防止曝露防止曝露圍堵圍堵排除危害排除危害換氣換氣監(jiān)測監(jiān)測復(fù)原復(fù)原資源資源 軟件軟件 硬件硬件 ERTERT ERCERC 廠務(wù)小組廠務(wù)小組 氣體偵測氣體偵測處理小組處理小組 緊急空調(diào)緊急空調(diào) 疏散小組疏散小組 火警系統(tǒng)火警系統(tǒng) 急救小組急救小組 地震保護(hù)地震保護(hù) 搜巡小組搜巡小組 個人防護(hù)個人防護(hù) 爆炸5%其他其他26%26%氣體外泄22%火災(zāi)47%意外事故意外事故等級判斷標(biāo)準(zhǔn)等級判斷標(biāo)準(zhǔn)此等級劃分僅用來作為成立緊急此等級劃分僅用來作為成立緊急應(yīng)變指揮系統(tǒng)層級的判定標(biāo)

11、準(zhǔn)。應(yīng)變指揮系統(tǒng)層級的判定標(biāo)準(zhǔn)。緊急應(yīng)變組織( (保安人員保安人員) ) 1. 1.若數(shù)種意外事故同時發(fā)生若數(shù)種意外事故同時發(fā)生, ,則依則依火災(zāi)火災(zāi)氣體外泄氣體外泄化學(xué)品泄漏化學(xué)品泄漏電力中斷次序電力中斷次序， 以較前者認(rèn)定事故指揮官。以較前者認(rèn)定事故指揮官。 2. 2.虛線框內(nèi)表一、二級意外事故的最大應(yīng)變組織；全圖表示三、四級意外事故的最大應(yīng)變組織。虛線框內(nèi)表一、二級意外事故的最大應(yīng)變組織；全圖表示三、四級意外事故的最大應(yīng)變組織。(FAC)( (財務(wù)處財務(wù)處) )( (工安單位工安單位) )二級以下意外事件二級以下意外事件財務(wù)人員財務(wù)人員計劃人員計劃人員 ( (健康中心健康中心) )事故指

12、揮官事故指揮官ERC救救 災(zāi)災(zāi)小小 組組 廠廠 務(wù)務(wù) 小小 組組急急 救救小小 組組疏疏 散散小小 組組管管 制制小小 組組公關(guān)人員公關(guān)人員總負(fù)責(zé)人總負(fù)責(zé)人(FAB區(qū)域區(qū)域:MFG部經(jīng)理部經(jīng)理)( (權(quán)責(zé)單位及支持權(quán)責(zé)單位及支持 單位工程人員單位工程人員) )( (工安環(huán)保單位及相關(guān)單位工安環(huán)保單位及相關(guān)單位) )( (指揮官直屬主管指揮官直屬主管) )( (事故責(zé)任區(qū)單位主管事故責(zé)任區(qū)單位主管) )三、四級意外事件三、四級意外事件各類意外事件等級判定標(biāo)準(zhǔn)-火災(zāi) 等級 狀況判定標(biāo)準(zhǔn) 1 1 燒焦味或火警警報燒焦味或火警警報2 2a.冒煙起火且初判可以在短時間冒煙起火且初判可以在短時間(5分鐘分

13、鐘)內(nèi)控制內(nèi)控制b.單一機(jī)臺或設(shè)備起火單一機(jī)臺或設(shè)備起火,且所產(chǎn)生之煙熱在人員未穿著防護(hù)具下且所產(chǎn)生之煙熱在人員未穿著防護(hù)具下,初判短時間初判短時間 (5分鐘分鐘)內(nèi)可以忍受內(nèi)可以忍受 c.小面積或局限區(qū)域小面積或局限區(qū)域(2平方公尺平方公尺)之起火之起火,火勢尚未蔓延擴(kuò)散火勢尚未蔓延擴(kuò)散,且所產(chǎn)生之煙熱且所產(chǎn)生之煙熱 在人員未穿著防護(hù)具下在人員未穿著防護(hù)具下,初判短時間初判短時間(2平方公尺平方公尺)起火起火,火勢正蔓延擴(kuò)散火勢正蔓延擴(kuò)散,但所但所 產(chǎn)生之煙熱在人員穿著防護(hù)具下產(chǎn)生之煙熱在人員穿著防護(hù)具下,ERT人員可以安全進(jìn)入現(xiàn)場救災(zāi)人員可以安全進(jìn)入現(xiàn)場救災(zāi)b.二級狀況處置二級狀況處置10

14、分鐘后仍未受到有效控制分鐘后仍未受到有效控制c.一人一人(含含)以上受傷且需送醫(yī)治療以上受傷且需送醫(yī)治療4 4a.大面積起火且火勢已蔓延擴(kuò)散大面積起火且火勢已蔓延擴(kuò)散,且所產(chǎn)生之煙熱在人員穿著防護(hù)具下且所產(chǎn)生之煙熱在人員穿著防護(hù)具下,ERT人人 員進(jìn)入現(xiàn)場救災(zāi)有困難或有危險員進(jìn)入現(xiàn)場救災(zāi)有困難或有危險b.三級狀況處置三級狀況處置15分鐘后仍未受到有效控制分鐘后仍未受到有效控制c.罹災(zāi)人數(shù)三人罹災(zāi)人數(shù)三人(含含)以上以上,經(jīng)醫(yī)務(wù)室判定需送醫(yī)急救經(jīng)醫(yī)務(wù)室判定需送醫(yī)急救d.發(fā)生死亡災(zāi)害發(fā)生死亡災(zāi)害各類意外事件等級判定標(biāo)準(zhǔn)-氣體泄漏 等級 狀況判定標(biāo)準(zhǔn) 1 1a.異味或類似有害氣體之異味異味或類似有害

15、氣體之異味b.氣體警報濃度介于第一段和第二段警報值之間氣體警報濃度介于第一段和第二段警報值之間c.惰氣氣體泄漏惰氣氣體泄漏,1小時內(nèi)可有效控制漏源，并未造成生產(chǎn)中斷小時內(nèi)可有效控制漏源，并未造成生產(chǎn)中斷2 2a.氣體警報濃度達(dá)到第二段警報值氣體警報濃度達(dá)到第二段警報值,1小時內(nèi)可確認(rèn)警報原因并有效控制小時內(nèi)可確認(rèn)警報原因并有效控制 漏源漏源b. 惰氣氣體泄漏惰氣氣體泄漏,1小時內(nèi)無法有效控制漏源，或造成生產(chǎn)中斷小時內(nèi)無法有效控制漏源，或造成生產(chǎn)中斷 3 3a.氣體警報濃度達(dá)到第二段警報值氣體警報濃度達(dá)到第二段警報值, 1小時內(nèi)無法確認(rèn)警報原因或有效控制小時內(nèi)無法確認(rèn)警報原因或有效控制 漏源漏源

16、b.有害氣體管路松脫或斷掉，造成大量泄漏有害氣體管路松脫或斷掉，造成大量泄漏c.一人一人(含含)以上受傷且需送醫(yī)治療以上受傷且需送醫(yī)治療 4 4a.危害性氣體警報濃度達(dá)到第二段警報值危害性氣體警報濃度達(dá)到第二段警報值,無法立即控制無法立即控制, 且有泄漏至廠外之慮且有泄漏至廠外之慮b.罹災(zāi)人數(shù)三人罹災(zāi)人數(shù)三人(含含)以上以上,經(jīng)醫(yī)務(wù)室判定需送醫(yī)急救經(jīng)醫(yī)務(wù)室判定需送醫(yī)急救, 或發(fā)生死亡災(zāi)害或發(fā)生死亡災(zāi)害 TLVTLV的概念：的概念：Threshold Limited ValueThreshold Limited Value（恕限值、恕限量），恕限值、恕限量），空氣中的物質(zhì)濃度，在此情況下認(rèn)為大多

17、數(shù)勞工每天呼吸空氣中的物質(zhì)濃度，在此情況下認(rèn)為大多數(shù)勞工每天呼吸8 8小時，小時，每周五天，終其一生不至有健康危害或不可逆生理反應(yīng)。每周五天，終其一生不至有健康危害或不可逆生理反應(yīng)。針對針對SMICSMIC使用的健康危險制程物質(zhì)：使用的健康危險制程物質(zhì)：氣體泄漏警報設(shè)定原則氣體泄漏警報設(shè)定原則Level 1 warningLevel 2 alarm環(huán)境點或氣瓶柜環(huán)境點或氣瓶柜0.5TLV1TLVVMB或機(jī)臺或機(jī)臺Valve box1TLV2TLV各類意外事件等級判定標(biāo)準(zhǔn)-化學(xué)品泄漏 等級 狀況判定標(biāo)準(zhǔn) 1 1 a.異味異味( (類似酸或溶劑味類似酸或溶劑味) ) b.小于小于IPA溶劑偵測值的

18、第二階段警報值溶劑偵測值的第二階段警報值 c.化學(xué)品泄漏或翻灑，未造成生產(chǎn)中斷化學(xué)品泄漏或翻灑，未造成生產(chǎn)中斷2 2 a.非易燃性化學(xué)品大量泄漏，現(xiàn)場人員無法繼續(xù)工作非易燃性化學(xué)品大量泄漏，現(xiàn)場人員無法繼續(xù)工作 b.強(qiáng)烈異味導(dǎo)致人員無法忍受，或達(dá)到強(qiáng)烈異味導(dǎo)致人員無法忍受，或達(dá)到IPA溶劑第二階段警報值溶劑第二階段警報值 c.員工受傷需送至醫(yī)務(wù)室治療員工受傷需送至醫(yī)務(wù)室治療3 3 a.易燃性化學(xué)品管路松脫、斷管或大量泄漏易燃性化學(xué)品管路松脫、斷管或大量泄漏 b.一人一人(含含)以上受傷且需送醫(yī)院治療以上受傷且需送醫(yī)院治療4 4 a.因化學(xué)品外泄造成一人以上住院治療因化學(xué)品外泄造成一人以上住院治

19、療 b.罹災(zāi)人數(shù)三人罹災(zāi)人數(shù)三人(含含)以上以上,經(jīng)醫(yī)務(wù)室判定需送醫(yī)急救經(jīng)醫(yī)務(wù)室判定需送醫(yī)急救 c.發(fā)生死亡災(zāi)害發(fā)生死亡災(zāi)害 各各類意外事件等級判定標(biāo)準(zhǔn)類意外事件等級判定標(biāo)準(zhǔn)- -其他其他 狀況判定標(biāo)準(zhǔn) a. 安全系統(tǒng)運作停止安全系統(tǒng)運作停止6小時以上小時以上b.三人以上受傷且需送醫(yī)院治療三人以上受傷且需送醫(yī)院治療c.員工意外死亡員工意外死亡d.地震地震,震度在六級以上震度在六級以上 4 4a無預(yù)警之電力失效，在無預(yù)警之電力失效，在10分鐘以上分鐘以上b安全系統(tǒng)運作停止，安全系統(tǒng)運作停止，6小時以內(nèi)可恢復(fù)系統(tǒng)運作小時以內(nèi)可恢復(fù)系統(tǒng)運作b.員工意外受傷且需送醫(yī)院治療員工意外受傷且需送醫(yī)院治療d.地震地震,震度在五至六級震度在五至六級(含含)3 3a. 無預(yù)警之電力失效，在無預(yù)警之電力失效，在10分鐘以內(nèi)恢復(fù)分鐘以內(nèi)恢復(fù)b. 安全系統(tǒng)運作停止，安全系統(tǒng)