碳納米管制備方法綜述ppt課件_第1頁
碳納米管制備方法綜述ppt課件_第2頁
碳納米管制備方法綜述ppt課件_第3頁
碳納米管制備方法綜述ppt課件_第4頁
碳納米管制備方法綜述ppt課件_第5頁
已閱讀5頁，還剩5頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

;.1碳納;.2碳納米晶體管成品圖(優(yōu)點);.3 制造的困難 1.內持續(xù)導電的“金屬纖維”，其不像其他半導體可以關掉電流。 2.碳納米管不是以整齊、平行線的方式生長，若嘗試在晶片上將其排列就會得到“一碗面”;.4制作過程 背柵的生長CNT的生長制造源漏VMR CNT轉移金屬引線;.5Pmos_only logicVDD=3V,Vbias=-5V;.6 CNT的生長是在865攝氏度條件下，使用CVD制造。特別要提它生長的襯底是quartz（二氧化硅），為的是確保CNT能沿著一個方向直線式的生長。 生長結束后，在上面生長150nm的金，然后再附著一層熱釋放帶。;.71.襯底選擇硅和110nm的二氧化硅。2.光刻工藝打出需要的的形狀。3.填充Ti（粘合劑）和Pt（導電材料）。4.氬離子清洗以平整表面。5.24nm的AL2O3。;.8 1.加熱到125攝氏度使熱釋放帶脫落.2.濕法刻蝕去除Au。3.用氧和氫的等離子體刻蝕去除多余渣滓。;.9 源漏用的是Pd和Pt，通過激光剝離工藝制造VMR的Au引線。用電腦控制電壓，將金屬碳納米管泵滿電，直至氣化。;.10謝謝謝謝再見再見

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論