國內(nèi)外電子工業(yè)防靜電標(biāo)準綜述與發(fā)展_第1頁
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文檔簡介

1、國內(nèi)外電子工業(yè)防靜電標(biāo)準綜述與發(fā)展國內(nèi)外電子工業(yè)防靜電標(biāo)準綜述與發(fā)展 一、 關(guān)于電子產(chǎn)品靜電防護 由于物體間的接觸分離(如摩擦、剝離、撕裂和搬運中的碰撞等)或電場感應(yīng),都會因物體之間或物體內(nèi)部帶電粒子的擴散、轉(zhuǎn)移或遷移而形成物體表面電荷的積聚,即呈現(xiàn)帶電現(xiàn)象。這種現(xiàn)象的存在,有可能導(dǎo)致物體表面電荷對空氣中帶異性電荷的微粒子塵埃的吸引,造成電子敏感元器件絕緣性能的降低、結(jié)構(gòu)腐蝕或破壞。當(dāng)外界條件適宜時,這種積聚電荷還會產(chǎn)生靜電放電,使元器件局部破損或擊穿,嚴重時,還會引起火災(zāi)、爆炸等。曾報道某廠在修理程控交換機上的半導(dǎo)體集成電路時因靜電引起爆炸事故的文章。應(yīng)當(dāng)指出,靜電引起電子元器件局部結(jié)構(gòu)破損

2、和性能降低,是對元器件使用壽命的一種潛在威脅,它可能比爆炸和燃燒造成的危害更有過之。因為它難于檢查,故造成事故的隨機性更大,并且易于與其他失效原因混淆而被掩蓋。 當(dāng)前,電子產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展一方面隨著高分子材料的廣泛使用,致使產(chǎn)品靜電現(xiàn)象的產(chǎn)生變得日益嚴重;另一方面,電子元器件日趨微小型化,使得靜電的危險性越來越大?,F(xiàn)國外微電路的制造已普通采用了0.81.0m技術(shù),國內(nèi)也已達到23m水平,這種微細加工技術(shù)和產(chǎn)品細微結(jié)構(gòu),使其對靜電的敏感性越來越高,并且已達到不可忽視的程度。 電子產(chǎn)品的靜電防護工作,具有下述明顯特點: 1超細、超薄的加工工藝和產(chǎn)品細微結(jié)構(gòu),使其對于靜電放電的敏感性明顯高于其他行業(yè)和

3、產(chǎn)品,即便20V以下的靜電放電電壓也可能造成電子元器件的損害或破壞。 2對靜電敏感的產(chǎn)品,如半導(dǎo)體分立器件、集成電路、厚薄膜電路及電阻器、電容器、壓電晶體等,尤其是前三種電子敏感器件,它們可謂是電子設(shè)備的“心臟”。有鑒于此,對靜電危害的防護問題,幾乎涉及電子產(chǎn)品的各個技術(shù)領(lǐng)域,特別是那些要求體積小、工作頻率高、安裝密度大的電子設(shè)備更是如此。 3靜電防護工作是一項系統(tǒng)工程,它涉及敏感電子產(chǎn)品的制造、裝配、處理、檢查、試驗、維修、包裝、運輸、貯存、使用等各個環(huán)節(jié),而且是一種串聯(lián)模式,任一環(huán)節(jié)上的失誤,都將導(dǎo)致整個防護工作的失敗;同時,它又與敏感產(chǎn)品所處的環(huán)境(接觸的物品、空氣氣氛、濕度、地面、工作

4、臺、椅、加工設(shè)備、工具等)和操作人員著裝(包括穿戴的服裝、帽子、鞋抹、手套、腕帶等)有直接關(guān)系,任一方面的疏漏或失誤,都將導(dǎo)致靜電防護工作的失敗。 針對上述電子產(chǎn)品靜電防護工作的特點,最好能制定出與之相適應(yīng)的一系列標(biāo)準。比較好的選擇是采用綜合標(biāo)準化方法,從靜電防護的系統(tǒng)要求著眼,全面地考慮相關(guān)標(biāo)準的制訂與協(xié)調(diào)工作,只有這樣,才能把各環(huán)節(jié)的方方面面的防靜電工作,全盤納入標(biāo)準的規(guī)范之下成為一種有序狀態(tài)。 美國對軍用電子產(chǎn)品的生產(chǎn),自七十年代起就開始實施靜電防護控制,大致經(jīng)過10年后,才正式頒發(fā)相應(yīng)的標(biāo)準。國際電工委員會(IEC)自八十年代初以來,陸續(xù)頒發(fā)防靜電標(biāo)準。相比之下,國內(nèi)防靜電標(biāo)準的制訂與

5、發(fā)布還僅僅是開始,雖具備了一定的工作基礎(chǔ)和條件,但與相關(guān)標(biāo)準的齊套和全面實施尚有不小的差距。二、IEC關(guān)于防靜電標(biāo)準制訂簡況在IEC組織中,至少有五個技術(shù)委員會(或分技術(shù)委員會)是與防靜電技術(shù)工作有關(guān)的并制訂了部分防靜電標(biāo)準或標(biāo)準草案?,F(xiàn)將這五個技術(shù)委員會標(biāo)準制訂簡況介紹如下:1 IECTC65工業(yè)過程測量和控制技術(shù)委員會。該技術(shù)委員會(TC)于1984年首次制訂發(fā)布了IEC8012工業(yè)過程測量和控制裝置的電磁兼容性 第2部分:靜電放電要求(已同名等效轉(zhuǎn)化為我國標(biāo)準GBT13926.292),1991年4月該標(biāo)準進行了全面修訂,現(xiàn)行有效版本為第2版。該標(biāo)準規(guī)定了工業(yè)過程測量和控制裝置對因操作者

6、觸摸這類裝置而產(chǎn)生靜電放電或與裝置附近的物體間產(chǎn)生的靜電放電的敏感性試驗的嚴酷等級和試驗方法,以此評價工業(yè)過程和測量裝置對靜電放電的敏感性。該標(biāo)準第l版中將試驗嚴酷等級劃分為1、2、3、4共四個等級,對應(yīng)的試驗電壓分別為2、4、8、15kV;而第2 版則修改為五個嚴酷度等級,并按放電方式分別給出二個系列試驗電壓值,其中接觸放電的電壓相應(yīng)為2、4、6、8、XkV??臻g放電的電壓系列為2、4、 8、15和XkV。這里的X為一開放等級,由供需雙方協(xié)商確定后寫入產(chǎn)品規(guī)范。IEC8012標(biāo)準還對試驗所用的靜電放電發(fā)生器(包括構(gòu)成及特性)、試驗裝置配置、試驗程序和判據(jù)等做了規(guī)定(第二版較第一版有若干部分作

7、了修改)。此標(biāo)準有較強的可實施性。中電總公司于1992年11月發(fā)布了行業(yè)軍標(biāo)SJ 2015492信息技術(shù)設(shè)備靜電放電敏感度試驗,系參照IEC8012(1991年修訂版的草案)和歐洲計算機制造商協(xié)會標(biāo)準ECMA TR40信息技術(shù)設(shè)備靜電敏感度試驗制訂的,標(biāo)準中除嚴酷度等級和對水平擂臺板間接放電次數(shù)不同外,其他技術(shù)內(nèi)容與IEC8012(第2版)大體一致,但不等效。2IECTC77SCB電氣設(shè)備(包括網(wǎng)絡(luò))之間的電磁兼容性技術(shù)委員會工業(yè)和其他非公用系統(tǒng)及其設(shè)備分技術(shù)委員會。按照IEC導(dǎo)則107起草電磁兼容性標(biāo)準出版物的指南規(guī)定,TC77的主要任務(wù)是制訂關(guān)于發(fā)射、抗擾度及試驗方法等有廣泛使用意義的通用

8、性基礎(chǔ)文件。為了提高效率,TC77不介入其他TC已成功地開展工作,或由其他TC專門負責(zé)的課題,但由這些TC制訂的文件均以適當(dāng)?shù)姆绞絽R入TC77的工作領(lǐng)域中來。 鑒于此,由TC65制訂的IEC8012標(biāo)準將由TC77的B分技術(shù)委員會,即SC77B統(tǒng)一接管、組織修訂并將其轉(zhuǎn)換為新的標(biāo)準IEC20004 2電磁兼容性 第4部分:試驗和測量程序 第2節(jié):靜電放電和抗抗度試驗。此標(biāo)準雖早已給定編號,但目前仍為秘書處文件77B(sec)89,尚在修訂之中。一旦修訂完成,IEC801 2將被廢止,由IEC100042所替代。3CISPRSCG國際無線電干擾特別委員會信息技術(shù)設(shè)備干擾特性分技術(shù)委員會。該SC于

9、1992年12月以CISPRG(CO)20號文件形式提出標(biāo)準草案IEC242信息技術(shù)設(shè)備(ITE)抗擾度 第2部分:靜電放電要求,送各國家委員會征求意見。該標(biāo)準適用于信息技術(shù)設(shè)備,包括模擬傳輸、終端設(shè)備和數(shù)字設(shè)備,旨在為評估信息設(shè)技術(shù)備在受到靜電放電影響時的工作能力。建立此標(biāo)準是為模擬因操作人員直接接觸設(shè)備或因靜電場感應(yīng)引起與鄰近物體(或設(shè)備)之間的靜電放電。標(biāo)準規(guī)定,一臺受試設(shè)備至少設(shè)6 個試驗點,這意味著要經(jīng)受200次放電(正負極各100次)。其中1個點要受到50次非直接接觸放電,其余3個點各經(jīng)受50次(合計150次)直接接觸放電。當(dāng)然,不管是前者還是后者都屬于接觸放電。對有些不可能進行接

10、觸放電的設(shè)備。應(yīng)對用戶使用時可能觸到的部位選用空間放電。該標(biāo)準給出的試驗電平為:接觸放電3kV,空間放電8kV。此標(biāo)準草案與IEC8012基本思路相同,但在具體要求方面存在許多細節(jié)性差異(這點很重要)。在該標(biāo)準的前言中說,它是在基礎(chǔ)標(biāo)準IEC10004 2(目前是IEC8012)的基礎(chǔ)上起草的,考慮了二者的差別,標(biāo)準中給出的極限值試驗電壓是經(jīng)過仔細斟酌后選出來的,并且與IEC8012的X級相符。應(yīng)當(dāng)說,該標(biāo)準是針對信息技術(shù)設(shè)備制訂的,對這些設(shè)備中的不同類別,規(guī)定了不同的試驗細節(jié),所以其可實施性很強,一旦表決通過,將正式發(fā)布,并引導(dǎo)各國會執(zhí)行。通常,國際標(biāo)準的出臺周期都很長,平均90個月左右,加

11、上本標(biāo)準草案中還有某些問題尚待解決,例如對于地面設(shè)備進行非直接接觸放電試驗時垂直擂臺板的使用尚在考慮之中,另外,本標(biāo)準需引用的IEc100042也尚未出臺,故預(yù)計本標(biāo)準的發(fā)布尚需時日。4IECTCl5SC15D絕緣材料技術(shù)委員會靜電學(xué)分技術(shù)委員會。顧名思義,該分技術(shù)委員會是專門從事絕緣材料靜電學(xué)研究的委員會。它是在1986年成立的TCl5WG2“工業(yè)靜電學(xué)問題研究工作組”的基礎(chǔ)上,于1990年成立的,主席為DrKDavis(英國人),秘書處設(shè)在法國,秘書由MrcMengug擔(dān)任。該SC的任務(wù)是: (1) 鑒別并說明靜電現(xiàn)象在電氣工業(yè)和非電氣工業(yè)中的利與弊,提供有關(guān)的術(shù)語,分類、方法和手段的指南

12、,以增加工業(yè)效益相減少危害; (2) 規(guī)定試驗方法和相關(guān)要求,用以評定材料表面靜電荷的產(chǎn)生、存留和耗散,并與ISEISO中有關(guān)的技術(shù)委員會密切協(xié)作,提供關(guān)于產(chǎn)品的指南; (3) 根據(jù)與IECTC31爆炸性環(huán)境用電氣設(shè)備技術(shù)委員會協(xié)議的課題,確定在危害環(huán)境下靜電放電的后果; (4) 提供模擬靜電現(xiàn)象和靜電放電方法的指南,不包括對靜電放電的電氣設(shè)備的功能抗擾度的試驗方法。 由于SCl5D成立不久,至今尚未制訂出正式標(biāo)準。下列標(biāo)準目前正在積極制訂中: 1) 秘書處文件15D(sec)3利用直接測量靜電荷耗散率的方法測試絕緣和靜電耗散材料及其表面。1994年3月,又發(fā)出15D(sec)31號文件,決定

13、調(diào)整WGl(第1工作組),并在15D(sec)3號文件基礎(chǔ)上起草標(biāo)準測定材料與表面耗散靜電荷能力的試驗方法。 2) 秘書處文件15D(sec)4摩擦靜電效應(yīng)的評定。1994年3月,又發(fā)出15D(sec)32號文件,決定調(diào)整WG2,并在15D(sec)4號文件基礎(chǔ)上起草標(biāo)準摩擦靜電特性的評定。 3) 秘書處文件15D(sec)3裝配地板和地板覆蓋層的靜電效應(yīng)特性化的試驗方法。1994年3月,又發(fā)出15D(sec)33號文件,決定調(diào)整WG3,并在15D(sec)13號文件基礎(chǔ)上起草該標(biāo)準。 4) 1994年3月,發(fā)出15D(sec)34號文件,決定調(diào)整WG4,并在在15D(sec)22號文件研究題

14、目的新工作項目的建議范圍內(nèi),起草標(biāo)準用于控制靜電的材料的電阻率測量。 5) 1994年3月,發(fā)出15D(sec)35號文件,組建WG5,決定在歐洲標(biāo)準EN100 015及其修訂本和47(德國)794號建議(靜電敏感器件規(guī)范機械模型試驗方法)和47(sec)1330(敏感電子器件的防護)委員會草案基礎(chǔ)上,與TC47協(xié)作起草標(biāo)準抗靜電電子器件防護的通用要求。 現(xiàn)在,SCl5D的工作進展很快,活動也頻繁,例如1993年6月在德國法蘭克福召開工作會議,1994年7月又在倫敦舉行工作會議,而且議程充實,除考慮5個工作組和3個特別工作組(分別為電子學(xué)ESD模型、易燃性模型和離子發(fā)生器)的專題報告外,還要討

15、論修改其重大決策部分和與其他委員會協(xié)作等事宜。遺憾的是,目前國內(nèi)與SCl5D對口的歸口單位尚未確定,故對其工作文件缺乏有組織的研究。 由TC15制訂的IEC1087(1991) 評定帶電表面放電的導(dǎo)則,由SCl5A制訂的IEC-93(1980)固體絕緣材料體積電阻率和表面電阻率的試驗方法(已等效采用為GB141089)對材料靜電性能測試也具有指導(dǎo)意義。5IECTC47半導(dǎo)體器件技術(shù)委員會。從靜電防護角度來說,該TC所負責(zé)的技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)產(chǎn)品的一部分靜電敏感半導(dǎo)體分立器件和集成電路屬于靜電防護的重點對象。因此,該TC早就對防護靜電標(biāo)準予以關(guān)注。1982年,發(fā)布了IECl47OF正式標(biāo)準,是對IECl

16、47-0半導(dǎo)體器件基本額定值和特性及測試方法的基本原理 第0部分:總則和術(shù)語(1966)的第6次補充,規(guī)定了防靜電要求和符號標(biāo)記。1983年,TC47對其已發(fā)布的標(biāo)準重新作了整頓修訂,IEC147-0及其歷次補充后由統(tǒng)一的版本IEC741-1半導(dǎo)體器件分立器件和集成電路 第1部分:總則所代替??上У氖?,此份最基礎(chǔ)性的標(biāo)準發(fā)布已10年有余,終因國內(nèi)各有關(guān)方面協(xié)調(diào)工作銜接欠妥,至今尚未轉(zhuǎn)化為國內(nèi)標(biāo)準。近些年來,TC67相繼有的靜電標(biāo)準文件出臺,現(xiàn)介紹2份主要標(biāo)準:1) 47(co)1246號文件靜電敏感器件 對短時電壓脈沖敏感的電子器件的試驗方法,于1992年4月被各國家委員會表決通過后,已于19

17、93年10月作為IEC7471(1983)的第2次補充標(biāo)準正式出版成為其第9章第3條。此試驗方法適用于MOS器件和微波半導(dǎo)體器件,旨在確定器件的內(nèi)防護適應(yīng)性,以利于指導(dǎo)設(shè)計。為了模擬器件因日常操作引起的靜電放電危害,標(biāo)準中給出了兩個試驗電壓,高壓為2000V,目的是確定器件是否達到需要特殊的操作預(yù)防措施并使用規(guī)定的標(biāo)記和符號的程度,低壓為500V,目的是確定器件內(nèi)部防護能否滿意地經(jīng)受住即或采取特殊的操作預(yù)防措施后仍存在的靜電放電水平。當(dāng)然,允許具體型號的器件使用不同于上述規(guī)定的試驗電壓電平。試驗原理電路見圖 1。 上述電路與整機靜電放電試驗電路原理相同,但電路元件數(shù)值不同。增加了開關(guān)S2,其作

18、用是確保被試器件在裝卸時的安全。2) TC47(co)1330靜電敏感器件的防護,于1993年6月出臺,送各國家委員會進行評論。本標(biāo)準旨在幫助敏感器件的使用者掌握靜電防護的要領(lǐng),包括操作、標(biāo)識、責(zé)任、培訓(xùn)和檢查等各個方面,以建立可靠的靜電防護控制系統(tǒng);同時,它還提供設(shè)計、材料選擇、工作區(qū)、各種器具、地面、服裝等工作或性能方面的要求及包裝、檢查、試驗等的程序和方法。 這份標(biāo)準,內(nèi)容較充實,系統(tǒng)性強,涉及到敏感器件靜電防護問題的方方面面,尤其對靜電防護區(qū)的工作要求規(guī)定嚴密而細致,并附有示意圖,這對需要建立靜電防護場所的局部環(huán)境很有現(xiàn)實指導(dǎo)意義。 當(dāng)然,按照IEC文件的形成過程,它還處在CD文件(

19、委員會草案) 階段,正式發(fā)布還需時日,但并不因此而降低其指導(dǎo)意義,對它的及時轉(zhuǎn)化很有必要,否則等到正式標(biāo)準出臺后再行轉(zhuǎn)化采用,可能影響工作。三、MIL防靜電標(biāo)準制訂簡況 本文第一部分已經(jīng)提到,美國軍用電子產(chǎn)品防靜電控制工作始于七十年代初期,積數(shù)年經(jīng)驗后于1980年首次發(fā)布丁DoDSTD1686電氣和電子零件、組件與設(shè)備(電氣觸發(fā)引爆裝置除外)的靜電放電防護控制大綱,1988年修訂為MILSTD1686A(已等效轉(zhuǎn)化為我國軍用標(biāo)準, GJB1649-93,1992年又修訂為1686B)。該標(biāo)準涉及對易遭靜電損害的電氣電子零件在設(shè)計、試驗、檢查、維修、制造、加工、裝配、安裝、包裝、貯存等各個環(huán)節(jié)在

20、制訂和實施靜電放電控制的的要求,及對執(zhí)行這些要求的情況進行檢查和評審。本標(biāo)準適用于靜電敏感電壓小于16000V的三類電子產(chǎn)品; I類為01999V;類為20003999V;類為400015999V。在標(biāo)準附錄中給出了通過試驗確定產(chǎn)品敏感類別的準則和程序。 為了實施此項控制大綱標(biāo)準,國防部于此標(biāo)準發(fā)布的同時,即1980年5月2日又配套發(fā)布了DoDHDBK263電氣和電子零件、組件與設(shè)備(電氣觸發(fā)引爆裝置除外)的靜電放電防護控制手冊(尚未轉(zhuǎn)化為我國標(biāo)準),它為制訂、實施和監(jiān)督靜電放電控制計劃提供指南,重點包括鑒別電氣和電子零件、組件與設(shè)備上靜電放電的起因及后果;靜電放電的控制的預(yù)防措施對靜電放電防

21、護材料和設(shè)備的選擇與應(yīng)用考慮;靜電放電防護工作區(qū)相接地工作臺的設(shè)計與構(gòu)造;靜電敏感產(chǎn)品的操作、處理、包裝和標(biāo)志;人員培訓(xùn)計劃的制定;靜電放電防護工作區(qū)及接地工作臺的鑒定等。該手冊標(biāo)準于1991年2月進行了修訂,現(xiàn)行有效版本為MILHDDK263A。 手冊的特點是指南性質(zhì),所提供的數(shù)據(jù)、資料詳細,可操作性強。例如該標(biāo)準對于靜電起因、摩擦起電系列、靜電敏感產(chǎn)品的失效類型和失效機理與特征等,都有詳細的描述;在靜電放電試驗方面,它認為操作者的人體本身是損壞敏感產(chǎn)品的主要靜電放電源,故而提出了人體放電模型的概念,建立了人體放電模擬電路,并依據(jù)大量試驗統(tǒng)計數(shù)據(jù),確定模擬電路中使用的模擬人體電容為100pF

22、,模擬人體電阻為1500,并對此給予了必要的理論論證,認為這是一個合理的、標(biāo)準化的試驗電路。 總之,MILHDBK263A提供了實施MILSTD1686A所必需的各種信息與數(shù)據(jù)。 隨著高分子材料的發(fā)展,新型包裝材料的應(yīng)用和經(jīng)驗的積累,以及產(chǎn)品的微小型化趨勢,包裝對靜電敏感產(chǎn)品的影響愈加顯著。美國國防部于1990年5月發(fā)布了 MILHDBK773靜電放電防護包裝軍標(biāo)手冊。該項標(biāo)準是產(chǎn)品在包裝、運輸、貯存和裝配加工過程中,從產(chǎn)品傳遞的角度來考慮靜電敏感產(chǎn)品的防護問題。事實上,它也是與MILSTD1686A配套使用的一項標(biāo)準,只不過側(cè)重在為包裝運輸方面提供所必需的資料和數(shù)據(jù)。同時它還為有關(guān)防靜電包裝

23、材料的使用提供了具體的指南,因而可操作性極強。 除上述三項標(biāo)準外,在MIL標(biāo)準體系內(nèi)還有許多材料方面的規(guī)范和測試方法標(biāo)準,在此不再一一贅述。四、國內(nèi)防靜電標(biāo)準制訂簡況近幾年來,電子產(chǎn)品防靜電標(biāo)準工作已有一定的進展。航天系統(tǒng)、電子產(chǎn)品工藝標(biāo)委會、全國無線電干擾標(biāo)委會都相繼組織人員制定標(biāo)準?,F(xiàn)已發(fā)布的標(biāo)準有: GB12059-89電子工業(yè)用合成纖維防靜電網(wǎng)性能及試驗方法、GBT13926.292工業(yè)過程測量和控制裝置的電磁兼容性 靜電放電要求,SJ20154-92信息技術(shù)設(shè)備靜電放電敏感度試驗、QJ187590靜電測試方法、QJ169389電子元器件防靜電要求、QJ1950-90防靜電操作系統(tǒng)技術(shù)要求等。正在制訂的標(biāo)準備電子元器件制造防靜電技術(shù)要求、電子設(shè)備制造防靜電技術(shù)要求、新型防靜電裝飾板、集成電路防靜電保護劑規(guī)范、柔軟性防靜電可熱封阻隔材料等。從總體上看,這些標(biāo)準項目尚缺乏統(tǒng)一的規(guī)劃與安排,因而系統(tǒng)性不強。五、關(guān)于電子產(chǎn)品防靜電標(biāo)準化工作發(fā)展的思塔 本文第一部分已經(jīng)談到,系統(tǒng)性是電子產(chǎn)品靜電防護工作的一大特點,鑒于此,靜電防護工作應(yīng)從系統(tǒng)的總體入手,研究其標(biāo)準綜合體的組成和各項標(biāo)準適用范圍的界面及其內(nèi)在聯(lián)系。采用先進的標(biāo)準化工作的組織方式,也就是用綜合標(biāo)準化方法來處理防靜電標(biāo)準化問題

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