測(cè)定儀氣相沉積清洗設(shè)備

1、設(shè)備名稱數(shù)量功能及技術(shù)參數(shù)測(cè)定儀11、主要功能：智能變頻走航測(cè)流儀，專為河流流量測(cè)驗(yàn)而設(shè)計(jì)。借助于橋梁或纜道用繩子牽引測(cè)量規(guī)則的、無(wú)規(guī)則的水體的斷面流量2、功能特點(diǎn)：*1、具有窄帶、脈沖相干、寬帶三種工作模式，可以根據(jù)水深和流速自動(dòng)選擇最佳的模式。2、操作簡(jiǎn)便，測(cè)流程序?qū)崿F(xiàn)一鍵操作。 3、能直接測(cè)量水深，具有可直接測(cè)量水深的波束專傳感器，而不是通過(guò)計(jì)算間接獲得水深數(shù)據(jù)?？蓽y(cè)深度范圍不少于15米。 4、測(cè)流儀主機(jī)內(nèi)置微處理器和內(nèi)存。內(nèi)存要求不小于8G內(nèi)置流量計(jì)算功能，測(cè)流原始數(shù)據(jù)不依靠外部計(jì)算機(jī)軟件程序計(jì)算，確保數(shù)據(jù)也不會(huì)因無(wú)線通訊中斷而丟失。 5、采樣頻率高：最高采樣頻率不低于50Hz,確保船

2、速大于流速時(shí)不丟波。6、支持外置GPS盤(pán)。GPS羅盤(pán)的位置不受限制?？筛鶕?jù)需要增配DGP誠(chéng)RTKGPS 7、具有兩種以上方法用于檢查河床是否有走底現(xiàn)象，并測(cè)量出河床的走底速度，并可附加其它技術(shù)措施來(lái)糾正由于走底而產(chǎn)生的流量偏小誤差。*8、具備使用外推法來(lái)延長(zhǎng)特定ADCP勺流量測(cè)量水深范圍。9、具備增配差分GPS設(shè)備的條件，可使用WAAS,SBASS,或EGNOSS言號(hào)進(jìn)行差分修正。3、主要技術(shù)指標(biāo)：1）使用環(huán)境條件：工作溫度：-5C至45C,存儲(chǔ)溫度：-10C至70c2）技術(shù)要求：流速：流速測(cè)量范圍-流速：±20米/秒，流速測(cè)量范圍-距離：0.06-5米分辨率：0.001米/秒，準(zhǔn)確

3、度：實(shí)測(cè)流速之土0.25%;±0.002米/秒，單元數(shù)量：128個(gè)單元尺寸：0.02米至0.5米。3）深度：測(cè)量范圍：0.2米至15米，分辨率：0.001米，準(zhǔn)確度：1%4）換能器： 換能器個(gè)數(shù)：5個(gè)換能器測(cè)流換能器：4個(gè)傾角25°的3.0MHz對(duì)稱波束垂直波束換能器：1個(gè)1.0MHz垂直波束。 5）羅盤(pán)/傾斜傳感器：測(cè)量范圍：360°,航向準(zhǔn)確度：土2,橫搖/縱搖準(zhǔn)確度：土1°6）內(nèi)存： 主機(jī)自帶，容量至少8GB俳散失性）7）通訊：通訊方式：RS232通訊，串口GPS俞入 最大數(shù)據(jù)輸出頻率：2Hz,內(nèi)部采1頻率：70Hz8）工作電壓12至18伏直流，可

4、充電電池，可連續(xù)工作8小時(shí)。4、基本配置：一臺(tái)聲學(xué)多普勒五波束水流斷面流量測(cè)量?jī)x主機(jī)1） 主機(jī)含控制器、數(shù)據(jù)處理器、內(nèi)存2） 主機(jī)包括供電單元3） 主機(jī)內(nèi)置羅盤(pán)、傾斜計(jì)4） 主機(jī)內(nèi)置溫度傳感器5） Windows平臺(tái)（XP,Vista）上RiverSurveyorLive!測(cè)量中文軟件,Stationary定點(diǎn)測(cè)流中文軟件。一條主機(jī)連接電纜（10m電纜線，RS232接口）質(zhì)保期1年售后服務(wù)及培訓(xùn)要求1、保修期內(nèi)：保修期為自安裝調(diào)試結(jié)束之日起一年,保修期內(nèi)免費(fèi)維修。2、保修期外：保修期后提供終牛維修。如需更換零部件，酌收零件費(fèi)。3、培訓(xùn):安裝調(diào)試過(guò)程中，由安裝工程師在用戶指定地點(diǎn)現(xiàn)場(chǎng)免費(fèi)培訓(xùn)，直

5、到用戶掌握基本操作技能并能夠獨(dú)立操作后，方可結(jié)束安裝工作，同時(shí)提供所有操作，維修及培訓(xùn)資料。交貨時(shí)間及地點(diǎn)收到信用證后2個(gè)月內(nèi)；溫州大學(xué)生命與環(huán)境科學(xué)學(xué)院標(biāo)段二：本招標(biāo)設(shè)備由兩組系統(tǒng)組成：一、等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)設(shè)備主要由反應(yīng)室與真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、自動(dòng)控制系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、循環(huán)水冷卻系統(tǒng)、報(bào)警系統(tǒng)等組成。1反應(yīng)室及襯底尺寸由真空淀積反應(yīng)室（包括雙層真空室、室蓋、法蘭1套）、室蓋升降系統(tǒng)、機(jī)架機(jī)柜、工件架系統(tǒng)、加熱器與電極系統(tǒng)、腔壁及腔蓋冷卻系統(tǒng)等組成。反應(yīng)室尺寸為350m訴220mm可放置襯底尺寸為150mm（6口寸）硅片或不銹鋼材料一片，或小于6口寸樣片若干片。腔室

6、內(nèi)部光潔，焊接處平滑，無(wú)虛焊漏焊點(diǎn)，腔室加工過(guò)程中無(wú)油及其它雜質(zhì)對(duì)腔室的污染，加工完成后對(duì)真空腔室進(jìn)行拋光清洗，除去油及其它雜質(zhì)。樣品加熱及溫度。加熱方式：石英燈輻照，石墨加熱臺(tái)。加熱溫度：室溫900oC,控溫精度w土1%淀積不均勻性：w±5%（4口寸范圍內(nèi)）。2真空系統(tǒng)及真空度真空獲得：包括600升/秒分子泵、8升/秒機(jī)械真空泵、150mmH徑超高真空氣動(dòng)插板閥及泵口閥、壓差閥、隔膜閥等。設(shè)備通過(guò)分子泵及機(jī)械真空泵組成抽氣系統(tǒng),分子泵與真空室之間裝有氣動(dòng)插板閥。機(jī)械真空泵與真空室之間及與分子泵之間均采用不銹鋼硬管及波紋管連接,并裝有電磁氣動(dòng)隔斷閥。系統(tǒng)破壞真空在短時(shí)暴露大氣情況下，

7、從大氣抽至2.0x10-4Pa時(shí)間w40min。真空測(cè)量：復(fù)合真空計(jì)一套，包括電阻規(guī)與電離規(guī)。在室溫條件下，反應(yīng)室真空度優(yōu)于6.67X10-5Pa（環(huán)境濕度w55%；在襯底溫度200°C條件下優(yōu)于9X10-5Pa;系統(tǒng)破壞真空在短時(shí)暴露大氣情況下從大氣抽至2.0x10-4Pa時(shí)間w40min。3 壓力控制系統(tǒng)包括薄膜規(guī)一個(gè)（進(jìn)口）、電動(dòng)恒壓調(diào)節(jié)閥一套及恒壓控制軟件。系統(tǒng)在達(dá)到高真空狀態(tài)后，關(guān)閉氣動(dòng)插板閥，改為旁路管道由機(jī)械泵抽氣，經(jīng)薄膜規(guī)測(cè)量、電動(dòng)蝶閥調(diào)節(jié)，以達(dá)到恒壓狀態(tài)，恒壓范圍1010000Pa。4 氣體管路配置氣路系統(tǒng)采用3臺(tái)進(jìn)口防腐質(zhì)量流量控制器控制3路氣體進(jìn)氣，管路為不銹鋼

8、硬管，管路接頭連接形式采用雙卡套形式連接，不銹鋼管道及部件均為進(jìn)口。5 射頻電源配置包括射頻電源及自動(dòng)匹配器一套。設(shè)備配備連續(xù)可調(diào)放電模式工作，13.56MHzl寸頻功率源。6 系統(tǒng)自動(dòng)化控制包括工控機(jī)一臺(tái)、觸摸顯示屏一套、PLC（西門(mén)子）、數(shù)據(jù)通訊卡、控制軟件等。設(shè)備采用工控機(jī)、觸摸屏控制，實(shí)現(xiàn)真空系統(tǒng)及工藝過(guò)程全自動(dòng)化。還可選擇全自動(dòng)及非全自動(dòng)模式。設(shè)備采用全自動(dòng)控制方式，也即：從用戶將樣片送入真空室后的真空獲得、薄膜沉積生長(zhǎng)、過(guò)程監(jiān)控與閉環(huán)控制完整工藝過(guò)程，均由工控機(jī)、可編程通訊控制器及上位機(jī)控制軟件自動(dòng)控制，無(wú)需任何的人工干預(yù)。自動(dòng)化系統(tǒng)支持多工藝步驟編程。系統(tǒng)具有儲(chǔ)存用戶工藝數(shù)據(jù)的功

9、能。設(shè)備配備互鎖、異常斷電自動(dòng)記憶、自動(dòng)工藝編程校驗(yàn)等安全保護(hù)措施，使非惡意的人為操作失誤不會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)硬、軟件的損壞。系統(tǒng)支持諸如缺水故障、分子泵故障、通訊故障等故障情況下的自動(dòng)報(bào)警。系統(tǒng)提供操作日志及故障記錄。二、三溫區(qū)高溫管式爐及質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)1,管式爐為OTF-1200X-m三溫區(qū)高溫管式爐，主要參數(shù)要求：石英爐管尺寸：100X1400mm加熱元件：電阻絲；工作溫度：最高1200（溫區(qū)1、溫區(qū)2、溫區(qū)3），精度±1；控溫方式：智能化30段可編程控制；真空測(cè)量：數(shù)字真空計(jì)；爐門(mén)結(jié)構(gòu)：開(kāi)啟式；工作電源：AC220V/50HZ/60HZ，額定功率7KW；外型尺寸：1030X430x580mm2，質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)質(zhì)量流量控制器(包括三套質(zhì)量流量計(jì))、機(jī)械壓力表、針閥、管道配件等組成：質(zhì)量流量控制器：供電電源185245V/50Hz,最大功耗18皿量程范圍：通道1:199.9SCCM,通道2:1199SC