第十一章空間真空環(huán)境及其效應(yīng)1

1、第二章空間真空環(huán)境及試驗(yàn)技術(shù)空間真空環(huán)境及試驗(yàn)技術(shù)2.1 空間真空環(huán)境v是指在給定空間內(nèi)低于一個(gè)大氣壓力的氣體狀態(tài)，也就是該空間內(nèi)氣體分子密度低于該地區(qū)一個(gè)大氣壓的分子密度。v氣壓和分子密度同步變化，標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（氣壓和分子密度同步變化，標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（0 C，101325Pa）下，氣體的分子密度為下，氣體的分子密度為2.6870 1025/m3；真空度為真空度為1.33 10-4Pa時(shí)，氣體分子密度為時(shí)，氣體分子密度為3.24 1016/m3。v完全沒(méi)有氣體的空間狀態(tài)稱(chēng)為絕對(duì)真空，絕對(duì)真空實(shí)際上是完全沒(méi)有氣體的空間狀態(tài)稱(chēng)為絕對(duì)真空，絕對(duì)真空實(shí)際上是不存在的。不存在的。v真空區(qū)域劃分：真空區(qū)域劃分：v

2、根據(jù)國(guó)軍標(biāo)根據(jù)國(guó)軍標(biāo)GB3163-82，真空區(qū)劃分為如下區(qū)段：，真空區(qū)劃分為如下區(qū)段：v低真空：低真空：105102Pa （050Km)v中真空：中真空： 10210-1Pa （5090Km)v高真空：高真空： 10-110-5Pa （90330Km)v超高真空：超高真空： 10-5Pa （330Km以上以上) v空間真空度隨高度變化情況v海平面： 101308Pav100km, 2.6410-2Pa; 500km, 9.5210-8Pa v200km, 7.5010-5Pa; 600km, 4.1210-8Pav300km, 5.9610-6 Pa;700km, 1.8510-8Pav400

3、km, 8.6910-7 Pa; 800km,1.0310-8Pa v1 200km處處,大氣壓力大氣壓力10-9Pa；v10 000km處處,大氣壓力為大氣壓力為10-10Pa；v月球表面大氣壓力為月球表面大氣壓力為10-10 Pa10-12Pa，大，大約相當(dāng)于有約相當(dāng)于有100個(gè)氫分子個(gè)氫分子/cm3;v銀河系星際大氣壓力為銀河系星際大氣壓力為10-13 Pa10-18Pa。v真空測(cè)量單位真空測(cè)量單位v 真空度通?？梢杂脡簭?qiáng)表示，壓強(qiáng)為氣體分子作真空度通?？梢杂脡簭?qiáng)表示，壓強(qiáng)為氣體分子作用在單位面積上的力的法向分量。用在單位面積上的力的法向分量。v（1）國(guó)際單位）國(guó)際單位v 通常用壓力單位

4、通常用壓力單位Pa（帕）表示，（帕）表示，1Pa 為為1m2面積面積上作用上作用1N的力，即：的力，即： 1Pa= 1N/ m2v（2）高斯單位）高斯單位v 通常用壓力單位通常用壓力單位Tor（托）表示，（托）表示，1 Tor=133Pav1、壓力差效應(yīng)v壓力差效應(yīng)在105Pa102Pa的真空范圍內(nèi)發(fā)生。壓力差效應(yīng)會(huì)使密封艙變形或損壞，因此增大了貯罐中液體或氣體的泄漏，縮短了使用時(shí)間。v真空環(huán)境下的泄漏故障v約的重大故障與真空環(huán)境泄漏有關(guān)。v年月日蘇聯(lián)“聯(lián)盟”號(hào)飛船的名航天員返回地面時(shí)，因返回艙真空室漏氣均窒息死亡。2.2 真空環(huán)境效應(yīng)v據(jù)統(tǒng)計(jì)，因真空環(huán)境下泄漏，全世界至少有枚火箭發(fā)生爆炸。其

5、中：有造成火箭發(fā)動(dòng)機(jī)試驗(yàn)時(shí)提前關(guān)機(jī)或未能二次點(diǎn)火；有火箭升空后未達(dá)到預(yù)定推力，衛(wèi)星偏離軌道不能入軌；有火箭升空后引起爆炸，星箭自毀等。v據(jù)統(tǒng)計(jì)，全世界至少有顆衛(wèi)星因泄漏而發(fā)射失敗，多顆衛(wèi)星產(chǎn)生重大故障而縮短壽命或未達(dá)到使用功能。v我國(guó)也有顆衛(wèi)星因泄漏而產(chǎn)生故障。v2、真空放電效應(yīng)v真空放電效應(yīng)發(fā)生在103Pa10-1Pa低真空范圍。當(dāng)電極之間發(fā)生自激放電時(shí)稱(chēng)為電擊穿。對(duì)于航天器發(fā)射上升階段必須工作或通電的電子儀器，應(yīng)防止任何放電的可能。 （短路故障）v當(dāng)真空度達(dá)到10-2Pa或更高時(shí)，在真空中分開(kāi)一定距離的兩塊金屬表面受到具有一定能量的電子碰撞時(shí)，會(huì)從金屬表面激發(fā)出更多的次級(jí)電子，形成微放電。

6、 （電弧放電故障）v金屬由于發(fā)射次級(jí)電子而受到侵蝕，電子碰撞會(huì)引起溫度升高，而使附近氣體壓力升高，甚至?xí)斐蓢?yán)重的電暈放電。射頻空腔波導(dǎo)管等裝置有可能由于微放電而使其性能下降，甚至產(chǎn)生永久性失效。 電子元器件故障或失效v3、真空出氣效應(yīng)v當(dāng)真空度高于10-2Pa時(shí)，氣體會(huì)不斷地從材料表面釋放出來(lái)。這些氣體的來(lái)源是：v原先在材料表面吸附的氣體，在真空狀態(tài)下從表面脫附；v原先溶解于材料內(nèi)部的氣體，在真空狀態(tài)下從材料內(nèi)部向真空邊界擴(kuò)散，最后在界面上釋放，脫離材料；v滲透氣體通過(guò)固體材料釋放出來(lái)v分子污染 航天器材料在空間真空環(huán)境下出氣，通過(guò)分子流動(dòng)和物質(zhì)遷移而沉積在航天器其他部位上造成的污染，稱(chēng)為分

7、子污染。v嚴(yán)重的分子污染會(huì)降低觀察窗和光學(xué)鏡頭的透明度，改變熱控涂層的性能，減少太陽(yáng)能電池的光吸收率，增加電器元件的接觸電阻等。v4、材料蒸發(fā)升華和分解效應(yīng)v材料在空間真空環(huán)境下的蒸發(fā)、升華和分解都會(huì)造成材料組分的變化，引起材料質(zhì)量損失（簡(jiǎn)稱(chēng)質(zhì)損），造成有機(jī)物的膨脹，改變材料原有性能如熱物理性能和介電性能等。v一般質(zhì)損1%2%時(shí)，材料的宏觀性質(zhì)無(wú)重大變化；但質(zhì)損達(dá)時(shí)，材料性質(zhì)出現(xiàn)明顯的變化。因此，一般把每年質(zhì)損小于作為航天器材料的標(biāo)準(zhǔn)。v航天器表面材料不均勻的升華，引起表面粗糙，使航天器表面光學(xué)性能變差。在高真空下材料的內(nèi)、外分界面可能變動(dòng)，引起材料機(jī)械性能的變化。由于蒸發(fā)缺少氧化膜或其他表面

8、保護(hù)膜，因而可能改變材料表面的適應(yīng)系數(shù)及表面輻射率，顯著改變材料的機(jī)械性能、蠕變強(qiáng)度和疲勞應(yīng)力等。v5、粘著和冷焊效應(yīng)v粘著和冷焊效應(yīng)一般發(fā)生在10Pa以上的超高真空環(huán)境下。v發(fā)生機(jī)理：在真空中固體表面的吸附氣膜、污染膜以致氧化膜被部分或全部清除，從而形成清潔的材料表面，使表面之間出現(xiàn)不同程度的粘合現(xiàn)象，稱(chēng)為粘著。如果除去氧化膜，使表面達(dá)到原子潔凈程度，在一定壓力負(fù)荷和溫度下，可進(jìn)一步整體粘著，即引起冷焊。v冷焊發(fā)生三要素：高真空、相同金屬材料、壓力v危害：活動(dòng)部件、支承、傳動(dòng)、觸點(diǎn)部位都可能出現(xiàn)故障。冷焊將加速軸承的磨損，減少其工作壽命，使電機(jī)滑環(huán)、電涮、繼電器和開(kāi)關(guān)觸點(diǎn)接觸不良，天線或重力

9、梯度桿展不開(kāi)，太陽(yáng)電池陣板、散熱百葉窗打不開(kāi)等。v防止冷焊的措施：選擇不易發(fā)生冷焊的配偶材料，在接觸表面涂覆固體潤(rùn)滑劑或設(shè)法補(bǔ)充液體潤(rùn)滑劑，涂覆不易發(fā)生冷焊的材料膜層（碳化鎢涂層）。v6、真空環(huán)境下的熱輻射效應(yīng)v在空間真空環(huán)境下，航天器與外界的傳熱主要通過(guò)輻射形式，因此，航天器表面的輻射特性對(duì)航天器的溫度控制起著重要作用，為了使航天器保持在允許的熱平衡溫度下，航天器的熱設(shè)計(jì)必須考慮空間真空環(huán)境下傳熱以輻射與接觸傳熱為主導(dǎo)的效應(yīng)。2.3.1 分類(lèi)：分類(lèi)：v物理模擬是指模擬空間的實(shí)際真空環(huán)境。v效應(yīng)模擬是指空間真空環(huán)境模擬試驗(yàn)與空間真空環(huán)境試驗(yàn)的一致性.v數(shù)值模擬是用數(shù)學(xué)模型代替實(shí)際系統(tǒng)的模擬試驗(yàn)

10、。2.3 真空環(huán)境模擬技術(shù)2.3.2 真空容器：真空容器：1. 結(jié)構(gòu)形式：結(jié)構(gòu)形式：圓柱、箱形、球、圓錐圓柱、箱形、球、圓錐 圓柱：強(qiáng)度、材料消耗、空間利用率、制造性等圓柱：強(qiáng)度、材料消耗、空間利用率、制造性等綜合性能好。綜合性能好。小型罐：小型罐：02m直徑直徑中型罐：中型罐：26m直徑直徑大型罐：大型罐：6m以上直徑以上直徑2. 材料：材料：不銹鋼不銹鋼 1Cr18Ni9KM6空間模擬器空間模擬器真空容器由三個(gè)容器組成：真空容器由三個(gè)容器組成：主容器（立式）：直徑主容器（立式）：直徑12m， 高高22.4m輔容器（臥式）：直徑輔容器（臥式）：直徑7.5m， 長(zhǎng)長(zhǎng)15m載人試驗(yàn)艙：載人試驗(yàn)艙

11、： 直徑直徑5m， 長(zhǎng)長(zhǎng)15m總?cè)莘e：總?cè)莘e： 3200m3總質(zhì)量：總質(zhì)量： 420t3. 尺寸：尺寸：DM：模擬器有效直徑，：模擬器有效直徑， DV：航天器特征尺寸：航天器特征尺寸112111)(VMDD1 1：試驗(yàn)誤差，設(shè)定：試驗(yàn)誤差，設(shè)定3%1：熱沉發(fā)射率，?。簾岢涟l(fā)射率，取0.9熱沉：對(duì)光、熱、氣體分子有強(qiáng)吸收能力的能夠模熱沉：對(duì)光、熱、氣體分子有強(qiáng)吸收能力的能夠模擬空間冷黑環(huán)境的結(jié)構(gòu)，用銅、鋁、不銹鋼制造，擬空間冷黑環(huán)境的結(jié)構(gòu)，用銅、鋁、不銹鋼制造，表面黑色。表面黑色。94. 1)(VMDDv模擬器與航天器特征尺寸比的確定 采用太陽(yáng)模擬方法： 3 采用紅外模擬方法： 1.5 采用接觸

12、式電加熱法： 23 KM6模擬器： 飛船 3 空間站 2.3美國(guó)： 1.52.5約翰遜試驗(yàn)中心： A容器 1.92.6 B容器 1.62.2 2.3.3 真空抽氣系統(tǒng)：真空抽氣系統(tǒng)： 要求：要求：空間環(huán)境模擬室具有體積大、環(huán)境清潔、放氣空間環(huán)境模擬室具有體積大、環(huán)境清潔、放氣量大、真空度高、抽氣速度要求快等特點(diǎn)，因此對(duì)配量大、真空度高、抽氣速度要求快等特點(diǎn)，因此對(duì)配置和選擇置和選擇真空泵真空泵的方法、真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)程序和結(jié)構(gòu)的方法、真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)程序和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、真空材料的選擇，都有所不同，對(duì)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)設(shè)計(jì)、真空材料的選擇，都有所不同，對(duì)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)提出更高的要求提出更高的要求 真空抽氣系統(tǒng)的選擇

13、：真空抽氣系統(tǒng)的選擇：（1）小型熱真空罐：真空度優(yōu)于）小型熱真空罐：真空度優(yōu)于10-4Pa，前級(jí)用機(jī)械，前級(jí)用機(jī)械泵，低溫泵、分子泵或油擴(kuò)散泵，泵，低溫泵、分子泵或油擴(kuò)散泵，（2）大型環(huán)境模擬器：真空度優(yōu)于）大型環(huán)境模擬器：真空度優(yōu)于10-4Pa，前級(jí)用機(jī)，前級(jí)用機(jī)械泵，用低溫泵，避免油污染。械泵，用低溫泵，避免油污染。真空抽氣系統(tǒng)的選擇：真空抽氣系統(tǒng)的選擇：（3）冷焊、干摩擦試驗(yàn)設(shè)備：真空度優(yōu)于）冷焊、干摩擦試驗(yàn)設(shè)備：真空度優(yōu)于10-7Pa，用，用低溫泵、分子泵，無(wú)油抽氣低溫泵、分子泵，無(wú)油抽氣（4）發(fā)動(dòng)機(jī)羽流污染試驗(yàn)設(shè)備：真空度優(yōu)于）發(fā)動(dòng)機(jī)羽流污染試驗(yàn)設(shè)備：真空度優(yōu)于10-5Pa，要求大抽

14、速，用低溫泵、油擴(kuò)散泵。要求大抽速，用低溫泵、油擴(kuò)散泵。（5）火箭發(fā)動(dòng)機(jī)點(diǎn)火試驗(yàn)設(shè)備：真空度優(yōu)于）火箭發(fā)動(dòng)機(jī)點(diǎn)火試驗(yàn)設(shè)備：真空度優(yōu)于10-4Pa，用空氣引射泵、擴(kuò)壓器、油擴(kuò)散泵、低溫泵，試驗(yàn)真用空氣引射泵、擴(kuò)壓器、油擴(kuò)散泵、低溫泵，試驗(yàn)真空下點(diǎn)火、燃燒、再啟動(dòng)性能空下點(diǎn)火、燃燒、再啟動(dòng)性能（6）航天員訓(xùn)練艙：真空度優(yōu)于）航天員訓(xùn)練艙：真空度優(yōu)于10-2Pa，用水環(huán)泵、，用水環(huán)泵、羅茨泵、機(jī)械泵羅茨泵、機(jī)械泵v機(jī)械泵：有葉片式、螺桿式、柱塞式等，價(jià)格低機(jī)械泵：有葉片式、螺桿式、柱塞式等，價(jià)格低v油擴(kuò)散泵：利用低壓、高速油蒸汽射流原理的真空油擴(kuò)散泵：利用低壓、高速油蒸汽射流原理的真空泵，抽速大泵，

15、抽速大德國(guó)機(jī)械泵德國(guó)機(jī)械泵油擴(kuò)散泵油擴(kuò)散泵v分子泵：利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳給氣體分子，使分子獲得速度后排出。無(wú)污染。v低溫泵：利用低溫表面冷凝氣體而獲得真空的原理，無(wú)污染、真空度大。v羅茨泵：旋轉(zhuǎn)式變?nèi)莘e真空泵（羅茨風(fēng)機(jī)）。v電離真空計(jì)、熱偶真空計(jì)、壓阻真空計(jì)、電離真空計(jì)、熱偶真空計(jì)、壓阻真空計(jì)、 B-A真空規(guī)、石英真空規(guī)、石英真空計(jì)、全量程真空規(guī)真空計(jì)、全量程真空規(guī)v真空計(jì)的選擇：真空計(jì)的選擇：v（1） 105102Pa 壓阻真空計(jì)、靜態(tài)變形式真空計(jì)壓阻真空計(jì)、靜態(tài)變形式真空計(jì)v（2） 10210-1Pa 熱偶真空計(jì)熱偶真空計(jì)v（3） 10-110-4Pa 電離真空計(jì)電離真空計(jì)v（4）

16、10-410-8Pa B-A真空規(guī)真空規(guī)v（5） 10510-7Pa 全量程真空規(guī)全量程真空規(guī)2.4 真空度測(cè)量技術(shù)v熱偶真空計(jì)熱偶真空計(jì) 氣體分子熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)。在一玻璃管殼中支撐一根熱絲，氣體分子熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)。在一玻璃管殼中支撐一根熱絲，熱絲通以電流加熱，使其溫度高于周?chē)鷼怏w和管殼的溫度，熱絲通以電流加熱，使其溫度高于周?chē)鷼怏w和管殼的溫度，于是在熱絲和管殼之間產(chǎn)生熱傳導(dǎo)。當(dāng)達(dá)到熱平衡時(shí)，熱絲于是在熱絲和管殼之間產(chǎn)生熱傳導(dǎo)。當(dāng)達(dá)到熱平衡時(shí)，熱絲的溫度決定于氣體熱傳導(dǎo)，因而也就決定于氣體壓力。的溫度決定于氣體熱傳導(dǎo)，因而也就決定于氣體壓力。v電離真空計(jì)電離真空計(jì) 利用低壓下氣體分子被荷能

17、粒子碰撞電離，產(chǎn)生的離子流隨利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離，產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。如：熱陰極電離真空計(jì)、冷陰極電離真空電力變化的原理。如：熱陰極電離真空計(jì)、冷陰極電離真空計(jì)和放射性電離真空計(jì)等。計(jì)和放射性電離真空計(jì)等。 電離真空規(guī)電離真空規(guī)BA真空規(guī)真空規(guī)熱偶真空規(guī)熱偶真空規(guī)v壓力測(cè)量的特殊性壓力測(cè)量的特殊性v1)定向壓力效應(yīng)定向壓力效應(yīng)v分子沉：分子沉：太空的分子密度十分稀薄，從航天器飛出太空的分子密度十分稀薄，從航天器飛出的分子無(wú)碰撞地沉沒(méi)于無(wú)限宇宙空間之中不再返回。的分子無(wú)碰撞地沉沒(méi)于無(wú)限宇宙空間之中不再返回。所以廣闊的太空是個(gè)具有無(wú)限抽氣速率的所以廣闊的太空是個(gè)具有無(wú)限抽

18、氣速率的“分子分子沉沉”。v在空間模擬室內(nèi)，真空規(guī)面向試件所測(cè)得的分子流在空間模擬室內(nèi)，真空規(guī)面向試件所測(cè)得的分子流壓力值比面向真空容器壁板所測(cè)得的分子流壓力值壓力值比面向真空容器壁板所測(cè)得的分子流壓力值高高12個(gè)數(shù)量級(jí)。這就是個(gè)數(shù)量級(jí)。這就是分子沉效應(yīng)分子沉效應(yīng)，因此試驗(yàn)中，因此試驗(yàn)中應(yīng)考慮真空規(guī)管安裝的位置、方向、形式，以真實(shí)應(yīng)考慮真空規(guī)管安裝的位置、方向、形式，以真實(shí)反映真空度。反映真空度。v2)快速真空度測(cè)量快速真空度測(cè)量v在發(fā)動(dòng)機(jī)高空點(diǎn)火模擬試驗(yàn)中，要求測(cè)出在發(fā)動(dòng)機(jī)高空點(diǎn)火模擬試驗(yàn)中，要求測(cè)出2次點(diǎn)火次點(diǎn)火之間短時(shí)壓力的快速變化。在火箭發(fā)射階段的模擬之間短時(shí)壓力的快速變化。在火箭發(fā)射

19、階段的模擬中，快速測(cè)量壓力變化，其反應(yīng)時(shí)間約為幾百微秒中，快速測(cè)量壓力變化，其反應(yīng)時(shí)間約為幾百微秒量級(jí)，因此要求高精度、寬量程、高可靠性。量級(jí)，因此要求高精度、寬量程、高可靠性。v3)超音速氣流真空度測(cè)量超音速氣流真空度測(cè)量v在低密度級(jí)風(fēng)洞（壓力大于在低密度級(jí)風(fēng)洞（壓力大于10-2 Pa），將會(huì)遇到馬），將會(huì)遇到馬赫數(shù)為赫數(shù)為110的超音速氣流。在太陽(yáng)風(fēng)的模擬中，的超音速氣流。在太陽(yáng)風(fēng)的模擬中，將會(huì)遇到將會(huì)遇到300km/s500km/s的超音速等離子體的超音速等離子體（質(zhì)子加電子），密度約（質(zhì)子加電子），密度約10個(gè)個(gè)/cm3。 航天器中的天線運(yùn)轉(zhuǎn)、太陽(yáng)電池陣的展開(kāi)和百航天器中的天線運(yùn)轉(zhuǎn)、太

20、陽(yáng)電池陣的展開(kāi)和百葉窗的開(kāi)閉等都有轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，姿控系統(tǒng)中的紅外地葉窗的開(kāi)閉等都有轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，姿控系統(tǒng)中的紅外地平儀、動(dòng)量輪、空間探測(cè)儀器，其對(duì)接與分離機(jī)構(gòu)平儀、動(dòng)量輪、空間探測(cè)儀器，其對(duì)接與分離機(jī)構(gòu)中有滾動(dòng)軸承、滑動(dòng)軸承、齒輪等活動(dòng)部件，這些中有滾動(dòng)軸承、滑動(dòng)軸承、齒輪等活動(dòng)部件，這些部件在空間真空環(huán)境下要考慮摩擦、磨損、潤(rùn)滑問(wèn)部件在空間真空環(huán)境下要考慮摩擦、磨損、潤(rùn)滑問(wèn)題，除了選擇合適的配偶材料，對(duì)潤(rùn)滑劑的選用應(yīng)題，除了選擇合適的配偶材料，對(duì)潤(rùn)滑劑的選用應(yīng)考慮在真空下不易揮發(fā)、不變質(zhì)、不污染航天器等考慮在真空下不易揮發(fā)、不變質(zhì)、不污染航天器等2.5 空間真空環(huán)境潤(rùn)滑技術(shù)v2.5.1 空間真空環(huán)境

21、下的液體潤(rùn)滑技術(shù)v在空間真空環(huán)境中用的液體潤(rùn)滑劑應(yīng)選用飽和蒸氣壓較低的潤(rùn)滑油，應(yīng)將其封閉在一個(gè)小空間內(nèi)，以防止蒸氣直接向空間蒸發(fā)。v2.5.2 空間真空環(huán)境下的固體潤(rùn)滑技術(shù)v固體潤(rùn)滑是利用有潤(rùn)滑性的固體，采用一定的結(jié)構(gòu)形式，達(dá)到潤(rùn)滑的目的。v為了保護(hù)相對(duì)運(yùn)動(dòng)中的表面不受損傷，并降低摩擦與磨損而使用的薄膜或粉狀固體物質(zhì)。v固體潤(rùn)滑劑按種類(lèi)劃分有：層狀晶體結(jié)構(gòu)物質(zhì)、非層狀無(wú)機(jī)物、金屬薄膜、塑料、合成膜、化合膜等。v2.5.3 自潤(rùn)滑材料v 石墨、陶瓷、復(fù)合材料等1）氦質(zhì)譜檢漏法檢漏原理：氦氣分子量小、質(zhì)量輕、操作安全、潔凈， 適合作為檢漏氣體。 質(zhì)譜儀的核心部分是電離室，氦氣經(jīng)燈絲加熱后進(jìn)入電離室，將氦氣電離成正離子，通過(guò)加速使離子進(jìn)入磁場(chǎng)，磁力作用下形成圓弧軌道，氦離子質(zhì)量小，軌道半徑就小，在接收極可被檢出。 R=144/B2.6 空間真空檢漏技術(shù)1）氦質(zhì)譜檢漏法氦質(zhì)譜檢漏法有如下幾種：噴吹法、氦罩法、檢漏盒法噴吹法：在被檢件外壁可疑漏氣部位用氦氣噴槍吹氦氣氦罩法：將被檢件外