激光干涉儀原理及應用

1、 SJ6000激光干涉儀激光干涉儀概述SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術，實現(xiàn)快速(510分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組可以測量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量，并且可以進行動態(tài)分析。 SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學組件結合，可以實現(xiàn)對

2、直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性分析等，具有極高的精度和效率， SJ6000激光干涉儀為機床誤差修正提供依據(jù)。激光干涉儀性能特點1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好使用美國高性能氦氖激光器，結合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度分離式干涉鏡設計，避

3、免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變2.應用范圍廣可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測結合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進行動態(tài)特性分析3.軟件界面友好使用當前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。 SJ6000激光干涉儀向?qū)讲僮?，流程清晰，更符合國?nèi)用戶的使用習慣。4性價比高性能達到了國外儀器的水準，價格是國內(nèi)儀器的良心價。激光干涉儀原理一個角錐反射鏡緊緊固定在分光鏡上，形成固定長度參考光束。另一個角錐反射鏡相對于

4、分光鏡移動，形成變化長度測量光束。從激光頭射出的激光光束(1)具有單一頻率，標稱波長為0.633m，長期波長穩(wěn)定性（真空中）優(yōu)于0.05ppm。當此光束到達偏振分光鏡時，被分成兩束光反射光束(2)和透射光束(3)。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中，然后反射回分光鏡中，在嵌于激光頭中的探測器中形成干涉光束。如果兩光程差不變化，探測器將在相長干涉和相消干涉的兩端之間的某個位置觀察到一個穩(wěn)定的信號。如果兩光程差發(fā)生變化，每次光路變化時探測器都能觀察到相長干涉和相消干涉兩端之間的信號變化。這些變化（條紋）被數(shù)出來，用于計算兩光程差的變化。測量的長度等于條紋數(shù)乘以激光波長的一半。應當注意到，激光波長將

5、取決于光束經(jīng)過的空氣的折射率。由于 SJ6000激光干涉儀空氣折射率會隨著氣溫、壓力和相對濕度的變化而變化，用于計算測量值的波長值可能需要對這些環(huán)境參數(shù)的變化進行補償。在實踐中，對于技術指標中的測量精度，只有線性位移（定位精度）測量需要進行此類補償，在這種情況下兩束光的光程差變化可能非常大。激光干涉儀應用1、在數(shù)控機床檢定中的應用SJ6000激光干涉儀可用于精密機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度的測量，為機床誤差修正提供依據(jù)。軟件內(nèi)置 10項常用機床檢驗標準。使用激光干涉儀檢測機床各項誤差并進行修正是傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)的技術，是大幅度提高數(shù)控機床的加工精度的關鍵措施。 SJ6000激光

6、干涉儀數(shù)控機床軸定位精度、重復定位精度的檢測2、在三坐標檢測中的應用SJ6000激光干涉儀搭配其鏡組和輔件可檢測三坐標測量機的位移精度、直線度、垂直度。隨著當代制造業(yè)對加工速度的要求提升，三坐標測量機各結構件由于高速運行產(chǎn)生機構變形，導致的動態(tài)誤差不可忽略。使用激光干涉儀對三坐標測量機進行靜態(tài)誤差、動態(tài)誤差測量和補償，對提升測量精度具有重要意義。三坐標線性精度、垂直度的檢測3、在位移傳感器中的應用 SJ6000激光干涉儀利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢，其特點是反應速度快、測量精度高，是位移傳感器實現(xiàn)高精度校準的重要手段。傳感器線性精度的測量4、與其他鏡組配合的應用SJ6000激光干涉儀與不同光學組件結合，可以實現(xiàn)距離、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù)的測量，具有極高的精度和效率。測長機線性精