透射電鏡操作程序

1、v1.0 可編輯可修改JEM-100CX 透射電鏡操作說(shuō)明一、開(kāi)機(jī)程序1、首先打開(kāi)房間空調(diào)，冷卻循環(huán)水房溫度21 度，操作室 25 度2、開(kāi)啟冷卻水循環(huán)裝置，一個(gè)獨(dú)立的小的控制器，先將開(kāi)關(guān)打至ON，再將按下 POWER鍵3、啟動(dòng)穩(wěn)壓電源，穩(wěn)定于 220V；查看電源箱供電指示燈亮4、用鑰匙啟動(dòng)主機(jī)，從 OFF檔位旋到 START位，松開(kāi)后鑰匙自動(dòng)回到 ON位置。儀器自動(dòng) 抽真空，等待約 40 分鐘。5、直至 DP綠燈亮， HIGH綠燈亮， READY綠燈亮（若不亮的話，將 LENS LIGHT打至 ON檔 位）。二、電子槍合軸（ 1-3 合軸）1、確認(rèn) READY綠燈亮2、把樣品撥出，物鏡光欄撥

2、出至 0 檔位3、加高壓：按下 HT 鍵后，依次按下 40-60-80-100KV 鍵，并注意觀察束流表是否正常，每 次都要等電流表顯示穩(wěn)定之后再進(jìn)行下一步，一般調(diào)到80KV 就行了。4、加燈絲：將 FILAMENT EMIISSION旋鈕緩慢旋至鎖定位置5、一般在 SCAN（ 5300 倍）條件下調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié) CONDENSE鈕R，得到光斑。6、SPOTS IZE調(diào)到 3 檔，調(diào)節(jié) CONDENSE鈕R聚光，得到最小最亮光斑， 然后用左右 ALIGNMEN：T TRANS（小的）將光斑拉至最中心位置（中心位置有一黑點(diǎn)）。7、SPOTS IZE調(diào)到 1 檔，調(diào)節(jié) CONDENSE鈕R聚光，得到最

3、小最亮光斑， 然后用 GUNA LIGNMEN：T TRANS（ X、Y）將光斑拉至中心位置。8、再重復(fù) 6、7 步驟，使束流不偏離中心。三、調(diào)燈絲相（每次開(kāi)機(jī)都需要檢查）1、在 SCAN模式下， SPOT SIZE 調(diào)到 1 檔2、將 FILAMENT EMIISSION旋鈕稍稍往回調(diào)，到看到燈絲欠飽和像，即車輪像（魚眼像），若車輪像不對(duì)稱，則進(jìn)行下面調(diào)節(jié)。3、緩慢旋轉(zhuǎn) GUN ALIGNMEN：TTILT （X、Y），使燈絲像對(duì)稱。v1.0 可編輯可修改4、然后調(diào)節(jié) FILAMENTE MIISSION 旋鈕至燈絲飽和（即剛好全亮，沒(méi)有陰影） ，并鎖定該位 置。四、粗對(duì)焦（該步很重要）1、

4、關(guān)燈絲（ FILAMENT EMIISSION旋鈕至 OFF）后，插入樣品，插入物鏡光欄（ 2 檔）2、開(kāi)燈絲（ FILAMENT EMIISSION旋鈕至 ON）后，放大光斑至滿屏（以免燒壞銅網(wǎng)）3、找到樣品，并選中一目標(biāo)為參照4、將 IMAGEW OBBLE打R 至 ON，此時(shí)看到樣品會(huì)有一定的晃動(dòng)，調(diào)節(jié)FOCUS旋鈕（有大中小三個(gè)，一般只用到中和?。┲翀D像清晰沒(méi)有重影。五、聚光鏡對(duì)中調(diào)節(jié)1、關(guān)燈絲后，撥出樣品，撥出光欄，開(kāi)燈絲，縮小光斑，檢查是否在中心位置，2、在 SCAN模式， SPOTS IZE 1 檔情況下，將 CONDA LIGNMENT打到 ON，然后下面一 WOBBLER 鍵

5、打到 X，以調(diào)節(jié)光斑重合， 同樣的方法進(jìn)行 Y軸對(duì)中調(diào)節(jié)， 調(diào)節(jié)完畢之后打到中間 OFF 檔。3、將 IMAGE WOBBLE鍵R打到 ON，調(diào)節(jié) IMAGE WOBBLER、 A B旋鈕至重合。六、電流中心調(diào)節(jié)（此步調(diào)節(jié)有一定的難度）1、插入樣品，插入光欄，找到一樣品做為參照物，調(diào)節(jié)時(shí)放大倍數(shù)小于5 萬(wàn)倍2、用目鏡觀察，聚焦，找準(zhǔn)參照物，用FOCUS調(diào)焦至最清晰3、快速反復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng) FOCUS旋鈕（以最清晰位置為中心前后旋轉(zhuǎn)） ，此時(shí)觀察參照物樣品的情況， 如有放大縮小的情況（看到樣品是以某點(diǎn)為中心在旋轉(zhuǎn)）那就是正常的，若是樣品有左 右或者上下移動(dòng)的現(xiàn)象，就需要調(diào)節(jié)ALIGNMENT的大旋鈕，

6、TILT 鈕直至正常。七、電壓中心調(diào)節(jié)1、在第六步的基礎(chǔ)上，放大倍數(shù)（大于5 萬(wàn)倍）2、找到一參照物，調(diào)焦至最清晰3、HVW OBBLE置R 于 ON，若參照物不偏離中心而四周同心振動(dòng)，則電壓中心良好，反之，若 參照物有漂移，則用左右 ALIGNMENT： TILT 調(diào)節(jié)八、光欄的調(diào)節(jié)1、聚光鏡光欄調(diào)節(jié)：判斷光欄是否在中間位置，調(diào)節(jié)CONDENSE時(shí)R，光斑不在中間，放大v1.0 可編輯可修改時(shí)會(huì)有很大陰影 （電子束被東西擋?。?，移動(dòng)樣品時(shí)也沒(méi)有改變， 此時(shí)可以斷定是光欄位 置不正確，通過(guò)調(diào)節(jié)光欄上兩個(gè)旋鈕，使光欄回到中心位置。2、物鏡光欄調(diào)節(jié)：打開(kāi) FUNCTION：SADIFF（控制臺(tái)

7、D區(qū)，與 SCAN一排的一個(gè)按鈕） ，調(diào)節(jié) SA/HD DIFFRACTION：CAMERA LENG（TH控制臺(tái) B區(qū)）和物鏡光欄上的兩個(gè)旋鈕，使得中 間最亮點(diǎn)周圍的一圈較暗的光斑變得對(duì)稱即可。九、聚光鏡像散調(diào)節(jié)在沒(méi)有放入樣品的情況下： 插入聚光鏡光欄 （2 檔），SPOTS IZE 調(diào)至 3 檔，調(diào)節(jié) CONDENSER 鈕至光斑最小最亮，再調(diào)節(jié) CONDS TIGMATORX、 Y旋鈕（控制臺(tái) F 區(qū)），使得光斑變得最 圓，即完成聚光鏡像散調(diào)節(jié)。十、物鏡像散調(diào)節(jié)（用于高倍下觀察樣品的調(diào)節(jié)）1、在完成以上調(diào)節(jié)，即確認(rèn)儀器對(duì)中狀態(tài)良好，電壓中心對(duì)中，無(wú)聚光鏡像散，光欄位置 正確的情況下進(jìn)行物

8、鏡像散調(diào)節(jié)。2、插入物鏡光欄， 在觀察樣品的時(shí)候調(diào)節(jié)， 在高倍下（大于 10 萬(wàn)倍）找到一樣品作為參照， 改變焦距，觀察樣品邊沿系統(tǒng)是否均勻，若有像散，則進(jìn)行以下操作。3、配合調(diào)節(jié) OBJ STIGMATO：R X、 Y旋鈕（控制臺(tái) E區(qū)）和 FOCUS旋鈕，消除像散。 十一、樣品裝卸操作1、確認(rèn)樣品裝卸時(shí)機(jī)器狀態(tài)：放大倍數(shù)調(diào)至較小倍數(shù)，燈絲發(fā)射至OFF檔。2、右邊的旋轉(zhuǎn)手柄有四個(gè)檔位： 空檔位、 SET、AIRLOCK、ENG，觀察樣品的時(shí)候一定在 SET 檔位， ENG檔位用來(lái)?yè)Q樣品，當(dāng)需要打開(kāi)左邊的樣品室時(shí)，一定要放置在AIRLOCK檔位，空檔位只是做一個(gè)過(guò)渡。3、左邊的樣品室旋轉(zhuǎn)手柄上有兩種標(biāo)識(shí)，一種是數(shù)字（1-6 ），另外間于數(shù)字中間的是一些點(diǎn)，當(dāng)數(shù)字對(duì)正時(shí)，可以用右邊的旋轉(zhuǎn)手柄把相應(yīng)的樣品從樣品室中取出。當(dāng)需要打開(kāi) 樣品室換下一批樣品時(shí)，要保證所有的樣品都留在樣品室，這樣就要讓數(shù)字中間的點(diǎn)對(duì) 正，再將右邊的旋轉(zhuǎn)手柄拉出。4、當(dāng)右邊旋轉(zhuǎn)手柄置于 AIRLOCK檔位時(shí)可以打開(kāi)樣品室，左邊有一能上下扳動(dòng)的把手。 十二、關(guān)機(jī)程序1、放大倍數(shù)降至小于 1 萬(wàn)倍，光斑滿屏。v1.0 可編輯可修改2、退燈絲至 O