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文檔簡介

1、1.晶向的本質(zhì)是藍(lán)寶石分子結(jié)構(gòu)的問題：上圖為分子結(jié)構(gòu)圖，主要寫了藍(lán)寶石單晶六方晶系。2. 藍(lán)寶石晶向成像原理。藍(lán)寶石在這種分子結(jié)構(gòu)的情況下，會有不同方向的分子層面，對X射線會有反射作用，從而產(chǎn)生晶向。詳細(xì)見下圖：分子層形成了C面分子層形成了M面分子層形成了A面分子層形成了R面分子層形成了N面3.晶向值形成的原因：X射線在經(jīng)過分子層后，會產(chǎn)生折射和反射。在特定的某個角度入射會讓反射的X光呈現(xiàn)平行狀態(tài)（如下圖），接收器接受的X射線強度比較大，該角度稱為晶向值。但由于各個面的分子層間隙不同，所以產(chǎn)生的晶向值也不同。標(biāo)準(zhǔn)晶向值如下：C面：20°50A面：18°55M面：34

2、6;06R面：26°16N面：21°43分子層間隙，各晶向分子層間隙不同，晶向值也不同。入射角，也叫做晶向值。4.分子晶向圖在下圖中可以直觀的看出藍(lán)寶石分子晶向。5.藍(lán)寶石分子結(jié)構(gòu)，對其物理性能的影響。a.光學(xué)性能：C軸均有晶光性，其他軸具有負(fù)光性。（所以一般襯底行業(yè)都用C向晶片。）b.硬度：A向硬度明顯高于C向，具體表現(xiàn)在耐磨，耐刮，硬度高。（我們磨A向砂輪需要特制的，或者明顯降低研磨效率。A向晶片大多用于作為窗口材料，如手表鏡片）c.切割時M面易開裂：C面為平面，最好切。A面為Z型鋸齒狀面，比較好切。M面為階梯鋸齒狀，不好切，容易切裂。切割示意圖如下：C向切割，平面，比較好切，不容易切裂A向切割，鋸齒面，比較好切，不容易切裂M向切割，階梯狀鋸齒面，不好切，很容易切裂6.晶向?qū)ζ淦渌阅艿挠绊?。未知，有其他的客戶反饋，以O(shè)F面為底面2寸晶棒在R9點鐘方向的晶棒不容易裂片，也有其他客戶反饋，以O(shè)F面為底面4寸晶棒在R3點鐘方向的晶棒不容易裂片。個人覺得，因為藍(lán)寶石的結(jié)構(gòu)的對稱性，R3和R9并沒有太大的區(qū)別，只是分子有些不同，具體應(yīng)該考慮使用的方面，通過實驗確定。A面A面A面A面A面A面N面N面N面N面N面N面R面R面R

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