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1、桂林電子科技大學(xué)GUILIN UNIVERSITY OF ELECTRONIC TECHNOLOGY桂林電子科技大學(xué)GUILIN UNIVERSITY OF ELECTRONIC TECHNOLOGYMEMS器件懸臂結(jié)構(gòu)的簡單介紹桂林電子科技大學(xué)GUILIN UNIVERSITY OF ELECTRONIC TECHNOLOGY一MEMS簡介二懸臂梁及其工藝三參考文獻桂林電子科技大學(xué)GUILIN UNIVERSITY OF ELECTRONIC TECHNOLOGY( )一MEMS簡介 微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系
2、統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。桂林電子科技大學(xué)GUILIN UNIVERSITY OF ELECTRONIC TECHNOLOGY( )一桂林電子科技大學(xué)GUILIN UNIVERSITY OF ELECTRONIC TECHNOLOGY( )一桂林電子科技大學(xué)GUILIN UNIVERSITY OF ELECTRONIC TECHNOLOGY( )二懸臂梁作為MEMS 器件的基本結(jié)構(gòu), 可以用于RF 開關(guān)、光開關(guān)、諧振器、傳感器等。MEMS 中使用的懸
3、臂梁厚度一般在幾微米到幾十微米之間, 長度在幾百微米以內(nèi).襯底的厚度一般不超過1mm , 長度和寬度在厘米量級。懸臂梁及其工藝桂林電子科技大學(xué)GUILIN UNIVERSITY OF ELECTRONIC TECHNOLOGY( )二桂林電子科技大學(xué)GUILIN UNIVERSITY OF ELECTRONIC TECHNOLOGY( )二基于材料的器件()具有耐高溫、抗腐蝕等優(yōu)點,可廣泛應(yīng)用于制造工作在惡劣環(huán)境下的傳感器和執(zhí)行器。但是,目前為止制作的大多數(shù)器件都基于體工藝。體工藝制造工藝復(fù)雜、成本高昂,難以適用于大規(guī)模的商業(yè)化生產(chǎn),開發(fā)表面工藝勢在必行。懸臂結(jié)構(gòu)是制作器件的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)之一,在加
4、速度計、陀螺儀、開關(guān)、諧振器等器件中都大量地使用了懸臂結(jié)構(gòu),因此,開發(fā)懸臂結(jié)構(gòu)的表面加工工藝是制作器件的必要基礎(chǔ)。由于材料具有優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性,大部分酸都不能腐蝕,只有熔融的(大于)堿金屬氫氧化物(如)可以腐蝕它,但是這種加工工藝不能滿足高精度結(jié)構(gòu)的制備需求,因此急需開發(fā)干法刻蝕工藝。一般來說,懸臂結(jié)構(gòu)的制作需要犧牲層釋放工藝,但到目前為止,犧牲層(如)上外延的質(zhì)量尚不滿足要求。為了獲得高質(zhì)量懸臂結(jié)構(gòu),本文設(shè)計了在襯底上外延薄膜后通過干法刻蝕工藝制作懸臂結(jié)構(gòu)的方案懸臂梁及其工藝桂林電子科技大學(xué)GUILIN UNIVERSITY OF ELECTRONIC TECHNOLOGY( )二桂林電子科
5、技大學(xué)GUILIN UNIVERSITY OF ELECTRONIC TECHNOLOGY( )二干法刻蝕設(shè)備為刻蝕機。掩膜材料分別使用和。具體實施步驟如圖所示。()襯底準(zhǔn)備,采用晶向的高阻單拋硅片。()外延 薄膜,采用和通過法外延厚的薄膜。()制作掩膜,通過法外延厚 的掩膜或者通過蒸發(fā)的方法淀積厚的。()掩膜圖形化,采用光刻技術(shù)制備圖形化的金屬鋁或者的掩膜。()刻蝕,刻蝕氣體為和,刻蝕速率約。()釋放懸臂結(jié)構(gòu),采用氣體各向同性刻蝕工藝,掏空懸臂結(jié)構(gòu)下方的硅襯底。()去除掩膜,對于掩膜,采用干法刻蝕去除。掩膜采用濕法腐蝕方法去除。懸臂梁及其工藝桂林電子科技大學(xué)GUILIN UNIVERSITY OF ELECTRONIC TECHNOLOGY( )三參考文獻1焦宗磊,懸臂結(jié)構(gòu)干法刻蝕研究,南京電子器件研究所,南京.2方緒文,微加工懸臂梁在橫向沖擊下的響應(yīng)分析,東南大學(xué)MEMS 教育部重點實驗室,
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