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1、2021重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)明確10個(gè)重點(diǎn)支持方向來源:互聯(lián)網(wǎng)導(dǎo)讀2月19日,科技部網(wǎng)站發(fā)布關(guān)于發(fā)布重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)2021年度指南的通知,本指南共設(shè)置了關(guān)鍵核心部件、高端通用科學(xué)儀器和專業(yè)重大科學(xué)儀器 3類任務(wù), 下設(shè)10個(gè)重點(diǎn)方向,支持?jǐn)?shù)量不超過實(shí)施方案內(nèi)容的30%2月19日,科技部網(wǎng)站發(fā)布關(guān)于發(fā)布重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)2021年度指南的通知,本指南共設(shè)置了關(guān)鍵核心部件、高端通用科學(xué)儀器和專業(yè)重大科學(xué)儀器3類任務(wù),下設(shè)10個(gè)重點(diǎn)方向,支持?jǐn)?shù)量不超過實(shí)施方案內(nèi)容的30%其中核心關(guān)鍵部件開發(fā)與應(yīng)用中包括:源部件、探測(cè)器與傳感器、分析別離與控制部件;高端通用儀器工程化及應(yīng)用開發(fā)包括
2、:分析儀器、物理性能測(cè)試儀器、電子測(cè)量?jī)x器、計(jì)量?jī)x器;專業(yè)重大科學(xué)儀器開發(fā)及應(yīng)用示范包括:支撐經(jīng)濟(jì)和產(chǎn)業(yè)開展的專業(yè)重大科學(xué)儀器、服務(wù)公益行業(yè)和民生改善的專業(yè)重大科學(xué)儀器、保障國家平安和公共平安的專業(yè)重大科學(xué)儀 器。此外,指南中還指出,工程成果是以市場(chǎng)前景廣泛的關(guān)鍵核心部件和重大科學(xué)儀器設(shè)備 產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用為目標(biāo),一般的核心部件與科學(xué)儀器的原理和方法研究,商業(yè)化前景不明確的核心部件與儀器研制等工作,以及臨床醫(yī)療儀器、 生產(chǎn)設(shè)備、機(jī)械裝備、平臺(tái)建設(shè)等,不屬于本專項(xiàng)的支持方向。詳細(xì)內(nèi)容如下:“重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)重點(diǎn)專項(xiàng)2021年度申報(bào)指南科學(xué)儀器設(shè)備是科學(xué)研究和技術(shù)創(chuàng)新的基石,是經(jīng)濟(jì)社會(huì)開
3、展和國防平安的重要保障。為切實(shí)提升我國科學(xué)儀器設(shè)備的自主創(chuàng)新能力和裝備水平,促進(jìn)產(chǎn)業(yè)升級(jí)開展,支撐創(chuàng)新驅(qū)國家科技方案管理部動(dòng)開展戰(zhàn)略的實(shí)施,經(jīng)國家科技方案戰(zhàn)略咨詢與綜合評(píng)審特邀委員會(huì)、 際聯(lián)席會(huì)審議,“重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)重點(diǎn)專項(xiàng)作為 2021 年度啟動(dòng)的專項(xiàng)之一,并正 式進(jìn)入實(shí)施階段。一、指導(dǎo)原那么與主要目標(biāo)本專項(xiàng)堅(jiān)持問題導(dǎo)向、 需求導(dǎo)向原那么, 緊扣我國科技創(chuàng)新、 經(jīng)濟(jì)社會(huì)開展對(duì)科學(xué)儀器設(shè) 備的重大需求, 充分考慮我國現(xiàn)有根底和能力,在繼承和開展 “十二五期間國家重大科學(xué) 儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)成果的根底上,堅(jiān)持政府引導(dǎo)、企業(yè)主導(dǎo),立足當(dāng)前、著眼長(zhǎng)遠(yuǎn),整體推 進(jìn)、重點(diǎn)突破的原那么, 以關(guān)鍵核心技
4、術(shù)和部件的自主研發(fā)為突破口, 聚焦高端通用科學(xué)儀器 設(shè)備和專業(yè)重大科學(xué)儀器設(shè)備的儀器開發(fā)、 應(yīng)用開發(fā)、 工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā), 帶動(dòng)科學(xué) 儀器系統(tǒng)集成創(chuàng)新,有效提升我國科學(xué)儀器設(shè)備行業(yè)整體創(chuàng)新水平與自我裝備能力。通過本專項(xiàng)的實(shí)施,構(gòu)建“儀器原理驗(yàn)證T關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)軟硬件T系統(tǒng)集成T應(yīng)用示范T產(chǎn)業(yè)化的國家科學(xué)儀器開發(fā)鏈條,完善產(chǎn)學(xué)研用融合、協(xié)同創(chuàng)新開展的成果轉(zhuǎn)化與合 作模式,激發(fā)行業(yè)、企業(yè)活力和創(chuàng)造力。強(qiáng)化技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品可靠性、穩(wěn)定性實(shí)驗(yàn),引入重 要用戶應(yīng)用示范、 拓展產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域, 大幅提升我國科學(xué)儀器行業(yè)可持續(xù)開展能力和核心競(jìng) 爭(zhēng)力。本專項(xiàng)按照全鏈條部署、 一體化實(shí)施的原那么, 共設(shè)置了關(guān)鍵
5、核心部件、 高端通用科學(xué)儀 器和專業(yè)重大科學(xué)儀器 3 類任務(wù),下設(shè) 10個(gè)重點(diǎn)方向,本指南為重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專 項(xiàng) 2021 年度指南,支持?jǐn)?shù)量不超過實(shí)施方案內(nèi)容的30%。二、總體要求1. 專項(xiàng)定位本專項(xiàng)充分利用國家科技方案 專項(xiàng)、基金或其他渠道, 已取得的相關(guān)檢測(cè)原理、 方法、技術(shù)或科研裝置,開展系統(tǒng)集成、應(yīng)用開發(fā)和工程化開發(fā),形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、“皮實(shí)耐用 和功能豐富的重大科學(xué)儀器設(shè)備產(chǎn)品, 并效勞科學(xué)研究和經(jīng)濟(jì)社會(huì)開展。 工程成果是 以市場(chǎng)前景廣泛的關(guān)鍵核心部件和重大科學(xué)儀器設(shè)備產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用為目標(biāo)一般的核心部件與科學(xué)儀器的原理和方法研究,商業(yè)化前景不明確的核心部件與儀器研
6、制等工 作,以及臨床醫(yī)療儀器、生產(chǎn)設(shè)備、機(jī)械裝備、平臺(tái)建設(shè)等,不屬于本專項(xiàng)的支持方向。2. 申報(bào)主體結(jié)合本專項(xiàng)的特點(diǎn)和定位, 如無特殊說明, 本指南所設(shè)工程均由有條件的企業(yè)牽頭申報(bào)。 鼓勵(lì)企業(yè)結(jié)合國家需求和自身開展需要, 聯(lián)合科研院所和高等學(xué)校的優(yōu)勢(shì)力量參與工程研發(fā) 工作 主要為企業(yè)提供所需的技術(shù)支撐 ,落實(shí)目標(biāo)任務(wù)明確、 產(chǎn)權(quán)和利益分配明晰的產(chǎn)學(xué)研 用結(jié)合機(jī)制。同時(shí),要采取有效措施,切實(shí)發(fā)揮企業(yè)在專項(xiàng)中的技術(shù)創(chuàng)新決策、研發(fā)投入、 工程實(shí)施組織和成果轉(zhuǎn)化等方面的主體地位作用。3. 支持方式本專項(xiàng)每個(gè)指南方向下的工程可支持1 2 項(xiàng),實(shí)施“后端資助機(jī)制。即,結(jié)合科學(xué)儀器開發(fā)的特點(diǎn),以及我國科學(xué)儀
7、器產(chǎn)業(yè)開展實(shí)際,強(qiáng)化利益共享、風(fēng)險(xiǎn)分擔(dān)機(jī)制,對(duì)企業(yè) 承當(dāng)?shù)墓こ蹋?實(shí)施專項(xiàng)經(jīng)費(fèi)后端資助政策。 工程立項(xiàng)后, 前半段主要由承當(dāng)單位自籌經(jīng)費(fèi)實(shí) 施,資助 20%的專項(xiàng)經(jīng)費(fèi) ; 經(jīng)中期評(píng)估確認(rèn),工程進(jìn)展順利、能夠到達(dá)預(yù)期目標(biāo)、科研管理 和工程經(jīng)費(fèi)管理標(biāo)準(zhǔn)的工程,后半段再主要由專項(xiàng)經(jīng)費(fèi)給予支持。4. 立項(xiàng)要求4.1 工程根本要求1國內(nèi)外需求迫切, 目標(biāo)儀器設(shè)備應(yīng)用單位明確且具有代表性, 相關(guān)原理、 方法或技術(shù) 已取得重要突破,能形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的核心部件與科學(xué)儀器產(chǎn)品。2目標(biāo)核心部件與儀器設(shè)備整體設(shè)計(jì)完整、 結(jié)構(gòu)清晰合理, 技術(shù)路線 含軟件開發(fā) 可行, 工程化方案、應(yīng)用開發(fā)方案可操作性
8、強(qiáng) ; 工程質(zhì)量管理和產(chǎn)業(yè)化籌劃、企業(yè)資質(zhì)和能力、知 識(shí)產(chǎn)權(quán)和利益分配等非技術(shù)內(nèi)容可行。3擁有本領(lǐng)域的核心關(guān)鍵人才,且具有相關(guān)理論研究、設(shè)計(jì)、工程工藝、系統(tǒng)集成、應(yīng) 用研究以及產(chǎn)業(yè)化研究等相關(guān)方面結(jié)構(gòu)合理的人員隊(duì)伍。4對(duì)核心部件類工程: 原那么上承當(dāng)單位主營(yíng)業(yè)務(wù)為核心部件生產(chǎn)企業(yè), 工程實(shí)施后能夠 獲得全部自主知識(shí)產(chǎn)權(quán), 技術(shù)就緒度到達(dá) 7級(jí)以上, 并在相關(guān)儀器主要生產(chǎn)企業(yè)得到廣泛應(yīng) 用,形成一定市場(chǎng)規(guī)模,產(chǎn)生直接經(jīng)濟(jì)效益。5對(duì)儀器整機(jī)類工程: 充分利用國家科技方案 專項(xiàng)、基金 或其它渠道, 已取得的相關(guān) 檢測(cè)原理、 方法、技術(shù)或科研裝置成果, 開展系統(tǒng)集成、 工程技術(shù)研究和應(yīng)用開發(fā), 形成“
9、皮 實(shí)耐用、 功能豐富的重大科學(xué)儀器設(shè)備產(chǎn)品,并效勞科學(xué)研究和經(jīng)濟(jì)社會(huì)開展。 根據(jù)科學(xué) 儀器設(shè)備開發(fā)和應(yīng)用的自身規(guī)律, 每一個(gè)工程應(yīng)包括儀器開發(fā) 含軟件開發(fā) 、應(yīng)用開發(fā)、 工 程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)等類型工作。 除儀器設(shè)備開發(fā)單位外, 產(chǎn)業(yè)化單位、 應(yīng)用單位也應(yīng)從 工程設(shè)計(jì)開始, 全程參與工程的組織和實(shí)施工作。 工程實(shí)施三年后, 目標(biāo)儀器技術(shù)就緒度達(dá) 到 7 級(jí)以上,可形成一定市場(chǎng)規(guī)模,產(chǎn)生直接經(jīng)濟(jì)效益。4.2 企業(yè)承當(dāng)工程的根本要求(1) 在中國大陸境內(nèi)注冊(cè),具有較強(qiáng)科學(xué)儀器設(shè)備研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化能力,運(yùn)行管理標(biāo)準(zhǔn), 具有獨(dú)立法人資格 ;(2) 經(jīng)高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)定或到達(dá)同等條件 ;(3) 工程與企業(yè)
10、重點(diǎn)開展方向相符 ;(4) 與工程參與單位具有前期合作根底 ;(5) 與工程參與單位事先簽署具有法律約束力的協(xié)議,明確任務(wù)分工、國撥經(jīng)費(fèi)分配、 成果和識(shí)產(chǎn)權(quán)歸屬及利益分配機(jī)制 ;(6) 企業(yè)投入的自籌研發(fā)經(jīng)費(fèi)與國撥經(jīng)費(fèi)投入比例不低于1:1。投入的自籌研發(fā)經(jīng)費(fèi)應(yīng)用于工程研發(fā)活動(dòng),而不得用于生產(chǎn)線、廠房等產(chǎn)業(yè)化能力建設(shè)。4.3 工程組織要求(1) 工程推薦單位要加強(qiáng)本部門、本地區(qū)、本行業(yè)領(lǐng)域科學(xué)儀器設(shè)備開展的頂層設(shè)計(jì)、 資源整合和扶持培育。(2) 工程推薦單位要組織工程牽頭單位,會(huì)同產(chǎn)、學(xué)、研、用等各方面,積極開展工程 設(shè)計(jì)和籌劃工作。在工程設(shè)計(jì)時(shí),既要注重技術(shù)問題,也要注重工程化和產(chǎn)業(yè)化籌劃、
11、企業(yè) 資質(zhì)和能力以及知識(shí)產(chǎn)權(quán)和利益分配機(jī)制等非技術(shù)問題。(3) 工程推薦單位要催促工程承當(dāng)單位在工程提出時(shí)落實(shí)法人負(fù)責(zé)制、落實(shí)工程配套條件; 催促工程承當(dāng)單位聯(lián)合國內(nèi)外優(yōu)勢(shì)力量共同開展工程設(shè)計(jì)和實(shí)施。(4) 工程推薦單位在組織推薦過程中要充分發(fā)揮專家的咨詢作用。 除考慮技術(shù)可行性外, 還應(yīng)重點(diǎn)關(guān)注工程化和產(chǎn)業(yè)化籌劃、 企業(yè)資質(zhì)和能力以及知識(shí)產(chǎn)權(quán)和利益分配機(jī)制等非技術(shù) 內(nèi)容。在此根底上,擇優(yōu)向科技部推薦工程。三、主要任務(wù)1. 核心關(guān)鍵部件開發(fā)與應(yīng)用攻克源部件、 探測(cè)器與傳感器、 分析別離與控制部件等科學(xué)儀器核心部件的關(guān)鍵技 術(shù),研究部件的核心關(guān)鍵材料以及生產(chǎn)工藝, 形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、 質(zhì)量穩(wěn)
12、定可靠的核心 關(guān)鍵部件。共性考核指標(biāo): 目標(biāo)產(chǎn)品應(yīng)通過可靠性測(cè)試和異地測(cè)試, 技術(shù)就緒度到達(dá) 9 級(jí),至少應(yīng) 用于 2 種類型儀器。承當(dāng)單位數(shù)不超過 6 個(gè)。優(yōu)化空心陰極燈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),研究合金陰極研制空心陰極燈性能測(cè)試特殊裝置, 研究開展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā), 形成工程原那么上,每個(gè)工程下設(shè)任務(wù)數(shù)不超過 6 個(gè),1.1 源部件1.1.1 光源(1) 高強(qiáng)度、高穩(wěn)定空心陰極燈研究?jī)?nèi)容: 研發(fā)高強(qiáng)度、 高穩(wěn)定空心陰極燈, 材料組成及制作工藝, 改善空心陰極燈生產(chǎn)工藝, 影響噪聲、 同心度等關(guān)鍵指標(biāo)的因素及改善方法?;彤a(chǎn)業(yè)化能力。為原子吸收光譜儀和原子熒光光譜儀等儀器提供核心部件??己酥笜?biāo):穩(wěn)定性
13、指標(biāo),銅燈在 30 min 內(nèi)基線漂移 0.2%,其它元素?zé)粼?5 min 內(nèi)基線 漂移0.6%;普通元素?zé)舻氖褂脡勖? 6000 mA.h,易熔、易揮發(fā)元素?zé)? 4000 mA.h;改善空 心陰極燈性能,燈噪聲三±0.2% T,燈旋轉(zhuǎn)360。的能量偏移10%應(yīng)提出明確合理的可靠性指標(biāo)要求,工程完成時(shí),目標(biāo)產(chǎn)品應(yīng)參照國家或行業(yè)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測(cè)試。創(chuàng)造專利3 項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷量到達(dá) 2 萬支。實(shí)施年限:不超過 3 年1.1.2 射頻源(1)ICP 射頻源研究?jī)?nèi)容: 開發(fā) ICP 射頻源,研究大功率射頻自激發(fā)生、 頻率鎖相、功率調(diào)諧和高效散 熱技術(shù),開發(fā)能夠有效的
14、降低等離子體電勢(shì)的全固態(tài)自激式電感耦合等離子體射頻源; 實(shí)施ICP 射頻源的工程化和工藝化開發(fā),形成可靠的產(chǎn)品,解決相關(guān)國產(chǎn)儀器對(duì)高性能射頻源關(guān) 鍵部件需求的難題??己酥笜?biāo):工作頻率 27.12 MHz,頻率穩(wěn)定度土 0.02%,功率輸出0.61.6 kW 可調(diào)。創(chuàng)造專利 3項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷量到達(dá) 1 00只以上。實(shí)施年限:不超過 3 年(2) 雙相射頻源研究?jī)?nèi)容: 開發(fā)雙相射頻源, 研究雙相射頻源高精度驅(qū)動(dòng)與高穩(wěn)定反響、 過載保護(hù)電路、 輔助激發(fā)信號(hào)耦合與雙相射頻電源數(shù)字控制技術(shù), 開發(fā)能夠精密驅(qū)動(dòng)線性離子阱的雙相射頻 高壓電源 ; 實(shí)施雙相射頻源的工程化和工藝化開發(fā)
15、,形成穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品,有效解決相關(guān)國 產(chǎn)儀器對(duì)高性能雙相射頻源關(guān)鍵部件的需求??己酥笜?biāo):射頻高壓最大 2 kVpp,頻率0.92 MHz,輔助信號(hào)帶寬 50 kHz450 kHz; 射頻高壓最大10 kVpp,頻率1 M1.2 MHz輔助信號(hào)帶寬10 k550 kHz。創(chuàng)造專利3項(xiàng), 技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售到達(dá) 100 套。實(shí)施年限:不超過 3 年1.1.3 新型質(zhì)譜離子源研究?jī)?nèi)容:研究敞開式離子化新技術(shù),研制新型電噴霧、介質(zhì)阻擋放電、激光/ 氣體輔助噴霧和高度集成化敞開式的離子源, 開展新離子化應(yīng)用方法開發(fā)和數(shù)據(jù)庫構(gòu)建, 實(shí)施新離 子源的工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā),滿足原位實(shí)時(shí)快速
16、分析、單細(xì)胞分析、質(zhì)譜成像分析、超痕量 樣品分析需求,推動(dòng)我國質(zhì)譜離子化技術(shù)與裝置的跨越式開展??己酥笜?biāo): 形成 6 種以上具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新型敞開式質(zhì)譜離子源產(chǎn)品, 有力支撐食 品平安、 環(huán)境應(yīng)急、 新藥研發(fā)、 現(xiàn)場(chǎng)快檢、 生物研究、 質(zhì)譜成像、 公共平安等質(zhì)譜檢測(cè)應(yīng)用。 形成敞開式質(zhì)譜離子源工藝化、產(chǎn)業(yè)化基地,實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。創(chuàng)造專利3項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售到達(dá) 40 套以上。實(shí)施年限:不超過 3 年有關(guān)說明:每個(gè)工程形成 5種以上不同的離子源產(chǎn)品。1.2 探測(cè)器與傳感器1.2.1 光探測(cè)器1 光電倍增管研究?jī)?nèi)容: 開發(fā)側(cè)窗型、 端窗型光電倍增管, 研究側(cè)窗型、端窗型光
17、電倍增管的結(jié)構(gòu)設(shè) 計(jì),優(yōu)化陰極材料及倍增極材料配方和制作工藝, 研究包括激活工藝、 封裝工藝等在內(nèi)的各 環(huán)節(jié)生產(chǎn)工藝, 探究影響光電倍增管靈敏度、 暗電流、 響應(yīng)時(shí)間等關(guān)鍵性能的因素及改良方 法,進(jìn)行工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā),為分析儀器、輻射測(cè)量?jī)x器、高能物理研究、石油測(cè)井及軍 用設(shè)備提供關(guān)鍵部件??己酥笜?biāo):陽極光照靈敏度?300 A/lm典型值;最大暗電流50 nA30分鐘后;增益106。創(chuàng)造專利 3 項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售到達(dá) 500 支。實(shí)施年限:不超過 3 年2 太赫茲探測(cè)器研究?jī)?nèi)容: 研制基于柵控二維電子氣的新型室溫太赫茲探測(cè)器, 突破場(chǎng)效應(yīng)混頻探測(cè)器 芯片及其模塊制
18、造的關(guān)鍵技術(shù), 實(shí)現(xiàn)全國產(chǎn)化。 建立定量化的場(chǎng)效應(yīng)混頻探測(cè)器模型和模擬 仿真技術(shù) ; 從外延材料、天線設(shè)計(jì)、阻抗匹配到模塊化集成實(shí)現(xiàn)場(chǎng)效應(yīng)混頻探測(cè)器的優(yōu)化設(shè) 計(jì); 開發(fā)納米柵極及其低漏電率的工藝制備技術(shù); 研究二維電子氣場(chǎng)效應(yīng)閾值電壓的調(diào)控技術(shù),研制兩端結(jié)構(gòu)的高靈敏度太赫茲場(chǎng)效應(yīng)混頻探測(cè)器??己酥笜?biāo):研制成 0.11.1 THz波段內(nèi)系列化的室溫太赫茲場(chǎng)效應(yīng)混頻探測(cè)器芯片及其模塊,滿足室溫下高靈敏度的太赫茲波探測(cè)需求。 0.11 、0.22、0.34、0.65 和 0.90 THz 探測(cè)器芯片的等效噪聲功率小于10 pW/Hz1/2;響應(yīng)度大于2800 V/W;帶寬大于80 GHz;響應(yīng)時(shí)間小
19、于 100 ns; 硅透鏡和波導(dǎo)喇叭集成的兩種探測(cè)器模塊。 創(chuàng)造專利 3項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3項(xiàng)。 工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售到達(dá) 100套。實(shí)施年限:不超過 3 年1.2.2 輻射探測(cè)器研究?jī)?nèi)容:攻克高密度快衰減無機(jī)閃爍晶體生長(zhǎng)及陣列加工制備、PIPS 探測(cè)器的高阻硅材料研制、 吸收區(qū)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及漏電流工藝控制等關(guān)鍵技術(shù), 建立輻射探測(cè)器成套的完整生 產(chǎn)、測(cè)試工藝,形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高性能 高能量分辨率、高空間分辨率、高時(shí)間分 辨率、高可靠性輻射探測(cè)器系列產(chǎn)品,開展工程化和產(chǎn)業(yè)化研究,形成批量生產(chǎn)能力,為 醫(yī)療診斷儀器、工業(yè)無損探測(cè)儀器和核輻射環(huán)境檢測(cè)儀器提供核心關(guān)鍵部件??己酥笜?biāo): 輻射探測(cè)器實(shí)現(xiàn)
20、國產(chǎn)化和批量生產(chǎn), 根本滿足我國科學(xué)儀器和工業(yè)應(yīng)用對(duì)輻射探測(cè)器的需要。閃爍晶體探測(cè)器光輸出?45000 ph/MeV;衰減時(shí)間w 100 ns;密度?6.5g/cc;能量分辨率w 9%66keV;陣列規(guī)格:4X 416X 16;PIPS輻射探測(cè)器靈敏面積 13 mrm暗電流小于2 nA;擊穿電壓大于100 V。位置靈敏型閃爍探測(cè)器像素面積1 mmK 1 mm6 mmx 6 mm;暗電流500 nA;脈沖恢復(fù)時(shí)間50 ns;幾何填充因子60%;PDE在380 nm550 nm范 圍內(nèi)最小值不小于 30%;批量生產(chǎn) 90%以上產(chǎn)品雪崩電壓偏差 ±0.2 V; 雪崩電壓隨溫度變化 系數(shù)50
21、 mV/C ;后脈沖0.5%;微像素間串?dāng)_10%;本征位置分辨率w 0.5 mm能量分辨率能量 分辨率w 12%662 keV時(shí)間分辨率w 300 ps。X射線成像探測(cè)器靈有效靈敏面積?100 x 100mrl, CMO讀出工藝;X射線空間分辨率?15 lp/mm能量響應(yīng)范圍:30160 keV。創(chuàng)造專利 3 項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售到達(dá) 1000 支。實(shí)施年限:不超過 3 年1.2.3 物理量探測(cè)器(1) 超高溫溫度和壓力傳感器研究?jī)?nèi)容:攻克信號(hào)背景噪聲抑制、高速動(dòng)態(tài)光譜采集、高精度信號(hào)反演等關(guān)鍵技術(shù), 研究超高溫環(huán)境下工作材料試驗(yàn)、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、 加工制作工藝、 校準(zhǔn)與標(biāo)定
22、方法,解決超高溫 環(huán)境下溫度、 壓力和振動(dòng)參數(shù)原位測(cè)量問題, 研究超高溫環(huán)境下溫度和壓力傳感器靜態(tài)和動(dòng) 態(tài)特性測(cè)試技術(shù), 開發(fā)高性光路系統(tǒng)、 信號(hào)采集系統(tǒng)以及溫度反演軟件等, 解決長(zhǎng)期制約我 國燃煤燃?xì)忮仩t、 航空發(fā)動(dòng)機(jī)等試驗(yàn)參數(shù)原位測(cè)量問題, 為我國自主研制航空發(fā)動(dòng)機(jī)、 高超 發(fā)動(dòng)機(jī)、重型燃?xì)廨啓C(jī)等先進(jìn)能源動(dòng)力系統(tǒng)提供有力支撐??己酥笜?biāo):對(duì)于高溫溫度傳感器,溫度測(cè)量范圍一501800 C,響應(yīng)時(shí)間200 ms,綜合精度土 5%;對(duì)于高溫壓力傳感器考核指標(biāo),工作溫度范圍一501200 C,頻響范圍:0200 Hz,壓力測(cè)量范圍 0400 kP,綜合精度土 5%( 50500 C )、±
23、; 10%(5001200 C ); 對(duì)于高溫振動(dòng)傳感器工作溫度范圍 01200 C,頻響范圍01 MHz,振動(dòng)測(cè)量量程10 g。 創(chuàng)造專利 3項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售到達(dá) 1000套。實(shí)施年限:不超過 3 年(2) 高端應(yīng)變式傳感器研究?jī)?nèi)容:攻克應(yīng)變式傳感器多因素耦合計(jì)量特性仿真設(shè)計(jì)理論; 研究高性能彈性體、應(yīng)變計(jì)、粘貼劑及傳感器生產(chǎn)工藝 ; 研究高穩(wěn)定度傳感器檢測(cè)技術(shù) ; 形成自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端 應(yīng)變式傳感器及其檢測(cè)技術(shù)。 并在此根底上進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化開發(fā), 滿足我國力學(xué)量值傳遞、 航空 航天臺(tái)架測(cè)試、 工業(yè)生產(chǎn)過程控制等領(lǐng)域?qū)α鞲衅鞯男枨螅?打破關(guān)鍵領(lǐng)域國外產(chǎn)品的壟斷, 為
24、中國制造 2025 提供測(cè)量技術(shù)支撐??己酥笜?biāo):量程為1 kN2 MN,應(yīng)用于國內(nèi)量值傳遞領(lǐng)域的參考標(biāo)準(zhǔn)傳感器或傳遞標(biāo) 準(zhǔn)傳感器,技術(shù)指標(biāo)到達(dá)國際先進(jìn)水平。線性w0.01% FS;重復(fù)性w 0.002% FS;復(fù)現(xiàn)性w0.005% FS;長(zhǎng)期穩(wěn)定度w 0.005%/年FS實(shí)現(xiàn)量值傳遞等領(lǐng)域使用的高端傳感器的產(chǎn)業(yè)化;促進(jìn)傳感器產(chǎn)品質(zhì)量的提高。創(chuàng)造專利 3項(xiàng), 軟件著作權(quán) 3 項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3項(xiàng)。工程驗(yàn)收后 三年內(nèi)年銷售到達(dá) 50套。實(shí)施年限:不超過 3 年(3) 精密位置傳感器研發(fā)內(nèi)容:針對(duì)高端數(shù)控機(jī)床、3D打印、幾何量計(jì)量、精密轉(zhuǎn)臺(tái)等應(yīng)用需求,開發(fā)大量程、高精度金屬光柵, 突破金屬光柵納米壓印
25、成型工藝、 新型光柵結(jié)構(gòu)、 高性能光柵讀數(shù)、 光柵校準(zhǔn)和誤差補(bǔ)償?shù)汝P(guān)鍵技術(shù), 實(shí)現(xiàn)大量程、 高精度長(zhǎng)度測(cè)量與高精度動(dòng)態(tài)角度測(cè)量等性 能,在航空航天、機(jī)器人、機(jī)床等行業(yè)開展示范應(yīng)用,在此根底上開展工程化研發(fā),開發(fā)具 有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的國產(chǎn)高精度金屬光柵, 替代國外進(jìn)口, 為我國先進(jìn)制造及制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí) 提供關(guān)鍵部件??己酥笜?biāo):平面光柵精度土 0.5卩m/m創(chuàng)造專利3項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年 內(nèi)年銷售到達(dá) 200 個(gè)。實(shí)施年限:不超過 3 年1.2.4 化學(xué)生物傳感器研究?jī)?nèi)容: 攻克基于紅外特征分子光譜、 集成光學(xué)免疫傳感以及電化學(xué)測(cè)量的關(guān)鍵技術(shù);研究高特異性、 高親和力植物激素識(shí)別分子的方
26、法和技術(shù), 并建立相應(yīng)的生物傳感測(cè)定技術(shù);研究基于基因工程生物放大原理的特異型生物傳感器、主要植物激素的高靈敏生物傳感器, 建立特定結(jié)構(gòu)分子的識(shí)別元件庫。 建成基于傳感器的成套高靈敏在線測(cè)量系統(tǒng), 滿足研究大 氣、環(huán)境、疾病等領(lǐng)域二次污染形成機(jī)理研究和生物醫(yī)學(xué)研究的需求??己酥笜?biāo):針對(duì)含氮化合物N20等大氣氣體檢測(cè)支持多檔量程,在010 ppm量程,分辨率到達(dá) 0.001 ppm ,氣體類檢測(cè)穩(wěn)定運(yùn)行時(shí)間不少于 3 年,期間免校準(zhǔn) ; 基于免疫或核酸 適配體的電、光、磁傳感器,針對(duì)血液或體液特定分子開展快速檢驗(yàn),如甲胎蛋白、肌紅蛋 白等標(biāo)志物等特診分子, 特征分子體系不少于 30 種標(biāo)志物 ;
27、 基于基因工程生物放大原理的新 型生物傳感器,實(shí)現(xiàn)不少于 10種腫瘤標(biāo)志物等特定生物分子目標(biāo)檢測(cè) ;10 種主要植物激素 的高靈敏生物傳感器。創(chuàng)造專利 3 項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售到達(dá) 500 套。實(shí)施年限:不超過 3 年1.3 分析別離與控制部件1.3.1 光柵研究?jī)?nèi)容: 開發(fā)體光柵, 研究寬光譜基底材料的配方及制備工藝技術(shù)、 高效率體全息曝 光記錄技術(shù)、 高損傷閾值技術(shù)和熱定影技術(shù), 研究高光譜選擇性和高角度選擇性的體全息光 柵性能優(yōu)化與制作工藝。 進(jìn)行工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā), 為激光器行業(yè)、 精密制造行業(yè)和國防工 業(yè)提供核心關(guān)鍵部件??己酥笜?biāo): 完成體光柵在 3 種以上典
28、型儀器的集成應(yīng)用示范, 衍射效率 >95%,適用光譜2 范圍400 nm2600 nm,光譜透過率>90%損傷閾值20 J/cm。創(chuàng)造專利3項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售到達(dá) 80 套。實(shí)施年限:不超過 3 年1.3.2 泵(1) 高精度超高壓液相泵研究?jī)?nèi)容: 開發(fā)高精度超高壓液相泵, 研究耐高壓泵的制作工藝, 攻克降低流量脈動(dòng)和 死體積的關(guān)鍵技術(shù), 研究影響產(chǎn)品可靠性的因素, 開展工程化和產(chǎn)業(yè)化研究, 形成批量生產(chǎn) 能力,為國產(chǎn)超高壓液相色譜儀開展提供核心關(guān)鍵部件??己酥笜?biāo):最大工作壓力? 100 MPa(1 mL/min流速);流量準(zhǔn)確度w 1.0%;流量精度w0
29、.06% RSD;定條件下連續(xù)運(yùn)行 1000 h不漏液;死體積小于微升級(jí)別。滿足超高相液相色譜 梯度分析需求,故障率低。創(chuàng)造專利 3 項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售到達(dá) 100 套。實(shí)施年限:不超過 3 年(2) 精密微量注射泵研究?jī)?nèi)容: 開發(fā)精密微量注射泵, 研究微量流體流量控制的準(zhǔn)確性及穩(wěn)定性的方法, 研 究制作工藝及制作材料, 開展可靠性設(shè)計(jì)與測(cè)試, 為流動(dòng)注射分析儀、 液相色譜儀、質(zhì)譜儀 等提供關(guān)鍵部件,滿足多種實(shí)驗(yàn)需求??己酥笜?biāo):流量范圍為0.0150 mL;準(zhǔn)確度0.5%;精度0.05% CV;不漏液,耐腐蝕。創(chuàng)造專利 3項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售到達(dá)
30、 500套。實(shí)施年限:不超過 3 年1.3.3 流量控制部件研究?jī)?nèi)容: 開發(fā)高精度、 高穩(wěn)定性、 反控能力強(qiáng)的電子流量控制系統(tǒng), 研究流量控制精 度及準(zhǔn)確性的影響因素, 攻克關(guān)鍵材料、 關(guān)鍵零部件、算法等方面的關(guān)鍵技術(shù),研究改善流 量及壓力穩(wěn)定時(shí)間的方法。提升國產(chǎn)氣相色譜儀智能化程度及性能??己酥笜?biāo):流量及壓力穩(wěn)定時(shí)間w5 s;流量控制精度w 0.001 psi;滿量程偏差w 5%具備溫度補(bǔ)償功能。創(chuàng)造專利 3 項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售到達(dá) 500 套。實(shí)施年限:不超過 3 年1.3.4 自動(dòng)進(jìn)樣器研究?jī)?nèi)容: 開發(fā)高可靠、 高性能自動(dòng)進(jìn)樣器, 研究產(chǎn)品制作工藝, 研究影響質(zhì)
31、量可靠性 的因素和保障措施, 開發(fā)頂空進(jìn)樣、 固相微萃取、 吹掃捕集、 在線過濾、 富集和分析等功能。 為質(zhì)譜、色譜等化學(xué)分析儀器、生命科學(xué)儀器配套??己酥笜?biāo):進(jìn)樣重復(fù)性 RSD0.2%樣品殘留0.01%,定位精度優(yōu)于0.2 mm。創(chuàng)造專利3 項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售到達(dá) 100 套。實(shí)施年限:不超過 3 年1.3.5 樣品前處理儀研究?jī)?nèi)容:攻克在線提取、濃縮凈化、蒸餾別離的多元自動(dòng)化控制、在線聯(lián)機(jī)、微痕量破碎等前處理關(guān)鍵技術(shù),研制智能加樣、加載、別離、液面分層感應(yīng)、色度識(shí)別、微流控等 關(guān)鍵部件和模塊, 開發(fā)農(nóng)、 食產(chǎn)品平安、 環(huán)保等領(lǐng)域的樣品前處理的往復(fù)式在線數(shù)控提取儀、
32、 多道自動(dòng)濃縮儀、程序消解儀、微流控核酸提取儀、 高通量微量破碎儀、DNA富集“磁力槍 及多功能集成處理系統(tǒng), 軟件研究基于高精度激光光衍射算法, 實(shí)現(xiàn)單元獨(dú)立控制和多元集 成控制,到達(dá)破碎、消解、提取及濃縮等操作全程自動(dòng)化,開展工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā),可與 液相色譜、氣相色譜、質(zhì)譜、定量PCR儀、基因測(cè)序儀等聯(lián)機(jī)匹配??己酥笜?biāo):研發(fā)前處理儀器不少于 10 種,實(shí)現(xiàn)色度識(shí)別數(shù)字化,高壓制樣、富集等一 體化, 多道處理連續(xù)化。 回收率、重復(fù)性等技術(shù)指標(biāo)符合相關(guān)分析方法標(biāo)準(zhǔn)要求, 滿足食品 平安、環(huán)保、生物技術(shù)等領(lǐng)域樣品前處理快速、高通量、自動(dòng)化需求。創(chuàng)造專利3 項(xiàng),軟件著作權(quán) 3 項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3
33、項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)銷售到達(dá)500 套。實(shí)施年限:不超過 5 年2. 高端通用儀器工程化及應(yīng)用開發(fā)攻克分析儀器、物理性能測(cè)量?jī)x器、電子測(cè)量?jī)x器和計(jì)量?jī)x器開發(fā)的關(guān)鍵技術(shù)。 共性考核指標(biāo):目標(biāo)產(chǎn)品應(yīng)通過可靠性測(cè)試和異地測(cè)試,技術(shù)就緒度不低于8 級(jí)。原那么上,每個(gè)工程下設(shè)任務(wù)數(shù)不超過 8 個(gè),承當(dāng)單位數(shù)不超過 10 個(gè)。2.1 分析儀器2.1.1 基于射線類的顯微成像儀研究?jī)?nèi)容:攻克多能譜光子計(jì)數(shù)X射線成像、多模態(tài) X射線成像、X射線成像探測(cè)器封裝和集成工藝等關(guān)鍵技術(shù),開發(fā)基于多能譜光子技術(shù) X射線的圖像重建算法和處理軟件,形成具有自主只是產(chǎn)權(quán)、 功能健全、 質(zhì)量穩(wěn)定可靠的基于射線類顯微成像儀。 并
34、在此技術(shù)上開 展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā), 解決小型化和產(chǎn)品化問題, 形成工程化和產(chǎn)業(yè)化能力, 實(shí)現(xiàn)生 物體內(nèi)器官和組織的深度、密度、體積等參數(shù)快速采集和全方位成像或結(jié)構(gòu)件的顯微成像, 為核醫(yī)學(xué)研究、工業(yè)無損探測(cè)和平安檢查等領(lǐng)域提供技術(shù)支撐??己酥笜?biāo):分辨率優(yōu)于 3.6 lp/mm,最高計(jì)數(shù)率108/mnfe,多能譜甄選閾值 8能區(qū),單2系統(tǒng)成像面積400 mm,并可擴(kuò)展拼接,單系統(tǒng)像素單元256X 256像素尺寸100卩m創(chuàng)造專利 3 項(xiàng),軟件著作權(quán) 3 項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)產(chǎn)值到達(dá) 1.5 億元。實(shí)施年限:不超過 5 年2.1.2 高分辨熒光顯微成像儀研究?jī)?nèi)容:攻克光切面成
35、像、動(dòng)態(tài)成像、熒光標(biāo)記與共定位、三維空間復(fù)原、定量或半 定量分析、單分子熒光探測(cè)、熒光漂白后恢復(fù)技術(shù) ; 以及高速高精度掃描控制技術(shù)。研制復(fù) 眼照明、高精度 Z 軸調(diào)焦、微分干預(yù)、熒光濾色塊、平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡等關(guān)鍵部件和模塊。 開發(fā)四維全自動(dòng)分析測(cè)量軟件。 形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、 功能健全、 質(zhì)量穩(wěn)定可靠的高分辨 熒光微分干預(yù)顯微鏡。 進(jìn)行工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā), 實(shí)現(xiàn)對(duì)活體組織微觀結(jié)構(gòu)、 各種腫瘤細(xì)胞 的顯微成像,為細(xì)胞組學(xué)、基因組學(xué)、蛋白組學(xué)、腫瘤學(xué)等研究提供技術(shù)支撐。考核指標(biāo): 具有復(fù)眼照明、 高精度調(diào)焦、 微分干預(yù)、 圖像分析, 四維全自動(dòng)分析等功能, 平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡,最高100倍,數(shù)值
36、孔徑大于1.4,分辨率0.2卩m創(chuàng)造專利3項(xiàng),軟件著作權(quán) 3 項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值到達(dá) 3000 萬元。實(shí)施年限:不超過 5 年2.1.3 小型高靈敏度低能射線納米尺度三維成像儀器研究?jī)?nèi)容: 攻克超高靈敏度低能射線探測(cè)、 超高增益光信號(hào)采集、 系統(tǒng)小型化等關(guān)鍵技 術(shù),研制激光等離子體低能量射線發(fā)生器、探測(cè)器等關(guān)鍵部件,開發(fā)組織深度、密度、體積 等信息的快速采集軟件系統(tǒng),構(gòu)建相關(guān)數(shù)據(jù)庫,形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、功能完備、質(zhì)量穩(wěn) 定可靠的小型化、靈敏度高、分辨率高、 成像速度快的低能射線納米尺度三維成像儀。 開展 工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā), 應(yīng)用于生物體內(nèi)器官、 組織的空間結(jié)構(gòu)、
37、物理性質(zhì)等信息的快速采集、 分析和融合??己酥笜?biāo):可實(shí)現(xiàn)單光子級(jí)別檢測(cè),光電信號(hào)增益大于106,在2D成像時(shí)間低于30 s、3D成像時(shí)間低于15 min的情況下分辨率優(yōu)于 50 nm。創(chuàng)造專利3項(xiàng),軟件著作權(quán)3項(xiàng)。項(xiàng) 目驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值到達(dá) 5000 萬元。實(shí)施年限:不超過 5 年2.1.4 高分辨共軛激光顯微斷層成像儀研究?jī)?nèi)容:攻克共軛激光顯微高分辨及快速成像關(guān)鍵技術(shù),開發(fā)高靈敏度弱光探測(cè)器、 高精度掃描機(jī)電平臺(tái)等關(guān)鍵部件和模塊, 開發(fā)超快響應(yīng)速度、 超高探測(cè)效率、 超寬光譜探測(cè) 范圍的探測(cè)系統(tǒng)。開發(fā)相關(guān)軟件系統(tǒng)和數(shù)據(jù)庫,形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、功能完備、質(zhì)量穩(wěn) 定可靠的高分辨共軛激光顯微斷
38、層成像儀,實(shí)現(xiàn)該儀器圖像分辨率和成像速度的同時(shí)提高, 滿足對(duì)活體組織結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)、定量、三維的顯微觀測(cè)需求。考核指標(biāo):光電探測(cè)靈敏度到達(dá)單光子級(jí)別、光譜有效探測(cè)范圍350 nm850 nm、光探測(cè)效率60%成像響應(yīng)時(shí)間 80 ns、成像速度300幀/秒、平面分辨率 0.15卩m軸向分辨 率10 n m 。創(chuàng)造專利 3項(xiàng),軟件著作權(quán) 3項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值到達(dá) 5000萬元。實(shí)施年限:不超過 5 年2.2 物理性能測(cè)試儀器2.2.1 差式掃描量熱儀研究?jī)?nèi)容: 攻克寬幅變溫與控溫、高溫磁場(chǎng)耦合、 磁環(huán)境精密測(cè)量、微型加熱與樣品固 定等關(guān)鍵技術(shù), 研制寬幅變溫控溫和磁熱電耦合等關(guān)鍵部件, 開展磁場(chǎng)
39、環(huán)境熱分析儀器 綜合集成, 開發(fā)溫度和磁場(chǎng)精確控制、信號(hào)傳輸補(bǔ)償與校正、 數(shù)據(jù)分析等軟件,豐富儀器功 能,形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、功能健全、 質(zhì)量穩(wěn)定可靠的差式掃描量熱儀。 并在此技術(shù)上開 展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā), 解決寬幅變溫差式掃描量熱儀器的工程化和產(chǎn)業(yè)化問題, 形成 可商業(yè)化、 通用型熱分析儀器的系列化開展, 滿足特征溫度、 反響熱、 熔融與結(jié)晶、 結(jié)晶度、 熱穩(wěn)定性、 固化、 玻璃化轉(zhuǎn)變、 比熱、 質(zhì)量變化、 熱膨脹系數(shù)、 反響動(dòng)力學(xué)等參數(shù)測(cè)量要求, 為精密測(cè)量和制造行業(yè)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐??己酥笜?biāo):溫度范圍100 K973 K;溫度重復(fù)性土 0.1 K;溫度準(zhǔn)確度0.1 K;升/降溫速
40、 率 0.01 K/min 50 K/min 。創(chuàng)造專利 3項(xiàng),軟件著作權(quán) 3項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3項(xiàng)。工程驗(yàn)收后 三年內(nèi)年產(chǎn)值到達(dá) 1000 萬元。實(shí)施年限:不超過 5 年2.2.2 高精度數(shù)字散斑干預(yù)檢測(cè)儀研究?jī)?nèi)容: 研究超光滑、 超精密、 超高溫零部件形貌和誤差以及相關(guān)材料的力學(xué)性能測(cè) 量、測(cè)試方法及儀器設(shè)備, 攻克三維特征高精度動(dòng)態(tài)重構(gòu)、 全息干預(yù)條紋的高精度數(shù)值衍射 算法和基于散斑技術(shù)的超高溫下材料性能測(cè)試等關(guān)鍵技術(shù), 研制相干與非相干照明光源、 定 向加熱激光、動(dòng)態(tài)加載、 數(shù)據(jù)采集處理等關(guān)鍵部件和模塊,開發(fā)軟件豐富儀器功能,形成具 有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、 功能健全、 質(zhì)量穩(wěn)定可靠的高精度數(shù)字散
41、斑干預(yù)檢測(cè)儀, 并在此技術(shù)上開 展產(chǎn)業(yè)化開發(fā), 實(shí)現(xiàn)常溫和超高溫對(duì)被測(cè)物體的位移、 變形、 振動(dòng)及材料力學(xué)特性等參量的 高精度動(dòng)態(tài)無損檢測(cè)。研究數(shù)字散斑干預(yù)及散斑結(jié)構(gòu)視覺三維測(cè)量系統(tǒng)的集成 ; 不同溫度下 光測(cè)手段和材料高溫本構(gòu)關(guān)系 ; 數(shù)字散斑傳感器的精密標(biāo)定 ; 為不同條件下材料力學(xué)性能精 密測(cè)量和精密制造行業(yè)提供技術(shù)支撐??己酥笜?biāo):測(cè)量靈敏度小于50 nm;測(cè)量面積大于200 mnX 200 mm測(cè)量速度大于20 Hz;實(shí)現(xiàn)常溫和超高溫材料力學(xué)特性的測(cè)量 ; 支持多相機(jī)同步測(cè)量,三維數(shù)據(jù)自動(dòng)拼接。工程完 成時(shí)產(chǎn)品應(yīng)通過可靠性測(cè)試,技術(shù)就緒度到達(dá) 8 級(jí),創(chuàng)造專利 3 項(xiàng),軟件著作權(quán) 3
42、項(xiàng),技術(shù) 標(biāo)準(zhǔn) 3 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)預(yù)計(jì)年產(chǎn)值到達(dá) 2000 萬元。實(shí)施年限:不超過 5 年2.2.3 超光滑外表無損檢測(cè)儀研究?jī)?nèi)容: 研究多幅重疊干預(yù)條紋的相位別離算法, 形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、 功能健全、 質(zhì)量穩(wěn)定可靠的超光滑外表無損檢測(cè)儀。 并在此技術(shù)上開展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā), 解決 質(zhì)量可靠性和產(chǎn)品化問題, 形成工程化和產(chǎn)業(yè)化能力。 開展新型連續(xù)變波長(zhǎng)激光器在相位移 中的應(yīng)用研究, 實(shí)現(xiàn)非透明物體超光滑外表及具有多層超光滑平行反射面透明物體的納米級(jí) 外表形貌高精密測(cè)量,滿足現(xiàn)代工業(yè)對(duì)大面積外表形貌和厚度變化測(cè)量的需要,為L(zhǎng)ED光伏和半導(dǎo)體制造行業(yè)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐??己酥笜?biāo):口徑
43、尺寸?120 mm;測(cè)量精度到達(dá) RM& 20 nm;測(cè)量重復(fù)精度 RM$ 10 nm。 創(chuàng)造專利 3項(xiàng),軟件著作權(quán) 3項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)產(chǎn)值到達(dá) 2億元。實(shí)施年限:不超過 5 年2.2.4 精密光學(xué)器件在線檢測(cè)儀研究?jī)?nèi)容: 攻克尖端光學(xué)器件的精密間距測(cè)量、 偏心檢測(cè)與光學(xué)像質(zhì)評(píng)價(jià)技術(shù)。 探索鏡 片間隙的非接觸式測(cè)量方法,實(shí)現(xiàn)在線的鏡片間距高精度測(cè)量與引導(dǎo)裝調(diào); 研究快速高精度 的光學(xué)器件自動(dòng)偏心測(cè)量方法 ; 開展波前測(cè)量與波前標(biāo)定方法研究,形成基于波前像差的光 學(xué)像質(zhì)判定算法。 根據(jù)大型光學(xué)鏡面、 高數(shù)值孔徑顯微物鏡、 樹脂壓印鏡片等至少三種應(yīng)用 場(chǎng)景的需求, 開發(fā)
44、一體式的綜合測(cè)量?jī)x器設(shè)備, 并在國內(nèi)高端的光學(xué)加工車間、 國家質(zhì)檢系 統(tǒng)、規(guī)?;墓鈱W(xué)元器件生產(chǎn)線,開展應(yīng)用示范, 為精密光學(xué)加工、器件性能檢測(cè)和尖端物 鏡裝調(diào),提供儀器支撐??己酥笜?biāo):口徑尺寸100m m間距測(cè)量精度優(yōu)于 800nm;偏心測(cè)量精度優(yōu)于100 nm;波前測(cè) 量精度RM& 15nm,測(cè)量重復(fù)精度 RM& 7nm;創(chuàng)造專利10項(xiàng),軟件著作權(quán)3項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)2 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi),年產(chǎn)值到達(dá) 3000 萬元,年銷量到達(dá) 100 臺(tái)。實(shí)施年限:不超過 5 年2.3電子測(cè)量?jī)x器2.3.1 高性能多功能矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀研究?jī)?nèi)容: 攻克多端口微波網(wǎng)絡(luò)幅頻和相頻特性測(cè)量、 半導(dǎo)體
45、功率器件非線性特性測(cè)量、 多端口網(wǎng)絡(luò)誤差修正算法、測(cè)量校準(zhǔn)與量值溯源等關(guān)鍵技術(shù) ; 研制多通道大動(dòng)態(tài)范圍低溫漂 混頻、 高隔離度定向耦合、超寬帶低相位噪聲鼓勵(lì)信號(hào)發(fā)生、寬頻帶開關(guān)倍頻濾波、寬帶同軸機(jī)械和電子校準(zhǔn)件等關(guān)鍵部件和模塊 ;開發(fā)多端口網(wǎng)絡(luò)誤差修正算法、非線性網(wǎng)絡(luò)模型、 時(shí)域和頻域分析等測(cè)試軟件,形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、功能健全、 質(zhì)量穩(wěn)定可靠、 不同頻段 不同端口數(shù)量組合的系列化微波矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀。并在此技術(shù)上開展工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā), 解決質(zhì)量可靠性和產(chǎn)品化問題, 形成工程化和產(chǎn)業(yè)化能力, 實(shí)現(xiàn)對(duì)微波毫米波網(wǎng)絡(luò)的S 參數(shù)、X 參數(shù)、噪聲系數(shù)、混頻器件變頻損耗、信號(hào)頻譜等參數(shù)進(jìn)行高精度測(cè)量
46、,為相控陣?yán)走_(dá)、 移動(dòng)通信、 衛(wèi)星通信、 衛(wèi)星導(dǎo)航、 電子偵察與電子對(duì)抗等電子設(shè)備科研生產(chǎn)提供關(guān)鍵技術(shù)支 撐。考核指標(biāo):頻率范圍 100 kHz67 GHz;測(cè)試端口數(shù)量 2和4;系統(tǒng)動(dòng)態(tài)范圍 80128 dB; 具備機(jī)械和電子校準(zhǔn)件、頻譜分析、噪聲系數(shù)測(cè)試、混頻器測(cè)量等附件或功能。創(chuàng)造專利3項(xiàng),軟件著作權(quán) 3 項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值到達(dá) 2000 萬元。實(shí)施年限:不超過 5 年2.3.2 無線通信信道模擬與監(jiān)測(cè)分析儀研究?jī)?nèi)容: 攻克空中接口性能測(cè)試與比擬、 大多普勒頻偏及頻偏變化率模擬、 長(zhǎng)傳輸時(shí) 延模擬、 終端運(yùn)動(dòng)時(shí)延變化模擬、 多天線通信終端多維度無線信道模擬、 無
47、線通信信道自動(dòng) 監(jiān)測(cè)等關(guān)鍵技術(shù), 研制移動(dòng)通信復(fù)雜傳輸環(huán)境模擬、 衛(wèi)星測(cè)控與通信信道模擬、 電子對(duì)抗環(huán) 境模擬等關(guān)鍵部件和模塊,開發(fā)路徑衰減、吸收損耗、遮擋衰落、多徑衰落、多普勒頻移、 傳輸時(shí)延、 群時(shí)延、 多通道天線陣列相位等多種無線信道傳輸特性模擬軟件, 形成具有自主 知識(shí)產(chǎn)權(quán)、 功能健全、 質(zhì)量穩(wěn)定可靠的無線傳輸信道模擬與監(jiān)測(cè)分析儀。 并在此技術(shù)上開展 工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā), 解決質(zhì)量可靠性和產(chǎn)品化問題, 形成工程化和產(chǎn)業(yè)化能力, 實(shí)現(xiàn) 無線傳輸信道傳輸特性定量模擬和多種環(huán)境條件無線信道傳輸特性遍歷模擬,為移動(dòng)通信、 衛(wèi)星通信、衛(wèi)星導(dǎo)航、電子對(duì)抗等電子系統(tǒng)科研生產(chǎn)和工程建設(shè)提供關(guān)鍵技術(shù)
48、支撐??己酥笜?biāo):工作頻段 1 MHz- 18 GHz通道數(shù)8;測(cè)試帶寬125 MHz;每個(gè)信道衰落路徑 48 個(gè)。創(chuàng)造專利 3 項(xiàng),軟件著作權(quán) 3 項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值到達(dá) 2000 萬元。實(shí)施年限:不超過 5 年2.3.3 時(shí)域電磁干擾測(cè)量監(jiān)測(cè)分析儀研究?jī)?nèi)容: 攻克大動(dòng)態(tài)寬帶信號(hào)高速采樣、 多通道并行采樣數(shù)據(jù)動(dòng)態(tài)重構(gòu)、 寬帶信號(hào)并 行數(shù)字檢波等關(guān)鍵技術(shù), 研制高速、 寬帶時(shí)域電磁干擾測(cè)量監(jiān)測(cè)儀,開發(fā)實(shí)時(shí)接收、分析等 軟件,形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的時(shí)域電磁干擾測(cè)量監(jiān)測(cè)分析儀。 并在此技術(shù)上開展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā), 解決質(zhì)量可靠性和產(chǎn)品化問題,
49、形成工程化和 產(chǎn)業(yè)化能力,為大型水面艦艇中復(fù)雜電磁環(huán)境效應(yīng)快速測(cè)量評(píng)估提供關(guān)鍵技術(shù)支撐??己酥笜?biāo):頻率范圍 25 Hz-3.6 GHz、25 Hz-7 GHz、25 Hz-26.5 GHz; 分辨率帶寬 符合CISPR16-1 1和GJB 151B的分辨率帶寬;實(shí)時(shí)分析帶寬?40MHz;30 MHz1 GHz頻段 的測(cè)試速度較傳統(tǒng)電磁干擾測(cè)量接收機(jī)提升千倍以上 ;環(huán)境適應(yīng)性、電磁兼容性和平安性均 滿足GJB3947A 2021中對(duì)三級(jí)設(shè)備的相關(guān)要求。創(chuàng)造專利3項(xiàng),軟件著作權(quán)3項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值到達(dá) 2000 萬元。實(shí)施年限:不超過 5 年2.4 計(jì)量?jī)x器研究?jī)?nèi)容: 研
50、究寬帶大電流測(cè)量?jī)x, 攻克寬頻帶超大電流傳感和校準(zhǔn)技術(shù), 研究寬頻帶 大電流溯源方法,研發(fā)高精度寬頻帶大電流計(jì)量?jī)x器及校準(zhǔn)裝置,形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、 功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的寬帶大電流計(jì)量?jī)x。 在此根底上, 開展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā), 滿足我國高鐵、冶金、電力和國防軍工等行業(yè)對(duì)寬頻帶大電流高精度測(cè)量應(yīng)用和溯源需求, 為精密測(cè)量和制造行業(yè)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。考核指標(biāo):交流和直流大電流測(cè)量范圍 100 kA300 kA,不確定度0.2%0.5%, k=2 , 帶寬?10 kHz。寬頻帶電流頻率測(cè)量范圍 50 Hz2.5 kHz1 MHz電流測(cè)量范圍10 A2 kA, 不確定度:1E 51E 2,
51、 k=2。創(chuàng)造專利3項(xiàng),軟件著作權(quán)3項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)。工程驗(yàn) 收后三年內(nèi)年產(chǎn)值到達(dá) 2000 萬元。實(shí)施年限:不超過 5 年有關(guān)說明:非企業(yè)牽頭申報(bào),參與企業(yè)自籌資金與國撥總經(jīng)費(fèi)投入比例不低于1: 1。3. 專業(yè)重大科學(xué)儀器開發(fā)及應(yīng)用示范重點(diǎn)支持支撐經(jīng)濟(jì)和產(chǎn)業(yè)開展、 效勞公益行業(yè)和民生改善、 保障國家平安和公共平安的 3 類專業(yè)重大科學(xué)儀器。共性考核指標(biāo):目標(biāo)產(chǎn)品應(yīng)通過可靠性測(cè)試和異地測(cè)試,技術(shù)就緒度不低于8 級(jí)。原那么上,每個(gè)工程下設(shè)任務(wù)數(shù)不超過 8 個(gè),承當(dāng)單位數(shù)不超過 10個(gè)。3.1 支撐經(jīng)濟(jì)和產(chǎn)業(yè)開展的專業(yè)重大科學(xué)儀器3.1.1 工業(yè)過程在線分析檢測(cè)儀器研究?jī)?nèi)容:研發(fā)石油、化工、制藥、
52、能源、冶金、礦產(chǎn)、有色等重要流程工業(yè)的生產(chǎn)過 程產(chǎn)物及排放物的在線監(jiān)測(cè)技術(shù), 燃料、 原料、材料等物質(zhì)的物理與化學(xué)轉(zhuǎn)化過程的樣品在 線快速采樣、 高壓快速反響測(cè)試、 在線無損檢測(cè)、 產(chǎn)物高速別離分析及多組分高頻檢測(cè)技術(shù), 并研制形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、 功能先進(jìn)、 質(zhì)量穩(wěn)定可靠的流程工業(yè)生產(chǎn)及物質(zhì)轉(zhuǎn)化過程的 在線分析檢測(cè)及監(jiān)測(cè)儀器 ; 開發(fā)儀器應(yīng)用方法,實(shí)施儀器產(chǎn)品與系統(tǒng)的工程化,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化 應(yīng)用??己酥笜?biāo): 到達(dá)相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn), 通過可靠性測(cè)試, 技術(shù)就緒度 8 級(jí)以上,其中工業(yè)過程產(chǎn)物在線監(jiān)測(cè)分析下限 1 ppm、系統(tǒng)響應(yīng)時(shí)間<0.1 s;物質(zhì)轉(zhuǎn)化在線顆粒采樣 <0.5 g、高壓
53、反響測(cè)試適用50 atm壓力、產(chǎn)物在線高速別離分析適用 20 ppb1000 ppm濃度、多組分高 頻檢測(cè)數(shù)據(jù)輸出頻率 >100 Hz 并適用 1 0個(gè)組分。創(chuàng)造專利 3項(xiàng),軟件著作權(quán) 3 項(xiàng),技術(shù)標(biāo) 準(zhǔn) 3 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售到達(dá) 50 套。實(shí)施年限:不超過 5 年3.1.2 油氣探測(cè)與管道檢測(cè)儀器和設(shè)備研究?jī)?nèi)容:攻克陣列側(cè)向測(cè)量、巖性密度測(cè)量、油氣管道測(cè)量、陣列感應(yīng)測(cè)量、在保護(hù) 套中的懸掛、 井下大功率高可靠電源、 井下儀器測(cè)量信息與地面儀器信息的匹配技術(shù), 并集 成補(bǔ)償中子測(cè)量、 聲波測(cè)量、 井徑測(cè)量、 連斜測(cè)量、 三參數(shù)測(cè)量等測(cè)井技術(shù), 進(jìn)行軟件開發(fā), 豐富儀器功能, 形
54、成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、 功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的油氣探測(cè)儀器,并在此 技術(shù)上開展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā), 為石油、 天然氣、 頁巖氣等勘探領(lǐng)域提供關(guān)鍵技術(shù)支 撐。考核指標(biāo):工作環(huán)境溫度一 25175 C,工作壓力w 140 Mpa;儀器供電連續(xù)工作時(shí)間不 小于30小時(shí);數(shù)據(jù)采集與存儲(chǔ),存儲(chǔ)間隔每幀250 MS適應(yīng)412英寸井眼,可任選鉆桿輸送泵出存儲(chǔ)和電纜輸送方式,同時(shí)具備裸眼井測(cè)井、套管井固井質(zhì)量測(cè)井功能。創(chuàng)造專利3項(xiàng),軟件著作權(quán) 3 項(xiàng),技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值到達(dá) 2000 萬元。實(shí)施年限:不超過 5 年3.2 效勞公益行業(yè)和民生改善的專業(yè)重大科學(xué)儀器3.2.1 燃煤電廠超
55、低排放監(jiān)測(cè)儀器研究?jī)?nèi)容: 針對(duì)燃煤電廠超低排放監(jiān)測(cè)需求, 研制基于光譜技術(shù)的氣態(tài)污染物在線監(jiān)測(cè) 系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)低濃度SO2 NOx等氣態(tài)污染物精確測(cè)量;攻克SO3的采樣和前處理關(guān)鍵技術(shù),開發(fā)SO3以及硫酸霧在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng);研制基于光散射與3射線技術(shù)融合的顆粒物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)以及 低濃度顆粒物手工采樣設(shè)備,實(shí)現(xiàn)低濃度顆粒物的快速、準(zhǔn)確測(cè)量以及手工比對(duì)??己酥笜?biāo):SO2量程范圍075 mg/ni, NOx量程范圍0100 mg/nf,線性誤差三± 2%F.S., 24小時(shí)零漂三± 2%F.S.;SO3量程范圍0100 ppm;最低檢出限0.5 ppm;顆粒物檢測(cè)限w 0.1 mg/m3,響
56、應(yīng)時(shí)間w 15 s,測(cè)量準(zhǔn)確性w± 10%顆粒物手工采樣器測(cè)量范圍010 mg/m3;形成技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)體系并實(shí)現(xiàn)年產(chǎn) 100臺(tái)套以上的生產(chǎn)能力。創(chuàng)造專利 3項(xiàng),軟件著作權(quán) 3項(xiàng), 技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年銷售到達(dá) 400 套。實(shí)施年限:不超過 5 年3.2.2 水中半揮發(fā)性有機(jī)物自動(dòng)監(jiān)測(cè)儀器研究?jī)?nèi)容:針對(duì)地表水 / 飲用水中半揮發(fā)性有機(jī)物,采用固相微萃取、自動(dòng)富集與熱解 析技術(shù),研制開發(fā)固相微萃取攪拌材料、自動(dòng)萃取與熱解析裝置、 GC-檢測(cè)器別離單元,定性、定量自動(dòng)檢測(cè)水中半揮發(fā)性有機(jī)物和農(nóng)藥殘留; 通過系統(tǒng)集成,開發(fā)水中半揮發(fā)性有機(jī)物自動(dòng)監(jiān)測(cè)儀器 ; 通過在水質(zhì)自動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
57、及實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)示范應(yīng)用,建立水中半揮發(fā)性有機(jī) 物自動(dòng)監(jiān)測(cè)技術(shù)方法體系。考核指標(biāo):實(shí)現(xiàn)?地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)? (GB3838 2002)中至少 24 種半揮發(fā)性有機(jī)物 監(jiān)測(cè)因子的連續(xù)自動(dòng)監(jiān)測(cè);準(zhǔn)確度w 10%線性?0.99,檢出限w 0.5卩g/L ,重復(fù)性w 1%; 形成技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)體系并實(shí)現(xiàn)年產(chǎn) 100臺(tái)套以上的生產(chǎn)能力。創(chuàng)造專利 3項(xiàng),軟件著作權(quán) 3項(xiàng), 技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3項(xiàng)。工程驗(yàn)收后三年內(nèi)年產(chǎn)值到達(dá) 2000萬元。實(shí)施年限:不超過 5 年3.2.3 大氣顆粒物源識(shí)別在線分析儀研究?jī)?nèi)容: 研究大氣顆粒物特征提取和源識(shí)別在線測(cè)量方法, 攻克高靈敏度和高比照度 的弱散射信號(hào)檢測(cè)提取、 多維信息實(shí)時(shí)同步處理、 散射顆粒特異性分析、 多維信息組合分類 等關(guān)鍵技術(shù)。 研制多角度高吸收氣密散射室、 多參量同步偏振數(shù)據(jù)檢測(cè)器、 高精度流量測(cè)量 及控制單元、溫濕度動(dòng)態(tài)補(bǔ)償采樣單元、微弱電信號(hào)提取及放大等關(guān)鍵部件和模塊; 開發(fā)大氣顆粒物散射仿真模型和演化、 反演顆粒物特定屬性和群分布特性等算法, 以及顆粒物光學(xué) 識(shí)別經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)庫的顆粒物分類辨識(shí)軟件, 形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、 功能健全、 質(zhì)量穩(wěn)定可靠 的大氣顆粒物源辨識(shí)在線分析儀。 開展工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā), 應(yīng)用于大氣污染防治、 高污染 產(chǎn)業(yè)
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