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文檔簡介
1、1、顯影后銅面上留殘渣:原因分析處理方法1:顯影不足*按資料確定顯影的參數(shù)2:顯影后曝于白光*有干膜的基板應(yīng)在黃色照明下操作、目檢及修補3:重氮底片上暗區(qū)之遮光不夠*檢查重氮片上暗區(qū)遮光密度,線路邊緣之清晰度,一旦不足時則更換重氮底片4:板邊已曝光之干膜崩落顯影液中再附在板面上*在板面最外緣處加未曝光之邊,使在顯影時能洗掉而露銅且又可當(dāng)成輔助陽極用5:顯影后水洗不足*檢查噴嘴有否被堵,并維持最低的水壓12PSI*加強水沖洗6:顯影液噴嘴被堵*要定時檢查顯影系統(tǒng)噴嘴情形7:圖像上有修板液或污物*修板時戴紗手套,并注意不要使修板液污染線路圖像8:壓膜溫度太高*檢查壓膜壓轆溫度,按資料調(diào)整9:顯影液
2、太舊*按資料確定更換太舊的顯影液10:顯影液缸及水缸被污染*定期保養(yǎng)顯影液缸及水缸11:磨板磨轆號數(shù)不對,磨痕太深*磨板磨轆號數(shù)一般選用320600號12:壓膜至顯影之間停放時間太長*不要超過24小時2、干膜起皺原因?qū)Σ?:兩熱壓輻軸向不平行,使干膜受壓不均勻調(diào)整兩個熱壓輻,使之軸向平行2:干膜太粘熟練操作,放板時多加小心3:貼膜溫度太高調(diào)整貼膜溫度至正常范圍內(nèi)4:貼膜前板太熱板預(yù)熱溫度不宜太高3、蓋孔效果不良原因?qū)Σ?:通孔孔口周圍有毛頭,致使壓膜不良*鉆孔檢查是否毛頭太多,加強去毛頭*鍍銅液中固體粒子太多,加強過濾2:壓膜溫度較高,壓膜壓力太大*按資料確定壓膜溫度和壓膜壓力3:壓膜時通孔中
3、有水汽*壓膜前板子要加強吹干趕走水汽4:干膜厚度不夠*增加干膜厚度5:重氮底片上明區(qū)有缺點附著,如:缺口、毛頭、污點、垃圾等等*檢查及修補,太差時則更換重氮底片6:曝光臺上有缺點附著,如:缺口、污點、垃圾等等*檢查及加強清潔曝光臺7:曝光能量偏低*按資料確定曝光能量8:顯影過度*按資料確定的參數(shù)9:顯影噴嘴壓力太大*按資料確定顯影的藥水壓力大小及水洗壓力大小10:曝光前保護膜(Mylar)被撕起或曝光后保護膜(Mylar)被過早撕起*避免保護膜(Mylar)被撕起現(xiàn)象4、線路變幼或曝光區(qū)干膜顯影時不易沖洗掉原因?qū)Σ?:曝光過度*用21格曝光尺按資料正確曝光2:重氮底片上暗區(qū)之遮光不夠*檢查重氮
4、底片上暗區(qū)遮光密度,線路邊緣之清晰度,一旦不足時則更換重氮底片3:曝光前抽真空程度不夠*檢查曝光前抽真空度及碓定抽真空時間*換掉曝光上臺不良的聚酯膜4:壓膜之板面顯影前曝露于白色光源*檢查黃光室具有UV之白光情況5:壓膜溫度過高*按資料控制壓膜溫度6:顯影不足,殘膜沖洗不凈*按資料確定顯影點* 更換太舊的顯影液* 加強水沖洗7:曝光時重氮底片藥膜面與板上干膜面沒有緊密結(jié)合*加強擦氣及用導(dǎo)氣條幫助抽真空或在重氮底片上明區(qū)位打出孔* 檢查重氮底片藥膜面暗區(qū)及板上干膜面有無垃圾等雜物5、顯影后干膜受損或發(fā)現(xiàn)干膜浮起或線路邊緣不齊原因?qū)Σ? :曝光不足*用21格曝光尺按資料正確曝光2:顯影過度*按資料
5、確定顯影的參數(shù)3:曝光后放置時間不夠*通常在撕開保護膜(Mylar)前至少放置要15分鐘以上再顯影4:顯影藥液溫度太高*按資料設(shè)定正確顯影溫度5:壓膜之前銅面處理不良*水膜測試大于15秒以上*保證磨痕寬度6:壓膜溫度不足,壓膜壓力不夠*注意壓膜速度及壓膜溫度、壓膜壓力7:顯影噴嘴壓力太大*按資料確定顯影的藥水壓力大小及水洗壓力大小6、線路鍍錫鉛時發(fā)現(xiàn)干膜邊緣浮起而造成滲鍍現(xiàn)象原因?qū)Σ?:干膜性能不良,超過有效期使用*盡量在有效期內(nèi)使用干膜2:壓膜之前銅面處理不良*加強壓膜前銅面處理控制*水膜測試大于15秒以上*保證磨痕寬度3:壓膜參數(shù)條件不對*按資料確定壓膜參數(shù)條件4:曝光不足*用21格曝光尺
6、按資料正確曝光5:顯影過度*按資料確定顯影的參數(shù)6:電鍍前處理藥品及參數(shù)條件不對*按供應(yīng)商資料確定參數(shù)條件7:電鍍時電流密度過大*調(diào)整電鍍層均勻性降低電流密度8:曝光前保護膜(Mylar)被撕起或曝光后保護膜(Mylar)被過早撕起*避免保護膜(Mylar)被撕起現(xiàn)象9:電鍍液太陳舊或電鍍液里有機雜質(zhì)太多*對電鍍液進行活性炭處理7、銅與銅之間附著力不良原因?qū)Σ?:線路鍍銅前處理及清洗不當(dāng)*按供應(yīng)商資料確定控制除油、微蝕、水洗2:壓膜至顯影之間停放時間太長*停放時間太長時,適當(dāng)應(yīng)加強微蝕處理使銅面撤底活化3:顯影不足,暗區(qū)留有殘渣*按資料確定顯影的參數(shù)*更換太舊的顯影液4:水沖洗不足*加強水沖洗
7、8、板面電鍍區(qū)發(fā)生跳鍍(SkipPlating)或稱漏鍍現(xiàn)象原因?qū)Σ?:在待鍍區(qū)之裸銅面上留有干膜殘渣或顯影液中的干膜碎片又打回板面而重新附著可能是棕片上有刮傷、缺口、應(yīng)加修補*減少或避免干膜碎的產(chǎn)生2:在待鍍區(qū)未曝光處顯影不足,未撤底除盡殘膜*按資料確定顯影的參數(shù)*更換太舊的顯影液3:電鍍時板面受污染等問題*避免板面受污染,加強前處理工作4:電鍍錫層較粗糙或剝膜工藝有問題*電鍍錫不均勻,電流密度較大處較粗糙*電鍍錫板放置于有污染環(huán)境處時間太長*剝膜藥水濃度或溫度太高或時間太長9、剝膜后發(fā)現(xiàn)銅面上尚留有殘渣原因?qū)Σ?:剝膜時間不足夠*調(diào)整剝膜時間,但不宜過長2:電鍍層厚度超過干膜厚度而發(fā)生夾膜
8、現(xiàn)象*調(diào)整電鍍層均勻性或用厚度較厚干膜(如2mil的干膜)3:電鍍層厚,線路較幼剝膜較難*可以適當(dāng)在剝膜藥水中加定量3%丁基卡必醇4:剝膜液不良,剝膜液溫度低,剝膜藥液太舊*一般使用25%的苛性鉀或鈉的水溶液在50Ci2c內(nèi)操作,或更換新液5:已剝落的膜碎片又再附著上*加強沖洗的時間、壓力及溫度控制,加強過濾及溢流積渣,縮短剝膜及水洗間距及時間,要立即沖洗6:剝膜前已顯影板曝露于白光中時間太長或顯影后不當(dāng)烘烤*板面各處被白光不均勻曝光延長剝膜時間*延長剝膜時間,取消烘烤10、電鍍時干膜脫落原因?qū)Σ?:前處理藥水之溫度太高或時間太長*按供應(yīng)商資料確定參數(shù)條件2:曝光前保護膜(Mylar)被撕起或
9、曝光后保護膜(Mylar)被過早撕起*避免保護膜(Mylar)被撕起現(xiàn)象3:顯影后停置時間過長及放置環(huán)境不當(dāng)*應(yīng)放置有溫度及濕度控制黃光環(huán)境中4:壓膜之前銅面處理不良*水膜測試大于15秒以上*保證磨痕寬度5:電鍍液太陳舊或電鍍液里有機雜質(zhì)太多*對電鍍液進行活性炭處理11、線路鍍金發(fā)現(xiàn)干膜邊緣浮起而造成滲鍍現(xiàn)象原因?qū)Σ?:壓膜之前銅面處理不良*加強壓膜前銅面處理控制*水膜測試大于15秒以上*保證磨痕寬度2:壓膜參數(shù)條件不對*按資料確定壓膜參數(shù)條件3:曝光不足*用21格曝光尺按資料正確曝光4:顯影過度*按資料確定顯影的參數(shù)5:電鍍前處理藥品及參數(shù)條件不對*按供應(yīng)商資料確定參數(shù)條件6:電鍍時電流密度
10、過大*調(diào)整電鍍層均勻性降低電流密度7:電鍍金缸藥水參數(shù)條件不對*調(diào)整電鍍金藥水含金量,調(diào)整電鍍層均勻性降低電流密度12蝕刻時干膜破壞及浮起原因?qū)Σ?:壓膜前銅面處理不良*加強壓膜之前銅面處理控制*水膜測試大于15秒以上*保證磨痕寬度2:曝光不足,但不宜過足*用21格曝光尺按資料正確曝光3:蝕刻液PH太高,溫度太高,噴嘴壓力太大*做適當(dāng)調(diào)整4:水洗噴嘴壓力太大*降低噴嘴壓力5:顯影后停置時間過長及放置環(huán)境不當(dāng)*應(yīng)放置有溫度及濕度控制的黃光環(huán)境中6:顯影后停置白光區(qū)時間過長干膜變脆*避免放置于白光下1 .干膜的介紹干膜(Dryfilm)在涂狀中是相對濕膜(Wetfilm)而言的,干膜是一種高分子的
11、化合物,它通過紫外線的照射后能夠產(chǎn)和一種聚合反應(yīng)形成一種穩(wěn)定的物質(zhì)附著于板面,從而達到阻擋電鍍和蝕刻的功能。2 .干膜的分類依據(jù)厚度的不同干膜可以分為三類:1.2mil、1.5mil、2.0mil1.2 mil干膜主要用于內(nèi)層板作業(yè).mil、干膜主要用于外層板作業(yè)當(dāng)然也可以用于內(nèi)層板作業(yè)但由于較厚在蝕刻的過程中容易造成側(cè)蝕而且成本相對較高,所以一般不使用其作內(nèi)層。mil干膜主要用于一些較特殊的要求的板,比如說較大的二次孔1.5mil干膜無法達到要求時,才使用到。.干膜的組成干膜的分類一般分為三層,一層是PE保護膜,中間是干膜層,另一個是PET保護層。PE層和PET層都只是起保護作用的在壓膜前和
12、顯影前都有必須要去掉的,真正起作用的是中間一層干膜,它具有一定的粘性和良好的感光性。.干膜的儲存干膜在儲存過程中可能由于溶劑的揮發(fā)而變脆,也可能由于環(huán)境溫度的影響而產(chǎn)生熱聚合,或因抗蝕劑產(chǎn)生局部流動而造成厚度不均勻(即所謂冷流),這些都嚴重影響干膜的使用。因此在良好的環(huán)境里儲存干膜是十分重要的。技術(shù)要求規(guī)定,干膜應(yīng)儲存在陰涼而潔凈的室內(nèi),防止與化學(xué)藥品和放射性物質(zhì)一起存放。.干膜的操作流程前處理(基板的清理)壓膜靜置對板曝光靜置顯影檢修.干膜生產(chǎn)的常見品質(zhì)缺陷顯影殘膠、曝光異物、抽真空不良、顯影不凈、顯影過度、開路、短路、線凸、缺口、露銅、掉膜、線路鋸齒(狗牙)等。.市面常見的干膜品牌杜邦干膜
13、,旭化成干膜,日立干膜,長興干膜,任知干膜,長春干膜,科隆干膜(1)干膜與覆銅箔板粘貼不牢原因解決方法1)干膜儲存時間過久,抗蝕劑中溶劑揮發(fā)。在低于270C的環(huán)境中儲存干膜,儲存時間不宜超過肩效期。2)覆銅箔板清潔處理不良,有氧化層或油污等物或微觀表面粗糙度不夠重新按要求處理板面并檢查是否后均勻水膜形成3)環(huán)境濕度太低保持環(huán)境濕度為50%PH左右4)貼膜溫度過低或傳送速度太快調(diào)整好貼膜溫度和傳送速度,連續(xù)貼膜最好把板子預(yù)熱。(2)干膜與基體銅表面之間出現(xiàn)氣泡原因解決方法1)貼膜溫度過高,抗蝕劑中的揮發(fā)萬分急居揮發(fā),殘留在聚酯膜和覆銅箔板之間,形成鼓泡。調(diào)整貼膜溫度至標(biāo)準范圍內(nèi)。2)熱壓輾表面不
14、平,有凹坑或劃傷。注意保護熱壓輾表面的平整,清潔熱壓輾時不要用堅硬、鋒利的工具去刮。3)熱壓輾壓力太小。適當(dāng)增加兩壓輾間的壓力。4)板面不平,有劃痕或凹坑。挑選板材并注意減少前面,序造成劃痕、凹坑的可能?;蛘卟捎脺厥劫N膜。(3)干膜起皺原因解決方法1)兩個熱壓輾軸向不平行,使干膜受壓/、均勻。調(diào)整兩個熱壓輾,使之軸向平行。2)干膜太粘熟練操作,放板時多加小心。3)貼膜溫度太高一調(diào)整貼膜溫度至正常范圍內(nèi)。4)貼膜前板子太熱。板子預(yù)熱溫度不宜太局。(4)有余膠原因解決方法1)干膜質(zhì)量差,如分子量太高或涂覆干膜過程中偶然熱聚合等。更換干膜。2)干膜暴露在白光下造成部分聚合。在黃光下進行干膜操作。3)
15、曝光時間過長。縮短曝光時間。4)生產(chǎn)底版最大光密度不夠,造成紫外光透過,部分聚合。曝光前檢查生產(chǎn)底版。5)曝光時生產(chǎn)底版與基板接觸不檢查抽真空系統(tǒng)及曝光框架。良造成虛光。6)顯影液溫度太低,顯影時間太短,噴淋壓力不夠或部分噴嘴堵塞。調(diào)整顯影液溫度和顯影時的傳送速度,檢查顯影設(shè)備。7)顯影液中產(chǎn)生大量氣泡,降低了噴淋壓力。在顯影液中1口入消泡劑消除泡沫。8)顯影液失效。更換顯影液(5)顯影后干膜圖像模糊,抗蝕劑發(fā)暗發(fā)毛原因解決方法1)曝光不足用光密度尺校正曝光量或曝光時間。2)生產(chǎn)底版最小光密度太大,使紫外光受阻。曝光前檢查生產(chǎn)底版。3)顯影液溫度過高或顯影時間太長。調(diào)整顯影液溫度及顯影時的傳送速度。(6)圖形鍍銅與基體銅結(jié)合不牢或圖像有缺陷原因解決方法1)顯影不徹底有余膠。加強顯影并注意顯影后清洗。2)圖像上有修板液或污物。修板時戴細紗手套,并注意不要使修板液污染線路圖像。3)化學(xué)鍍銅前板面不清潔或粗化不夠。加強化學(xué)鍍銅前板面的清潔處理和粗化。4)
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