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1、第3章應(yīng)變傳感器 第3章應(yīng)變傳感器 3.1電阻應(yīng)變傳感器電阻應(yīng)變傳感器 3.2薄膜應(yīng)變電阻及傳感器薄膜應(yīng)變電阻及傳感器 3.3電阻應(yīng)變傳感器使用中應(yīng)注意的一些問(wèn)題電阻應(yīng)變傳感器使用中應(yīng)注意的一些問(wèn)題 3.4電阻應(yīng)變傳感器應(yīng)用電阻應(yīng)變傳感器應(yīng)用起重量限制器起重量限制器思考題與習(xí)題思考題與習(xí)題 第3章應(yīng)變傳感器 3.1電阻應(yīng)變傳感器電阻應(yīng)變傳感器3.1.1應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)和類型應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)和類型1. 應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)和類型應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)和類型應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)和形式是多種多樣的。圖3.1所示的應(yīng)變片結(jié)構(gòu)主要由四部分組成:電阻絲(敏感柵)1,它是應(yīng)變片的轉(zhuǎn)換元件;基底和面膠(覆蓋層)2,基底是將傳感器彈性體的應(yīng)變傳
2、遞到敏感柵1的中間介質(zhì),它起電阻絲和彈性體間的絕緣作用,面膠起保護(hù)電阻絲的作用;粘合劑3,它將電阻絲與基底粘貼在一起;引出線4,用來(lái)連接測(cè)量導(dǎo)線。第3章應(yīng)變傳感器 圖3.1應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)第3章應(yīng)變傳感器 2. 電阻應(yīng)變片的分類電阻應(yīng)變片的分類電阻應(yīng)變片的分類方法很多,常用的方法是按照制造應(yīng)變片時(shí)所用的材料、工作溫度范圍以及用途不同來(lái)進(jìn)行分類。(1) 按應(yīng)變片敏感柵的材料不同,應(yīng)變片可分成金屬應(yīng)變片和半導(dǎo)體應(yīng)變片兩大類。其中,金屬應(yīng)變片又分為體型(箔式、絲式)和薄膜型;半導(dǎo)體應(yīng)變片又分為體型、薄膜型、擴(kuò)散型、PN結(jié)型及其他型。(2) 按應(yīng)變片的工作溫度不同,應(yīng)變片可分為常溫應(yīng)變片(30 60 )、
3、中溫應(yīng)變片(60 300 )、高溫應(yīng)變片(300 以上)和低溫應(yīng)變片(低于30 )等。第3章應(yīng)變傳感器 (3) 按應(yīng)變片的用途不同,應(yīng)變片可分為一般用途應(yīng)變片和特殊用途應(yīng)變片(水下、疲勞壽命、抗磁感應(yīng)、裂縫擴(kuò)展等)。3.1.2常用的應(yīng)變片常用的應(yīng)變片1) 絲式應(yīng)變片絲式應(yīng)變片的基底材料可分為紙基、膠基、紙浸膠基和金屬基等。絲式應(yīng)變片的電阻絲直徑為0.020.05 mm,常用的為0.025 mm;電流安全允許值為1012 mA和4050 mA;電阻值一般應(yīng)在501000 范圍內(nèi),常用的為120 ;引出線使用直徑為0.150.30 mm的鍍銀或鍍錫銅帶或銅絲。第3章應(yīng)變傳感器 2) 箔式應(yīng)變片箔式
4、應(yīng)變片的敏感柵是通過(guò)光刻、腐蝕等工藝制成的;其箔柵厚度一般為0.0030.01 mm;箔金屬材料為康銅或合金(卡瑪合金、鎳镕錳硅合金等);基底可用環(huán)氧樹(shù)脂、酚醛或酚醛樹(shù)脂等制成。箔式應(yīng)變片有較多優(yōu)點(diǎn),可根據(jù)需要制成任意形狀的敏感柵;表面積大,散熱性能好,允許通過(guò)比較大的電流;蠕變小,疲勞壽命高;便于成批生產(chǎn)且生產(chǎn)效率比較高。第3章應(yīng)變傳感器 3) 半導(dǎo)體應(yīng)變片半導(dǎo)體應(yīng)變片是利用半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)制成的一種轉(zhuǎn)換元件。它與金屬絲式應(yīng)變片和箔式應(yīng)變片比較,具有靈敏系數(shù)高(比金屬應(yīng)變片的靈敏系數(shù)大50100倍)、機(jī)械滯后小、體積小以及耗電量少等優(yōu)點(diǎn)。半導(dǎo)體應(yīng)變片的電阻溫度系數(shù)大,非線性也大。這些缺點(diǎn)不同
5、程度地制約了它的應(yīng)用發(fā)展。不過(guò),隨著近年來(lái)半導(dǎo)體集成電路工藝的迅速發(fā)展,相繼出現(xiàn)了擴(kuò)散型、外延型和薄膜型半導(dǎo)體應(yīng)變片,使其缺陷得到了一些改善。第3章應(yīng)變傳感器 4) 金屬薄膜應(yīng)變片所謂金屬薄膜,是指厚度在0.1 mm以下的金屬膜。習(xí)慣上也把厚度在25 m左右的膜稱為厚膜,故上面介紹的箔式應(yīng)變片即屬于厚膜類型。金屬薄膜應(yīng)變片是采用真空濺射或真空沉積的方法制成的。它可以將產(chǎn)生應(yīng)變的金屬或合金直接沉積在彈性元件上而不用粘合劑,這樣應(yīng)變片的滯后和蠕變均很小,靈敏度高。5) 高溫及低溫應(yīng)變片按工作溫度來(lái)分類的高、低溫應(yīng)變片,其性能取決于應(yīng)變片的應(yīng)變電阻合金、基底、粘合劑的耐熱性能及引出線的性能等。第3章
6、應(yīng)變傳感器 3.2薄膜應(yīng)變電阻及傳感器薄膜應(yīng)變電阻及傳感器3.2.1薄膜分類薄膜分類薄膜有兩種分類方法:按薄膜厚度分類和按薄膜結(jié)構(gòu)形式分類。1. 按薄膜厚度分類按薄膜厚度分類(1) 非連續(xù)金屬膜。這種膜的厚度小于108 m,膜面呈一個(gè)個(gè)相互孤立的小島,它們之間沒(méi)有通道,其導(dǎo)電作用是由隧道效應(yīng)所實(shí)現(xiàn)的。這種膜形成的應(yīng)變片阻值很高,靈敏度也很高,但性能極不穩(wěn)定。第3章應(yīng)變傳感器 (2) 半連續(xù)膜。這種膜的厚度在1082108 m之間,膜面呈不連續(xù)的島狀,各島之間有若干通道。(3) 連續(xù)膜。這種膜的厚度一般大于2108 m,膜面上基本看不到島狀結(jié)構(gòu)。這種膜的穩(wěn)定性遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于前兩種,力敏元件均采用這種膜
7、。2. 按薄膜結(jié)構(gòu)形式分類按薄膜結(jié)構(gòu)形式分類(1) 多晶體薄膜。用于敏感元件的半導(dǎo)體(如Ge、Si)和化合物半導(dǎo)體(如銻化銦(InSb)、砷化鎵(GnAs)通常都制成多晶體薄膜。這種膜是由微小的晶粒無(wú)規(guī)則排列構(gòu)成的,其晶核形成晶粒的大小取決于基底溫度、淀積速度等工藝條件。若再經(jīng)過(guò)退火處理,則還可使該膜的晶粒增大。用各種方法獲得的金屬薄膜一般都是多晶體薄膜。第3章應(yīng)變傳感器 (2) 單晶體薄膜。用外延生長(zhǎng)方法獲得的半導(dǎo)體薄膜均屬單晶體薄膜。外延生長(zhǎng)法已廣泛應(yīng)用于制造各種半導(dǎo)體器件和集成電路。該方法已十分成熟。用該方法獲得的硅薄膜,因?yàn)榛菃尉?,所以生長(zhǎng)出的薄膜也是單晶。(3) 無(wú)定形薄膜。用各
8、種方法獲得的金屬氧化物介質(zhì)薄膜一般都是非晶態(tài),這就是所謂的無(wú)定形薄膜。在一定條件下(如基底溫度很低),也可形成半導(dǎo)體的無(wú)定形薄膜,如無(wú)定形硅薄膜等。目前用于制造敏感元件和傳感器的薄膜大都是金屬(包括合金)或半導(dǎo)體薄膜,而氧化物介質(zhì)薄膜通常用作絕緣層。第3章應(yīng)變傳感器 3.2.2薄膜的工作原理薄膜的工作原理薄膜的工作原理是基于材料的壓電阻特性(即應(yīng)力的變化會(huì)引起電阻的變化)。電阻變化的原因是當(dāng)材料受到應(yīng)力(或力)作用之后,電阻元件尺寸和材料電阻率發(fā)生了變化。材料電阻率發(fā)生變化是由于應(yīng)力對(duì)電子自由程的影響。一般應(yīng)力測(cè)量是采用金屬線和金屬片作為電阻元件,并將其接入惠斯頓電橋的某一臂來(lái)測(cè)量電阻變化,從
9、而得知應(yīng)力的大小。但金屬片必須貼在需要測(cè)量的表面上,這樣就限制了測(cè)量的精度(因?yàn)閼?yīng)力不可能完全傳送至金屬片),同時(shí)也限制了這種傳感器的最大工作溫度。薄膜應(yīng)力傳感器可克服這些缺點(diǎn)。因?yàn)楸∧?yīng)力傳感器是由直接沉積在需要測(cè)量的表面上的壓第3章應(yīng)變傳感器 電電阻薄膜組成的,所以通過(guò)對(duì)應(yīng)力相對(duì)不敏感材料(如Au或Al等)的厚膜電阻電極,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)應(yīng)力敏感電阻器的接觸。對(duì)于長(zhǎng)為L(zhǎng),橫截面為S的均勻材料(金屬或半導(dǎo)體),兩端的電阻值為當(dāng)受到一個(gè)沿著長(zhǎng)度方向的縱向應(yīng)力時(shí),由于幾何形狀及內(nèi)部結(jié)構(gòu)發(fā)生變化,因此將引起電阻值的變化。對(duì)式(3.1)進(jìn)行全微分可以求得電阻值的變化為lRS2ddddSLLRLSSS(3.
10、1)(3.2)第3章應(yīng)變傳感器 用相對(duì)變化量表示,則有由式(3.3)得令k=1+2+E,則(3.3)2dddSddd /dSS1d /LLLRS SLSLLLRL LLSSSd(12)RERdRkR(3.4)第3章應(yīng)變傳感器 式(3.4)表明材料電阻的相對(duì)變化和應(yīng)變之間的比例關(guān)系。k稱為材料的靈敏系數(shù)或應(yīng)變因子。其物理意義為材料發(fā)生單位應(yīng)變時(shí)的電阻變化率。由k的表達(dá)式可知,材料的靈敏系數(shù)由兩個(gè)因素決定:一是1+2,它由材料的幾何尺寸的變化引起;另一個(gè)是E,由材料受力后電阻率發(fā)生的變化引起。如果應(yīng)變感壓材料為金屬,那么,由于它的電阻率基本上與應(yīng)力無(wú)關(guān), E值很小,可以忽略,因此這時(shí)材料的靈敏系數(shù)
11、主要取決于幾何尺寸的變化。在彈性形變范圍內(nèi),k在1.52之間。第3章應(yīng)變傳感器 半導(dǎo)體材料具有良好的彈性性能和壓阻效應(yīng)(當(dāng)半導(dǎo)體受到壓力作用時(shí),由于載流子遷移率的變化,使其電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象),它的壓阻系數(shù)很大,k主要由E決定,可高達(dá)100以上。所以,可以制作出靈敏度很高的應(yīng)變片和壓力傳感器。3.2.3薄膜應(yīng)變傳感器的特點(diǎn)薄膜應(yīng)變傳感器的特點(diǎn)薄膜應(yīng)變片及傳感器與擴(kuò)散硅等傳感器相比,其制造工藝環(huán)節(jié)要少得多。它的主要制造工藝環(huán)節(jié)是成膜工藝(如濺射、蒸發(fā)等)。由于工藝環(huán)節(jié)較少,因此工藝周期較短,成品率較高。這是它目前獲得廣泛使用的主要原因之一。第3章應(yīng)變傳感器 薄膜應(yīng)變片可以同彈性體結(jié)合在一起,構(gòu)
12、成整體式薄膜傳感器;也可以制成單一的薄膜應(yīng)變片,再粘貼在彈性體上構(gòu)成傳感器。前者使用最多,可避免后者因粘片工藝所帶來(lái)的誤差因素(如蠕變、滯后等)。用薄膜技術(shù)制成的合金型應(yīng)變片和傳感器的穩(wěn)定性很高,電阻溫度系數(shù)又很小(一般為(105106)數(shù)量級(jí)),這些都是半導(dǎo)體應(yīng)變片式傳感器和擴(kuò)散型傳感器所不及的。薄膜應(yīng)變傳感器適用于航天、航空工業(yè),以及對(duì)穩(wěn)定性要求較高的測(cè)控系統(tǒng)中。第3章應(yīng)變傳感器 合金型薄膜應(yīng)變片的靈敏系數(shù)較低(一般約為1.72.2左右),大體同金屬絲式和箔式應(yīng)變片的相當(dāng)。半導(dǎo)體Ge、Si薄膜應(yīng)變片及傳感器具有較高的靈敏系數(shù)(一般為30以上),其電阻溫度系數(shù)約為105數(shù)量級(jí)。此外,薄膜應(yīng)變
13、片的阻值可做得很高,通常均可做到幾千到幾萬(wàn)歐姆,因而可在低功耗的狀態(tài)下工作。薄膜應(yīng)變片及傳感器由于制造工藝的特點(diǎn),其參數(shù)一致性遠(yuǎn)較半導(dǎo)體型和擴(kuò)散型的高,適于大量生產(chǎn),成本低廉。對(duì)薄膜應(yīng)變片及傳感器反復(fù)加載106次以上,其仍能正常工作,說(shuō)明它們的耐疲勞性能良好。第3章應(yīng)變傳感器 薄膜應(yīng)變片及傳感器的量程很大,現(xiàn)已制成的有大量程稱重、加速度、壓力傳感器等。擴(kuò)散Si壓力傳感器的量程一般不太大,這是因?yàn)閿U(kuò)散Si的感壓元件就是Si本身。由于Si較脆,因此不宜承受較大載荷。近年來(lái),也有人采用所謂“硅堆”形式來(lái)制造大量程的力類傳感器,但仍有許多問(wèn)題不好解決??傊?,薄膜應(yīng)變片及傳感器是很有發(fā)展前途的傳感器。圖
14、3.2和圖3.3分別是一種薄膜應(yīng)變片及傳感器和粘貼式、非粘貼式壓力傳感器在室溫下的蠕變曲線及零點(diǎn)漂移曲線。第3章應(yīng)變傳感器 圖3.2薄膜傳感器在室溫下的蠕變曲線第3章應(yīng)變傳感器 圖3.3薄膜傳感器在室溫下的零點(diǎn)漂移曲線第3章應(yīng)變傳感器 圖3.2和圖3.3所示的曲線是這樣測(cè)定的:在室溫下,保持不加載一小時(shí)進(jìn)行調(diào)零,然后加上滿量程壓力并保持一小時(shí),同時(shí)記錄在兩個(gè)小時(shí)內(nèi)的輸出電平,作出偏離滿度的數(shù)值同時(shí)間的關(guān)系曲線。然后,去除壓力,記錄兩小時(shí)內(nèi)偏離零點(diǎn)的數(shù)值與時(shí)間的關(guān)系曲線。圖中所用的CEC1000型傳感器是一種濺射合金薄膜壓力傳感器。該傳感器的蠕變與零點(diǎn)漂移都遠(yuǎn)比粘貼式和非粘貼式壓力傳感器的低,在
15、室溫下其蠕變和零漂曲線幾乎同時(shí)間軸重合。圖3.4和圖3.5分別是溫度為120時(shí)的蠕變曲線和零漂曲線。由圖3.4和圖3.5可看出,當(dāng)溫度升高時(shí),蠕變和零漂都增大。無(wú)論哪種傳感器,在使用時(shí)都必須考慮這一問(wèn)題。值得注意的是,蠕變和零漂一般是不能補(bǔ)償?shù)?,所以要根?jù)不同要求來(lái)選擇傳感器。第3章應(yīng)變傳感器 圖3.4120 時(shí)薄膜傳感器的蠕變曲線第3章應(yīng)變傳感器 圖3.5120時(shí)薄膜傳感器的零漂曲線第3章應(yīng)變傳感器 3.3電阻應(yīng)變傳感器使用中應(yīng)注意的一些問(wèn)題電阻應(yīng)變傳感器使用中應(yīng)注意的一些問(wèn)題1. 溫度漂移的補(bǔ)償溫度漂移的補(bǔ)償現(xiàn)在常用的電阻應(yīng)變傳感器一般都選用半導(dǎo)體材料。半導(dǎo)體材料的溫度穩(wěn)定性差。電阻應(yīng)變傳
16、感器受到溫度影響后其輸出要產(chǎn)生溫度漂移。通常制作半導(dǎo)體電阻應(yīng)變敏感元件時(shí),在基片上擴(kuò)散出四個(gè)相同的電阻。這四個(gè)電阻接成電橋,并且將阻值增加的兩個(gè)電阻對(duì)接,將阻值減小的兩個(gè)電阻對(duì)接,使電橋的輸出最大。但半導(dǎo)體電阻應(yīng)變敏感元件的溫度漂移必須引起注意。給電橋用恒流源供電,可以最大限度地克服溫度的影響。如第3章應(yīng)變傳感器 果給電橋用電壓源供電,則要注意溫度升高,傳感器靈敏度下降的問(wèn)題。此時(shí),可采用自動(dòng)改變電源電壓大小的方法來(lái)進(jìn)行溫度漂移的補(bǔ)償。溫度升高,傳感器靈敏度下降,這時(shí)如果使電橋的電源電壓提高,則將使電橋的輸出增大,從而可達(dá)到補(bǔ)償?shù)哪康摹7粗?,溫度降低時(shí),傳感器靈敏度升高,這時(shí)如果使電橋的電源電
17、壓降低,則將使電橋的輸出減小,也可達(dá)到補(bǔ)償?shù)哪康摹D3.6為一種靈敏度K溫度漂移的補(bǔ)償電路。第3章應(yīng)變傳感器 圖3.6一種靈敏度K溫度漂移的補(bǔ)償電路第3章應(yīng)變傳感器 該電路利用三極管V基極與發(fā)射極間PN結(jié)敏感溫度的大小,使三極管V輸出電流發(fā)生變化,改變管壓降Uce的大小,從而使電橋的電源電壓U得到改變,最終達(dá)到補(bǔ)償?shù)哪康?。溫度升高,傳感器靈敏度K下降。補(bǔ)償電路工作過(guò)程如下:第3章應(yīng)變傳感器 2. 彈性元件的設(shè)計(jì)或選擇彈性元件的設(shè)計(jì)或選擇 如果選用粘貼式電阻應(yīng)變片作電阻應(yīng)變傳感器,則要根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況認(rèn)真設(shè)計(jì)或選擇粘貼電阻應(yīng)變片的彈性元件。凡是能夠傳遞應(yīng)變的彈性材料都可以作為彈性元件。但要考慮工
18、作環(huán)境、安裝部位、空間大小、受力形式、粘合劑性能、量程范圍、精度要求等因素。圖3.7為幾種簡(jiǎn)單的彈性元件示例。圖(a)為圓柱、圓筒型,圖(b)為簿壁環(huán)型,圖(c)為拉環(huán)型,圖(d)為兩端固定梁型,圖(e)為懸臂梁型,圖(f)為框架、簿合型。第3章應(yīng)變傳感器 圖3.7幾種簡(jiǎn)單的彈性元件示例第3章應(yīng)變傳感器 圖3.8圖3.13示出了幾種應(yīng)變傳感器的實(shí)物圖。圖3.8包頭永華儀器儀表有限公司生產(chǎn)的802B小巧型壓阻式壓力變送器第3章應(yīng)變傳感器 圖3.9包頭永華儀器儀表有限公司生產(chǎn)的800A擴(kuò)散硅壓力變送器第3章應(yīng)變傳感器 圖3.10包頭永華儀器儀表有限公司生產(chǎn)的3351:3051:DP/GP智能壓力/
19、差壓變送器第3章應(yīng)變傳感器 圖3.11力敏應(yīng)變片第3章應(yīng)變傳感器 圖3.12稱重傳感器第3章應(yīng)變傳感器 圖3.13四川綿陽(yáng)科學(xué)城金橋傳感器廠生產(chǎn)的JYL*應(yīng)變壓力傳感器、硅集成壓力傳感器、應(yīng)變壓力變送器第3章應(yīng)變傳感器 3.4電阻應(yīng)變傳感器應(yīng)用電阻應(yīng)變傳感器應(yīng)用起重量限制器起重量限制器起重機(jī)廣泛應(yīng)用于冶金、礦山、碼頭、倉(cāng)儲(chǔ)等行業(yè)之中, 它屬于一種特種設(shè)備。為了保障起重機(jī)安全操作,根據(jù)我國(guó)GB606785起重機(jī)械安全規(guī)范、GB/T38112008起重機(jī)設(shè)計(jì)規(guī)范、GB126022009起重機(jī)械超載保護(hù)裝置及參考文獻(xiàn)43等,人們?cè)O(shè)計(jì)了起重機(jī)起重量限制器。起重量限制器的工作原理比較簡(jiǎn)單。起重機(jī)工作時(shí),
20、起吊的載荷由電阻應(yīng)變傳感器檢測(cè)。該傳感器可根據(jù)實(shí)際情況,設(shè)計(jì)成旁壓式、軸銷式等。當(dāng)起重機(jī)起吊重物時(shí),傳遞第3章應(yīng)變傳感器 給傳感器的力(壓力或拉力)使傳感器的彈性元件發(fā)生微小變形,從而使粘貼在彈性元件上的橋式電阻應(yīng)變片的電阻值發(fā)生變化,電橋失去平衡,電橋產(chǎn)生與載荷成比例的輸出電壓信號(hào),完成由物理量重量,電量電壓信號(hào)的轉(zhuǎn)換。受力產(chǎn)生的電壓信號(hào)經(jīng)過(guò)低噪聲、高輸入阻抗運(yùn)算放大器放大(空鉤即零載荷時(shí),電壓值為0.10.4 V;起吊額定起重量即滿量程時(shí),電壓值為2.73.4 V)之后,通過(guò)模數(shù)(A/D)轉(zhuǎn)換,把模擬電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字量,經(jīng)過(guò)單片機(jī)(例如STC系列的典型單片機(jī)STC15F204EA、STC
21、12C5608AD等,見(jiàn)參考文獻(xiàn)44)的運(yùn)算、分析、處理,進(jìn)行實(shí)時(shí)顯示。如果超載,則產(chǎn)生聲(喇叭鳴叫)、光(LED閃亮)報(bào)警和超載控第3章應(yīng)變傳感器 制信號(hào),使繼電器動(dòng)作,切斷起重機(jī)上升回路的電源,實(shí)現(xiàn)超載限制,避免危險(xiǎn)發(fā)生。起重機(jī)通常工作在較差的環(huán)境中,設(shè)計(jì)中要切實(shí)解決好抗干擾問(wèn)題。同時(shí)為了消除傳感器、放大器長(zhǎng)期工作產(chǎn)生的變化所引起的不穩(wěn),系統(tǒng)應(yīng)采用自動(dòng)校零等技術(shù)。當(dāng)需要限制起重機(jī)起升高度時(shí),可采用紅外傳感器作為探頭,若吊鉤上升到極限高度,自動(dòng)切斷上升控制器電源。當(dāng)需要限制起重機(jī)起升中心立柱傾斜度時(shí),可采用角度傳感器探測(cè),若中心立柱傾斜度達(dá)到極限角度,自動(dòng)切斷上升控制器電源。起重量限制器的電原理框圖如圖3.14所示。第3章應(yīng)變傳感器 圖3.14起重量限制器的電原理框圖第3章應(yīng)變傳感器 單片機(jī)系統(tǒng)可選用STC12C5410AD 系列單片機(jī)。它是在STC89C51全系列單片機(jī)的基礎(chǔ)上,推出的“1個(gè)時(shí)鐘/機(jī)器周期”的全面提
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