半導(dǎo)體廠GAS系統(tǒng)基礎(chǔ)知識(shí)

1、系統(tǒng)基礎(chǔ)知識(shí)概述專業(yè)認(rèn)知廠務(wù)系統(tǒng)定義是將廠乃是藉由連接以傳輸使機(jī)臺(tái)達(dá)到預(yù)期的功能。務(wù)提供的（如水，電，氣，化學(xué)品等）,經(jīng)由預(yù)留之連接點(diǎn)（）,藉由管路及電纜線連接至機(jī)臺(tái)及其附屬設(shè)備（）機(jī)臺(tái)使用這些,達(dá)成其所被付予的制程需求并將機(jī)臺(tái)使用后,所產(chǎn)生之可回收水或廢棄物（如廢水,廢氣等）,經(jīng)由管路連接至系統(tǒng)預(yù)留接點(diǎn)，再傳送到廠務(wù)回收系統(tǒng)或廢水廢氣處理系統(tǒng)。項(xiàng)目主要包括：，.二、專業(yè)知識(shí)的基本認(rèn)識(shí)在半導(dǎo)體廠，所謂氣體管路的（配管銜接）以（一般性氣體如、2、2、2、H2等）而言，自供氣源之氣體存貯槽出口點(diǎn)經(jīng)主管線（）至次主管線（）之點(diǎn)稱為一次配（1），自出口點(diǎn)至機(jī)臺(tái)（）或設(shè)備（）的入口點(diǎn)，謂之二次配（2）。

2、以（特殊性氣體如：腐蝕性、毒性、易燃性、加熱氣體等之氣體）而言其供氣源為氣柜（）。自出口點(diǎn)至（.多功能閥箱）或（多功能閥盤(pán)）之一次測(cè)（）入口點(diǎn)，稱為一次配（1）,由或之二次側(cè)（）出口點(diǎn)至機(jī)臺(tái)入口點(diǎn)謂之二次配（2）。簡(jiǎn)單知識(shí)基本掌握第一章氣體概述由于制程上的需要，在半導(dǎo)體工廠使用了許多種類的氣體，一般我們皆依氣體特性來(lái)區(qū)分，可分為一般氣體()與特殊氣體()兩大類。前者為使用量較大之氣體，如N2、等，因用量較大，一般氣體常以大宗氣體稱之。后者為使用量較小之氣體？一般指用量小，極少用量便會(huì)對(duì)人體造成生命威脅的氣體，如4、3等1.1介紹半導(dǎo)體廠所使用的大宗氣體，一般有：、2、2、2、2、等七種。1 .

3、大宗氣體的制造：/(/):之來(lái)源取之于大氣經(jīng)壓縮機(jī)壓縮后除濕，再經(jīng)過(guò)濾器或活性炭吸附去除粉塵及炭氫化合物以供給無(wú)塵室()。2 ():利用壓縮機(jī)壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，經(jīng)過(guò)觸媒轉(zhuǎn)化器，將反應(yīng)成2,將H2反應(yīng)成H2Q再由分子篩吸附2、H2Q再經(jīng)分溜分離O2&N2=-195.6C,O2=-183C2():將2經(jīng)由純化器()純化處理，產(chǎn)生高純度的氮?dú)?。一般液態(tài)氮?dú)饧兌燃s為99.9999%,含小數(shù)點(diǎn)后共6個(gè)9。經(jīng)純化器純化過(guò)的氮?dú)饧兌燃s為99.9999999%,含小數(shù)點(diǎn)后共9個(gè)9。2():利用壓縮機(jī)壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，經(jīng)二次分溜獲得99.0%以上純度之氧，再除去N2、。另外可由水電解方式解離

4、H2&O2,產(chǎn)品液化后易于運(yùn)送儲(chǔ)存。():利用壓縮機(jī)壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，經(jīng)二次分溜獲得99.0%以上純度之僦氣，因僦氣在空氣中含量?jī)H0.93%,生產(chǎn)成本相對(duì)較Wj。2():利用壓縮機(jī)壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，經(jīng)二次分溜獲得99.0%以上純度之氫氣。另外可由水電解方式解離H2&O2,制程廉價(jià)但危險(xiǎn)性高易觸發(fā)爆炸，液化后易于運(yùn)送儲(chǔ)存。():由稀有富含氨氣之天然氣中提煉，其主要產(chǎn)地為美國(guó)及俄羅斯。利用壓縮機(jī)壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，易由分溜獲得。-268.9C,-161.4Co2 .大宗氣體在半導(dǎo)體廠的用途：:主要供給內(nèi)氣動(dòng)設(shè)備動(dòng)力氣源及吹凈()，助燃。主要供給廠務(wù)系統(tǒng)氣動(dòng)設(shè)備動(dòng)力氣

5、源及吹凈。N2:主要供給部分氣動(dòng)設(shè)備氣源或供給吹凈、稀釋、惰性氣體環(huán)境及化學(xué)品輸送壓力來(lái)源。02:供給制程氧化劑所需及制程中供給氧化制程用，供203所需之氧氣供應(yīng)及其它制程所需。:供給制程，離子濺鍍熱傳導(dǎo)介質(zhì)，稀釋及惰性氣體環(huán)境。H2:供給爐管設(shè)備燃燒造成濕氧環(huán)境，制程中做H2之用，制程中作為6之還原反應(yīng)氣體及其它制程所需。供給化學(xué)品輸送壓力介質(zhì)及制程芯片冷卻3 的供應(yīng)系統(tǒng)-ON2OOO2OOOH2O-OOO-OOOIFPurifierRoom2FSub-FabIF建化室EF次潦方寶Source氣源Purifier燉化器Sub-Main次主管3FClearRoom3"汽浮Tools機(jī)

6、臺(tái)大宗氣體（）雖然不像特殊氣體（），有的具有強(qiáng)烈的毒性、腐蝕性。但是我們使用大宗氣體時(shí)，仍然要注意安全。2、2、具有窒息性的危險(xiǎn)，這些氣體無(wú)臭、無(wú)色、無(wú)味，如大量泄出而相對(duì)致空氣中含氧量（一般為21%）減少至16%以下時(shí)，即有頭痛與惡心現(xiàn)象。當(dāng)氧氣含量少至10%時(shí)，將使人陷入意識(shí)不清狀態(tài),6%以下瞬間昏倒，無(wú)法呼吸，6分鐘以內(nèi)即死亡。2因泄漏或混入時(shí)，其本身之濃度只要在H2之爆炸范圍(4%-75%)內(nèi)(如對(duì)空氣)，只要一有火源，此氣體乃會(huì)因相混而燃燒。2會(huì)使物質(zhì)易于氧化產(chǎn)生燃燒，造成火災(zāi)的不幸事件。因此，身在半導(dǎo)體工廠工作的我們，在設(shè)計(jì)上、施工中，如何避免泄漏、如何防患，則是我們努力的工作之一

7、。1.2特殊氣體特性及系統(tǒng)簡(jiǎn)介半導(dǎo)體廠所使用的特殊氣體種類繁多，約有四五十種，依危險(xiǎn)性可區(qū)分為以下數(shù)類：* 易燃性氣體* 毒性氣體* 腐蝕性氣體* 低壓性/保溫氣體* 惰性氣體1.特殊氣體特性簡(jiǎn)介*易燃性氣體:燃點(diǎn)低,一泄漏與其他氣體相混,便易引起爆炸及燃燒如4,3,H2,.）氣瓶架）特殊氣體大量供應(yīng)系統(tǒng)集束鋼瓶槽車主閥箱/主閥盤(pán)閥箱/閥盤(pán)（）毒性氣體:反應(yīng)性極強(qiáng)，強(qiáng)烈危害人體功能,如，3,.*腐蝕性氣體:易與水份起反應(yīng)而產(chǎn)生酸性物質(zhì),有刺鼻，腐蝕，破壞人體的危險(xiǎn)性如3,42,*低壓性/保溫氣體:屬粘稠性液態(tài)氣體，需包加熱線及保溫棉,將管內(nèi)的溫度升高以使其氣化,才能充分供應(yīng)氣體,如6,3,：*

8、惰性氣體:又稱窒息性氣體,當(dāng)泄漏出的量使空氣中含氧量減少至166%以下時(shí),便會(huì)影響人體,甚至死亡,如6,C4F8,N2O,.2.供應(yīng)系統(tǒng)簡(jiǎn)介*）氣瓶柜IFGasRoom:Sub-abi3FCleanRoomIF靠船m2F次爆彈室!3F次漂浮室fflG/C氣瓶柜VMB/VMPTools機(jī)臺(tái)我們不排除這些氣體會(huì)對(duì)我們有不良影響。身在半導(dǎo)體工廠的我們，在設(shè)計(jì)上、施工中，如何避免泄漏、如何防患，則是我們努力的工作之一。第二章一次配管和二次配管半導(dǎo)體廠的氣體管路，我們一般區(qū)分為一次配管（1）及二次配管（2,又稱）。1 :為由氣體的起始流出點(diǎn)（）至無(wú)塵室中的或（）（）。2 :為由或開(kāi)始至生產(chǎn)機(jī)臺(tái)設(shè)備處為止

9、（）o所使用管材以1/4"、3/8"、1/2"、3/4”為主。之設(shè)計(jì)應(yīng)配合氣體類型考量，一般分為及兩大類。2.1 介紹了解半導(dǎo)體氣體工程的配管，和管路設(shè)計(jì)，必須先了解材料（）2.1.1 材料區(qū)分：1 .&（管件）2 .（配件）3 .（閥件）4 .（調(diào)壓閥）5 .（逆止閥）6 .（過(guò)濾器）7 .（真空產(chǎn)生器）8 .其他2.1.2選料依據(jù)：?氣體種類,氣體特性*影響材料使用的等級(jí)-/.?業(yè)主需求及預(yù)算*有無(wú)指定廠牌或規(guī)格？依機(jī)臺(tái)所需用量及本身接點(diǎn)選定料件尺寸*影響材料使用的尺寸-？”/?”/15A/.?依機(jī)臺(tái)所需壓力及流量不同選擇材料型式*選用壓力范圍適合或流

10、量符合之閥件?視盤(pán)面組裝選擇料件接頭型式*/.2.1.3&管件：?1.定義:* :,以公稱內(nèi)徑0配合壁厚作為量度之尺寸.* :以外徑（）及壁厚作為量度之尺寸.*規(guī)格:6M4M100M2.常用材質(zhì)1304304L&316/316L&&223.表面處理等級(jí)：-表面研磨-表面研磨+電解研磨?4.等級(jí):*一般使用316L或316L等級(jí)易燃性/惰性氣體316L毒性-雙套管(304+316L)/單管316L腐蝕性氣體-+低壓性氣體316L+2.1.4配件：?1.材質(zhì)同管件？2.常用種類:+?3.型式及規(guī)格：一般可分為/螺牙接頭尺寸從1/8“1”()及1/4“300A()又分

11、短接頭()長(zhǎng)接頭()&(皆有,以作說(shuō)明)：:表示公司對(duì)的分類，是屬于短接頭型式。4:表示尺寸為1/4”。0:表示另一端尺寸同前，為1/4”。E:表示此料件型式為。:表示料件表面處理等極為。:表示此料件為等級(jí)的？4.常用廠牌：/.?5.另外大部分又分為三種不同規(guī)格，分別為一般；及。一般型即為平時(shí)所見(jiàn)之焊接型式，型為對(duì)接型式（即直接以鎖緊），型類似一般型，唯其兩端（三端）尺寸不同。一般組盤(pán)所用接頭有兩種，分別為及，其中需鎖緊1/8圈，需鎖緊11/4圈（1/4”以下需鎖緊3/4圈），方能有效鎖緊。大部分的氣體使用之為材質(zhì)，對(duì)具侵蝕性*&O3.O2.1.5 閥件：?1.材質(zhì)同管件？2.

12、常用種類：手動(dòng)閥（）球閥波紋管閥膜片閥*氣動(dòng)閥（）1UIUi*逆止閥（）選取主要依據(jù)其尺寸及兩端接頭型式?jīng)Q定。為使氣體通過(guò)之最小壓力。通常選用3以下之型式。3必需使用特殊之，其他?3.常用廠牌：/3高壓閥/低壓閥依使用場(chǎng)所不同來(lái)選擇*兩通閥/三通閥/四通閥/.:依需求來(lái)選擇注意流向選擇2.1.6 調(diào)壓閥：?3.?1.材質(zhì)同管件？2.材質(zhì)：，316L,81*N2O-常用種類：*高壓/低壓/一般壓力* 2P無(wú)表頭/3P4P單表頭或雙表頭* /?4.一般分高壓與低壓選取，但尚有高流量型式可供選取，另外可依表頭（）需求加以搭配。？（以為例）一般使用316L或316L等級(jí)/或1/4”-R25系列3/8”

13、-R35系列1/2-1系列毒性/易燃性/惰性氣體-316L-L25R25系列腐蝕性氣體-+-L25系列低壓性氣體-需選擇可調(diào)負(fù)壓的-L96系列2.1.7a&?1.常用種類區(qū)別：(-30”0-30)壓力表頭,指針式,C122Il1帶傳輸線122工壓力開(kāi)關(guān),指針式,電子式壓力表頭*（）壓力傳送器?2.使用于：盤(pán)面及管路上？3.壓力范圍大致可分為高壓(0-3000)低壓(-30”0-30)(-30”0160)?4.常用電源：24V,4-202.1.8過(guò)濾器:?1.功能：過(guò)濾氣體中的微粒子（）?2.過(guò)濾等級(jí)選擇,即濾徑尺寸（）,可分為:*0.01/0.03/0.003?3.中心濾片（）材質(zhì)：/

14、316L/濾片材質(zhì)?4.流量考量（）：分一般流量及大流量30/100/300/1500?5.:?6.注意：一般常用濾片材質(zhì)（以為例）*:毒性/易燃性/惰性氣體-系列腐蝕性氣體-,316L過(guò)濾效防漏性抓取率抗腐蝕效(F)好不好>10.8316L(M)很好好6.2很差很好很好>10.8好2.1.9真空廣生器：裝于/作為抽氣使用的選取主要在于其接頭的尺寸及型式。1/2”2?”2.1.10其他:(1)僦氣：純度99.999以上，每個(gè)鋼瓶6立方公尺或7立方公尺,通常一瓶每組可使用23天oC型鋼：制作支撐架用，有高低腳、雙弁、有孔等型式。(3)電工管夾：將管材固定于C型鋼上，最大可使用至5/8

15、”之管子。(4)管束：分單立、雙立、P型等型式，固定管子用(5)牙條：吊掛、固定型鋼用。(6)型鋼墊片：配合牙條、吊掛型鋼用。(7)彈簧螺帽：置于型鋼槽內(nèi)，鎖螺絲或牙條用<符號(hào)認(rèn)識(shí):>1品用RACTUATEti裕U在0t榴I）中用撲悔之嵬夜幽函體由HE!看整出碩除般is岫題2AMtfEL心IVE活雷）浦出口成5之用嘮雷3E4LLTqL"E值帆塔康之刊腳中其內(nèi)注同一球戰(zhàn)糖清4口匚此ZbHE尚止勵(lì)用來(lái)防止通H流之郵5AMAM<1ALVA山H早就蠲由牌手剪剪杷手陽(yáng)即切岫現(xiàn)mzj跳粘a學(xué)手翻s6flier逾1曲可通通管描中一些性噓子（11©員福某艇的進(jìn)毗褪障皮7即

16、河砰（沈漫鈿羽用京ttttaif施中的求*1臣子式博菊!&8nijTjnFTtejff制用索值的七嘴中的旗上1S懾械煬星攜9畬用茶防止節(jié)描中之iiLR也建包酬深H漁琥也其宦粉寇傳靜送出就奧10aHERJLEV.&L正將雕流上漸其趕知詞自由國(guó)整舊不鉆完去11）1內(nèi)門(mén)李Gf5爾聞ft序&師蛆性出魔出出口也混餐竹制墻9整卜12oP劇時(shí)曲可鵑源良通如也高管能中嬴國(guó)U沖3叫串城建力計(jì)）事何電示總前設(shè)5的骷力做值拉薩很率跑14。電u$W3呼UE（期«&5）脂星力面睜原相*JK如叫由1印那ft撤演防吊忸涮415由用如瞳BB中工氤=力16LC晨3于胡放在葩期第IL1醐

17、ET的了解口足音圖司氐at17aVtfLUAICtHSROCVG（,嶼康生船）利用蟲(chóng)代理腦曾附中建和的氯船¥1由出18口EaFSTVfiGLfiFVALyi愫氫"的曾育中的蜃力超幽1件的定值倏，修附中的蛆腑由出蟒廿吃19甲疆洞第圣戰(zhàn)蒯盤(pán)期尚曜£氯管2CTWdSlEHgULn管流量慟J物sm尚昭稱逾越郝！俄庖網(wǎng)郵懼正常腹121CA5國(guó)”由1昉&酸M陶可遇M管附中一拄微蟬于舊，工以以根異1犍苗流毗潞那度220口即BMHHILMEG距ITCHl4EJ1ffRl垃酬殍網(wǎng)23bEEEbQhlUTLC必2弗ttEK用以他敝力JXB內(nèi)冉升颶煙酒&24SVSOUE

18、htJIOViLVE（田嗣也制闌嗡GM如譙PflKJZS牌2.2 一次配管2.3 一次配管（）2.2.1名詞：主管副主管一次配與二次配連接的閥隔離閥末端閥,11：為由氣體的起始流出點(diǎn)（）至無(wú)塵室中的2管路形式魚(yú)骨式和回路式兩種在中的供應(yīng)系統(tǒng)按其形狀可以分為魚(yú)骨式：和以魚(yú)骨的形狀分布<1a己11I：J口MAIN應(yīng)向；HLJT立-r/i-r£i也FTflTfl七H1-回路式：和構(gòu)成回路形式這兩種的供應(yīng)形式各有自己的優(yōu)缺點(diǎn)，魚(yú)骨式成本比較低,但是由于氣體在但方向供應(yīng)的距離比較長(zhǎng)，容易產(chǎn)生較大的壓降，末端部分的容易產(chǎn)生壓力不足的情況；回路式使用從兩端向供氣的方式，很大程度上降低了壓降帶

19、來(lái)的不良影響，但是由于延長(zhǎng)了的長(zhǎng)度，成本比較高。實(shí)際上，不管魚(yú)骨式還是回路式，通過(guò)科學(xué)的計(jì)算，選擇適當(dāng)?shù)膲毫凸軓?，都可以滿足廠務(wù)的需求，選擇哪種方式，主要看業(yè)主的需要和選擇。3閥件的選擇1-GSEqn*該圖為各種閥件在供應(yīng)系統(tǒng)中的應(yīng)用位置yFIvolVP*選擇的依據(jù)：閥的類型：根據(jù)氣體的種類:根據(jù)管路焊接時(shí)（防止管路內(nèi)部焊道氧化）的需求*各位置閥的選擇(Main)(Main)23/4",15A:1/2":()()2.2.2名詞：一氣瓶柜一氣瓶架,1為由氣體的起始流出點(diǎn)()至無(wú)塵室中的2氣體設(shè)備的設(shè)計(jì)設(shè)計(jì)流程介紹：1 .客戶提出需求2 .設(shè)計(jì)建議案提出：a)b)c) Q&#

20、39;3 .箱體，盤(pán)面發(fā)包組立：a) Chosenb) c)/設(shè)計(jì):1 .功能設(shè)計(jì)可分為單鋼/雙鋼(2)/三鋼(2+1N2)氣瓶柜內(nèi)的鋼瓶數(shù)設(shè)計(jì)可分為三種：分別為單鋼、雙鋼、三鋼。單鋼的設(shè)計(jì)通常使用于研究機(jī)構(gòu)或?qū)嶒?yàn)室等。制程尚未有量產(chǎn)，氣體使用量小，現(xiàn)場(chǎng)可隨時(shí)協(xié)調(diào)停機(jī)進(jìn)行鋼瓶之更換，其優(yōu)點(diǎn)節(jié)省空間、成本低、但需透過(guò)日常之管理與協(xié)調(diào)以免中斷制程造成損失。雙鋼與三鋼常用于量產(chǎn)工廠，制程不允許停機(jī)情況，當(dāng)一支鋼瓶使用完后，另一支鋼瓶會(huì)自動(dòng)轉(zhuǎn)為供氣，此兩種形式最大的差別是在管路的純化氮?dú)馐且凿撈炕驈S務(wù)端供應(yīng)，當(dāng)用的2統(tǒng)一由廠務(wù)端來(lái)供應(yīng)時(shí)，所有特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)不管是否相容，全部連接到同一個(gè)供應(yīng)源，會(huì)有較

21、高的風(fēng)險(xiǎn)值；萬(wàn)一中央供應(yīng)系統(tǒng)的2中斷，警報(bào)系統(tǒng)又損壞，恰巧兩種不相容的氣體同時(shí)使用，此時(shí)極有可能發(fā)生爆炸的事件發(fā)生，相同性質(zhì)可使用同一瓶鋼瓶來(lái)增加的成本及空間非常有限，是一種非常好的應(yīng)變方式。三鋼氣柜成本不會(huì)差很多安全性會(huì)是最好的，只要空間允許應(yīng)最優(yōu)先選擇。2 .操作性設(shè)計(jì)：一般氣瓶柜都設(shè)計(jì)有兩個(gè)特殊氣體鋼瓶，需自動(dòng)切換的功能以達(dá)到連續(xù)供應(yīng)不斷氣的目的，氣態(tài)氣體通常以壓力感應(yīng)器來(lái)計(jì)算鋼瓶的剩余量，若是液態(tài)蒸氣壓氣體則以電子磅秤來(lái)偵測(cè)剩余量，當(dāng)一瓶用完時(shí)會(huì)切換到另一瓶。操作上一般可分為全自動(dòng)、半自動(dòng)、手動(dòng)三種方式通常換鋼瓶時(shí)會(huì)執(zhí)行下列幾種：(a)(換鋼瓶前)首先將鋼瓶閥關(guān)閉，測(cè)試是否有關(guān)緊，用真

22、空產(chǎn)生器將特殊氣體抽出，再用2來(lái)稀釋管壁內(nèi)的特殊氣體，重復(fù)執(zhí)行充吹的動(dòng)作將管壁內(nèi)的特殊氣體稀釋干凈，此時(shí)即可更換鋼瓶。(b)(換鋼瓶后)通常以2來(lái)進(jìn)行保壓測(cè)試，測(cè)試鋼瓶接頭是否銜接良好，再利用2重復(fù)執(zhí)行充吹的動(dòng)作來(lái)將鋼瓶接頭清潔干凈。(c)(用特殊氣體)直接用特殊氣體來(lái)管壁，主要的目的是要將2完全的清除讓供氣的品質(zhì)更好，不會(huì)因更換鋼瓶而供應(yīng)品質(zhì)受到影響。(d)(高壓測(cè)漏)通常高壓燃燒性氣體會(huì)建議使用高壓測(cè)漏，因?yàn)榻?jīng)過(guò)高壓測(cè)漏更能確保鋼瓶接頭銜接沒(méi)問(wèn)題。一般鋼瓶更換時(shí)機(jī)大約是剩余10%勺殘留量，但實(shí)際上應(yīng)以制程的需求來(lái)決定，這樣才會(huì)得到最佳的更換時(shí)間。再者，鋼瓶都有使用期限，操過(guò)使用期限因?yàn)椴糠?/p>

23、特殊氣體會(huì)對(duì)鋼瓶造成為腐蝕，污染氣源。為到達(dá)上述1-4項(xiàng)的功能，其管件的設(shè)計(jì)就會(huì)比較復(fù)雜，建議顧客盡量使用自動(dòng)的供應(yīng)系統(tǒng)，若使用手動(dòng)的方式進(jìn)行，人員操作需要非常的小心謹(jǐn)慎，只要任何一項(xiàng)步驟有疏失極可能影響供應(yīng)的品質(zhì)，嚴(yán)重時(shí)有可能造成人員傷亡。即使是氣瓶架也應(yīng)該采用自動(dòng)的供應(yīng)系統(tǒng)，雖然沒(méi)危險(xiǎn)性，人員操作不當(dāng)極有可能造成污染，畢竟要人員重復(fù)動(dòng)作可能幾十次，不但需要耗很多的時(shí)間，人員也要集中很多精神來(lái)執(zhí)行，風(fēng)險(xiǎn)等級(jí)也相對(duì)提高。3 .氣瓶柜管路設(shè)計(jì)：認(rèn)識(shí)氣瓶柜盤(pán)面上的一些設(shè)計(jì)，以下逐一介紹盤(pán)面上重要主件：1 .氣動(dòng)閥氣源：一般以2來(lái)進(jìn)行控制，不建議使用，因2的供應(yīng)系統(tǒng)比較穩(wěn)定，不會(huì)因停電或運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備故障

24、而中斷，此氣源是用于自動(dòng)或半自動(dòng)的氣動(dòng)閥件開(kāi)關(guān)。2 .手動(dòng)控制閥：主要用于第二到防護(hù)作為第二次確認(rèn)用，一般于供應(yīng)氣體的出口端。3 .逆止閥：防止特氣倒灌到清潔用的2系統(tǒng)和抽氣用的2系統(tǒng)。4 .調(diào)壓閥：用于調(diào)整供應(yīng)系統(tǒng)的供應(yīng)壓力。5 .壓力傳送器：是防護(hù)系統(tǒng)中非常重要的零件，透過(guò)它我們可以判斷管路是否泄漏，相關(guān)閥件是否正常開(kāi)關(guān)，同時(shí)亦可檢知鋼瓶的剩余量。6 .真空產(chǎn)生器：利用2快速流動(dòng)產(chǎn)生吸力，將管路中的氣體抽出，以到達(dá)抽氣的目的。7 .氣體過(guò)濾器：一般在鋼瓶出口端會(huì)裝比較粗的過(guò)濾器，在出端會(huì)裝比較細(xì)的過(guò)濾器，有效過(guò)濾氣體中的粒子，過(guò)濾器較不易所以一般不建議裝在常的管路中。8 .過(guò)流量偵測(cè)器：對(duì)

25、管路異常流量進(jìn)行偵測(cè)，若是操過(guò)設(shè)定值，即判斷管路上可能大量泄漏，進(jìn)而關(guān)閉供應(yīng)系統(tǒng)停止供氣。9 .限流孔：是一種簡(jiǎn)易又有效的過(guò)流量控制裝置，用以限制大量氣體流過(guò)，一般使用于處，其主要功用大量的特殊氣體排出，區(qū)域性的廢氣處理機(jī)無(wú)法處理的情況發(fā)生。氣瓶柜在管路設(shè)計(jì)上應(yīng)該特別注意的事項(xiàng)如下：1 .不相容的氣體管路不可相連在一起。2 .不相容的氣體不能裝在同一個(gè)氣瓶柜內(nèi)，即使各自獨(dú)立的供應(yīng)系統(tǒng)也嚴(yán)重禁止。3 .管路大小應(yīng)依實(shí)際制程所需的壓力流量來(lái)設(shè)計(jì)。4 .鋼瓶接頭型號(hào)應(yīng)事先由業(yè)主告知我們以免有接頭無(wú)法接上的問(wèn)題。5 .小鋼瓶會(huì)使用可調(diào)整的支撐架。6 .閥件材質(zhì)應(yīng)依氣體特性來(lái)選擇。7 .如有考慮擴(kuò)充性可

26、在出口端加裝一個(gè)預(yù)留擴(kuò)充閥。4.安全防護(hù)設(shè)施：氣瓶柜防護(hù)設(shè)計(jì)，包括外籍的防火與防爆設(shè)計(jì)、抽風(fēng)孔、火焰?zhèn)蓽y(cè)器、消防灑水頭、毒氣偵測(cè)器、緊急遮斷開(kāi)關(guān)、過(guò)流量偵測(cè)器、溫度偵測(cè)器、煙霧偵測(cè)器、限流孔、遠(yuǎn)端遮斷等。其中消防灑水頭在氣瓶柜內(nèi)的溫度操過(guò)65c時(shí)，玻璃會(huì)自動(dòng)破裂灑水，但要注意有些腐蝕性氣體會(huì)與水產(chǎn)生強(qiáng)烈反映，建議不安裝消防灑水頭。在氣體房?jī)?nèi)也需裝煙霧偵測(cè)器及灑水頭，以防止氣瓶柜以外的地方有火災(zāi)，所有系統(tǒng)應(yīng)該與中央監(jiān)控系統(tǒng)連線，并與廣播系統(tǒng)連線，一有警報(bào)立即疏散相關(guān)人員，由廠區(qū)緊急應(yīng)變小組來(lái)進(jìn)行處理，以免發(fā)生危險(xiǎn)。這些相關(guān)防護(hù)設(shè)備在規(guī)劃時(shí)應(yīng)特別考慮其擺放位置及其實(shí)用，如緊急遮斷按鈕除氣柜上需要外

27、，在氣體房外或中央監(jiān)控系統(tǒng)亦需架設(shè)，避免氣體外泄人員無(wú)法進(jìn)入關(guān)閉源頭的鋼瓶；此外警報(bào)警示燈與警報(bào)聲響亦需在氣體房外面明顯的位置架設(shè)，以利人員緊急處理時(shí)的識(shí)別，并規(guī)劃相關(guān)防護(hù)器具，如更換鋼瓶時(shí)所使用的空氣面罩。為防止地震會(huì)在氣瓶柜的底部打上膨脹螺絲固定，使其在地震時(shí)不至于位移，地震儀的安裝通常有三個(gè)感應(yīng)器，分別裝于廠區(qū)的三個(gè)角落，可避免當(dāng)有外力的干擾時(shí)（如施工）即造成誤動(dòng)作，一般執(zhí)行地震切斷系統(tǒng)功能，通常會(huì)設(shè)定兩個(gè)地震儀動(dòng)作才會(huì)執(zhí)行此功能，且設(shè)定地震等級(jí)為五級(jí)。另一項(xiàng)比較特殊的就是緊急的廢氣處理設(shè)備適用于燃燒性氣體，一般時(shí)抽風(fēng)量只有一半，當(dāng)特殊氣體外泄時(shí)，抽風(fēng)量會(huì)全數(shù)運(yùn)轉(zhuǎn)，需與偵測(cè)器配合使用，但

28、受空間限制一般以吸附一瓶特殊氣的量作為設(shè)計(jì)，因?yàn)槠潴w積非常大。但因價(jià)格昂貴目前尚未普及。5,依氣體特性來(lái)設(shè)計(jì)盤(pán)面功能AS型CYLINDERSIZESPECIFICATIONPRVHC-22HP-FHP-NiAFLASEFSL/CDPSDPGSPLI._EMP.UV/IRAUTOSWITCHEMOESVDFIRES)AMPERMOKEZEMSO-PURGEDPS2C247LYNYNNYYYYYYYYYOptionYYYSi此I247LYNYNNYYYYYYYYYOptionYYYSiH47LYNYNNYNYYYYYYYOptionYYYwf647LYNYNNYYYYYYYYYOptionYYY安

29、全功能：鋼瓶閥,火焰?zhèn)蓽y(cè)器,灑水頭緊急停氣按鈕,泄漏偵測(cè)器的設(shè)計(jì):內(nèi)氣體種類配置的設(shè)計(jì)基本上有兩種方式：一種以供應(yīng)機(jī)臺(tái)為主，另一種以氣體種類進(jìn)行分類，前者較少用也比較不好，雖然它有空間上的優(yōu)點(diǎn)，但不相容氣體裝于同一個(gè)箱子內(nèi)萬(wàn)一泄漏或人員誤動(dòng)作極有可能激烈反應(yīng)嚴(yán)重甚至爆炸，相對(duì)偵測(cè)器的點(diǎn)數(shù)會(huì)增加，造成成本的負(fù)擔(dān)，未來(lái)擴(kuò)充性也較差，后者的設(shè)計(jì)是目前最普遍采用的方式，雖然無(wú)法集中，操作可能比較不方便，但氣體偵測(cè)點(diǎn)少，安全性高，設(shè)計(jì)及操作容易，擴(kuò)充性佳。基本上與氣瓶柜的設(shè)計(jì)是大同小異的，只要?dú)馄抗裼械墓δ茉谝嗫梢宰?，但由于?jīng)費(fèi)的問(wèn)題一般功能不會(huì)做那么好，以手動(dòng)為主加一個(gè)氣動(dòng)閥可做緊急遮斷用。一般不常會(huì)

30、去操作或動(dòng)到所以發(fā)生泄漏的機(jī)率比較低，設(shè)計(jì)一般以節(jié)省成本為主。一般是以業(yè)主實(shí)際上的需求來(lái)設(shè)計(jì)2、3、4、5或其他點(diǎn)數(shù)的數(shù)目，同時(shí)供應(yīng)數(shù)臺(tái)機(jī)臺(tái)，亦可加調(diào)壓閥做二次調(diào)壓讓壓力更加的穩(wěn)定，設(shè)定上下警報(bào)訊號(hào)做更有效的供應(yīng)控制。*&:1.210-2,依操作方式可分為“自動(dòng)”及“手動(dòng)”3121來(lái)潔凈管路及相關(guān)閥件(可省略而經(jīng)由機(jī)臺(tái)來(lái)抽氣)4,依制程需求可再次調(diào)壓5擴(kuò)充閥/擴(kuò)充閥,視需求可供未來(lái)擴(kuò)充6之電控箱藉由集中控制,弁與廠務(wù)中控系統(tǒng)銜接*之：1供氣狀況經(jīng)o與中控系統(tǒng)連線，如有緊急狀況可自動(dòng)切斷氣源2 .所有閥件接點(diǎn)及焊道均在箱內(nèi),可經(jīng)由_抽風(fēng)功能來(lái)減少氣體外漏之危險(xiǎn)3 .()4 ()5 .防爆

31、鋼絲玻璃6,配置門(mén)鎖以防不當(dāng)操作2.3二次配管（/）,1為由或開(kāi)始至生產(chǎn)機(jī)臺(tái)設(shè)備處為止（）2配管之設(shè)計(jì)：1、 類型：1）草圖：依業(yè)主提供之基本資料（廠務(wù)需求單，機(jī)臺(tái)、圖面等），簡(jiǎn)單繪制之圖面。2）施工圖：依據(jù)草圖協(xié)調(diào)事宜，經(jīng)確認(rèn)無(wú)誤后繪制而成。發(fā)至現(xiàn)場(chǎng)施工小組，即可依圖施工。3）竣工圖：施工完畢，現(xiàn)場(chǎng)負(fù)責(zé)人會(huì)將現(xiàn)場(chǎng)施工圖面收回。依現(xiàn)場(chǎng)施工修正之施工圖，繪制竣工圖。2、 工作程序及方法：1）先期工作:以建立所需之為主。對(duì)繪圖而言，底圖是重要且必需的參考依據(jù)，同時(shí)也希望業(yè)主能夠提供。至于如何做分區(qū)、界定，則與客戶廠務(wù)工程師協(xié)調(diào)后，再進(jìn)行底圖之分割及最后之圖檔管理。2）工作進(jìn)行中：a）以業(yè)主提供之圖

32、面及資料，進(jìn)行統(tǒng)合及繪制草圖的工作。原則上草圖的統(tǒng)合，是由現(xiàn)場(chǎng)負(fù)責(zé)人負(fù)責(zé)-包括資料匯整、位置及水、氣、化、電的點(diǎn)數(shù)確認(rèn)，手繪草圖的工作等等。再與設(shè)計(jì)人員進(jìn)行實(shí)際的電腦繪圖工作。b）電腦繪圖完成之草圖，經(jīng)現(xiàn)場(chǎng)負(fù)責(zé)人確認(rèn)后，交予客戶相關(guān)之設(shè)備及廠務(wù)工程師。協(xié)調(diào)相關(guān)之廠商負(fù)責(zé)人及客戶相關(guān)之設(shè)備或廠務(wù)工程師，至現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際套圖。為求圖面準(zhǔn)確性高，則希望業(yè)主提供做為參考之圖面及資料能愈詳細(xì)愈好，以做為最后確認(rèn)草圖的重要依據(jù)。若業(yè)主提供的圖面及資料有修改時(shí)，立即進(jìn)行修改以利完成工作任務(wù)。c）協(xié)調(diào)、修改后經(jīng)業(yè)主相關(guān)設(shè)備或廠務(wù)工程師確認(rèn)之圖面，即為施工圖，可發(fā)至現(xiàn)場(chǎng)施工。3）后期工作：a）現(xiàn)場(chǎng)施工小組依圖面施工，

33、施工路徑與施工圖有異時(shí)，施工小組將在圖面上作修正。完工后，依現(xiàn)場(chǎng)施工小組修正之圖面，繪制竣工圖。b）現(xiàn)場(chǎng)負(fù)責(zé)人與設(shè)計(jì)人員依竣工圖至現(xiàn)場(chǎng)核對(duì)，修正后完成竣工圖面。工程，人員及設(shè)備之需求視現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際需要而調(diào)配。例如人員工作量之負(fù)荷，是否進(jìn)駐現(xiàn)場(chǎng)，上下班情況等等，皆須配合業(yè)主之要求及預(yù)定之時(shí)程。一切以正確完成工作為原則?？蛻羲杼峁┲畧D面及資料（以下為參考資料，實(shí)際需求以工程為主）一、圖面：1、 客戶廠區(qū)（最好各樓層皆有）2、 ：，3、 :,4、5、6、二、：1、 （機(jī)臺(tái)設(shè)備詳細(xì)資料）（1）（2）2、 各機(jī)臺(tái)使用之點(diǎn)3、 各機(jī)臺(tái)使用之三.S.G氣體使用區(qū)域:MM®危害性使用顯域GasType

34、1氧化性易燃性毒性腐食蟲(chóng)性窒息性CVDPVDDIFFIMPETCHPHOTONF3vvvvvvCl2vvHBrvvvSiF4vvvF2/Kr/NevvF2/Ar/NevvC5F8vvBCl3vvvNOvvvvWF6vvvMM®危害性使用展域GasType氧化性易久然性毒性腐觸性窒息性CVDPVDDIFFIMPETCHPHOTOCH2F2vvvCH3FvvvCOvvvC4F6vvv四.B.G使用區(qū)域:2；2:五.S.G適用機(jī)臺(tái)及制程:氣體種類適用機(jī)臺(tái)及制程52()()F2222;3000、B;、H22（）；3031、；（）；（）4663、（、卜（）、；（）、（）；（）；303146N2

35、O；3031、；（）、（）3430312O23Z（）、；3031;3000、；、（）、（）、；（）現(xiàn)場(chǎng)配管施工一、概說(shuō)：1、配管的范圍：1-1、：由至機(jī)臺(tái)點(diǎn)。1-2、：由各出口端至機(jī)臺(tái)點(diǎn)。1-3、配管常用的材料：1-4、1-5、：一般常用尺寸為：1/4、3/8、1/2、3/4常用材質(zhì)為：、。1-6、盤(pán)（）：一般常用尺寸為：1/4、3/81/2、3/4組合閥件常見(jiàn)有：手動(dòng)閥、調(diào)壓閥（）；接頭形式啟:、。2、確定機(jī)臺(tái)需求：設(shè)計(jì)人員依業(yè)主提供之機(jī)臺(tái)需求單，包含機(jī)臺(tái)名稱、位置、氣體需求數(shù)據(jù)、氣源點(diǎn)（及）編號(hào)，繪制草圖。3、核對(duì)現(xiàn)場(chǎng)及機(jī)臺(tái)：3-1、將圖與現(xiàn)場(chǎng)狀況核對(duì)，如氣源點(diǎn)、管路路徑、上洞點(diǎn)、盤(pán)面、門(mén)

36、型架、地板開(kāi)孔及附屬機(jī)臺(tái)位置等。3-2、待機(jī)臺(tái)定位后，需再確認(rèn)上述2-1項(xiàng)、機(jī)臺(tái)位置、門(mén)型架高度，及機(jī)臺(tái)上各接點(diǎn)氣體名稱、接頭尺寸、點(diǎn)數(shù)等（在某些設(shè)備工程師為新進(jìn)人員或機(jī)臺(tái)為首次使用的情況下，經(jīng)常無(wú)法提供完整的機(jī)臺(tái)需求）。4、討論事項(xiàng)：管路在氣源點(diǎn)與機(jī)臺(tái)間是否安裝盤(pán)面、相同氣體之各接點(diǎn)（或）是否共享盤(pán)面、盤(pán)面高度及如何固定等問(wèn)題，均需與業(yè)主事前充分討論，以免完工后再次修改。5、確認(rèn)圖及圖：將定稿之圖及圖，交業(yè)主審核無(wú)誤（或修改）后，再交工程人員備料施工。6、繪制竣工圖：現(xiàn)場(chǎng)完工后，設(shè)計(jì)人員需再次核對(duì)圖及圖與現(xiàn)場(chǎng)狀況是否相符，修正后繪制竣工圖一份送交業(yè)主、一份7、配管施工8、確認(rèn)圖：自設(shè)計(jì)人員處

37、取得圖，至現(xiàn)場(chǎng)確認(rèn)圖內(nèi)各項(xiàng)資料是否相符，如氣源點(diǎn)、管路路徑、上洞點(diǎn)等。9、備料：依圖計(jì)算所需材料，備妥待用。9-1、施工：9-2、規(guī)劃管路排列順序：依各氣源點(diǎn)與機(jī)臺(tái)的相關(guān)位置、盤(pán)面位置、配管路徑及機(jī)臺(tái)接點(diǎn)等，排列管路順序（能繪制立體圖者尤佳）。9-3、安裝盤(pán)面：在指定的高架地板下，依管路排列順序，將相同氣體的盤(pán)面集中擺設(shè)。9-4、安裝門(mén)型架：將指定的高架地板，依需求尺寸開(kāi)孔后，安裝門(mén)型架。9-5、配管：所排列管路順序施工。9-6、注意事項(xiàng)：6-9-1、配管時(shí)使用彎管器或焊接；彎管器使用幾倍彎；或部分使用彎管部分焊接，均需事先了解。6-9-2、某些機(jī)臺(tái)的附屬機(jī)臺(tái)較為復(fù)雜，或擺設(shè)位置較遠(yuǎn)，施工前均

38、需仔細(xì)確認(rèn)?，F(xiàn)場(chǎng)施工規(guī)范一高層1. 3F盤(pán)底到高架地板標(biāo)高170MM。如現(xiàn)場(chǎng)無(wú)法架盤(pán)，盤(pán)底標(biāo)高50MMo2. 2F天花板往下650MM是HOOKUP高層；現(xiàn)場(chǎng),管路爬高至天花板；不得穿越。3. 2FVMB/P上方彎管為VMB/P底盤(pán)上平面向上390MM,彎長(zhǎng)80MM,高20MM,角度十-15度。4. 1F上方100處彎管，BALLALVE底端與PCW末端相平。二氣體標(biāo)簽1 .GAS氣體標(biāo)簽有左右方向，不能混用（只有箭頭方向正確，是不合規(guī)范的）。2 .氣體標(biāo)簽要貼正，貼牢3 .管路標(biāo)示貼紙具方向、字體、種類需正確不可馬虎了事。黏貼樣式依業(yè)主要求不同的管徑選擇不同尺寸的管路標(biāo)示貼紙及粘貼距離。4 .各式及接頭不可先行鎖緊，僅需稍加施力，以免破壞管材。5 .管路施工，水平垂直誤差應(yīng)小于5%如有不符，即需重新施作。6 .附表則為管路支撐及標(biāo)示間距表。1<1/2"2M215A-50A3M3>50A4M三、材料類1 、FITTING類施工損耗要W2%。2、要按規(guī)定使用，不能亂用現(xiàn)場(chǎng)有疑問(wèn)要與監(jiān)工聯(lián)系。3、組要用各組自己領(lǐng)的料，不得亂用別組的料。4、組要用各組自己領(lǐng)的料，不得亂用別組的料。5、場(chǎng)所用SUPPORT現(xiàn)只有兩種規(guī)格300MM和600MMo四、