壓力傳感器復(fù)習(xí)題

1、 第第3章章 壓力檢測(cè)壓力檢測(cè) 在測(cè)量上所稱(chēng)的壓力就是物理學(xué)中的壓強(qiáng)，它是反映物質(zhì)狀態(tài)的一個(gè)參數(shù)；在工業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)過(guò)程中是重要工藝參數(shù)之一。 本章簡(jiǎn)單介紹壓力的概念及單位，重點(diǎn)講解應(yīng)變式壓力計(jì)、壓電式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和霍爾式壓力計(jì)等的測(cè)量原理及測(cè)壓方法。 3.1 壓力的概念及單位壓力的概念及單位1 1、壓力的概念、壓力的概念: : 壓力是垂直而均勻地作用在單壓力是垂直而均勻地作用在單位面積上的力。大小由受力面積和垂直作用力位面積上的力。大小由受力面積和垂直作用力的大小兩個(gè)因素決定。表達(dá)式為：的大小兩個(gè)因素決定。表達(dá)式為：2 2、 壓力的單位壓力的單位 （1 1）工程大氣壓）工程大氣

2、壓 （2 2）標(biāo)準(zhǔn)大氣壓）標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 （3 3）約定毫米汞柱）約定毫米汞柱 （4）約定毫米水柱約定毫米水柱n常用的幾種壓力單位與帕斯卡的換算關(guān)系見(jiàn)常用的幾種壓力單位與帕斯卡的換算關(guān)系見(jiàn)表表3.1.1所示。所示。 3.1 壓力的概念及單位壓力的概念及單位3 3、壓力的分類(lèi)、壓力的分類(lèi) (1).(1).絕對(duì)壓力絕對(duì)壓力 (2).(2).環(huán)境大氣壓力環(huán)境大氣壓力 (3).(3).表壓力表壓力 (4).(4).真空度真空度 (5).(5).差差 壓壓 n上述各種壓力的相互關(guān)系見(jiàn)圖。上述各種壓力的相互關(guān)系見(jiàn)圖。 3.2 應(yīng)變式壓力計(jì)應(yīng)變式壓力計(jì) n3.2.1 電阻應(yīng)變效應(yīng)電阻應(yīng)變效應(yīng) 電阻絲在外力作用下

3、發(fā)生機(jī)械形變時(shí)，其電阻值發(fā)生變化，稱(chēng)為電阻應(yīng)變效應(yīng)。 設(shè)有一根長(zhǎng)度為L(zhǎng)，截面積為S，電阻率為的電阻絲，未受力時(shí)的電阻值為： 受力后： 3.2 應(yīng)變式壓力計(jì)應(yīng)變式壓力計(jì)n令電阻絲的軸向應(yīng)變?yōu)?=l/l，徑向應(yīng)變?yōu)閞/r，由材料力學(xué)可知r/r = -(l/l) =-，為電阻絲材料的泊松系數(shù)，經(jīng)整理可得n令21RR/21/RRKKRR3.2 應(yīng)變式壓力計(jì)應(yīng)變式壓力計(jì)n3.2.2 電阻應(yīng)變片電阻應(yīng)變片 1 1、金屬電阻應(yīng)變片、金屬電阻應(yīng)變片 金屬電阻應(yīng)變片分為金屬絲式和箔式，圖所示為金屬絲式和金屬箔式電阻應(yīng)變片。n 常用的電阻應(yīng)變絲的材料是康銅絲和鎳鉻合絲，用薄紙作為基底的應(yīng)變片稱(chēng)為紙基應(yīng)變片；用 有

4、機(jī)聚合物作為基底的應(yīng)變片稱(chēng)為膠基應(yīng)變片。 3.2 應(yīng)變式壓力計(jì)應(yīng)變式壓力計(jì)n電阻應(yīng)變片1、應(yīng)變絲2、基底3、引線4、金屬膜引線3.2 應(yīng)變式壓力計(jì)應(yīng)變式壓力計(jì)2、半導(dǎo)體應(yīng)變片、半導(dǎo)體應(yīng)變片 半導(dǎo)體受力時(shí)，電阻率發(fā)生變化，電阻率隨應(yīng)力變半導(dǎo)體受力時(shí)，電阻率發(fā)生變化，電阻率隨應(yīng)力變化的關(guān)系稱(chēng)為半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)。半導(dǎo)體應(yīng)變片電阻化的關(guān)系稱(chēng)為半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)。半導(dǎo)體應(yīng)變片電阻 的的變化主要是電阻率變化引起的，表示為變化主要是電阻率變化引起的，表示為 n 由于彈性系數(shù)由于彈性系數(shù)E=/E=/， 上式又可寫(xiě)為上式又可寫(xiě)為 為提高靈敏度半導(dǎo)體應(yīng)變片還有制成柵形的。為提高靈敏度半導(dǎo)體應(yīng)變片還有制成柵形的。 3.2

5、 應(yīng)變式壓力計(jì)應(yīng)變式壓力計(jì)n3.2.3 電阻應(yīng)變片的粘貼及溫度補(bǔ)償電阻應(yīng)變片的粘貼及溫度補(bǔ)償 1 1、應(yīng)變片的粘貼、應(yīng)變片的粘貼：粘貼工藝包括被測(cè)試件表面處理，貼片，質(zhì)量檢查，焊接引線以及防護(hù)與屏蔽等。 2 2、溫度誤差及其補(bǔ)償、溫度誤差及其補(bǔ)償 （1）溫度誤差 ：溫度誤差是指環(huán)境溫度變化引起應(yīng)變片電阻變化。原因有兩方面：一方面是應(yīng)變片電阻絲的溫度系數(shù)，另一方面是電阻絲材料與試件材料的線膨脹系數(shù)不同。 （2）溫度補(bǔ)償 電橋補(bǔ)償法如圖。 3.2 應(yīng)變式壓力計(jì)應(yīng)變式壓力計(jì)n3.2.4 轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換電路n當(dāng) RL=時(shí)，電橋輸出電壓為：nUo =0時(shí)，有03241RRRRRRRR43213.2 應(yīng)變式

6、壓力計(jì)應(yīng)變式壓力計(jì)單臂電橋輸出電壓和電壓靈敏度為 雙臂電橋電路，一般接成差動(dòng)電橋。其輸出電壓為電橋四臂同時(shí)接入工作應(yīng)變片，則構(gòu)成全橋電路。其輸出電壓為 3.2 應(yīng)變式壓力計(jì)應(yīng)變式壓力計(jì)3.2 應(yīng)變式壓力計(jì)應(yīng)變式壓力計(jì)n3.2.5 應(yīng)變式壓力傳感器 1、膜式應(yīng)變傳感器 圖是一種簡(jiǎn)單的平膜壓力傳感器，應(yīng)變片貼在膜片的內(nèi)表面。膜片感受壓力時(shí)產(chǎn)生應(yīng)變，使應(yīng)變片有一定的電阻輸出。 3.2 應(yīng)變式壓力計(jì)應(yīng)變式壓力計(jì)2、測(cè)力式應(yīng)變傳感器 右圖為一種帶水冷的測(cè)力計(jì)式壓力傳感器。 3、擴(kuò)散硅型壓力傳感器 圖(a)是一個(gè)杯型組合式測(cè)量元件 圖(b)是膜片一個(gè)截面示意圖 1-應(yīng)變片；2-外殼；3-墊片；4-冷卻水管

7、；5-密封墊；6-墊片；7-接線柱；8-電纜；9-壓帽；10-定位銷(xiāo)；11-墊片；12-應(yīng)變筒；13-墊片；14-保護(hù)帽3.3 薄膜應(yīng)變片薄膜應(yīng)變片 薄膜應(yīng)變片是用濺射或蒸發(fā)的方法將半導(dǎo)體或金屬敏感材料鍍?cè)趶椥曰系?。?yōu)點(diǎn)： 1、穩(wěn)定性好 2、使用壽命長(zhǎng) 3、靈敏度高 4、溫度系數(shù)小 5、工作溫度范圍寬 6、量程大 7、成本低。 3.3 薄膜應(yīng)變片薄膜應(yīng)變片n3.3.1 薄膜應(yīng)變片原理 電阻為：n 設(shè)其應(yīng)變?yōu)椋娮柘鄬?duì)變化為： n對(duì)于半導(dǎo)體材料，上式可寫(xiě)為： 3.3 薄膜應(yīng)變片薄膜應(yīng)變片 n3.3.2 薄膜應(yīng)變片的制作及應(yīng)用1、濺射薄膜應(yīng)變片 主要成膜工藝有真空 濺射和真空蒸鍍。真空濺射工藝

8、大致流程為：基片預(yù)處理、濺射 介質(zhì)層、濺射敏感層、蒸發(fā)Au、光刻電極、形成電 橋、完成全部電連接、沉積鈍化膜。 2、蒸發(fā)薄膜應(yīng)變片 用真空蒸發(fā)工藝制作的薄膜應(yīng)變片其結(jié)構(gòu)同濺射應(yīng)變片基本相同。 3.4 壓電式壓力傳感器壓電式壓力傳感器 n3.4.1 壓電效應(yīng) 某些電介質(zhì)物體在某方向受壓力或拉力作用產(chǎn)生形變時(shí)，表面會(huì)產(chǎn)生電荷。外力撤消后，又回到不帶電狀態(tài)。這種現(xiàn)象稱(chēng)為壓電效應(yīng)。具有壓電效應(yīng)的物體稱(chēng)為壓電材料，如天然的石英晶體，人造壓電陶瓷等。 1、石英晶體的壓電效應(yīng) 圖為天然結(jié)構(gòu)的石英晶體外形和石英晶體切片 3.4 壓電式壓力傳感器壓電式壓力傳感器n當(dāng)切片在沿X軸的方向上受到壓力Fx作用時(shí)，晶體切

9、片將產(chǎn)生厚度變形，并在與X軸垂直的平面上產(chǎn)生電荷Qx，它的大小為： 3.4 壓電式壓力傳感器壓電式壓力傳感器n電荷的極性見(jiàn)圖 3.4 壓電式壓力傳感器壓電式壓力傳感器2、壓電效應(yīng)的物理解釋 如圖所示。 3.4 壓電式壓力傳感器壓電式壓力傳感器n3.4.2 壓電材料 1、壓電晶體 （1）石英晶體： 石英晶體即二氧化硅（SiO2），有天然的和人工培育的兩種。壓電系數(shù)d11=2.3110-12C/N，在幾百攝氏度的溫度范圍內(nèi)，壓電系數(shù)幾乎不隨溫度而變。到575時(shí)，它完全失去了壓電性質(zhì)，這就是它的居里點(diǎn)。石英的熔點(diǎn)為1750，密度為2.65103kg/m3，有很大的機(jī)械強(qiáng)度和穩(wěn)定的機(jī)械性質(zhì)，可承受高達(dá)

10、6.81079.8107Pa的應(yīng)力，在沖擊力作用下漂移較小。 3.4 壓電式壓力傳感器壓電式壓力傳感器（2）水溶性壓電晶體： 最早發(fā)現(xiàn)的是酒石酸鉀鈉（NaKC4H4O6.4H2O），它有很大的壓電靈敏度和高的介電常數(shù)，壓電系數(shù)d11=310-9C/N。但是酒石酸鉀鈉易于受潮，它的機(jī)械強(qiáng)度低，電阻率也低，因此，只限于在室溫（45）和濕度低的環(huán)境下應(yīng)用。 （3）鈮酸鋰晶體： 人工提拉法制成了鈮酸鋰的大晶塊，穩(wěn)定性遠(yuǎn)比多晶體的壓電陶瓷好。它是一種壓電性能良好的電聲換能材料，它的居里溫度為1200左右，遠(yuǎn)比石英和壓電陶瓷高， 3.4 壓電式壓力傳感器壓電式壓力傳感器2、壓電陶瓷 （1）鈦酸鋇壓電陶瓷

11、（2）鋯鈦酸鉛系壓電陶瓷 （3）鈮酸鹽系壓電陶瓷 （4）鈮鎂酸鉛壓電陶瓷 3、壓電半導(dǎo)體 壓電半導(dǎo)體如硫化鋅(ZnS)、碲化鎘(CdTe)、氧化鋅(ZnO)、硫化鎘(CdS)、碲化鋅(ZnTe)和砷化鎵(CaAs)等。這些材料的顯著特點(diǎn)是：既具有壓電特性，又具有半導(dǎo)體特性，有利于將元件和線路集成于一體，從而研制出新型的集成壓電傳感器的測(cè)試系統(tǒng)。3.4 壓電式壓力傳感器壓電式壓力傳感器n3.4.3 測(cè)量電路測(cè)量電路 把壓電晶體等效成一個(gè)電荷源與電容并聯(lián)的等效電路。由于電容器上的電壓Ua，電荷量Q，電容Ca的關(guān)系為 Ua=Q/Ca，壓電晶體也可等效為一個(gè)電壓源和一個(gè)電容器的串聯(lián)電路。 實(shí)際壓電傳感

12、器輸出信號(hào)很微弱，且內(nèi)阻很高，需用前置放大器。 前置放大器有兩個(gè)作用：一是放大壓電傳感器輸出的微弱信號(hào)，另一個(gè)是把高阻抗輸出轉(zhuǎn)換為低阻抗輸出。 3.4 壓電式壓力傳感器壓電式壓力傳感器1、電壓放大器n 圖示的是壓電傳感器接到電壓放大器的等效電路。 icamimCCCdFU3.4 壓電式壓力傳感器壓電式壓力傳感器2、電荷放大器 n 電荷放大器是有反饋電容的高增益運(yùn)算放大器，它的輸入信號(hào)是壓電傳感器產(chǎn)生的電荷。當(dāng)略去泄露電阻，且放大器輸入電阻趨于無(wú)窮大時(shí)，它的等效電路如圖所示。 AUACCCCQAUificao1foCQU 3.4 壓電式壓力傳感器壓電式壓力傳感器n3.4.4 壓電壓力及力傳感器

13、1、壓電式三維測(cè)力傳感器：一種壓電式三維測(cè)力傳感器的三組晶體切片的組合情況，可同時(shí)測(cè)量三個(gè)互相垂直的FX、FY、FZ力分量。 2、壓電式單向測(cè)力傳感器 3.4 壓電式壓力傳感器壓電式壓力傳感器3、壓電式測(cè)量均勻壓力傳感器 4、消除振動(dòng)加速度影響的壓電傳感器3.5 電容式壓力傳感器電容式壓力傳感器 電容式壓力及力傳感器是將被測(cè)量（如尺寸、壓力等）的變化轉(zhuǎn)換成電容量的變化的一種傳感器。實(shí)際上，它本身就是一個(gè)可變電容器。目前，從工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程自動(dòng)化應(yīng)用來(lái)說(shuō)，有壓力、差壓、絕對(duì)壓力、帶開(kāi)方的差壓（用于測(cè)流量）等品種及高差壓、微差壓、高靜壓等規(guī)格。3.5 電容式壓力傳感器電容式壓力傳感器 n3.5.1 電

14、容式傳感器的工作原理 n電容式傳感器有三種基本類(lèi)型：變極距型、變面積型、變介電常數(shù)型。 1、變極距型電容傳感器 3.5 電容式壓力傳感器電容式壓力傳感器 2、變面積型電容傳感器 3、變介電常數(shù)型電容傳感器 12/ln2rrlC3.5 電容式壓力傳感器電容式壓力傳感器 n3.5.2 差動(dòng)電容傳感器 n在實(shí)際壓力測(cè)量中，常使用差動(dòng)點(diǎn)電容傳感器，不但提高了靈敏度，也改善了非線性。 200012dxdxCxddCxddCCllCrrllrrllC012122/ln2/ln23.5 電容式壓力傳感器電容式壓力傳感器 n3.5.3 測(cè)量電路 電橋電路、調(diào)頻電路、脈沖調(diào)寬電路和運(yùn)算放大器式電路等。 1、橋式

15、電路 空載電壓為： 3.5 電容式壓力傳感器電容式壓力傳感器 2、緊耦合電橋電路 n緊耦合電橋理論可得此狀態(tài)下輸出電壓n在兩L0非耦合情況下， 輸出電壓為： 12402020CLCLUCCU1202020CLCLUCCU3.5 電容式壓力傳感器電容式壓力傳感器 3、差分脈沖調(diào)寬電路 n差動(dòng)脈沖調(diào)寬電路屬脈沖調(diào)制電路。它利用對(duì)傳感器電容充放電使輸出脈沖的寬度隨電容量的變化而變化，再經(jīng)低通濾波器可得對(duì)應(yīng)被測(cè)量變化的直流信號(hào)。n輸出的直流電壓與傳感器兩電容差值成正比。 121210UCCCCU12121UTTTTUUUBAO3.5 電容式壓力傳感器電容式壓力傳感器n差動(dòng)脈沖調(diào)寬電路各點(diǎn)電壓波形圖如示

16、3.5 電容式壓力傳感器電容式壓力傳感器4、調(diào)頻電路 n將電容式傳感器接入高頻振蕩器的LC 回路中，當(dāng)被測(cè)量使電容變化時(shí)，振蕩頻率也相應(yīng)變化，故稱(chēng)為調(diào)頻電路。 n圖所示為調(diào)頻電路原理圖 CCCCLLCf021(21213.5 電容式壓力傳感器電容式壓力傳感器5、運(yùn)算放大器 n將電容式傳感器接入運(yùn)算放大器中，作為電路的反饋元件構(gòu)成的測(cè)量電路如圖所示。 以Cx=S/d 代入，可得：n上式表明，輸出電壓與d是線性關(guān)系。 UCCUCjCjUXX)/(1)/(10dSUCU03.5 電容式壓力傳感器電容式壓力傳感器n3.5.4 電容式壓力傳感器1、電容式差壓傳感器 將左右對(duì)稱(chēng)的不銹鋼基座2和3的外側(cè)加工

17、成環(huán)狀波紋溝槽，并焊上波紋隔離膜片1和4?；鶅?nèi)側(cè)有玻璃層5，基座和玻璃層中央都有孔。玻璃內(nèi)表面磨成凹球面，球面除邊緣部分外鍍以金屬膜6，此金屬膜層為電容的定極板并有導(dǎo)線通往外部。左右對(duì)稱(chēng)的上述結(jié)構(gòu)中央夾入并焊接彈性平膜片，即測(cè)量膜片7，為電容的中央動(dòng)極板。測(cè)量膜片左右空間被分隔成兩個(gè)室，故有兩室之稱(chēng)。3.5 電容式壓力傳感器電容式壓力傳感器2、變面積式壓力傳感器 測(cè)壓力作用在金屬膜片1上，通過(guò)中心柱2、支撐簧片3使可動(dòng)電極4隨膜片中心位移而動(dòng)作。 3.6 霍爾式壓力計(jì)霍爾式壓力計(jì) n霍爾式壓力計(jì)是利用霍爾元件測(cè)量彈性元件變形的一種電測(cè)壓力計(jì)，它結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，體積小，頻率響應(yīng)寬，動(dòng)態(tài)范圍(輸出電動(dòng)

18、勢(shì)的變化)大，可靠性高，易于微型化和集成電路化。但信號(hào)轉(zhuǎn)換效率低，溫度影響大，使用于要求轉(zhuǎn)換精度高的場(chǎng)合必須進(jìn)行溫度補(bǔ)償。 n3.6.1 霍爾效應(yīng)dIBRUHH3.6 霍爾式壓力計(jì)霍爾式壓力計(jì)n霍爾元件的特性常用靈敏度K KH H表示，即n此時(shí) n可見(jiàn)，霍爾電動(dòng)勢(shì)的大小正比于控制電流I和磁感應(yīng)強(qiáng)度B的乘積及靈敏度KH。當(dāng)控制電流的方向或磁場(chǎng)的方向改變時(shí)，輸出電動(dòng)勢(shì)的方向也將改變。但當(dāng)磁場(chǎng)與電流同時(shí)改變方向時(shí)，霍爾電動(dòng)勢(shì)并不改變?cè)瓉?lái)的方向。 dRKHHIBKUHH3.6 霍爾式壓力計(jì)霍爾式壓力計(jì)n3.6.2 霍爾式壓力計(jì)工作原理 3.6 霍爾式壓力計(jì)霍爾式壓力計(jì)n3.6.3 霍爾式壓力計(jì)的誤差及

19、補(bǔ)償 霍爾式壓力計(jì)的誤差有兩部分，一是彈性元件的變換誤差；一是霍爾元件的變換誤差。 1、不等位電勢(shì)及補(bǔ)償 n不等位電勢(shì)的產(chǎn)生有兩個(gè)原因，如圖所示。 3.6 霍爾式壓力計(jì)霍爾式壓力計(jì)n幾種補(bǔ)償電路 3.6 霍爾式壓力計(jì)霍爾式壓力計(jì)2、霍爾電勢(shì)的溫度系數(shù) 主要是溫差電勢(shì)和靈敏度系數(shù)隨溫度變化兩種情況。 3、溫度對(duì)內(nèi)阻的影響3.6 霍爾式壓力計(jì)霍爾式壓力計(jì)4、溫度補(bǔ)償 霍爾元件輸入電阻和霍爾電勢(shì)的溫度系數(shù)均為正的效果較好的補(bǔ)償電路圖。 實(shí)際測(cè)量中，要求較高時(shí)，常采用恒溫方法。 LiHRRUI0HLiLLLURRRIRU0LiHLitHttRtRtURRUI11LiHLtLLtRtRtURIRU113

20、.6 霍爾式壓力計(jì)霍爾式壓力計(jì)n3.6.4 霍爾式壓力計(jì)霍爾式壓力計(jì) 由兩部分組成：一部分是彈性元件，用它來(lái)感受壓力，并把壓力轉(zhuǎn)換成位移量；另一部分是霍爾元件與磁系統(tǒng)。 3.7 電子稱(chēng)電子稱(chēng) n3.7.1 電子稱(chēng)的原理 n電子稱(chēng)的核心部件是稱(chēng)重傳感器。稱(chēng)重傳感器把機(jī)械力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，經(jīng)放大處理后，或顯示，或輸入數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。n圖是一個(gè)比較簡(jiǎn)單稱(chēng)重系統(tǒng)框圖。 3.7 電子稱(chēng)電子稱(chēng)n3.7.2 稱(chēng)重傳感器原理 秤重傳感器根據(jù)制作原理不同可以分為感應(yīng)式、電容式、壓磁式、振弦式和應(yīng)變式等，而壓磁式、振弦式和應(yīng)變式傳感器在電子稱(chēng)系統(tǒng)中都得到了廣泛地應(yīng)用。 圖是振弦式稱(chēng)重傳感器的工作原理圖。 3.7 電子

21、稱(chēng)電子稱(chēng)n3.7.3 電子稱(chēng)的應(yīng)用 ICS-XXX-T系列電子皮帶配料稱(chēng)，適用于陶瓷、精細(xì)化工、煙草等對(duì)配料精度要求較高的場(chǎng)所 。分類(lèi)如下表。3.7 電子稱(chēng)電子稱(chēng)表3.7.1 電子秤的分類(lèi)與應(yīng)用類(lèi) 別應(yīng) 用靜態(tài)稱(chēng)重系統(tǒng)汽車(chē)衡、軌道衡、廢鋼秤、吊車(chē)秤汽車(chē)、火車(chē)、飛機(jī)等的重量，貨物重量以及確定板坯、鋼錠的重量動(dòng)態(tài)稱(chēng)重系統(tǒng)軌道衡、駝峰稱(chēng)重、軌道液體罐車(chē)、雙秤臺(tái)系統(tǒng)鐵路車(chē)輛、卡車(chē)、拖車(chē)等在運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下稱(chēng)重配料稱(chēng)重系統(tǒng)多種原料組分裝入一個(gè)稱(chēng)重斗的微機(jī)配料系統(tǒng)；多種原料組分裝入幾個(gè)稱(chēng)重斗的微機(jī)配料系統(tǒng)塑料工業(yè)、洗滌劑生產(chǎn)、食品工業(yè)、鑄造工業(yè)、玻璃生產(chǎn)、煉鋼等方面其它稱(chēng)重系統(tǒng)皮帶秤、重量檢驗(yàn)秤、計(jì)數(shù)秤控制物料流量、檢驗(yàn)欠重、超重以及對(duì)庫(kù)房中的零件、元件的進(jìn)貨和發(fā)貨等進(jìn)行計(jì)數(shù)3.8 集成壓敏傳感器集成壓敏傳感器n集成壓敏傳感器依照敏感元件的不同可分為兩類(lèi)，硅電容式集成壓敏傳感器和擴(kuò)散硅集成壓敏傳感器，硅電容式集成壓敏傳感器的敏感元件是電容式壓敏元件，擴(kuò)散硅集成壓敏傳感器采用的是電阻式壓敏元件。 n3.8.1 硅電容式集成傳感器 1、硅敏感電容器的工作原理 3.8 集成壓敏傳感器集成壓敏傳感器00)(2CCCCUUUxxaPO2、硅敏感電容器的測(cè)量電路3.8 集成壓敏傳感器集成壓敏傳感器n3.8.2 擴(kuò)散硅壓敏傳感器擴(kuò)散硅壓