工廠如何消除靜電與防止靜電實(shí)踐篇

1、ESD Control *靜電就是靜止的電荷，就是物體表面有多余靜電就是靜止的電荷，就是物體表面有多余 的電荷（正電荷或負(fù)電荷）存在。的電荷（正電荷或負(fù)電荷）存在。靜電產(chǎn)生有三種方法：靜電產(chǎn)生有三種方法：N摩擦摩擦N相接觸的兩個(gè)物體發(fā)生分離相接觸的兩個(gè)物體發(fā)生分離N靜電感應(yīng)產(chǎn)生靜電靜電感應(yīng)產(chǎn)生靜電Page 1 結(jié)果：帶結(jié)果：帶正正的靜電荷的靜電荷結(jié)果：帶結(jié)果：帶負(fù)負(fù)的靜電荷的靜電荷相接觸的兩個(gè)相接觸的兩個(gè)物體發(fā)生分離物體發(fā)生分離Page 2）帶有靜電的物體靠近或接觸另一物帶有靜電的物體靠近或接觸另一物體，只要它們之間存在電勢(shì)差，就體，只要它們之間存在電勢(shì)差，就會(huì)發(fā)生靜電荷傳遞。這種靜電荷傳會(huì)發(fā)

2、生靜電荷傳遞。這種靜電荷傳遞過程我們稱之為遞過程我們稱之為靜電泄放靜電泄放。當(dāng)這。當(dāng)這種靜電荷傳遞的過程強(qiáng)度足夠大，種靜電荷傳遞的過程強(qiáng)度足夠大，大到可以損壞我們的產(chǎn)品，我們就大到可以損壞我們的產(chǎn)品，我們就稱之為稱之為ESD事件事件。Page 3任何物體都可以產(chǎn)生靜電任何物體都可以產(chǎn)生靜電 ！Everything can be come Charged ！ 在在我們的工作區(qū)域所有物體都可以產(chǎn)生靜電我們的工作區(qū)域所有物體都可以產(chǎn)生靜電! 手推車，椅子，機(jī)械手，粘膠帶，周轉(zhuǎn)箱和其它物料輸送物品手推車，椅子，機(jī)械手，粘膠帶，周轉(zhuǎn)箱和其它物料輸送物品 人體，手套，凈化室用抹布，凈化室用太空服，普通衣服

3、人體，手套，凈化室用抹布，凈化室用太空服，普通衣服 工作臺(tái)表面，工作臺(tái)表面，CRT電腦顯示器，手動(dòng)工具，紙，筆記本，文件夾，筆電腦顯示器，手動(dòng)工具，紙，筆記本，文件夾，筆 墻壁，地板，酒精瓶，墻壁，地板，酒精瓶， ESD 包裝，非包裝，非ESD 包裝包裝 等等都可以產(chǎn)生靜電。等等都可以產(chǎn)生靜電。Page 4 對(duì)于硬盤產(chǎn)品生產(chǎn)，表面電阻小于對(duì)于硬盤產(chǎn)品生產(chǎn)，表面電阻小于1x109Ohms 的材料是理想的的材料是理想的ESD材料。材料。3. Insulator 絕緣材料絕緣材料2. Dissipative 靜電消耗材料靜電消耗材料1.Conductive 導(dǎo)體材料導(dǎo)體材料105 Ohms / 10

4、11 Ohms / 1 產(chǎn)生靜電少產(chǎn)生靜電少 2 靜電可以通過接地消除靜電可以通過接地消除 （但消除速度很快）（但消除速度很快） 3 可以接收的可以接收的ESD材料材料1 產(chǎn)生靜電較少產(chǎn)生靜電較少 2 靜電可以通過接地消除靜電可以通過接地消除 （消除速度適中）（消除速度適中） 3 理想的理想的ESD材料材料1 產(chǎn)生靜電很多產(chǎn)生靜電很多 2 靜電不能通過接地消除靜電不能通過接地消除 （消除速度特別慢）（消除速度特別慢） 3 非非ESD材料材料Page 5Page 6人體對(duì)大于人體對(duì)大于的靜電才有感覺！的靜電才有感覺！但是但是磁頭磁頭PCB/PCC電路板電路板梳頭發(fā)梳頭發(fā)撕貼膠帶撕貼膠帶走路走路對(duì)

5、于對(duì)于ESD我們應(yīng)該統(tǒng)一認(rèn)識(shí)，并加以提高我們應(yīng)該統(tǒng)一認(rèn)識(shí)，并加以提高ESD ESD 是是 隱隱 藏藏 的的 敵敵 人人Page 7聽到聽到5000V感覺到感覺到3000V看到看到8000V電子元件電子元件受損受損100-500V針對(duì)我們的針對(duì)我們的Arm產(chǎn)品產(chǎn)品,安全靜電電壓是安全靜電電壓是 !大量的靜電荷在存在電勢(shì)差的大量的靜電荷在存在電勢(shì)差的物體物體（人或機(jī)器）與（人或機(jī)器）與產(chǎn)品產(chǎn)品之間之間快速快速傳遞，短時(shí)間內(nèi)產(chǎn)生很大的電流（遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過產(chǎn)品可以承傳遞，短時(shí)間內(nèi)產(chǎn)生很大的電流（遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過產(chǎn)品可以承受的電流）重則損毀電路，造成產(chǎn)品不能使用；輕則使電路受的電流）重則損毀電路，造成產(chǎn)品不能使用；輕

6、則使電路過熱受到損傷，影響產(chǎn)品的壽命和可靠性。過熱受到損傷，影響產(chǎn)品的壽命和可靠性。被被ESD損毀的產(chǎn)品損毀的產(chǎn)品Page 8使電子元件受損的使電子元件受損的潛在缺陷潛在缺陷占占90% 在廠內(nèi)很難被發(fā)現(xiàn)在廠內(nèi)很難被發(fā)現(xiàn)電子元件電子元件即時(shí)失效即時(shí)失效只占只占10% 在廠內(nèi)可被發(fā)現(xiàn)在廠內(nèi)可被發(fā)現(xiàn)決定靜電產(chǎn)生多少的因素主要有：決定靜電產(chǎn)生多少的因素主要有：1 材料的導(dǎo)電性能材料的導(dǎo)電性能：導(dǎo)電材料和靜電消耗材料產(chǎn)生比較少的靜電，絕緣材料產(chǎn)生很多的靜電。：導(dǎo)電材料和靜電消耗材料產(chǎn)生比較少的靜電，絕緣材料產(chǎn)生很多的靜電。2 環(huán)境相對(duì)濕度環(huán)境相對(duì)濕度對(duì)靜電的產(chǎn)生有很大的影響，相對(duì)濕度大（空氣潮濕）靜電產(chǎn)

7、生就少，對(duì)靜電的產(chǎn)生有很大的影響，相對(duì)濕度大（空氣潮濕）靜電產(chǎn)生就少，ESD的的 問題就少。反之，相對(duì)濕度小問題就少。反之，相對(duì)濕度小ESD的問題就多。的問題就多。 3 ESD地板地板， ESD安全的鞋安全的鞋（包括太空服）及（包括太空服）及腕帶腕帶 的使用對(duì)于降低人體產(chǎn)生的靜電也是非常的使用對(duì)于降低人體產(chǎn)生的靜電也是非常 有效的。另外在地板上有效的。另外在地板上走動(dòng)走動(dòng)比比不走動(dòng)不走動(dòng)產(chǎn)生更多的靜電。產(chǎn)生更多的靜電。 1 在地在地 毯上走路毯上走路2 穿普通鞋在穿普通鞋在ESD地板上走路（不使用腕帶）地板上走路（不使用腕帶） 3 穿穿ESD安全的鞋在安全的鞋在ESD地板上（使用腕帶地板上（使

8、用腕帶 ） 5 摩擦絕緣材料摩擦絕緣材料35000V 8000V 1500V10000V 4000V 200V50V 10V 0V環(huán)境相對(duì)濕度環(huán)境相對(duì)濕度10-20%RH 40-50%RH 70-90%RH4000V 1500V 300VPage 9ESD 損壞的方式損壞的方式直接的方式直接的方式間接的方式間接的方式1. 金屬（小電阻）接觸金屬（小電阻）接觸帶靜電的物體接觸產(chǎn)品帶靜電的物體接觸產(chǎn)品 (HBM)物體接觸帶靜電的產(chǎn)品物體接觸帶靜電的產(chǎn)品 (CDM)2. 電路電路熱拔插熱拔插帶電測(cè)試帶電測(cè)試靜電感應(yīng)靜電感應(yīng)不直接接觸不直接接觸電磁干擾（電磁干擾（EMI）不直接接觸不直接接觸Page

9、10 降降 低低 成成 本本 提提 高高 產(chǎn)產(chǎn) 品品 質(zhì)質(zhì) 量量 客客 戶戶 滿滿 意意 增增 加加 利利 潤潤Page 11Three fundamental principles三個(gè)基本的控制原理三個(gè)基本的控制原理- Ground/Bond all conductors ( 為所有導(dǎo)體進(jìn)行接地處理。為所有導(dǎo)體進(jìn)行接地處理。注意：人也是導(dǎo)體）注意：人也是導(dǎo)體）- Control Charges on Nonconductors ( 控制容易產(chǎn)生較多靜電絕緣材料控制容易產(chǎn)生較多靜電絕緣材料）- Use protective packaging for transit and storage (

10、 在產(chǎn)品運(yùn)輸和存貯過程中使用在產(chǎn)品運(yùn)輸和存貯過程中使用ESD防護(hù)包裝防護(hù)包裝）ESD 控制控制 = Man ( 人人 ) + Machine (機(jī)機(jī) ) +Material (料料 )+Method(法法 )+ Environment( 環(huán)環(huán) )Man ( 人人 )-手腕帶手腕帶 ，ESD鞋鞋，ESD椅子椅子,衣服衣服 Machine ( 機(jī)機(jī) )- 接地接地，控制靜電電流控制靜電電流- 消除消除 / 屏蔽屏蔽 電磁干擾和交流電場(chǎng)電磁干擾和交流電場(chǎng)Material ( 材料材料 )- 使用導(dǎo)體材料使用導(dǎo)體材料- 盡量使用靜電消耗材料盡量使用靜電消耗材料- 使用使用 ESD地板，地板，ESD桌墊

11、桌墊- 不用或盡量少用絕緣材料不用或盡量少用絕緣材料Method ( 方法方法 )- 預(yù)防預(yù)防 （創(chuàng)建創(chuàng)建ESD安全的環(huán)境）安全的環(huán)境）- 保護(hù)保護(hù) （保護(hù)對(duì)（保護(hù)對(duì)ESD敏感的產(chǎn)品或零部件，避免金屬小敏感的產(chǎn)品或零部件，避免金屬小 電阻接觸電阻接觸 ）- 屏蔽屏蔽 （對(duì)非（對(duì)非ESD安全的物品進(jìn)行法拉第或距離屏蔽安全的物品進(jìn)行法拉第或距離屏蔽 ）- 消除消除 （通過接地，離子化消除產(chǎn)生的靜電）（通過接地，離子化消除產(chǎn)生的靜電）Environment ( 環(huán)境環(huán)境 )- 溫度溫度 / 濕度控制濕度控制- 局部使用離子風(fēng)機(jī)局部使用離子風(fēng)機(jī)- 員工員工 ESD培訓(xùn)培訓(xùn)- 管理管理Page 12-

12、處理對(duì)處理對(duì)ESD敏感的產(chǎn)品必須在敏感的產(chǎn)品必須在ESD安全區(qū)域（安全區(qū)域（ ESD Safe Area)內(nèi)進(jìn)行。內(nèi)進(jìn)行。 - 在在ESD安全區(qū)域處理對(duì)安全區(qū)域處理對(duì)ESD敏感的產(chǎn)品，必須依照敏感的產(chǎn)品，必須依照ESD安全處理程序進(jìn)行。安全處理程序進(jìn)行。 - 沒有進(jìn)行必要的沒有進(jìn)行必要的ESD防護(hù)，不允許進(jìn)入防護(hù)，不允許進(jìn)入ESD安全區(qū)域。安全區(qū)域。 ESD敏感產(chǎn)品的處理工序依照產(chǎn)品的特點(diǎn)和可能敏感產(chǎn)品的處理工序依照產(chǎn)品的特點(diǎn)和可能 造成的造成的ESD損壞劃分為四個(gè)損壞劃分為四個(gè)ESD風(fēng)險(xiǎn)等級(jí)：風(fēng)險(xiǎn)等級(jí)：1A 級(jí)級(jí) - 特別高的特別高的ESD風(fēng)險(xiǎn)風(fēng)險(xiǎn)1 級(jí)級(jí) - 很高的很高的ESD風(fēng)險(xiǎn)風(fēng)險(xiǎn)2

13、級(jí)級(jí) - 較高的較高的ESD風(fēng)險(xiǎn)風(fēng)險(xiǎn) （ 以上級(jí)別只用行磁頭和硬盤生產(chǎn)工序）以上級(jí)別只用行磁頭和硬盤生產(chǎn)工序）3 級(jí)級(jí) - 高的高的ESD風(fēng)險(xiǎn)風(fēng)險(xiǎn) （硬盤生產(chǎn)（硬盤生產(chǎn)Drive Top Cover安裝到位以后安裝到位以后 工序工序PCCA / Hook up Die / IC 安裝，焊接及通電測(cè)試工序）安裝，焊接及通電測(cè)試工序）4 級(jí)級(jí) - 中等的中等的ESD風(fēng)險(xiǎn)風(fēng)險(xiǎn) （PCCA ，Hook up 一般工序）一般工序）Page 13靜電防護(hù)安全區(qū)域靜電防護(hù)安全區(qū)域（ ESD Safe Area)兩種可用的接地系統(tǒng)兩種可用的接地系統(tǒng)LNE產(chǎn)品產(chǎn)品ESD墊子墊子機(jī)器或夾具機(jī)器或夾具ESD腕帶腕帶

14、ESD地板地板ESD鞋鞋工作臺(tái)工作臺(tái)ESD凈化服凈化服LNE產(chǎn)品產(chǎn)品ESD墊子墊子機(jī)器或夾具機(jī)器或夾具ESD腕帶腕帶ESD鞋鞋工作臺(tái)工作臺(tái)ESD凈化服凈化服ESD接地銅排接地銅排ESD地板地板Page 14產(chǎn)品產(chǎn)品ESD墊子墊子機(jī)器或夾具機(jī)器或夾具ESD腕帶腕帶ESD鞋鞋工作臺(tái)工作臺(tái)ESD凈化服凈化服ESD地板地板1.人體通過人體通過ESD凈化服、凈化服、ESD鞋及鞋及ESD地板接地接地電阻通常在地板接地接地電阻通常在 1x10e8 1x10e9歐姆歐姆,這時(shí)人體這時(shí)人體的靜電電位在的靜電電位在500V以下。以下。2.人體通過人體通過ESD腕帶接地，接地電腕帶接地，接地電阻可以確保在阻可以確保

15、在 1x106 1x107歐姆，可以確保人體的靜電電位歐姆，可以確保人體的靜電電位在在10V以下。以下。3.機(jī)器或夾具等金屬物體通過接地機(jī)器或夾具等金屬物體通過接地線接地，接地電阻通常小于線接地，接地電阻通常小于10歐歐姆，可以將機(jī)器或夾具等金屬物姆，可以將機(jī)器或夾具等金屬物體上產(chǎn)生的靜電隨時(shí)導(dǎo)向大地，體上產(chǎn)生的靜電隨時(shí)導(dǎo)向大地，減少靜電對(duì)產(chǎn)品的危害。減少靜電對(duì)產(chǎn)品的危害。Page 15針對(duì)我們的針對(duì)我們的Arm產(chǎn)品產(chǎn)品,安全靜電電壓是安全靜電電壓是 60%最大風(fēng)速。最大風(fēng)速。高度高度18-24 Inch產(chǎn)品區(qū)域產(chǎn)品區(qū)域Page 191） 在在ESD安全的工位處理對(duì)安全的工位處理對(duì)ESD敏感產(chǎn)

16、品。敏感產(chǎn)品。2） 在處理對(duì)在處理對(duì)ESD敏感產(chǎn)品之前戴上腕帶，防靜電手套。敏感產(chǎn)品之前戴上腕帶，防靜電手套。3） 對(duì)所有金屬設(shè)備和工具進(jìn)行接地處理。對(duì)所有金屬設(shè)備和工具進(jìn)行接地處理。4） 讓讓ESD敏感產(chǎn)品與絕緣材料最少保持敏感產(chǎn)品與絕緣材料最少保持12英寸（約英寸（約30公分）的距離。公分）的距離。 （如果對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行了保護(hù)如：產(chǎn)品放在（如果對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行了保護(hù)如：產(chǎn)品放在ESD包內(nèi)，放在包內(nèi)，放在 蓋上蓋子的蓋上蓋子的ESD 安全安全 物料盒內(nèi)；如果對(duì)絕緣材料進(jìn)行了屏蔽或使用了離子風(fēng)機(jī)，物料盒內(nèi)；如果對(duì)絕緣材料進(jìn)行了屏蔽或使用了離子風(fēng)機(jī)，ESD敏感產(chǎn)品與敏感產(chǎn)品與 絕緣材料之間不受這個(gè)距離的限

17、制。）絕緣材料之間不受這個(gè)距離的限制。）5） 總是保持工作區(qū)域干凈整潔，拿走不必要的物料，特別是拿走不是生產(chǎn)必需總是保持工作區(qū)域干凈整潔，拿走不必要的物料，特別是拿走不是生產(chǎn)必需 的普通塑料制品，紙制品及個(gè)人物品。的普通塑料制品，紙制品及個(gè)人物品。6） 對(duì)對(duì)ESD敏感產(chǎn)品可能接觸的設(shè)備部件，敏感產(chǎn)品可能接觸的設(shè)備部件， 測(cè)量設(shè)備接地，確保牢固有效安全。測(cè)量設(shè)備接地，確保牢固有效安全。7） 不要用金屬物體接觸對(duì)不要用金屬物體接觸對(duì)ESD敏感產(chǎn)品的暴露的輸入電路，減少對(duì)敏感產(chǎn)品的暴露的輸入電路，減少對(duì)ESD敏感產(chǎn)敏感產(chǎn) 品不必要的接觸。品不必要的接觸。8） 服從服從ESD敏感區(qū)域，敏感區(qū)域，ESD

18、安全紀(jì)律要求。安全紀(jì)律要求。9） 如果你對(duì)如果你對(duì)ESD有不清楚的可以聯(lián)系本地有不清楚的可以聯(lián)系本地ESD控制部門。控制部門。Page 20“Q” : 在產(chǎn)品或零部件在產(chǎn)品或零部件，工具或其它物體（包括人體）上的工具或其它物體（包括人體）上的 靜電荷靜電荷 （通常是由于摩擦或者是靜電感應(yīng)產(chǎn)生的）（通常是由于摩擦或者是靜電感應(yīng)產(chǎn)生的）“M” : 與產(chǎn)品或零部件暴露的輸入電路進(jìn)行小電阻的與產(chǎn)品或零部件暴露的輸入電路進(jìn)行小電阻的金屬聯(lián)接。金屬聯(lián)接?！癊SD” : 短時(shí)間內(nèi)的大電流損壞產(chǎn)品或零部件，造成短時(shí)間內(nèi)的大電流損壞產(chǎn)品或零部件，造成 ESD損壞損壞1.沒有沒有金屬聯(lián)接金屬聯(lián)接: Q + M =

19、 ESD 沒有沒有ESD損壞損壞2.沒有沒有靜電荷靜電荷 : Q + M = ESD 沒有沒有ESD損壞損壞3.沒有沒有靜電荷靜電荷和沒有和沒有金屬聯(lián)接金屬聯(lián)接: Q + M = ESD 沒有沒有ESD損壞損壞用這個(gè)公式來幫我們理解如何解決用這個(gè)公式來幫我們理解如何解決ESD問題問題Page 21消除金屬聯(lián)接（消除金屬聯(lián)接（M）: Q + M = NO ESD 避免金屬聯(lián)接的方法：避免金屬聯(lián)接的方法：設(shè)計(jì)工具，使暴露的電路不能接觸工具的金屬表面設(shè)計(jì)工具，使暴露的電路不能接觸工具的金屬表面在工具的表面使用在工具的表面使用ESD消耗材料（消耗材料（ESD墊子等）墊子等）暴露的暴露的電路電路好好好好

20、不好不好Page 22 為導(dǎo)體進(jìn)行可靠的接地為導(dǎo)體進(jìn)行可靠的接地（對(duì)固定金屬導(dǎo)體：接地電阻（對(duì)固定金屬導(dǎo)體：接地電阻 10 ohms ,對(duì)移動(dòng)導(dǎo)對(duì)移動(dòng)導(dǎo) 體，體，ESD材料或不可以接地的導(dǎo)體：接地電阻材料或不可以接地的導(dǎo)體：接地電阻 1X109 歐姆。）歐姆。） 減少或消除摩擦、撕粘膠帶等等所有可以產(chǎn)生靜電的操作。減少或消除摩擦、撕粘膠帶等等所有可以產(chǎn)生靜電的操作。 如有必要，使用離子風(fēng)機(jī)消除絕緣材料上的靜電。如有必要，使用離子風(fēng)機(jī)消除絕緣材料上的靜電。 從工位上拿走不是生產(chǎn)必須的絕緣材料。從工位上拿走不是生產(chǎn)必須的絕緣材料。 對(duì)于生產(chǎn)工藝必須的絕緣材料和對(duì)于生產(chǎn)工藝必須的絕緣材料和ESD敏感

21、的產(chǎn)品，保持安全距離（敏感的產(chǎn)品，保持安全距離（12英寸英寸 以上）。以上）。減少或消除靜電荷減少或消除靜電荷 （Q）: Q + M = NO ESDPage 23 很多人首先試著只是控制很多人首先試著只是控制 Q ( 靜電荷靜電荷 ) 但消除但消除M ( 金屬聯(lián)接金屬聯(lián)接 ) 通常是最廉價(jià)的，最容易的，從長期來說也通常是最廉價(jià)的，最容易的，從長期來說也 是最有效的解決辦法。是最有效的解決辦法。 聰明的做法是把控制聰明的做法是把控制 Q ( 靜電荷靜電荷 ) 和消除和消除M ( 金屬聯(lián)接金屬聯(lián)接 ) 結(jié)合起來結(jié)合起來這取決于在每個(gè)工藝過程中哪一種方法最容易，最廉價(jià)。這取決于在每個(gè)工藝過程中哪一

22、種方法最容易，最廉價(jià)。 你必須不斷改善和優(yōu)化你的工藝過程，否則你必須不斷改善和優(yōu)化你的工藝過程，否則ESD的問題將繼續(xù)困的問題將繼續(xù)困 惑著你惑著你!Q + M = ESDPage 24 電子元器件就像雞蛋，電子元器件對(duì)電子元器件就像雞蛋，電子元器件對(duì)ESD十分敏感就像雞蛋從高處落下很容易摔壞。十分敏感就像雞蛋從高處落下很容易摔壞。 電子元器件帶有靜電就像一個(gè)被舉高的雞蛋電子元器件帶有靜電就像一個(gè)被舉高的雞蛋 不是高度摔破了雞蛋，而是高度的突然改變（摔下雞蛋）摔破了雞蛋。不是高度摔破了雞蛋，而是高度的突然改變（摔下雞蛋）摔破了雞蛋。 不是高的靜電電壓損壞了電子元器件，而是靜電電壓的突然改變損壞

23、電子元器件不是高的靜電電壓損壞了電子元器件，而是靜電電壓的突然改變損壞電子元器件。 金屬聯(lián)接金屬聯(lián)接造成的靜電電壓的突然改變等同從高處摔下雞蛋。造成的靜電電壓的突然改變等同從高處摔下雞蛋。如果超過這一高度摔下如果超過這一高度摔下(靜電泄放靜電泄放)雞蛋雞蛋( 電子元器件電子元器件 ) 將被摔破將被摔破(損壞損壞)高度（靜電高度（靜電荷的多少）荷的多少）搬運(yùn)雞蛋搬運(yùn)雞蛋( 電子元器件電子元器件 ) 越過障礙物，越過障礙物， 如何保證雞蛋如何保證雞蛋( 電子元器件電子元器件 ) 不被摔破不被摔破(損壞損壞) ？Page 25第一種解決方法第一種解決方法降低降低障礙物的高度，障礙物的高度， 相當(dāng)于傳

24、統(tǒng)的相當(dāng)于傳統(tǒng)的 ESD 控制思路控制思路 只是控制靜電荷和電壓，去除絕緣材料、使用接地、離子風(fēng)機(jī)等等只是控制靜電荷和電壓，去除絕緣材料、使用接地、離子風(fēng)機(jī)等等如果超過這一高度摔下如果超過這一高度摔下(靜電泄放靜電泄放)雞蛋雞蛋(電子元器件電子元器件 ) 將被摔破將被摔破(損壞損壞)高度（靜電高度（靜電荷的多少）荷的多少）Page 26第二種解決方法第二種解決方法在在地板上靠近障礙物地方墊上地板上靠近障礙物地方墊上軟墊子軟墊子防止雞蛋被摔破防止雞蛋被摔破在在工作表面上墊上工作表面上墊上 ESD墊子墊子或或 ESD薄膜薄膜（靜電消耗材料），防止電子元器件（靜電消耗材料），防止電子元器件暴露的電路

25、直接接觸金屬表面。暴露的電路直接接觸金屬表面。高度（靜電高度（靜電荷的多少）荷的多少）超過這一高度摔到超過這一高度摔到?jīng)]有墊子的地面沒有墊子的地面雞蛋將被摔破雞蛋將被摔破超過這一高度摔到超過這一高度摔到墊有墊子的地面墊有墊子的地面雞蛋將被摔破雞蛋將被摔破Page 27Page 28第三種解決方法第三種解決方法為為雞蛋穿上防摔的軟套雞蛋穿上防摔的軟套。為為電子元器件增加電子元器件增加 ESD 防護(hù)：防護(hù)： 使用使用 ESD屏蔽袋，設(shè)置分流和限流電阻等屏蔽袋，設(shè)置分流和限流電阻等 等。等。高度（靜電高度（靜電荷的多少）荷的多少）超過這一高度摔到地面，超過這一高度摔到地面，穿上防摔軟套穿上防摔軟套的

26、雞蛋將被摔破的雞蛋將被摔破超過這一高度摔到地面，超過這一高度摔到地面，沒有沒有防摔軟套防摔軟套的雞蛋將被摔破的雞蛋將被摔破Faraday Cage 法拉第籠法拉第籠具有法拉第籠作用的具有法拉第籠作用的ESD屏屏蔽袋，蔽袋，ESD Tray( 注意：只注意：只有封閉或蓋好才會(huì)有法拉第有封閉或蓋好才會(huì)有法拉第籠屏蔽防護(hù)作用）籠屏蔽防護(hù)作用）高度（靜電高度（靜電荷的多少）荷的多少）第四種解決方法第四種解決方法讓讓雞蛋停在高處不摔下雞蛋停在高處不摔下電子元器件仍然帶上靜電荷，但是不泄放，當(dāng)然不會(huì)損壞電子元器件但電子元器件仍然帶上靜電荷，但是不泄放，當(dāng)然不會(huì)損壞電子元器件但風(fēng)險(xiǎn)依然存在，有可能在下一工序

27、就會(huì)發(fā)生靜電泄放，損壞電子元器件風(fēng)險(xiǎn)依然存在，有可能在下一工序就會(huì)發(fā)生靜電泄放，損壞電子元器件- 這不是一種好的這不是一種好的ESD解決辦法。解決辦法。如果超過這一高度摔下如果超過這一高度摔下(靜電泄放靜電泄放)雞蛋雞蛋(電子元器件電子元器件) 將被摔破將被摔破(損壞損壞)也許我們還有其它的解決辦法？也許我們還有其它的解決辦法？Page 29ESD ControlPage 30ESD Control（一）（一）Wrist strap 及及monitor 的使用、維護(hù)的使用、維護(hù)Fuji 494 雙線腕帶監(jiān)測(cè)器雙線腕帶監(jiān)測(cè)器Fuji 99 單線腕帶監(jiān)測(cè)器單線腕帶監(jiān)測(cè)器雙線腕帶雙線腕帶1設(shè)施部定期

28、（一般至少三個(gè)月設(shè)施部定期（一般至少三個(gè)月一次）對(duì)監(jiān)測(cè)器進(jìn)行一次）對(duì)監(jiān)測(cè)器進(jìn)行PM。更換更換易損件，校準(zhǔn)監(jiān)測(cè)器，確保正易損件，校準(zhǔn)監(jiān)測(cè)器，確保正常工作。常工作。2QA對(duì)監(jiān)測(cè)器插孔定期（一般為對(duì)監(jiān)測(cè)器插孔定期（一般為一個(gè)月一次）進(jìn)行接地測(cè)試，一個(gè)月一次）進(jìn)行接地測(cè)試，確保接地良好。確保接地良好。3生產(chǎn)部在使用過程中出現(xiàn)任何生產(chǎn)部在使用過程中出現(xiàn)任何問題及時(shí)通知到設(shè)施部進(jìn)行修問題及時(shí)通知到設(shè)施部進(jìn)行修理。經(jīng)確認(rèn)是腕帶損壞的及時(shí)理。經(jīng)確認(rèn)是腕帶損壞的及時(shí)由主管或領(lǐng)班更換腕帶。由主管或領(lǐng)班更換腕帶。4QA對(duì)使用及執(zhí)行情況進(jìn)行核查。對(duì)使用及執(zhí)行情況進(jìn)行核查。Page 31ESD Control（二）電烙

29、鐵的接地（二）電烙鐵的接地 確保烙鐵焊頭接地良好確保烙鐵焊頭接地良好Fuji 300 防靜電電烙鐵防靜電電烙鐵有防靜電標(biāo)志有防靜電標(biāo)志不管是防靜電電烙鐵還是普通電烙鐵，必須定期不管是防靜電電烙鐵還是普通電烙鐵，必須定期測(cè)試?yán)予F焊頭對(duì)地電阻測(cè)試?yán)予F焊頭對(duì)地電阻(R)。標(biāo)準(zhǔn)：標(biāo)準(zhǔn)：R 100 ohms (普通電子企業(yè)）普通電子企業(yè)）烙鐵焊頭烙鐵焊頭Page 32ESD ControlPage 33（三）顯微鏡的接地（三）顯微鏡的接地僅對(duì)夾具進(jìn)行接地，沒有固定到顯微僅對(duì)夾具進(jìn)行接地，沒有固定到顯微鏡底座上，顯微鏡機(jī)體接地不良。鏡底座上，顯微鏡機(jī)體接地不良。由于顯微鏡機(jī)體和底座被油漆由于顯微鏡機(jī)體和底

30、座被油漆覆蓋，所以應(yīng)另接覆蓋，所以應(yīng)另接接地線接地線接地，接地，確保接地良好。確保接地良好。顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)：對(duì)地電阻顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)：對(duì)地電阻 1x10e9 ohms接地線松脫接地線松脫ESD ControlPage 34（四）工作臺(tái)工具（四）工作臺(tái)工具 / 設(shè)備的接地設(shè)備的接地接地良好接地良好接地良好接地良好所有用于生產(chǎn)或所有用于生產(chǎn)或檢驗(yàn)的工作臺(tái)面。檢驗(yàn)的工作臺(tái)面。 接地標(biāo)準(zhǔn)接地標(biāo)準(zhǔn)：對(duì)地對(duì)地電阻電阻 10 ohms接地線松脫接地線松脫移動(dòng)的部分增加接地，確保接地良好移動(dòng)的部分增加接地，確保接地良好接地線松脫接地線松脫ESD Control注意：注意：類似以上兩種放置在工作臺(tái)上的工具類似以上兩種放置

31、在工作臺(tái)上的工具/ 設(shè)備，設(shè)備， 由于它們的底腳是絕緣的塑料，必須確認(rèn)它由于它們的底腳是絕緣的塑料，必須確認(rèn)它 們的接地電阻（有些可以通過電源線地線接們的接地電阻（有些可以通過電源線地線接 地）如果接地不良，必須另外接地線。地）如果接地不良，必須另外接地線。 標(biāo)準(zhǔn)：對(duì)地電阻標(biāo)準(zhǔn)：對(duì)地電阻 10 ohms底腳是絕緣的塑料底腳是絕緣的塑料Page 35ESD Control類似圖示的可移動(dòng)設(shè)備（還包括類似圖示的可移動(dòng)設(shè)備（還包括 Oven 等），它們的底腳輪等），它們的底腳輪子是絕緣的塑料，必須確認(rèn)它們的子是絕緣的塑料，必須確認(rèn)它們的外殼，工作臺(tái)外殼，工作臺(tái)和和與產(chǎn)品接與產(chǎn)品接觸的夾具觸的夾具的接

32、地電阻（有些可以通過電源線地線接地）如果的接地電阻（有些可以通過電源線地線接地）如果接地不良，必須另外接地線。接地不良，必須另外接地線。標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)：外殼，工作臺(tái)和與產(chǎn)品接觸的固定的金屬夾具：外殼，工作臺(tái)和與產(chǎn)品接觸的固定的金屬夾具 10 ohms 與產(chǎn)品接觸的活動(dòng)的夾具，與產(chǎn)品接觸的活動(dòng)的夾具，ESD材料材料 1 x 10 E 9 ohms夾具夾具臺(tái)面臺(tái)面外殼外殼Page 36ESD Control確保確保外殼，與產(chǎn)品接觸的流水線和夾具外殼，與產(chǎn)品接觸的流水線和夾具的接地的接地良好。（外殼測(cè)試點(diǎn)是外殼上暴露的螺絲）良好。（外殼測(cè)試點(diǎn)是外殼上暴露的螺絲） 標(biāo)準(zhǔn)：外殼、流水線線體標(biāo)準(zhǔn)：外殼、流水線線

33、體 10 ohms流水線線體流水線線體夾具夾具外殼外殼流水線線體流水線線體外殼外殼外殼外殼Page 37ESD Control流水線線體流水線線體通過延長通過延長拖線板接拖線板接地必須確地必須確認(rèn)接地良認(rèn)接地良好。好。Page 38確認(rèn)外殼及流水線金屬傳送帶對(duì)地電阻確認(rèn)外殼及流水線金屬傳送帶對(duì)地電阻確認(rèn)工作臺(tái)接地，確認(rèn)工作臺(tái)接地，ESD椅子性能椅子性能流水線傳送帶流水線傳送帶ESD ControlPage 39（五）手推車的接地（五）手推車的接地 確保有接地鏈條并與地面接觸良好確保有接地鏈條并與地面接觸良好沒有接地鏈條沒有接地鏈條有接地鏈條，接地可以接受有接地鏈條，接地可以接受接地鏈條沒有接觸

34、接地鏈條沒有接觸ESD的地面的地面盡管使用接地鏈條接地不盡管使用接地鏈條接地不是一種十分理想的手推車是一種十分理想的手推車接地方式（有些公司接地方式（有些公司 使用使用ESD的車輪接地）。但有的車輪接地）。但有接地鏈條，鏈條與地面接接地鏈條，鏈條與地面接觸良好是觸良好是Belton對(duì)手推車對(duì)手推車最基本的要求。最基本的要求。ESD ControlPage 40（六）貨架的接地（六）貨架的接地 - 底腳不能用塑料底腳底腳不能用塑料底腳不用塑料底腳不用塑料底腳 - OK貨架接地電阻：貨架接地電阻： 1x10E12 ohms標(biāo)準(zhǔn)：標(biāo)準(zhǔn)：1.四只底腳不能用四只底腳不能用塑料底腳塑料底腳2.貨架接地電阻

35、：貨架接地電阻： 1x10E9 ohms用塑料底腳用塑料底腳 接地不良接地不良ESD ControlPage 41用金屬緊固塞用金屬緊固塞 - OK金屬緊固塞金屬緊固塞使用最低標(biāo)準(zhǔn)：如圖使用最低標(biāo)準(zhǔn)：如圖（此最低標(biāo)準(zhǔn)適用于拼接式手推車）（此最低標(biāo)準(zhǔn)適用于拼接式手推車）用接地線聯(lián)接要確用接地線聯(lián)接要確認(rèn)聯(lián)接良好認(rèn)聯(lián)接良好（七）貨架的接地（七）貨架的接地 - 擱板與柱子聯(lián)接的緊固塞擱板與柱子聯(lián)接的緊固塞金屬緊固塞金屬緊固塞ESD ControlPage 42（八）使用（八）使用ESD防護(hù)防護(hù)ESD墊子墊子 - OKESD 材料夾具材料夾具對(duì)對(duì)CRT顯示器顯示器進(jìn)行距離防護(hù)進(jìn)行距離防護(hù)ESD Con

36、trol（九）（九）ESD材料與非材料與非ESD材料材料ESD 屏蔽袋屏蔽袋 ESD OKESD Tray ESD OKESD材料：材料： SR 1x10 E11 ohmsPE 袋袋 非非ESD材料材料非非ESD材料材料 Tray不是生產(chǎn)工藝必須的絕緣材料（非不是生產(chǎn)工藝必須的絕緣材料（非ESD材料）必材料）必須從工作臺(tái)上拿走，與產(chǎn)品區(qū)域保持至少須從工作臺(tái)上拿走，與產(chǎn)品區(qū)域保持至少12英寸英寸（30CM）以上距離。以上距離。注意注意：PE袋只能用來對(duì)蓋上蓋子的袋只能用來對(duì)蓋上蓋子的ESD Tray進(jìn)行外包裝，非進(jìn)行外包裝，非ESD 材料材料 Tray只能用來包裝對(duì)只能用來包裝對(duì)ESD不敏感的元器件。