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1、Good is good, but better carries it.精益求精,善益求善。ISO14644-1中文翻譯-ISO14644-1(中文翻譯)前言ISO為全球各國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化團(tuán)體(ISO會(huì)員團(tuán)體)的聯(lián)合會(huì)。其國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)工作一般是由ISO各技術(shù)委員會(huì)執(zhí)行。每個(gè)會(huì)員團(tuán)體若對(duì)技術(shù)委員會(huì)的某一課題感興趣,均有權(quán)作為此技術(shù)委員會(huì)的代表。任何與ISO保持聯(lián)系的國(guó)際組織,無(wú)論是政府的還是非政府的組織,同樣可參加此項(xiàng)工作。ISO與國(guó)際電氣技術(shù)委員會(huì)(IEC)在電氣技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化方面進(jìn)行緊密合作。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)草案由其技術(shù)委員會(huì)認(rèn)可后送各會(huì)員團(tuán)體進(jìn)行傳閱,以待表決。草案作為國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)頒布至少需要75%的會(huì)員團(tuán)體投贊成票
2、。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1由ISO/TC209潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境技術(shù)委員會(huì)提出。ISO14644在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的總標(biāo)題下,由下述各部分組成:第1部分:空氣潔凈度等級(jí)劃分第2部分:為認(rèn)證與ISO14644-1連續(xù)的相符性的測(cè)試和監(jiān)測(cè)技術(shù)要求第3部分:計(jì)量和測(cè)試方法第4部分:設(shè)計(jì)、施工和啟動(dòng)第5部分:運(yùn)行第6部分:術(shù)語(yǔ)和定義第7部分:增強(qiáng)的潔凈裝置用戶應(yīng)注意,第2至第7部分的標(biāo)題為第1部分發(fā)行時(shí)的工作標(biāo)題。如果從工作計(jì)劃中刪除了一部分或幾部分,剩余部分可以重新編寫(xiě)。附錄B和C為ISO14644的組成部分,附錄A、D、E和F僅作資料用。引言潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境保證空氣中懸浮粒子被控制在
3、合適的級(jí)別,以確保完成對(duì)污染敏感的有關(guān)活動(dòng)。以下行業(yè)的產(chǎn)品和工藝均得益于空氣中懸浮污染物的控制:航天、微電子、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、食品和保健品。ISO14644的本部分指定ISO分級(jí)的各級(jí)別,以此作為潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度的技術(shù)要求。本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測(cè)試的程序,而且確定了測(cè)試的標(biāo)準(zhǔn)方法。為劃分等級(jí),ISO14644的本部分僅限于確定粒子濃度限值用的指定的粒徑范圍。本部分還提供了標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議,以依據(jù)大于或小于指定分級(jí)用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級(jí)標(biāo)識(shí)。ISO14644的本部分為潔凈室和污染控制系列標(biāo)準(zhǔn)中的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)。除懸浮粒子潔凈度之外,還有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設(shè)計(jì)、技
4、術(shù)要求、運(yùn)行和控制中予以考慮。這些內(nèi)容在ISO/TC209技術(shù)委員會(huì)制定的其它國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)中有詳細(xì)論述。在某些情況下,有關(guān)管理機(jī)構(gòu)可能會(huì)規(guī)定動(dòng)作一些補(bǔ)充的政策或限制。這就可能要求對(duì)標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試程序作適當(dāng)?shù)男薷摹崈羰壹跋嚓P(guān)受控環(huán)境第1部分:空氣潔凈度的分級(jí)1范圍ISO14644的本部分是根據(jù)空氣中懸浮粒子濃度來(lái)劃分潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級(jí)。只有在0.1m-0.5m的閾值(低于閾值)粒徑范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群體才可供分級(jí)用。ISO14644的本部分不包含0.1m-0.5m規(guī)定粒徑范圍以外的粒子群體的分級(jí)。超微粒子(0.1m)和大粒子(0.5m)可分別以U描述符和M描述符來(lái)量化粒子群體。
5、ISO14644的本部分不能用于表征懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性或生存性。注粒徑遵紀(jì)守法增范圍內(nèi)粒子濃度的實(shí)際分布情況通常是不可預(yù)測(cè)的,并且是隨著時(shí)間而變化的。2定義下述定義適用于ISO14644的本部分2.1通則2.1.1潔凈室空氣懸浮粒子濃度受控的房間、房間的建設(shè)和使用方式要盡可能減少室內(nèi)引入、產(chǎn)生和滯留粒子,室內(nèi)其它相關(guān)參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求進(jìn)行控制。2.1.2潔凈區(qū)懸浮粒子濃度受控的限定空間??臻g的建設(shè)和使用方式要盡可能減少區(qū)內(nèi)引入、產(chǎn)生和滯留粒子,空間內(nèi)其它相關(guān)參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求進(jìn)行控制。注:該區(qū)可以是開(kāi)放式或是密閉式,可以位于或不位于潔凈室內(nèi)。2.1.3設(shè)施潔凈
6、室或一個(gè)或多個(gè)潔凈區(qū),連同所有相關(guān)的構(gòu)筑物、空氣處理系統(tǒng)、動(dòng)力和公用設(shè)施。2.1.4分級(jí)適用于一個(gè)的懸浮粒子潔凈度等級(jí)(或規(guī)定或確定該等級(jí)的過(guò)程),以ISO等級(jí)N來(lái)表示,它表示所考慮的粒徑的最大允許濃度(以pc/m3空氣計(jì))。注1此濃度用3.2中的公式(1)確定。注2按照本國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分級(jí),限定在ISO1級(jí)至ISO9級(jí)。注3適用于按本國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分級(jí)的粒徑(低閾值)范圍限于0.1m-0.5m。分級(jí)范圍之外的閾值粒徑之空氣潔凈度可以用U或M描述符(見(jiàn)2.3.1或2.3.2)來(lái)說(shuō)明和規(guī)定(但不是分級(jí))。注4ISO分級(jí)可以規(guī)定中間等級(jí)號(hào),用最小允許遞增值0.1,規(guī)定為自ISO1.1至8.9級(jí)。注5等級(jí)可
7、以按3種占用狀態(tài)(見(jiàn)2.4)規(guī)定或?qū)崿F(xiàn)。2.2懸浮粒子2.2.1粒子用于空氣潔凈度分級(jí)的固體或液體物,其粒徑閾值(低限)范圍在0.1m-0.5m,并呈累積分布。2.2.2粒徑由給定的粒徑測(cè)定儀響應(yīng)出(與被測(cè)粒子作出的響應(yīng)當(dāng)量)的球體的直徑。注離散粒子計(jì)數(shù)和光散射儀器使用當(dāng)量光學(xué)直徑。2.2.3粒子濃度單位體積空氣中的單個(gè)粒子數(shù)。2.2.4粒徑分布作為粒徑函數(shù)的粒子濃度之累積分布。2.2.5超微粒子當(dāng)量直徑小于0.1m的粒子。2.2.6大粒子當(dāng)量直徑大于0.5m的粒子2.2.7纖維長(zhǎng)寬比等于或大于10的粒子。2.3描述符2.3.1U描述符測(cè)得或規(guī)定的粒子濃度,即含超微粒子的濃度以pc/m3空氣計(jì)
8、,注U描述符可認(rèn)為是采樣點(diǎn)平均值的上限(或置信上限,取決于用于確定潔凈室或潔凈區(qū)特性的采樣點(diǎn)數(shù)目)不能用U描述符來(lái)定義且懸浮粒子潔凈度等級(jí),但可以單獨(dú)引用或與懸浮粒子潔凈度等級(jí)一起引用。2.3.2M描述符測(cè)得或規(guī)定的每m3空氣中大粒子的濃度,以作為所用測(cè)試方法特性的當(dāng)量直徑來(lái)表示。注M描述符可認(rèn)為是采樣點(diǎn)平均值的上限(或置信上限,取決于用于確定潔凈室或潔凈區(qū)特性的采樣點(diǎn)數(shù)目)不能用M描述符來(lái)定義懸浮粒子潔凈度等級(jí),但可以單獨(dú)引用或與懸浮粒子潔凈度等級(jí)一起引用。2.4占用狀態(tài)2.4.1空態(tài)設(shè)施已經(jīng)建成,所有動(dòng)力接通并運(yùn)行,但無(wú)生產(chǎn)設(shè)備、材料或人員在場(chǎng)。2.4.2靜態(tài)設(shè)施已經(jīng)建成,生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝
9、好,并以用戶和供應(yīng)商同意的方式運(yùn)行,但沒(méi)有人員在場(chǎng)。2.4.3動(dòng)態(tài)設(shè)施以規(guī)定的方式運(yùn)行,有規(guī)定數(shù)目的人員在場(chǎng),并以雙方同意的方式進(jìn)行工作。2.5角色2.5.1用戶負(fù)責(zé)規(guī)定潔凈室或潔凈區(qū)的要求的組織或其代理。2.5.2供應(yīng)商被聘用來(lái)滿足規(guī)定的潔凈室或潔凈區(qū)的要求的組織。3等級(jí)3.1占用狀態(tài)潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)空氣的粒子潔凈度應(yīng)按“空態(tài)”、“靜態(tài)”和“動(dòng)態(tài)”三種占用狀態(tài)中的一種或三種(見(jiàn)2.4)進(jìn)行定義。注應(yīng)認(rèn)識(shí)到“空態(tài)”適用于新建成的或新發(fā)行的潔凈室或潔凈區(qū)。對(duì)“空態(tài)”的測(cè)試完成后,即應(yīng)進(jìn)一步測(cè)試“靜態(tài)”或“動(dòng)態(tài)”或兩種狀態(tài)。3.2等級(jí)級(jí)別空氣中懸浮粒子潔凈度以等級(jí)序數(shù)N命名。各種被考慮粒徑D的粒子
10、Cn的最大允許濃度用下述公式確定:(1)式中,Cn大于或行于被考慮粒徑的粒子最大允許濃度(pc/m3空氣)。Cn以有效數(shù)為3位四舍五入到最靠近的整數(shù)。NISO等級(jí)級(jí)別,最大不超過(guò)9。ISO等級(jí)級(jí)別N之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增值進(jìn)行規(guī)定。D以微米(m)計(jì)的被選粒徑。0.1為一常數(shù),表示以微米(m)計(jì)的量綱。表1表示的是被選擇的懸浮粒子潔凈度等級(jí)和大于或等于表中所考慮粒徑的粒子之相應(yīng)濃度限值。圖A.1(見(jiàn)附錄A)以圖解形式表示出所選的等級(jí)。在有爭(zhēng)議的情況下,從公式(1)中得到的濃度Cn應(yīng)作為標(biāo)準(zhǔn)值。3.3命名潔凈室或潔凈區(qū)的懸浮粒子潔凈度的命名應(yīng)包括:a)等級(jí)級(jí)別,以“ISOClass
11、N”表示:b)分組時(shí)的占用狀態(tài):c)按分級(jí)公式(1)測(cè)定的被考慮粒徑,各被考慮粒徑的閾值均在0.1m-0.5m的范圍內(nèi)。命名實(shí)例:ISOClass4:動(dòng)態(tài):被考慮粒徑:0.2m(2370pc/m3),1m(83pc/m3)測(cè)量濃度的被考慮粒徑應(yīng)得到用戶和供應(yīng)商雙方的同意。如果測(cè)量一個(gè)以上的被考慮粒徑,各較大的粒徑(如D2)應(yīng)至少為下一個(gè)較小粒徑(如D1)的1.5倍。即:D21.5D14相符性認(rèn)證4.1原則通過(guò)執(zhí)行用戶和供應(yīng)商雙方同意的指定的測(cè)試程序,并提供關(guān)于測(cè)試條件和測(cè)試結(jié)果的規(guī)定文件,認(rèn)證是否符合用戶規(guī)定的空氣潔凈度(ISOclass)要求。4.2測(cè)試附錄B中給出了認(rèn)證相符性的基準(zhǔn)測(cè)試方法
12、。也可以規(guī)定其它有類似準(zhǔn)確性的方法,如果沒(méi)有就其它方法作出規(guī)定或達(dá)成一致意見(jiàn),則應(yīng)該用基準(zhǔn)方法。應(yīng)采用經(jīng)過(guò)校舍準(zhǔn)的食品進(jìn)行相符性認(rèn)證測(cè)試。4.3懸浮粒子濃度限值按4.2完成測(cè)試后,按附錄C中的公式計(jì)算平均粒子濃度和95%置信上限(適用情況下)。按公式(C.1)計(jì)算出的平均粒子濃度不應(yīng)超過(guò)用3.2中公式(1)確定的濃度限值,其被考慮粒很應(yīng)符合3.3c的規(guī)定。此外,如果采樣點(diǎn)數(shù)目至少為2個(gè),但不超過(guò)9個(gè),則按C.3計(jì)算的95%置信上限不應(yīng)超過(guò)上面確定的濃度限值。注附錄D中給出等級(jí)計(jì)算的工作實(shí)例。對(duì)于各種被考慮粒徑應(yīng)用相同方法來(lái)測(cè)定,用于認(rèn)證等級(jí)粒子濃度限值具有一致性。4.4測(cè)試報(bào)告各潔凈室或潔凈區(qū)的測(cè)試結(jié)果均應(yīng)記錄,應(yīng)以綜合報(bào)告形式提交,并說(shuō)明是否符合規(guī)定的是浮粒子潔凈度命名等級(jí)。測(cè)試報(bào)告應(yīng)包括下述各項(xiàng)內(nèi)容:a)測(cè)試組織的名稱、地址和進(jìn)行測(cè)試的日期;b)ISO14644本部分的出版編號(hào)和年代,即ISO14644-1:當(dāng)前版日期;c)明確標(biāo)明被
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