CMOS集成電路工藝流程(共54張)課件

1、第三章CMOS集成電路工藝流程白雪飛中國科學技術大學電子科學與技術系第三章CMOS集成電路工藝流程白雪飛多晶硅柵CMOS工藝流程可用器件工藝擴展提綱2多晶硅柵CMOS工藝流程提綱2多晶硅柵CMOS工藝流程多晶硅柵CMOS工藝流程初始材料重摻雜P型(100)襯底硅，P+減小襯底電阻，提高抗CMOS閂鎖效應能力外延生長在襯底上生長一層輕摻雜P型外延層，P-厚度510um可以比CZ硅更精確的控制外延層的電學特性，從而更好的控制器件參數(shù)襯底材料4初始材料襯底材料4N阱擴散熱氧化N阱掩模板光刻氧化層磷離子注入高溫推進，同時形成緩沖氧化層N阱工藝能夠提供性能稍好的NMOS晶體管，并允許襯底接地N阱擴散5N

2、阱擴散N阱擴散5反型槽工藝淀積氮化硅反型槽掩模板光刻氮化硅刻蝕場區(qū)氮化硅反型槽6反型槽工藝反型槽6溝道終止注入7溝道終止注入7LOCOS氧化刻蝕去除氮化硅去除緩沖氧化層生長虛擬氧化層LOCOS工藝和虛擬柵氧化8LOCOS氧化LOCOS工藝和虛擬柵氧化8閾值調整硼注入調整閾值電壓剝除虛擬柵氧化層柵氧化層干氧法氧化過程很短，柵氧化層很薄閾值調整和柵氧化層生長9閾值調整閾值調整和柵氧化層生長9本征多晶硅淀積多晶硅掩模光刻、多晶硅層刻蝕多晶硅重摻雜磷（淀積、注入）多晶硅淀積和光刻10本征多晶硅淀積多晶硅淀積和光刻10NSD/PSD掩模板光刻通過暴露的柵氧化注入雜質多晶硅柵作為源/漏自對準注入的掩模板去

3、除光刻膠短暫退火，激活注入雜質源/漏注入11NSD/PSD掩模板光刻源/漏注入11接觸淀積多層氧化物 (MLO)接觸掩模光刻、刻蝕接觸孔區(qū)域重摻雜區(qū)域可以形成歐姆接觸金屬化接觸孔硅化難熔金屬薄膜淀積、摻銅鋁層淀積金屬掩模光刻、金屬刻蝕，形成互連結構淀積夾層氧化物 (ILO)刻蝕ILO通孔，第二層金屬互連. .保護層最后一層金屬上淀積保護層，厚的磷硅玻璃、壓縮氮化層等接觸、金屬化和保護層12接觸接觸、金屬化和保護層12多晶硅柵CMOS晶圓剖面13多晶硅柵CMOS晶圓剖面13典型CMOS工藝流程圖14典型CMOS工藝流程圖14典型CMOS工藝流程圖15典型CMOS工藝流程圖15典型CMOS工藝流程

4、圖16典型CMOS工藝流程圖16典型CMOS工藝流程圖17典型CMOS工藝流程圖17典型CMOS工藝流程圖18典型CMOS工藝流程圖18典型CMOS工藝流程圖19典型CMOS工藝流程圖19典型CMOS工藝流程圖20典型CMOS工藝流程圖20典型CMOS工藝流程圖21典型CMOS工藝流程圖21典型CMOS工藝流程圖22典型CMOS工藝流程圖22典型CMOS工藝流程圖23典型CMOS工藝流程圖23典型CMOS工藝流程圖24典型CMOS工藝流程圖24典型CMOS工藝流程圖25典型CMOS工藝流程圖25典型CMOS工藝流程圖26典型CMOS工藝流程圖26典型CMOS工藝流程圖27典型CMOS工藝流程圖

5、27典型CMOS工藝流程圖28典型CMOS工藝流程圖28典型CMOS工藝流程圖29典型CMOS工藝流程圖29典型CMOS工藝流程圖30典型CMOS工藝流程圖30典型CMOS工藝流程圖31典型CMOS工藝流程圖31典型CMOS工藝流程圖32典型CMOS工藝流程圖32典型CMOS工藝流程圖33典型CMOS工藝流程圖33典型CMOS工藝流程圖34典型CMOS工藝流程圖34典型CMOS工藝流程圖35典型CMOS工藝流程圖35典型CMOS工藝流程圖36典型CMOS工藝流程圖36典型CMOS工藝流程圖37典型CMOS工藝流程圖37典型CMOS工藝流程圖38典型CMOS工藝流程圖38典型CMOS工藝流程圖3

6、9典型CMOS工藝流程圖39典型CMOS工藝流程圖40典型CMOS工藝流程圖40典型CMOS工藝流程圖41典型CMOS工藝流程圖41典型CMOS工藝流程圖42典型CMOS工藝流程圖42可用器件可用器件NMOS晶體管44NMOS晶體管44PMOS晶體管45PMOS晶體管45襯底PNP管46襯底PNP管46電阻多晶硅電阻NSD/PSD電阻N阱電阻金屬電阻多晶硅電阻必須使用硅化物阻擋掩模板多晶硅電阻47電阻多晶硅電阻47NSD/PSD電阻48NSD/PSD電阻48電容MOS電容金屬電容（MOM、MiM）多晶硅電容（PiP）MOS電容49電容MOS電容49工藝擴展工藝擴展淺槽隔離51淺槽隔離51輕摻雜

7、漏區(qū)晶體管 (LDD)52輕摻雜漏區(qū)晶體管 (LDD)521、不是井里沒有水，而是你挖的不夠深。不是成功來得慢，而是你努力的不夠多。2、孤單一人的時間使自己變得優(yōu)秀，給來的人一個驚喜，也給自己一個好的交代。3、命運給你一個比別人低的起點是想告訴你，讓你用你的一生去奮斗出一個絕地反擊的故事，所以有什么理由不努力!4、心中沒有過分的貪求，自然苦就少?？诶锊徽f多余的話，自然禍就少。腹內的食物能減少，自然病就少。思緒中沒有過分欲，自然憂就少。大悲是無淚的，同樣大悟無言。緣來盡量要惜，緣盡就放。人生本來就空，對人家笑笑，對自己笑笑，笑著看天下，看日出日落，花謝花開，豈不自在，哪里來的塵埃!25、你不能拼

8、爹的時候，你就只能去拼命！26、如果人生的旅程上沒有障礙，人還有什么可做的呢。27、我們無法選擇自己的出身，可是我們的未來是自己去改變的。勵志名言：比別人多一點執(zhí)著，你就會創(chuàng)造奇跡28、偉人之所以偉大，是因為他與別人共處逆境時，別人失去了信心，他卻下決心實現(xiàn)自己的目標。29、人生就像一道漫長的階梯，任何人也無法逆向而行，只能在急促而繁忙的進程中，偶爾轉過頭來，回望自己留下的蹣跚腳印。30、時間，帶不走真正的朋友；歲月，留不住虛幻的擁有。時光轉換，體會到緣分善變；平淡無語，感受了人情冷暖。有心的人，不管你在與不在，都會惦念；無心的情，無論你好與不好，只是漠然。走過一段路，總能有一次領悟；經歷一些

9、事，才能看清一些人。31、我們無法選擇自己的出身，可是我們的未來是自己去改變的。32、命好不如習慣好。養(yǎng)成好習慣，一輩子受用不盡。33、比別人多一點執(zhí)著，你就會創(chuàng)造奇跡。50、想像力比知識更重要。不是無知，而是對無知的無知，才是知的死亡。51、對于最有能力的領航人風浪總是格外的洶涌。52、思想如鉆子，必須集中在一點鉆下去才有力量。53、年少時，夢想在心中激揚迸進，勢不可擋，只是我們還沒學會去戰(zhàn)斗。經過一番努力，我們終于學會了戰(zhàn)斗，卻已沒有了拼搏的勇氣。因此，我們轉向自身，攻擊自己，成為自己最大的敵人。54、最偉大的思想和行動往往需要最微不足道的開始。55、不積小流無以成江海，不積跬步無以至千里

10、。56、遠大抱負始于高中，輝煌人生起于今日。57、理想的路總是為有信心的人預備著。58、抱最大的希望，為最大的努力，做最壞的打算。59、世上除了生死，都是小事。從今天開始，每天微笑吧。60、一勤天下無難事，一懶天下皆難事。61、在清醒中孤獨，總好過于在喧囂人群中寂寞。62、心里的感覺總會是這樣，你越期待的會越行越遠，你越在乎的對你的傷害越大。63、彩虹風雨后，成功細節(jié)中。64、有些事你是繞不過去的，你現(xiàn)在逃避，你以后就會話十倍的精力去面對。65、只要有信心，就能在信念中行走。66、每天告訴自己一次，我真的很不錯。67、心中有理想 再累也快樂68、發(fā)光并非太陽的專利，你也可以發(fā)光。69、任何山都

11、可以移動，只要把沙土一卡車一卡車運走即可。70、當你的希望一個個落空，你也要堅定，要沉著！71、生命太過短暫，今天放棄了明天不一定能得到。72、只要路是對的，就不怕路遠。73、如果一個人愛你、特別在乎你，有一個表現(xiàn)是他還是有點怕你。74、先知三日，富貴十年。付諸行動，你就會得到力量。75、愛的力量大到可以使人忘記一切，卻又小到連一粒嫉妒的沙石也不能容納。1、這世上，沒有誰活得比誰容易，只是有人在呼天搶地，有人在默默努力。2、當熱誠變成習慣，恐懼和憂慮即無處容身。缺乏熱誠的人也沒有明確的目標。熱誠使想象的輪子轉動。一個人缺乏熱誠就象汽車沒有汽油。善于安排玩樂和工作，兩者保持熱誠，就是最快樂的人。

12、熱誠使平凡的話題變得生動。3、起點低怕什么，大不了加倍努力。人生就像一場馬拉松比賽，拼的不是起點，而是堅持的耐力和成長的速度。只要努力不止，進步也會不止。4、如果你不相信努力和時光，那么時光第一個就會辜負你。不要去否定你的過去，也不要用你的過去牽扯你的未來。不是因為有希望才去努力，而是努力了，才能看到希望。5、人生每天都要笑，生活的下一秒發(fā)生什么，我們誰也不知道。所以，放下心里的糾結，放下腦中的煩惱，放下生活的不愉快，活在當下。人生喜怒哀樂，百般形態(tài)，不如在心里全部淡然處之，輕輕一笑，讓心更自在，生命更恒久。積極者相信只有推動自己才能推動世界，只要推動自己就能推動世界。6、人性本善，純如清溪流

13、水凝露瑩爍。欲望與情緒如風沙襲擾，把原本如天空曠蔚藍的心蒙蔽。但我知道，每個人的心靈深處，不管烏云密布還是陰淤蒼茫，但依然有一道彩虹，亮麗于心中某處。7、每個人的心里，都藏著一個了不起的自己，只要你不頹廢，不消極，一直悄悄醞釀著樂觀，培養(yǎng)著豁達，堅持著善良，只要在路上，就沒有到達不了的遠方！8、不要活在別人眼中，更不要活在別人嘴中。世界不會因為你的抱怨不滿而為你改變，你能做到的只有改變你自己！9、欲戴王冠，必承其重。哪有什么好命天賜，不都是一路披荊斬棘才換來的。10、放手如拔牙。牙被拔掉的那一刻，你會覺得解脫。但舌頭總會不由自主地往那個空空的牙洞里舔，一天數(shù)次。不痛了不代表你能完全無視，留下的

14、那個空缺永遠都在，偶爾甚至會異常掛念。適應是需要時間的，但牙總是要拔，因為太痛，所以終歸還是要放手，隨它去。11、這個世界其實很公平，你想要比別人強，你就必須去做別人不想做的事，你想要過更好的生活，你就必須去承受更多的困難，承受別人不能承受的壓力。12、逆境給人寶貴的磨煉機會。只有經得起環(huán)境考驗的人，才能算是真正的強者。自古以來的偉人，大多是抱著不屈不撓的精神，從逆境中掙扎奮斗過來的。13、不同的人生，有不同的幸福。去發(fā)現(xiàn)你所擁有幸運，少抱怨上蒼的不公，把握屬于自己的幸福。你，我，我們大家都可以經歷幸福的人生。14、給自己一份堅強，擦干眼淚；給自己一份自信，不卑不亢；給自己一份灑脫，悠然前行。

15、輕輕品，靜靜藏。為了看陽光，我來到這世上；為了與陽光同行，我笑對憂傷。15、總不能流血就喊痛，怕黑就開燈，想念就聯(lián)系，疲憊就放空，被孤立就討好，脆弱就想家，不要被現(xiàn)在而蒙蔽雙眼，終究是要長大，最漆黑的那段路終要自己走完。21、每個人都有潛在的能量，只是很容易：被習慣所掩蓋，被時間所迷離，被惰性所消磨。22、不論你在什么時候開始，重要的是開始之后就不要輕言放棄。23、恨別人，痛苦的卻是自己。24、每天醒來，敲醒自己的不是鐘聲，而是夢想。25、你不能拼爹的時候，你就只能去拼命！26、如果人生的旅程上沒有障礙，人還有什么可做的呢。27、我們無法選擇自己的出身，可是我們的未來是自己去改變的。勵志名言：比別人多一點執(zhí)著，你就會創(chuàng)造奇跡28、偉人之所以偉大，是因為他與別人共處逆境時，別人失去了信心，他卻下決心實現(xiàn)自己的目標。29、人生就像一道漫長的階梯，任何人也無法逆向而行，只能在急促而繁忙的進程