鍍膜機(jī)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)_第1頁(yè)
鍍膜機(jī)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)_第2頁(yè)
鍍膜機(jī)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)_第3頁(yè)
鍍膜機(jī)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)_第4頁(yè)
鍍膜機(jī)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)_第5頁(yè)
已閱讀5頁(yè),還剩2頁(yè)未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

精選優(yōu)質(zhì)文檔-----傾情為你奉上精選優(yōu)質(zhì)文檔-----傾情為你奉上專心---專注---專業(yè)專心---專注---專業(yè)精選優(yōu)質(zhì)文檔-----傾情為你奉上專心---專注---專業(yè)晶控自動(dòng)鍍膜系統(tǒng)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)1.鍍膜機(jī)開(kāi)、關(guān)機(jī)操作開(kāi)機(jī)打開(kāi)主電源。將“運(yùn)行/待機(jī)”開(kāi)關(guān)打道“待機(jī)”位置。打開(kāi)顯示器和計(jì)算機(jī)電源,待計(jì)算機(jī)啟動(dòng)完成。開(kāi)機(jī)械泵。開(kāi)擴(kuò)散泵。將“運(yùn)行/待機(jī)”開(kāi)關(guān)打道“運(yùn)行”位置。擴(kuò)散泵預(yù)熱30分鐘后可以工作了。關(guān)機(jī)關(guān)閉擴(kuò)散泵冷卻30分鐘將“運(yùn)行/待機(jī)”開(kāi)關(guān)打道“待機(jī)”位置。關(guān)閉計(jì)算機(jī)關(guān)閉機(jī)械泵關(guān)閉主電源2.運(yùn)行參數(shù)設(shè)置晶片初始頻率:輸入被鍍晶片的中心頻率,例如:12160--12170KHZ應(yīng)輸入12165KHZ;如果要加鍍高頻片,先進(jìn)行頻率修正,然后在晶片初始頻率中輸入加鍍高頻片的中心頻率。注意加鍍完畢后要及時(shí)把晶片初始頻率修正回原始值。晶片目標(biāo)頻率:輸入鍍到的目標(biāo)頻率,例如:12M晶體鍍到1000PPM,晶片目標(biāo)頻率應(yīng)輸入12012KHZ;3.579M晶體鍍到700PPM,晶片目標(biāo)頻率應(yīng)輸入3581.5KHZ單面鍍膜時(shí)間:用于時(shí)間鍍膜時(shí)鉬舟打開(kāi)的時(shí)間,時(shí)間長(zhǎng)短以能將所有的銀全部蒸發(fā)完為標(biāo)準(zhǔn)。機(jī)臺(tái)修正系數(shù):用來(lái)調(diào)整計(jì)算的理論膜厚值與實(shí)際膜厚值的差異的。在第一次鍍某個(gè)系列晶片的時(shí)候,第一鍋可以設(shè)為1,當(dāng)前標(biāo)晶頻率:程序?qū)崪y(cè)的標(biāo)晶當(dāng)前的頻率。標(biāo)晶目標(biāo)頻率表示標(biāo)晶應(yīng)該達(dá)到的頻率,達(dá)到這一頻率后,被鍍晶片也會(huì)達(dá)到目標(biāo)頻率了,以KHz為單位。鍍膜速率:標(biāo)晶當(dāng)前的變化速度,以Hz/S為單位。數(shù)值大小與電流有關(guān)。延時(shí)倒計(jì)時(shí)表示在所有延時(shí)程序中動(dòng)態(tài)顯示延時(shí)時(shí)間和剩余的延時(shí)時(shí)間。當(dāng)剩余時(shí)間變?yōu)?時(shí),本次延時(shí)結(jié)束,以KHz為單位。鍍膜總時(shí)間為自動(dòng)鍍膜或取消自動(dòng)鍍膜的總的時(shí)間。當(dāng)前實(shí)測(cè)高真空度值和當(dāng)前實(shí)測(cè)低真空度值為實(shí)測(cè)的高真空和低真空值。串口通訊的真空計(jì)顯示測(cè)量真空度值;指針表不顯示。3靜態(tài)參數(shù)設(shè)置。轟擊真空預(yù)置:若真空計(jì)型號(hào)為指針,設(shè)置為0表示在低真空轟擊,設(shè)置為大于0的整數(shù),表示在高真空轟擊。若真空計(jì)型號(hào)為串口,設(shè)置為0表示在低真空轟擊,設(shè)置1―100(RF離子轟擊),表示在高真空轟擊。轟擊時(shí)間表示需要轟擊的時(shí)間,以秒為單位。鍍膜高真空度:鍍膜達(dá)到的真空度值,若真空計(jì)型號(hào)為串口,輸入需要值,以mPa為單位;若真空計(jì)型號(hào)為指針,以指針設(shè)置位置為準(zhǔn)。高真放氣時(shí)間:鍍膜完畢后真空室需要充氣的時(shí)間。鉬舟預(yù)熱時(shí)間:鍍膜前先預(yù)熱的時(shí)間。被鍍材料Z1比表示被鍍材料1與石英晶體的Z比,銀Z比為0.529。被鍍材料Z2比表示被鍍材料2與石英晶體的Z比,不用設(shè)置。終止使用頻率:標(biāo)準(zhǔn)晶體可以使用的最低頻率,建議設(shè)置為4700KHz。注解:標(biāo)準(zhǔn)晶體在這個(gè)頻率段以上使用時(shí),其變化規(guī)律幾乎為線性變化使用效果最佳。擋板打開(kāi)時(shí)間:鍍膜前擋板打開(kāi)延時(shí)的時(shí)間.低真空度預(yù)置表示鍍膜過(guò)程中將要達(dá)到的低真空度值。單位為mPa(串口真空計(jì))或秒(指針真空計(jì)),當(dāng)為指針真空計(jì)時(shí),這個(gè)數(shù)值表示延時(shí)抽低真空的時(shí)間。設(shè)置為低真空轟擊時(shí)此值為延時(shí)開(kāi)轟擊時(shí)間。鍍膜控制方式有“時(shí)間和頻率”,真空計(jì)型號(hào)、翻面信號(hào)次數(shù)和鐘罩降需開(kāi)升這3項(xiàng)設(shè)置嚴(yán)禁修改否則造成設(shè)備無(wú)法使用,對(duì)這些設(shè)置要有檔案記錄。4頻率修正值。修正值計(jì)算有二種方式。1、輸入被鍍晶片的實(shí)際頻率2、根據(jù)PPM的數(shù)值。比如,被鍍晶片目標(biāo)值是12012Khz,現(xiàn)在的實(shí)際測(cè)量值是12048Khz,這時(shí)我們?cè)诒诲兙瑢?shí)際頻率值(Khz)窗口中輸入“12048”,然后點(diǎn)“按頻率”計(jì)算,即可將目標(biāo)頻率調(diào)整到1000PPM左右。比如,被鍍晶片目標(biāo)值是12012Khz(12MHZ—1000PPM),現(xiàn)在的實(shí)際測(cè)量(4000PPM)值高了3000PPM,這時(shí)我們?cè)诒诲兙{(diào)整數(shù)值(PPM)窗口中輸入“-3000”,然后點(diǎn)“按PPM”計(jì)算,即可將目標(biāo)頻率調(diào)整到1000PPM左右。如果是低了3000PPM,在窗口中輸入“3000”,然后點(diǎn)“按PPM”計(jì)算。遵循高減低加的規(guī)律。如果點(diǎn)出了此窗口,卻不想調(diào)整,可以在被鍍晶片調(diào)整數(shù)值(PPM)窗口中輸入“0”,然后點(diǎn)“按PPM”計(jì)算,將此窗口關(guān)閉。5.操作按紐:圖2-5-1:操作命令按鈕區(qū)通信開(kāi)(關(guān))的功能,如果顯示“通信關(guān)”的狀態(tài),表示軟件和鍍膜控制器沒(méi)有連上,此時(shí)需要點(diǎn)擊它以跟鍍膜控制器連機(jī)。顯示“通信開(kāi)”為連機(jī)成功。自動(dòng)操作表示程序自動(dòng)運(yùn)行,全自動(dòng)運(yùn)行鍍膜全過(guò)程。需要在連機(jī)狀態(tài)下和非翻面測(cè)試狀態(tài),非自動(dòng)操作狀態(tài)和非終止自動(dòng)狀態(tài)下才能使用此命令。終止自動(dòng)表示在自動(dòng)運(yùn)行遇到問(wèn)題時(shí),用退出流程終止自動(dòng)程序的運(yùn)行。只能在自動(dòng)運(yùn)行狀態(tài)下,非終止自動(dòng)狀態(tài)和非翻面測(cè)試狀態(tài)下才能使用。取消轟擊表示在轟擊時(shí)可以手動(dòng)取消轟擊過(guò)程。此命令只能在自動(dòng)運(yùn)行狀態(tài)下才能使用。手動(dòng)復(fù)位表示無(wú)論在什么時(shí)候都可以終止程序的運(yùn)行狀態(tài),回到原始狀態(tài)。測(cè)試頻率可以檢測(cè)當(dāng)前標(biāo)晶的頻率,檢查標(biāo)晶頻率產(chǎn)生電路是否正確。只能在非翻面測(cè)試狀態(tài),非自動(dòng)操作狀態(tài)和非終止自動(dòng)狀態(tài)下才能使用此命令。退出程序顧名思義就是退出軟件的運(yùn)行狀態(tài)。退出時(shí)將自動(dòng)先“手動(dòng)復(fù)位”。6斷點(diǎn)保留在鍍膜過(guò)程中,如果非正常退出,則程序會(huì)把斷點(diǎn)保留起來(lái),并在下次鍍膜前提示是按照以前的斷點(diǎn)繼續(xù)鍍還是開(kāi)始全新的鍍膜過(guò)程。出現(xiàn)此現(xiàn)象時(shí)要仔細(xì)閱讀提示語(yǔ),正確選擇。5個(gè)斷點(diǎn)的功能分別為:鍍膜在鉬舟開(kāi)啟前,鉬舟A開(kāi)啟后,鉬舟A關(guān)閉后翻面前,翻面后和鉬舟B開(kāi)啟前。等鉬舟B關(guān)閉后,我們認(rèn)為鍍膜是正常結(jié)束的。7.常見(jiàn)故障及處理方法現(xiàn)象檢查和處理方法檢測(cè)不到掩膜夾具翻轉(zhuǎn)信號(hào)檢查翻面信號(hào)源位置2、將翻面輸入信號(hào)人工短接,使用翻面檢測(cè)功能,計(jì)算機(jī)能檢測(cè)到信號(hào)時(shí),證明問(wèn)題在翻面控制開(kāi)關(guān)上,根據(jù)情況做相應(yīng)處理。檢測(cè)不到信號(hào)首先檢查線路,然后更換控制卡。掩膜夾具翻轉(zhuǎn)不穩(wěn)定檢查翻板的初始位置是否符合時(shí)機(jī)檢測(cè)翻面控制開(kāi)關(guān)工作是否穩(wěn)定,可用指針萬(wàn)用表跟蹤監(jiān)測(cè)。檢查翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)動(dòng)作是否靈活可靠檢查翻面信號(hào)次數(shù)設(shè)置檢查旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)是否與鐘罩內(nèi)壁有磨擦現(xiàn)象6、檢測(cè)旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的穩(wěn)定性在同一掩膜夾具頻率散差大檢查晶片本身是否散差大檢查膜層修正板位置是否變動(dòng),重新調(diào)節(jié)修正板3.檢查一下?lián)醢逶陂_(kāi)、關(guān)時(shí)是否完全遮擋住鉬舟4.檢查一下轟擊環(huán)是否完遮擋住鉬舟5、檢查鉬舟使用是否符合要求,要采用圓形鉬舟鍋與鍋之間頻率散差大1.觀察一下監(jiān)控片是否存在跳頻現(xiàn)象2、反復(fù)測(cè)量統(tǒng)一監(jiān)控片觀察振蕩器的穩(wěn)定性(不超過(guò)75Hz)3、檢查冷卻水是否通暢4、檢查鉬舟使用是否符合要求,要采用圓形鉬舟5、監(jiān)控片選用是否符合要求,建議采用我公司的監(jiān)控片鍍膜頻率不停止檢查頻率參數(shù)設(shè)置是否正確鉬舟電流表是否有指示鉬舟中是否有銀監(jiān)控片是否跳頻修正系數(shù)是否錯(cuò)誤在出現(xiàn)非正常退后是否更換過(guò)監(jiān)控片測(cè)試不到頻率更換一下監(jiān)控片檢查一下測(cè)試彈片是否變形用一只5MHZ的晶體直接插入振蕩器輸入端測(cè)量頻率,若有頻率證明是探頭問(wèn)題,若無(wú)頻率,用計(jì)數(shù)器測(cè)量一下振蕩器輸出頻率是否異常,無(wú)正常輸出證明振蕩器有問(wèn)題,有正常輸出但計(jì)算機(jī)無(wú)顯示證明控制卡有問(wèn)題控制閥均不動(dòng)作檢查5V電源是否有輸出,是否接好檢查固態(tài)繼電器板上電源公共端是否有電控制閥個(gè)別不動(dòng)作1、檢查相應(yīng)的固態(tài)繼電器是否有輸出未達(dá)到真空度就工作

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫(kù)網(wǎng)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論