電子廠房高純氣體工藝與施工工程

電子廠房高純純氣體工藝與與施工工程前言近10年來，隨著更更復(fù)雜、更密密集的大規(guī)模模和超大規(guī)模模集成電路的的生產(chǎn)，對(duì)高高純氣體潔凈凈度的要求，，已不亞于對(duì)對(duì)純度和干燥燥度的要求，，凡工藝氣體體，無一不對(duì)對(duì)其中的粒子子提出限制。。因此，對(duì)于于高純氣體，，純度、干燥燥度、潔凈度度是三項(xiàng)重要要的標(biāo)度。由由于高純度氣氣體的使用地地點(diǎn)、性質(zhì)、、工況（如溫溫度、壓力等等）都不完全全一致，所以以，如何確定定高純氣體的的“三度”（（純度、干燥燥度、潔凈度度），還沒有有一個(gè)嚴(yán)格而而明確的概念念。對(duì)對(duì)于純度度和干燥度的的控制，我國國CBJ73——84《潔凈廠房設(shè)計(jì)計(jì)規(guī)范》中指出，“高高純氣體系指指純度大于或或等于99.9995%，含水量小于于5ppm氣體?！比杖毡景盐㈦娮幼由a(chǎn)中所采采用的氣體，，按其不同的的品位，具體體分為下列幾幾個(gè)不同的檔檔次：超高純氣體氣氣體中雜質(zhì)總總含量控制在在1ppm以下，水份含含量控制在0.2~1ppm。高純氣體氣氣體體中雜質(zhì)總含含量控制在5%ppm以下，水份含含量控制在3ppm以內(nèi).潔凈氣體氣氣體體中雜質(zhì)總含含量控制在10ppm以下,對(duì)水份含量未未作嚴(yán)格規(guī)定定。上述規(guī)定，都都未涉及潔凈凈度。我們知知道，集成電電路的生產(chǎn)，，幾乎都是在在潔凈環(huán)境中中進(jìn)行，是防防止塵埃粒子子污染微電子子產(chǎn)品所必需需的。所以，，對(duì)潔凈的生生產(chǎn)環(huán)境絕不不允許采用不不潔凈的氣體體來破壞，必必須使氣體的的潔凈度與潔潔凈環(huán)境保持持一致，根據(jù)據(jù)相關(guān)資料以以及近些年公公司相關(guān)工程程的經(jīng)驗(yàn)，我我進(jìn)行了一些些歸納，希望望能夠給大家家提供一些參參考。一、高純/特種氣體的概概念半導(dǎo)體集成電電路制造所需需要的高純氣氣體主要分為為兩大類：普通氣體：也也叫大宗氣體體，主要有：：H2、N2、O2、Ar、He等。特種氣體：主主要指各種摻摻雜用氣體、、外延用氣體體、離子注入入用氣體、刻刻蝕用氣體等等。半導(dǎo)體制造用用氣體按照使使用時(shí)的危險(xiǎn)險(xiǎn)性分類可燃、助燃、、易燃易爆氣氣體：H2、CH4、H2S、NH3、SiH4、PH3、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等。有毒氣體：AsH3、PH3、B2H6等助燃?xì)怏w：O2、N2O、F2、HF等窒息性氣體：：N2、He、CO2、Ar等腐蝕性氣體：：HCL、PCL3、POCL3、HF、SiF4、CLF3、等二．特種氣體體供應(yīng)系統(tǒng)特種氣體的供供應(yīng)方式截至至目前為止，，幾乎皆用鋼鋼瓶的方式進(jìn)進(jìn)行，一般常常用的為高壓壓鋼瓶，依其其填充的氣體體特性有分為為氣態(tài)和液態(tài)態(tài)兩種，一般般氣體依液態(tài)態(tài)儲(chǔ)存于鋼瓶瓶內(nèi)，瓶內(nèi)壓壓力較高，所所以最佳方式式是選用吸附附式氣態(tài)鋼瓶瓶，以氣體分分子與吸附劑劑間的范德瓦瓦力將氣體吸吸附于吸附劑劑孔隙中，其其優(yōu)點(diǎn)為供氣氣壓力低于一一個(gè)大氣壓，，無任何泄漏漏的危險(xiǎn)，且且供氣量為普普通高壓鋼瓶瓶的10倍，低蒸汽壓壓的氣體以液液態(tài)儲(chǔ)存于鋼鋼瓶內(nèi)；針對(duì)對(duì)易燃易爆，，有毒性腐蝕蝕性的氣體，，常將鋼瓶至至于特氣柜中中，再通過管管路將氣體供供應(yīng)至現(xiàn)場附附近的閥箱，，經(jīng)過一系列列的控制而后后進(jìn)入用氣點(diǎn)點(diǎn)；一般惰性性氣體以開放放式的氣瓶架架和閥盤供應(yīng)應(yīng)；具體方式式如下：1.現(xiàn)場制氣、管管道供氣這種供氣方式式時(shí)將制氣設(shè)設(shè)備建造在用用氣量較大或或者用氣品種種較多的工廠廠內(nèi)或按區(qū)域域設(shè)置供應(yīng)周周邊各單位用用氣示意圖如下：：1－中壓貯氣罐罐；2－調(diào)壓閥組；；3－氣體過濾器器；4－液態(tài)氣體貯貯罐；5－汽化器；6－安全閥；7－自動(dòng)控制閥閥；8－氣體純化裝裝置；9－流量計(jì)；10－末端氣體過過濾器；11－末端氣體純純化器12－用氣點(diǎn)；13－高壓氣體壓壓縮機(jī)；14－高壓氣體貯貯罐（P=15~20MPa）a圖為采用液態(tài)態(tài)氣體貯存氣氣體，中壓貯貯罐。作為緩緩沖罐的供應(yīng)應(yīng)系統(tǒng)。氣體體純化設(shè)備設(shè)設(shè)在工廠內(nèi)，，實(shí)際上在各各用氣工廠還還應(yīng)設(shè)置各種種過濾精度的的氣體過濾器器、計(jì)量儀器器、分析儀器器等，有的工工廠對(duì)高純氣氣體中雜質(zhì)含含量控制十分分嚴(yán)格，此時(shí)時(shí)還需安裝末末端提純?cè)O(shè)備備。b圖為采用高壓壓（P=15~20MPa）氣體貯罐的的供氣系統(tǒng)，，常用于氫氣氣供應(yīng)系統(tǒng)中中，設(shè)高壓氣氣體壓縮機(jī)從從中壓貯氣罐罐中吸氣經(jīng)壓壓縮到15~20MPa送入若干個(gè)高高壓貯氣罐組組儲(chǔ)氣，根據(jù)據(jù)供氣用氣的的平衡，高壓壓貯氣罐放氣氣經(jīng)二級(jí)調(diào)壓壓閥組減壓后后由自動(dòng)控制制閥送入供氣氣系統(tǒng)?，F(xiàn)場制氣、管管道供氣圖圖2．外購氣體供供氣由集中制氣工工廠制取的液液態(tài)氣體由低低溫液態(tài)氣體體貯罐槽車運(yùn)運(yùn)送至用氣工工廠，再使用用工廠設(shè)置低低溫液態(tài)氣體體貯罐，將液液態(tài)氣體槽車車中的液態(tài)氣氣體抽送入液液態(tài)氣體貯罐罐貯存，根據(jù)據(jù)工廠用氣量量，液態(tài)氣體體由貯罐送出出經(jīng)汽化器化化為氣體后，，經(jīng)由調(diào)壓器器組調(diào)壓并經(jīng)經(jīng)氣體過濾器器送去使用車車間，若氣體體純度或雜質(zhì)質(zhì)含量不能滿滿足使用要求求，則需要再再在車間內(nèi)設(shè)設(shè)置末端提純純裝置，對(duì)氣氣體進(jìn)行提純純并去除雜質(zhì)質(zhì)，同時(shí)為滿滿足不同需求求，還應(yīng)在工工廠使用車間間末端或在車車間內(nèi)集中設(shè)設(shè)置不同過濾濾精度的氣體體過濾器，示示意圖如下：：1－液態(tài)氣體貯貯罐；2－汽化器；3－調(diào)壓裝置；；4－氣體純化裝裝置；5－末端氣體純純化器；6－氣體過濾器器；7－用氣點(diǎn)外購氣體供氣氣圖：3.外購氣體鋼瓶瓶供氣外購氣體鋼瓶瓶集中存放在在工廠的氣瓶瓶間(庫)中，氣瓶中高高壓氣體經(jīng)氣氣體總線，減減壓閥組匯集集，減壓至一一定壓力經(jīng)氣氣體純化裝置置純化后供氣氣。為確保連連續(xù)供氣，氣氣體鋼瓶一般般分為兩組，，交替放氣，，根據(jù)產(chǎn)品工工藝要求，選選擇滿足供氣氣品質(zhì)的氣體體純化裝置或或在用氣點(diǎn)處處設(shè)置末端氣氣體純化裝置置。示意圖如下：：1－鋼瓶及總線線2－減壓閥組；；3－調(diào)壓裝置；；4－氣體純化裝裝置；5－末氣體體純化器器；6－氣體過過濾器；；7－用氣點(diǎn)點(diǎn)外購氣體鋼瓶瓶供氣圖4.將高純氣體鋼鋼瓶設(shè)置在用用氣設(shè)備附近近直接供氣常用于用氣量量很少的場所所，《規(guī)范》規(guī)定，當(dāng)日用用氣量不超過過一瓶（指水水容積不超過過40L的鋼瓶）時(shí)，，氣瓶可設(shè)置置在潔凈室內(nèi)內(nèi)，但必須采采取不積塵和和易于清潔的的措施，若工工藝對(duì)高純氣氣體要求較為為嚴(yán)格時(shí)，比比如氣體中總總雜質(zhì)含量≤≤1.0×10－6時(shí)，還需要在在氣瓶與用氣氣設(shè)備之間設(shè)設(shè)置末端氣體體提純裝置，，包括高精度度氣體過濾器器，以確保供供氣質(zhì)量。三、高純氣體體的配管及材材質(zhì)1．高純氣體管管路的設(shè)計(jì)要要點(diǎn)：（1）對(duì)于不同特特性的氣體，，要規(guī)劃獨(dú)立立的供應(yīng)區(qū)域域，一般分為為三個(gè)區(qū)：腐腐蝕性/毒性氣體區(qū)、、可燃性氣體體區(qū)、惰性氣氣體區(qū)，將相相同性質(zhì)的氣氣體集中加強(qiáng)強(qiáng)管理，可燃燃性氣體區(qū)要要特別規(guī)劃防防爆墻與泄漏漏口，若空間間不足，可考考慮將惰性氣氣體放置與毒毒性/腐蝕性氣體區(qū)區(qū)。（2）管路設(shè)計(jì)需需要考慮輸送送的距離，距距離越長，成成本越高，風(fēng)風(fēng)險(xiǎn)也越高，，通常較合理理的設(shè)計(jì)流速速為20ml/S，可燃性氣體體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小小于8ml/S，在用量設(shè)計(jì)計(jì)方面，則需需要考慮使用用點(diǎn)的壓力和和管徑大小，，前者與氣體體特性有關(guān)，，后者使用點(diǎn)點(diǎn)的管徑一般般為1/4”～3/8”。（3）根據(jù)用氣設(shè)設(shè)備的分布情情況，高純氣氣體的管網(wǎng)不不宜過大或者者過長；宜采采用不封閉的的環(huán)形管路，，在系統(tǒng)末端端連續(xù)不斷排排放少量的氣氣體，以便在在管網(wǎng)中總有有高純氣體流流通，不會(huì)發(fā)發(fā)生“死空間間”引起高純純氣體的污染染。（4）管路中應(yīng)減減少不流動(dòng)氣氣體的“死空空間”，不應(yīng)應(yīng)設(shè)有盲管，，在特種氣體體的儲(chǔ)氣瓶與與用氣設(shè)備之之間應(yīng)設(shè)吹掃掃控制裝置、、多閥門控制制裝置、用以以控制各個(gè)閥閥門的開關(guān)順順序、系統(tǒng)吹吹除，以確保保供氣系統(tǒng)的的安全、可靠靠運(yùn)行和防止止“死區(qū)”形形成而滯留污污染物，降低低氣體純度。。（5）對(duì)高純氣氣體純度要要求不同的的用氣設(shè)備備，宜采用用分等級(jí)高高純氣體輸輸送系統(tǒng)；；也可采用用同等級(jí)輸輸送系統(tǒng)，，但是在純純度要求高高的用氣設(shè)設(shè)備鄰近處處設(shè)末端氣氣體提純裝裝置。（6）為了檢測(cè)測(cè)高純氣體體的純度和和雜質(zhì)含量量，輸送系系統(tǒng)除了設(shè)設(shè)置必要的的連續(xù)檢測(cè)測(cè)儀器，如如衡量水含含量或者氧氧雜質(zhì)含量量等分析儀儀外，還應(yīng)應(yīng)設(shè)置定期期取樣用的的檢測(cè)采樣樣口，以便便按規(guī)定時(shí)時(shí)間進(jìn)行采采樣，分析析高純氣體體中各種雜雜質(zhì)的含量量。（7）在亞微米米級(jí)的集成成電路生產(chǎn)產(chǎn)中，要求求供應(yīng)10－9級(jí)的高純氣氣體，為了了確保末端端用氣工藝藝設(shè)備處的的氣體純度度，使氣體體中的雜質(zhì)質(zhì)含量（包包括塵粒））控制在規(guī)規(guī)定的數(shù)值值內(nèi)，一般般在設(shè)備前前設(shè)置末端端純化裝置置，或末端端高精度氣氣體過濾器器2．高純氣體體配管及附附件材質(zhì)的的選擇（1）選擇標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)●選用滲透透性小、出出氣速率低低、吸附性性差的材料料：目前超大規(guī)規(guī)模集成電電路前工序序高純氣體體輸送系統(tǒng)統(tǒng)管道材料料采用不銹銹鋼光亮退退火管（SS304BA、SS316BA）、不銹鋼鋼電拋光管管（SS316L-EP）等，但是是對(duì)要求控控制高純氣氣體中總雜雜質(zhì)含量≤≤1.01.0×10－6及以下的管管材應(yīng)用SS316L-EP管。，高純純氣體使用用管材的特特點(diǎn)及要求求如下表所所示：高純氣體使用管材的特點(diǎn)及要求項(xiàng)目SS304BA或SS316BASS316LEP鋼材冶煉方法真空氧氣脫碳法真空氧氣脫碳法或真空電弧熔煉法制作過程冷延→熱處理→冷拉→光亮熱處理→脫脂→一般水洗→純水水洗（10000級(jí)潔凈環(huán)境）→純氮吹掃（1000級(jí)潔凈環(huán)境）→檢查→包裝（壓帽氮封及雙層聚乙烯外包裝充純氮保護(hù)）冷延→熱處理→冷拉→光亮熱處理→脫脂→一般水洗→電解拋光→一般水洗→堿中和→一般水洗→硝酸浸漬→水洗→冷純水水洗（10000級(jí)潔凈環(huán)境）→熱純水水洗（10000級(jí)潔凈環(huán)境）→純氮吹掃（100/1000級(jí)潔凈環(huán)境）→檢查→包裝（壓帽氮封及雙層聚乙烯外包裝充純氮保護(hù)）→最終檢查內(nèi)表面粗糙度Rmax3.0～4.5μm<0.7μm表面硬度（HRB）<90<80公差要求項(xiàng)目管外徑、管壁厚、管長、管道垂直度管外徑、管壁厚、管長、管道垂直度注：①管路路型式以氣氣體特性設(shè)設(shè)計(jì)，惰性性氣體使用用一般的單單層管，作作為制程用用的反應(yīng)氣氣體，則選選用高級(jí)別別的SS316L-EP管；使用與與芯片接觸觸但不參與與制程反應(yīng)應(yīng)的氣體則則選用SS316L-BA管。②對(duì)于自燃燃爆炸，有有劇毒的特特種氣體，，如SiH4、PH3、AsH3等則考慮使使用雙套管管，它的內(nèi)內(nèi)/外管材質(zhì)一一般為SS316L-EP/SS316L-AP，此設(shè)計(jì)的的主要目的的有兩點(diǎn)，，首先可保保護(hù)內(nèi)管直直接受到外外力撞擊，，其次能將將由內(nèi)管滲滲漏的氣體體阻絕于外外管，并利利用相關(guān)的的檢測(cè)設(shè)備備檢測(cè)，目目前常用的的設(shè)計(jì)有正正壓和負(fù)壓壓兩種方式式，負(fù)壓設(shè)設(shè)計(jì)是將內(nèi)內(nèi)外管間抽抽成真空，，正壓設(shè)計(jì)計(jì)則是灌以以氮?dú)饩S持持正壓，兩兩者皆可接接上壓力表表或者壓力力警報(bào)器檢檢知泄漏狀狀態(tài)。內(nèi)表表面面處處理理●通通常常采采用用的的方方法法有有機(jī)機(jī)械械噴噴砂砂、、化化學(xué)學(xué)溶溶液液清清洗洗、、化化學(xué)學(xué)拋拋光光、、電電拋拋光光等等，，目目前前廣廣泛泛應(yīng)應(yīng)用用的的管管材材有有光光亮亮退退火火管管和和電電拋拋光光管管。。閥門門的的選選用用●高高純純氣氣體體對(duì)對(duì)系系統(tǒng)統(tǒng)所所用用閥閥門門的的嚴(yán)嚴(yán)密密性性有有十十分分嚴(yán)嚴(yán)格格的的要要求求，，目目前前國國內(nèi)內(nèi)潔潔凈凈廠廠房房的的高高純純氣氣體體管管道道的的閥閥門門基基本本都都采采用用SS304或SS316L不銹鋼材材質(zhì)，閥閥門型式式有隔膜膜閥、波波紋管閥閥和球閥閥。波紋紋管閥的的嚴(yán)密性性比球閥閥好，在在氣體流流過閥門門時(shí)沒有有與外環(huán)環(huán)境接觸觸的填料料，所以以沒有滲滲漏現(xiàn)象象：隔膜膜閥除了了嚴(yán)密性性與波紋紋管閥相相當(dāng)以外外，還具具有閥體體死體積積小，易易吹除且且污染少少，所以以適用于于對(duì)氣體體純度和和生產(chǎn)工工藝要求求極嚴(yán)格格或者危危險(xiǎn)性大大的氣體體。管道連接接①高純氣氣體一般般采用手手工氬弧弧焊接和和自動(dòng)氬氬弧焊接接，焊接接型式通通常采用用承插焊焊和對(duì)焊焊，承插插焊的好好處在于于施焊時(shí)時(shí)管道的的對(duì)中，，方便焊焊接，但但缺點(diǎn)是是由于管管道與承承插口之之間有間間隙，會(huì)會(huì)存在““死空間間’不易易將雜質(zhì)質(zhì)吹除，，影響高高純氣體體質(zhì)量。。因此對(duì)對(duì)于要求求極為嚴(yán)嚴(yán)格的高高純氣體體來說，，應(yīng)采用用對(duì)接焊焊連接并并要求內(nèi)內(nèi)表面無無焊縫，，即在施施工時(shí)不不得使用用不銹鋼鋼焊絲，，利用母母材的本本身融化化填滿焊焊縫。②為確保保輸送至至用氣設(shè)設(shè)備的氣氣體質(zhì)量量，高純純氣體管管道與用用氣設(shè)備備之間應(yīng)應(yīng)用不銹銹鋼金屬屬軟管連連接，不不宜采用用非金屬屬軟管。。③高純氣氣體管道道與閥門門等附件件連接應(yīng)應(yīng)采用密密封不易易泄漏的的專用接接頭予以以連接，，常用的的接頭方方式有兩兩種：分分別為VCR（VacuumCouplingRetainer）和SWG（Swaglok），VCR采用優(yōu)良良的金屬屬墊，利利用縱向向壓力壓壓緊，因因此泄漏漏率極低低，約為為10～9Acc/s，且耐壓壓較高，，常用于于氣體雜雜質(zhì)含量量1.0××10－9級(jí)的高純純氣輸送送系統(tǒng)，，而SWG則不如VCR，耐壓較較低，基基本上這這兩種接接頭方式式的安全全性足可可代替焊焊接的方方式。四．高純純氣體的的供氣安安全1.各種特性性氣體的的使用安安全（1）易燃易易爆氣體體：此類類氣體只只要形成成了可燃燃?xì)怏w爆爆炸混合合氣和達(dá)達(dá)到著火火溫度。。便會(huì)發(fā)發(fā)生燃燒燒爆炸事事故因此此在可燃燃?xì)怏w入入口處、、氣體鋼鋼瓶存放放間、潔潔凈室內(nèi)內(nèi)使用可可燃?xì)怏w體處、敷敷設(shè)可燃燃?xì)怏w的的管廊或或技術(shù)夾夾層以及及可能聚聚集可燃燃?xì)怏w的的場所均均應(yīng)設(shè)置置可燃?xì)鈿怏w報(bào)警警裝置。。具體要要求如下下：①可燃?xì)怏w體比空氣輕輕者，報(bào)警警裝置設(shè)置置在所處場場所的頂部部。②可燃?xì)怏w體比空氣重重者，報(bào)警警裝置設(shè)置置在所處場場所的最低低處。③可燃?xì)怏w體的報(bào)警裝裝置應(yīng)與相相應(yīng)的事故故排風(fēng)裝置置設(shè)電氣連連鎖，當(dāng)空空氣中的可可燃?xì)怏w濃濃度達(dá)到規(guī)規(guī)定值時(shí)，，事故排風(fēng)風(fēng)裝置自動(dòng)動(dòng)開啟，同同時(shí)向潔凈凈廠房的消消防安全值值班室發(fā)出出報(bào)警信號(hào)號(hào)。④為防止倒倒流回火應(yīng)應(yīng)在用氣設(shè)設(shè)備的支管管上設(shè)置阻阻火器，在在排入大氣氣的排氣管管道上，為為防止排氣氣時(shí)突遇雷雷電襲擊阻阻止火焰蔓蔓延至可燃燃?xì)怏w管道道引發(fā)燃燒燒爆炸事故故，必須在在排氣管道道上設(shè)置阻阻火器。⑤可燃?xì)怏w體在適當(dāng)?shù)牡墓艿捞帒?yīng)應(yīng)做接地，，但接地電電阻應(yīng)符合合相關(guān)規(guī)定定。⑥各種可燃燃?xì)怏w管道道系統(tǒng)均應(yīng)應(yīng)設(shè)置能引引入氮?dú)獾鹊榷栊詺怏w體的接口及及相應(yīng)的檢檢測(cè)口，以以便在可燃燃?xì)怏w供應(yīng)應(yīng)系統(tǒng)使用用前后或檢檢修動(dòng)火前前后對(duì)其系系統(tǒng)進(jìn)行吹吹掃置換，，但是惰性性氣體吹掃掃接口在正正常運(yùn)行中中不能與氣氣體鋼瓶或或惰性氣體體管道相通通，以避免免影響氣體體質(zhì)量。（2）助燃?xì)怏w體對(duì)于氧氣或或氟系助燃燃?xì)怏w，只只要與油脂脂類物品接接觸，就會(huì)會(huì)氧化發(fā)熱熱，以致燃燃燒爆炸，，所以凡是是氧氣管道道、閥門或或設(shè)備、附附件等均應(yīng)應(yīng)禁油，氧氧氣管道系系統(tǒng)應(yīng)采用用專門的禁禁油閥門、、附件和管管材，并在在氧氣輸送送系統(tǒng)安裝裝后均應(yīng)按按規(guī)定進(jìn)行行脫脂處理理。為防止止由于靜電電產(chǎn)生火花花引起燃燒燒爆炸，氧氧氣管道應(yīng)應(yīng)采取以下下措施：①氧氣管道道內(nèi)氧氣流流速限制：：當(dāng)氧氣工工作壓力≥≥10MPa時(shí)，氧氣流流速不應(yīng)大大于6m/s；當(dāng)工作壓壓力為0.1～3MPa時(shí)，不應(yīng)大大于15m/s；當(dāng)工作壓壓力≤0.1MPa時(shí)，應(yīng)按其其管道允許許壓力降確確定。②氧氣管道道的彎頭、、三通等接接頭的材質(zhì)質(zhì)選擇、安安裝均應(yīng)按按規(guī)定進(jìn)行行③氧氣管道道應(yīng)采取導(dǎo)導(dǎo)除靜電接接地措施。。（3）窒息性氣氣體：此類氣體無無色、無臭臭、低毒性性，但是大大量窒息性性氣體的泄泄漏或排入入大氣中會(huì)會(huì)使空氣中中氧的濃度度降低，當(dāng)當(dāng)空氣中的的氧濃度低低于18％時(shí)，人會(huì)會(huì)感覺到頭頭暈惡心，，甚至?xí)煸斐芍舷⑺浪劳?。所以以一定要?yán)嚴(yán)防氣體的的泄漏。在在使用場所所設(shè)置必要要的換氣，，及時(shí)將窒窒息性氣體體排至室外外。（4）有毒氣體體：在使用、貯貯存有毒氣氣體的場所所應(yīng)設(shè)有可可靠的通風(fēng)風(fēng)裝置。和和毒氣泄漏漏報(bào)警裝置置一旦空氣氣中有毒氣氣體達(dá)到規(guī)規(guī)定值時(shí)，，應(yīng)進(jìn)行報(bào)報(bào)警，同時(shí)時(shí)自動(dòng)開啟啟自動(dòng)排氣氣裝置，有有毒氣體在在排入大氣氣前必須經(jīng)經(jīng)過可靠的的處理，達(dá)達(dá)到規(guī)定的的無害狀態(tài)態(tài)后方可排排放。（5）腐蝕性氣氣體：此類氣體一一遇水就會(huì)會(huì)顯示強(qiáng)腐腐蝕性，因因此在腐蝕蝕性氣體系系統(tǒng)使用前前應(yīng)以干燥燥氮?dú)獾葘?duì)對(duì)系統(tǒng)設(shè)備備、管道進(jìn)進(jìn)行吹掃、、干燥，尤尤其時(shí)高壓壓儲(chǔ)氣瓶的的灌裝口，，因環(huán)境空空氣中的水水分易引起起腐蝕必須須裝設(shè)氣瓶瓶帽，并在在裝氣瓶帽帽時(shí)使用氮氮?dú)鈱?duì)灌裝裝口進(jìn)行充充分的干燥燥。2．高高壓壓儲(chǔ)儲(chǔ)氣氣瓶瓶的的使使用用安安全全對(duì)于于易易燃燃易易爆爆氣氣體體、、毒毒性性氣氣體體、、腐腐蝕蝕性性氣氣體體等等高高壓壓儲(chǔ)儲(chǔ)氣氣瓶瓶的的運(yùn)運(yùn)輸輸、、貯貯存存、、和和使使用用，，必必須須制制定定嚴(yán)嚴(yán)格格的的管管理理制制度度，，操操作作人人員員上上崗崗應(yīng)應(yīng)經(jīng)經(jīng)過過嚴(yán)嚴(yán)格格的的培培訓(xùn)訓(xùn)，，了了解解、、熟熟悉悉相相關(guān)關(guān)氣氣體體的的特特性性和和安安全全知知識(shí)識(shí)方方可可上上崗崗。。LOREMIPSUMDOLOR（1）搬運(yùn)：高壓壓儲(chǔ)氣瓶在搬