工廠如何消除靜電與防止靜電實踐篇課件

靜電控制

靜電控制

ESDControl

靜電的概念ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識

靜電就是靜止的電荷，就是物體表面有多余的電荷（正電荷或負電荷）存在。靜電產(chǎn)生有三種方法：摩擦相接觸的兩個物體發(fā)生分離靜電感應產(chǎn)生靜電Page1

ESDControl靜電的概念ESDBas2

靜電產(chǎn)生的物理解釋結(jié)果：帶正的靜電荷結(jié)果：帶負的靜電荷相接觸的兩個物體發(fā)生分離ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識Page2靜電產(chǎn)生的物理解釋結(jié)果：帶正的靜電荷結(jié)果：帶負的3

ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識什么是ESD？

ESD就是靜電泄放（ElectronicStaticDischarge）帶有靜電的物體靠近或接觸另一物體，只要它們之間存在電勢差，就會發(fā)生靜電荷傳遞。這種靜電荷傳遞過程我們稱之為靜電泄放。當這種靜電荷傳遞的過程強度足夠大，大到可以損壞我們的產(chǎn)品，我們就稱之為ESD事件。Page3

ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識4

任何物體都可以產(chǎn)生靜電！EverythingcanbecomeCharged！ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識

什么物體可以產(chǎn)生靜電？

在我們的工作區(qū)域所有物體都可以產(chǎn)生靜電!手推車，椅子，機械手，粘膠帶，周轉(zhuǎn)箱和其它物料輸送物品人體，手套，凈化室用抹布，凈化室用太空服，普通衣服工作臺表面，CRT電腦顯示器，手動工具，紙，筆記本，文件夾，筆墻壁，地板，酒精瓶，ESD包裝，非ESD包裝等等都可以產(chǎn)生靜電。Page4

任何物體都可以產(chǎn)生靜電！Everythingcanb5ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識

什么樣的材料是防靜電材料？對于硬盤產(chǎn)品生產(chǎn)，表面電阻小于1x109Ohms的材料是理想的ESD材料。3.Insulator絕緣材料2.Dissipative靜電消耗材料Conductive導體材料105

Ohms/1011

Ohms/1產(chǎn)生靜電少2靜電可以通過接地消除（但消除速度很快）3可以接收的ESD材料1產(chǎn)生靜電較少2靜電可以通過接地消除（消除速度適中）3理想的ESD材料1產(chǎn)生靜電很多2靜電不能通過接地消除（消除速度特別慢）3非ESD材料Page5ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識6ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識

ESD的危害Page6人體對大于3000V的靜電才有感覺！但是……磁頭PCB/PCC電路板梳頭發(fā)撕貼膠帶走路ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識7對于ESD我們應該統(tǒng)一認識，并加以提高ESD是隱藏的敵人ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識

ESD是隱藏的敵人Page7聽到5000V感覺到3000V看到8000V電子元件受損100-500V針對我們的Arm產(chǎn)品,安全靜電電壓是

<100V!對于ESD我們應該統(tǒng)一認識，并加以提高ESD是隱藏的8ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識

ESD如何損害我們的產(chǎn)品大量的靜電荷在存在電勢差的物體（人或機器）與產(chǎn)品之間快速傳遞，短時間內(nèi)產(chǎn)生很大的電流（遠遠超過產(chǎn)品可以承受的電流）重則損毀電路，造成產(chǎn)品不能使用；輕則使電路過熱受到損傷，影響產(chǎn)品的壽命和可靠性。被ESD損毀的產(chǎn)品Page8使電子元件受損的潛在缺陷占90%在廠內(nèi)很難被發(fā)現(xiàn)

電子元件即時失效只占10%在廠內(nèi)可被發(fā)現(xiàn)ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識9ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識決定靜電產(chǎn)生多少的因素決定靜電產(chǎn)生多少的因素主要有：1材料的導電性能：導電材料和靜電消耗材料產(chǎn)生比較少的靜電，絕緣材料產(chǎn)生很多的靜電。2環(huán)境相對濕度對靜電的產(chǎn)生有很大的影響，相對濕度大（空氣潮濕）靜電產(chǎn)生就少，ESD的問題就少。反之，相對濕度小ESD的問題就多。3ESD地板，ESD安全的鞋（包括太空服）及腕帶的使用對于降低人體產(chǎn)生的靜電也是非常有效的。另外在地板上走動比不走動產(chǎn)生更多的靜電。

1在地毯上走路2穿普通鞋在ESD地板上走路（不使用腕帶）3穿ESD安全的鞋在ESD地板上（使用腕帶）5摩擦絕緣材料

35000V8000V 1500V10000V4000V 200V50V10V 0V環(huán)境相對濕度10-20%RH40-50%RH70-90%RH4000V1500V 300VPage9ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識10ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識

ESD如何損害我們的產(chǎn)品ESD損壞的方式直接的方式間接的方式1.金屬（小電阻）接觸帶靜電的物體接觸產(chǎn)品(HBM)物體接觸帶靜電的產(chǎn)品(CDM)2.電路熱拔插帶電測試靜電感應不直接接觸電磁干擾（EMI）不直接接觸Page10ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識11

降低成本提高產(chǎn)品質(zhì)量客戶滿意增加利潤ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識

ESD防護的好處Page11ESDBasicKnowledge

ESD基12ESDControl

ESD控制我們?nèi)绾慰刂艵SD？Threefundamentalprinciples三個基本的控制原理--Ground/Bondallconductors(為所有導體進行接地處理。注意：人也是導體）--ControlChargesonNonconductors(控制容易產(chǎn)生較多靜電絕緣材料）--Useprotectivepackagingfortransitandstorage(在產(chǎn)品運輸和存貯過程中使用ESD防護包裝）ESD控制=

Man(人)+

Machine(機)+Material

(料)+Method(法)+

Environment(環(huán))Man(人)--手腕帶，ESD鞋，ESD椅子,衣服…Machine(機)--接地，控制靜電電流--消除/屏蔽電磁干擾和交流電場Material(材料)--使用導體材料--盡量使用靜電消耗材料--使用ESD地板，ESD桌墊--不用或盡量少用絕緣材料Method(方法)--預防（創(chuàng)建ESD安全的環(huán)境）--保護（保護對ESD敏感的產(chǎn)品或零部件，避免金屬小電阻接觸）--屏蔽（對非ESD安全的物品進行法拉第或距離屏蔽）--消除（通過接地，離子化消除產(chǎn)生的靜電）Environment(環(huán)境)--溫度/濕度控制--局部使用離子風機--員工ESD培訓--管理Page12ESDControl

ESD控制我們?nèi)绾慰刂艵SD？Th13ESDControl

ESD控制ESD安全區(qū)域和ESD風險等級

--處理對ESD敏感的產(chǎn)品必須在ESD安全區(qū)域（ESDSafeArea)內(nèi)進行。--在ESD安全區(qū)域處理對ESD敏感的產(chǎn)品，必須依照ESD安全處理程序進行。--沒有進行必要的ESD防護，不允許進入ESD安全區(qū)域。ESD敏感產(chǎn)品的處理工序依照產(chǎn)品的特點和可能造成的ESD損壞劃分為四個ESD風險等級：1A級--特別高的ESD風險1級--很高的ESD風險2級--較高的ESD風險

（

以上級別只用行磁頭和硬盤生產(chǎn)工序）3級--高的ESD風險（硬盤生產(chǎn)DriveTopCover安裝到位以后工序PCCA/HookupDie/IC安裝，焊接及通電測試工序）4級--中等的ESD風險（PCCA，Hookup一般工序）Page13靜電防護安全區(qū)域（ESDSafeArea)ESDControl

ESD控制ESD安全區(qū)域和E14ESDControl

ESD控制ESD控制接地兩種可用的接地系統(tǒng)LNE產(chǎn)品ESD墊子機器或夾具ESD腕帶ESD地板ESD鞋工作臺ESD凈化服LNE產(chǎn)品ESD墊子機器或夾具ESD腕帶ESD鞋工作臺ESD凈化服ESD接地銅排ESD地板Page14ESDControl

ESD控制ESD控制15ESDControl

ESD控制ESD控制接地產(chǎn)品ESD墊子機器或夾具ESD腕帶ESD鞋工作臺ESD凈化服ESD地板人體通過ESD凈化服、ESD鞋及ESD地板接地接地電阻通常在1x10e8~1x10e9歐姆,這時人體的靜電電位在500V以下。人體通過ESD腕帶接地，接地電阻可以確保在1x10^6~1x10^7歐姆，可以確保人體的靜電電位在10V以下。機器或夾具等金屬物體通過接地線接地，接地電阻通常小于10歐姆，可以將機器或夾具等金屬物體上產(chǎn)生的靜電隨時導向大地，減少靜電對產(chǎn)品的危害。Page15針對我們的Arm產(chǎn)品,安全靜電電壓是

<100V

!ESDControl

ESD控制ESD控制16ESDControl

ESD控制接地是針對導體材料進行ESD控制最簡單最有效的方法人員接地腕帶太空服，太空鞋，防靜電手套防靜電服裝，防靜電鞋設(shè)備接地對生產(chǎn)流水線必須進行硬接地，流水線的輸送皮帶必須是金屬或ESD材料。工作臺應使用金屬臺面或ESD桌墊臺面，并對工作臺面進行硬接地。貯存ESD敏感產(chǎn)品或零部件的架子和手推車必須滿足ESD軟接地要求。設(shè)備/工具通過軸承或氣缸聯(lián)接的接觸ESD敏感產(chǎn)品部分應考慮另接接地線接地。設(shè)備/工具接觸ESD敏感產(chǎn)品的部分不得使用絕緣材料，應使用金屬或ESD材料。并至少滿足ESD軟接地的要求。硬接地

–指使用接地線對導體材料進行接地，金屬硬接地，對地電阻應小于10歐姆。軟接地

–指不使用接地線的接地，對地電阻（RTG）應小于1X10^9歐姆。ESD控制接地Page16ESDControl

ESD控制接地是針對導體材料進行E17ESDControl

ESD控制ESD控制--粘膠帶--粘膠帶的使用必須控制到最少，如果必須使用，應使用ESD安全的膠帶如：3M40或42。--對非ESD安全的膠帶，在撕膠帶，貼膠帶和揭膠帶時應考慮在離子風機下進行或遠離產(chǎn)品12英寸以外進行。--維修設(shè)備，聯(lián)接電線等禁止使用粘膠帶。ESD膠帶撕貼膠帶會產(chǎn)生很高的靜電，由于膠帶是絕緣材料，產(chǎn)生的靜電可以保留較長時間。不是生產(chǎn)工藝必須的膠帶必須從工作臺上拿走，嚴禁使用膠帶來固定物體或電氣維修。Page17ESDControl

ESD控制ESD控制--18ESDControl

ESD控制ESD控制--ESD安全物料PE袋ESDTray非ESD材料Tray普通紙、計算器、普通膠帶零部件料盒ESD材料的文件夾ESD材料的椅子凈化紙&許可的筆拉圾筒ESD屏蔽包保持非ESD材料與我們的ESD敏感產(chǎn)品12英寸以上距離Page18ESDControl

ESD控制ESD控制--19ESDControl

ESD控制ESD控制離子化對絕緣材料接地并不能消除所帶的靜電，要消除所帶的靜電需要使用離子風機。離子風機的作用是在局部形成離子平衡的環(huán)境，它產(chǎn)生的離子可以在較短的時間內(nèi)中和目標物體上多余的電荷。風扇很臟不但有Contamination的問題，影響離子產(chǎn)生，同時由于有大量Particle存在，反而會帶來ESD問題。--應定期（每周）用IPA對風扇和發(fā)射針進行清潔。（工程部/設(shè)施部執(zhí)行，QA核查）有維護標簽，一要定期對風機校準，二要定期進行清潔維護。指示燈亮（表示在工作）,應打到>60%最大風速。高度18-24Inch產(chǎn)品區(qū)域Page19ESDControl

ESD控制ESD控制20ESDControl

ESD控制ESD控制應該做到1）在ESD安全的工位處理對ESD敏感產(chǎn)品。2）在處理對ESD敏感產(chǎn)品之前戴上腕帶，防靜電手套。3）對所有金屬設(shè)備和工具進行接地處理。4）讓ESD敏感產(chǎn)品與絕緣材料最少保持12英寸（約30公分）的距離。

（如果對產(chǎn)品進行了保護如：產(chǎn)品放在ESD包內(nèi)，放在蓋上蓋子的ESD安全物料盒內(nèi)；如果對絕緣材料進行了屏蔽或使用了離子風機，ESD敏感產(chǎn)品與絕緣材料之間不受這個距離的限制。）5）總是保持工作區(qū)域干凈整潔，拿走不必要的物料，特別是拿走不是生產(chǎn)必需的普通塑料制品，紙制品及個人物品。6）對ESD敏感產(chǎn)品可能接觸的設(shè)備部件，

測量設(shè)備接地，確保牢固有效安全。7）不要用金屬物體接觸對ESD敏感產(chǎn)品的暴露的輸入電路，減少對ESD敏感產(chǎn)品不必要的接觸。8）服從ESD敏感區(qū)域，ESD安全紀律要求。9）如果你對ESD有不清楚的可以聯(lián)系本地ESD控制部門。Page20ESDControl

ESD控制ESD控制應該做到21ESDControl

ESD控制ESD公式Q+M=ESD“Q”:在產(chǎn)品或零部件，工具或其它物體（包括人體）上的靜電荷

（通常是由于摩擦或者是靜電感應產(chǎn)生的）“M”:與產(chǎn)品或零部件暴露的輸入電路進行小電阻的金屬聯(lián)接?！癊SD”:短時間內(nèi)的大電流損壞產(chǎn)品或零部件，造成ESD損壞沒有金屬聯(lián)接:Q+M=ESD沒有ESD損壞沒有靜電荷:Q+M=ESD沒有ESD損壞沒有靜電荷和沒有金屬聯(lián)接:Q+M=ESD沒有ESD損壞用這個公式來幫我們理解如何解決ESD問題Page21ESDControl

ESD控制ESD公式Q+M=22ESDControl

ESD控制ESD公式消除金屬聯(lián)接（M）:Q+M=NOESD

避免金屬聯(lián)接的方法：設(shè)計工具，使暴露的電路不能接觸工具的金屬表面在工具的表面使用ESD消耗材料（ESD墊子等）暴露的電路好好不好Page22ESDControl

ESD控制ESD公式消除金屬聯(lián)接（23ESDControl

ESD控制ESD公式

為導體進行可靠的接地（對固定金屬導體：接地電阻<10ohms,對移動導體，ESD材料或不可以接地的導體：接地電阻<1X10^9歐姆。）

減少或消除摩擦、撕粘膠帶等等所有可以產(chǎn)生靜電的操作。如有必要，使用離子風機消除絕緣材料上的靜電。從工位上拿走不是生產(chǎn)必須的絕緣材料。

對于生產(chǎn)工藝必須的絕緣材料和ESD敏感的產(chǎn)品，保持安全距離（12英寸以上）。減少或消除靜電荷（Q）:Q+M=NOESDPage23ESDControl

ESD控制ESD公式為導體進行24ESDControl

ESD控制ESD公式很多人首先試著只是控制

Q(靜電荷)

但消除M(金屬聯(lián)接)通常是最廉價的，最容易的，從長期來說也是最有效的解決辦法。聰明的做法是把控制

Q(靜電荷)和消除M(金屬聯(lián)接)結(jié)合起來這取決于在每個工藝過程中哪一種方法最容易，最廉價。你必須不斷改善和優(yōu)化你的工藝過程，否則ESD的問題將繼續(xù)困惑著你!Q+M=ESDPage24ESDControl

ESD控制ESD公式很多人首先25ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–ESD控制思路

電子元器件就像雞蛋，電子元器件對ESD十分敏感就像雞蛋從高處落下很容易摔壞。

電子元器件帶有靜電就像一個被舉高的雞蛋不是高度摔破了雞蛋，而是高度的突然改變（摔下雞蛋）摔破了雞蛋。

不是高的靜電電壓損壞了電子元器件，而是靜電電壓的突然改變損壞電子元器件。

金屬聯(lián)接造成的靜電電壓的突然改變等同從高處摔下雞蛋。如果超過這一高度摔下(靜電泄放)雞蛋(電子元器件)將被摔破(損壞)高度（靜電荷的多少）搬運雞蛋(電子元器件)越過障礙物，如何保證雞蛋(電子元器件)不被摔破(損壞)？？？Page25ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–26ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–ESD控制思路第一種解決方法降低障礙物的高度，

相當于傳統(tǒng)的ESD控制思路只是控制靜電荷和電壓，去除絕緣材料、使用接地、離子風機等等如果超過這一高度摔下(靜電泄放)雞蛋(電子元器件)將被摔破(損壞)高度（靜電荷的多少）Page26ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–27ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–ESD控制思路第二種解決方法在地板上靠近障礙物地方墊上軟墊子防止雞蛋被摔破在工作表面上墊上ESD墊子或ESD薄膜（靜電消耗材料），防止電子元器件暴露的電路直接接觸金屬表面。高度（靜電荷的多少）超過這一高度摔到?jīng)]有墊子的地面雞蛋將被摔破超過這一高度摔到墊有墊子的地面雞蛋將被摔破Page27ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–28ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–ESD控制思路Page28第三種解決方法為雞蛋穿上防摔的軟套。為電子元器件增加ESD防護：使用ESD屏蔽袋，設(shè)置分流和限流電阻等等。高度（靜電荷的多少）超過這一高度摔到地面，穿上防摔軟套的雞蛋將被摔破超過這一高度摔到地面，沒有防摔軟套的雞蛋將被摔破FaradayCage法拉第籠具有法拉第籠作用的ESD屏蔽袋，ESDTray(注意：只有封閉或蓋好才會有法拉第籠屏蔽防護作用）ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–29ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–ESD控制思路高度（靜電荷的多少）第四種解決方法讓雞蛋停在高處不摔下電子元器件仍然帶上靜電荷，但是不泄放，當然不會損壞電子元器件但風險依然存在，有可能在下一工序就會發(fā)生靜電泄放，損壞電子元器件這不是一種好的ESD解決辦法。如果超過這一高度摔下(靜電泄放)雞蛋(電子元器件)將被摔破(損壞)也許我們還有其它的解決辦法？？？Page29ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–30

ESDControl工廠實踐篇Page30

ESDControl工廠實踐篇Page3031

ESDControl（一）Wriststrap及monitor的使用、維護Fuji494–雙線腕帶監(jiān)測器Fuji99–單線腕帶監(jiān)測器雙線腕帶設(shè)施部定期（一般至少三個月一次）對監(jiān)測器進行PM。更換易損件，校準監(jiān)測器，確保正常工作。QA對監(jiān)測器插孔定期（一般為一個月一次）進行接地測試，確保接地良好。生產(chǎn)部在使用過程中出現(xiàn)任何問題及時通知到設(shè)施部進行修理。經(jīng)確認是腕帶損壞的及時由主管或領(lǐng)班更換腕帶。QA對使用及執(zhí)行情況進行核查。Page31

ESDControl（一）Wriststrap及mo32

ESDControl（二）電烙鐵的接地–確保烙鐵焊頭接地良好Fuji300–防靜電電烙鐵有防靜電標志不管是防靜電電烙鐵還是普通電烙鐵，必須定期測試烙鐵焊頭對地電阻(R)。標準：R<100ohms(普通電子企業(yè)）烙鐵焊頭Page32

ESDControl（二）電烙鐵的接地–確保烙鐵焊頭接33

ESDControlPage33（三）顯微鏡的接地僅對夾具進行接地，沒有固定到顯微鏡底座上，顯微鏡機體接地不良。由于顯微鏡機體和底座被油漆覆蓋，所以應另接接地線接地，確保接地良好。顯微鏡標準：對地電阻<1x10e9ohms接地線松脫

ESDControlPage33（三）顯微鏡的接地僅對34

ESDControlPage34（四）工作臺工具/設(shè)備的接地接地良好接地良好所有用于生產(chǎn)或檢驗的工作臺面。接地標準：對地電阻<10ohms接地線松脫移動的部分增加接地，確保接地良好接地線松脫

ESDControlPage34（四）工作臺工具/35

ESDControl注意：類似以上兩種放置在工作臺上的工具/設(shè)備，由于它們的底腳是絕緣的塑料，必須確認它們的接地電阻（有些可以通過電源線地線接

地）如果接地不良，必須另外接地線。標準：對地電阻<10ohms底腳是絕緣的塑料Page35

ESDControl注意：類似以上兩種放置在工作臺上的工36

ESDControl類似圖示的可移動設(shè)備（還包括Oven等），它們的底腳輪子是絕緣的塑料，必須確認它們的外殼，工作臺和與產(chǎn)品接觸的夾具的接地電阻（有些可以通過電源線地線接地）如果接地不良，必須另外接地線。標準：外殼，工作臺和與產(chǎn)品接觸的固定的金屬夾具<10ohms與產(chǎn)品接觸的活動的夾具，ESD材料<1x10E9ohms夾具臺面外殼Page36

ESDControl類似圖示的可移動設(shè)備（還包括Ove37

ESDControl確保外殼，與產(chǎn)品接觸的流水線和夾具的接地良好。（外殼測試點是外殼上暴露的螺絲）標準：外殼、流水線線體<10ohms流水線線體夾具外殼流水線線體外殼外殼Page37

ESDControl確保外殼，與產(chǎn)品接觸的流水線和夾具的38

ESDControl流水線線體通過延長拖線板接地必須確認接地良好。Page38確認外殼及流水線金屬傳送帶對地電阻確認工作臺接地，ESD椅子性能流水線傳送帶

ESDControl流水線線體通過延長拖線板接地必須確認39

ESDControlPage39（五）手推車的接地–確保有接地鏈條并與地面接觸良好沒有接地鏈條有接地鏈條，接地可以接受接地鏈條沒有接觸ESD的地面盡管使用接地鏈條接地不是一種十分理想的手推車接地方式（有些公司

使用ESD的車輪接地）。但有接地鏈條，鏈條與地面接觸良好是Belton對手推車最基本的要求。

ESDControlPage39（五）手推車的接地–40

ESDControlPage40（六）貨架的接地--底腳不能用塑料底腳不用塑料底腳--OK貨架接地電阻：<1x10E9ohms貨架接地電阻：>1x10E12ohms標準：四只底腳不能用塑料底腳貨架接地電阻：<1x10E9ohms用塑料底腳

–接地不良

ESDControlPage40（六）貨架的接地--41

ESDControlPage41用金屬緊固塞--OK金屬緊固塞使用最低標準：如圖（此最低標準適用于拼接式手推車）用接地線聯(lián)接要確認聯(lián)接良好（七）貨架的接地--擱板與柱子聯(lián)接的緊固塞金屬緊固塞

ESDControlPage41用金屬緊固塞--O42

ESDControlPage42（八）使用ESD防護ESD墊子--OKESD材料夾具對CRT顯示器進行距離防護

ESDControlPage42（八）使用ESD防護E43

ESDControl（九）ESD材料與非ESD材料ESD屏蔽袋–ESDOKESDTray–ESDOKESD材料：SR<1x10E11ohms非ESD材料：

SR>1x10E11ohmsPE袋–非ESD材料非ESD材料Tray不是生產(chǎn)工藝必須的絕緣材料（非ESD材料）必須從工作臺上拿走，與產(chǎn)品區(qū)域保持至少12英寸（30CM）以上距離。注意：PE袋只能用來對蓋上蓋子的ESDTray進行外包裝，非ESD材料Tray只能用來包裝對ESD不敏感的元器件。Page43

ESDControl（九）ESD材料與非ESD材料ESD44

ESDControlPage44普通紙、計算器、普通膠帶–非ESD材料干的抹布、干的棉簽和棉花棒–非ESD材料抹布、棉簽和棉花棒只有濕的（沾IPA后）才可以使用.不用的抹布、棉簽和棉花棒必須放在金屬物料盒內(nèi)。（不允許放在工作臺上）。用過的抹布、棉簽和棉花棒必須及時放進拉圾桶內(nèi)（不允許放在工作臺上）。不是生產(chǎn)工藝必須的絕緣材料（非ESD材料）必須從工作臺上拿走，與產(chǎn)品區(qū)域保持至少12英寸（30CM）以上距離。絕緣材料（非ESD材料）：--普通塑料橡膠制品（如計算器、普通膠帶等）--普通紙制品--棉制品、抹布--普通玻璃制品等等

ESDControlPage44普通紙、計算器、普通膠45

ESDControlPage45撕貼膠帶會產(chǎn)生很高的靜電。膠帶的使用同時有ESD和Contamination的問題，因此必須嚴格控制，不是生產(chǎn)工藝必須的膠帶必須從工作臺上拿走，嚴禁使用膠帶來固定物體或電氣維修。

ESDControlPage45撕貼膠帶會產(chǎn)生很高的靜46

ESDControlPage46遠遠超過24Inch高度18-24Inch（十）Ionizer(離子風機）的正確使用風扇很臟不但有Contamation的問題，影響離子產(chǎn)生，同時由于有大量Particle存在，反而會帶來ESD問題。--應定期（每周）用IPA對風扇和發(fā)射針進行清潔。（工程部/設(shè)施部執(zhí)行，QA核查）有維護標簽，但一要對風機校準，二要進行清潔維護。指示燈亮（表示在工作）打到>60%最大風速。

ESDControlPage46遠遠超過24Inch47

ESDControlPage47不用的或用過的抹布不允許放在工作臺上（十一）工作臺面臟的夾具每班應在吃飯前和下班前進行兩次工位（工作臺面和夾具）清潔，每次必須清潔干凈。工作臺面或夾具抽檢不合格

ESDControlPage47不用的或用過的抹布不允48

靜電控制

靜電控制

ESDControl

靜電的概念ESDBasicKnowledge

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靜電就是靜止的電荷，就是物體表面有多余的電荷（正電荷或負電荷）存在。靜電產(chǎn)生有三種方法：摩擦相接觸的兩個物體發(fā)生分離靜電感應產(chǎn)生靜電Page1

ESDControl靜電的概念ESDBas50

靜電產(chǎn)生的物理解釋結(jié)果：帶正的靜電荷結(jié)果：帶負的靜電荷相接觸的兩個物體發(fā)生分離ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識Page2靜電產(chǎn)生的物理解釋結(jié)果：帶正的靜電荷結(jié)果：帶負的51

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ESD基礎(chǔ)知識什么是ESD？

ESD就是靜電泄放（ElectronicStaticDischarge）帶有靜電的物體靠近或接觸另一物體，只要它們之間存在電勢差，就會發(fā)生靜電荷傳遞。這種靜電荷傳遞過程我們稱之為靜電泄放。當這種靜電荷傳遞的過程強度足夠大，大到可以損壞我們的產(chǎn)品，我們就稱之為ESD事件。Page3

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任何物體都可以產(chǎn)生靜電！EverythingcanbecomeCharged！ESDBasicKnowledge

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什么物體可以產(chǎn)生靜電？

在我們的工作區(qū)域所有物體都可以產(chǎn)生靜電!手推車，椅子，機械手，粘膠帶，周轉(zhuǎn)箱和其它物料輸送物品人體，手套，凈化室用抹布，凈化室用太空服，普通衣服工作臺表面，CRT電腦顯示器，手動工具，紙，筆記本，文件夾，筆墻壁，地板，酒精瓶，ESD包裝，非ESD包裝等等都可以產(chǎn)生靜電。Page4

任何物體都可以產(chǎn)生靜電！Everythingcanb53ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識

什么樣的材料是防靜電材料？對于硬盤產(chǎn)品生產(chǎn)，表面電阻小于1x109Ohms的材料是理想的ESD材料。3.Insulator絕緣材料2.Dissipative靜電消耗材料Conductive導體材料105

Ohms/1011

Ohms/1產(chǎn)生靜電少2靜電可以通過接地消除（但消除速度很快）3可以接收的ESD材料1產(chǎn)生靜電較少2靜電可以通過接地消除（消除速度適中）3理想的ESD材料1產(chǎn)生靜電很多2靜電不能通過接地消除（消除速度特別慢）3非ESD材料Page5ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識54ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識

ESD的危害Page6人體對大于3000V的靜電才有感覺！但是……磁頭PCB/PCC電路板梳頭發(fā)撕貼膠帶走路ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識55對于ESD我們應該統(tǒng)一認識，并加以提高ESD是隱藏的敵人ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識

ESD是隱藏的敵人Page7聽到5000V感覺到3000V看到8000V電子元件受損100-500V針對我們的Arm產(chǎn)品,安全靜電電壓是

<100V!對于ESD我們應該統(tǒng)一認識，并加以提高ESD是隱藏的56ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識

ESD如何損害我們的產(chǎn)品大量的靜電荷在存在電勢差的物體（人或機器）與產(chǎn)品之間快速傳遞，短時間內(nèi)產(chǎn)生很大的電流（遠遠超過產(chǎn)品可以承受的電流）重則損毀電路，造成產(chǎn)品不能使用；輕則使電路過熱受到損傷，影響產(chǎn)品的壽命和可靠性。被ESD損毀的產(chǎn)品Page8使電子元件受損的潛在缺陷占90%在廠內(nèi)很難被發(fā)現(xiàn)

電子元件即時失效只占10%在廠內(nèi)可被發(fā)現(xiàn)ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識57ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識決定靜電產(chǎn)生多少的因素決定靜電產(chǎn)生多少的因素主要有：1材料的導電性能：導電材料和靜電消耗材料產(chǎn)生比較少的靜電，絕緣材料產(chǎn)生很多的靜電。2環(huán)境相對濕度對靜電的產(chǎn)生有很大的影響，相對濕度大（空氣潮濕）靜電產(chǎn)生就少，ESD的問題就少。反之，相對濕度小ESD的問題就多。3ESD地板，ESD安全的鞋（包括太空服）及腕帶的使用對于降低人體產(chǎn)生的靜電也是非常有效的。另外在地板上走動比不走動產(chǎn)生更多的靜電。

1在地毯上走路2穿普通鞋在ESD地板上走路（不使用腕帶）3穿ESD安全的鞋在ESD地板上（使用腕帶）5摩擦絕緣材料

35000V8000V 1500V10000V4000V 200V50V10V 0V環(huán)境相對濕度10-20%RH40-50%RH70-90%RH4000V1500V 300VPage9ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識58ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識

ESD如何損害我們的產(chǎn)品ESD損壞的方式直接的方式間接的方式1.金屬（小電阻）接觸帶靜電的物體接觸產(chǎn)品(HBM)物體接觸帶靜電的產(chǎn)品(CDM)2.電路熱拔插帶電測試靜電感應不直接接觸電磁干擾（EMI）不直接接觸Page10ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識59

降低成本提高產(chǎn)品質(zhì)量客戶滿意增加利潤ESDBasicKnowledge

ESD基礎(chǔ)知識

ESD防護的好處Page11ESDBasicKnowledge

ESD基60ESDControl

ESD控制我們?nèi)绾慰刂艵SD？Threefundamentalprinciples三個基本的控制原理--Ground/Bondallconductors(為所有導體進行接地處理。注意：人也是導體）--ControlChargesonNonconductors(控制容易產(chǎn)生較多靜電絕緣材料）--Useprotectivepackagingfortransitandstorage(在產(chǎn)品運輸和存貯過程中使用ESD防護包裝）ESD控制=

Man(人)+

Machine(機)+Material

(料)+Method(法)+

Environment(環(huán))Man(人)--手腕帶，ESD鞋，ESD椅子,衣服…Machine(機)--接地，控制靜電電流--消除/屏蔽電磁干擾和交流電場Material(材料)--使用導體材料--盡量使用靜電消耗材料--使用ESD地板，ESD桌墊--不用或盡量少用絕緣材料Method(方法)--預防（創(chuàng)建ESD安全的環(huán)境）--保護（保護對ESD敏感的產(chǎn)品或零部件，避免金屬小電阻接觸）--屏蔽（對非ESD安全的物品進行法拉第或距離屏蔽）--消除（通過接地，離子化消除產(chǎn)生的靜電）Environment(環(huán)境)--溫度/濕度控制--局部使用離子風機--員工ESD培訓--管理Page12ESDControl

ESD控制我們?nèi)绾慰刂艵SD？Th61ESDControl

ESD控制ESD安全區(qū)域和ESD風險等級

--處理對ESD敏感的產(chǎn)品必須在ESD安全區(qū)域（ESDSafeArea)內(nèi)進行。--在ESD安全區(qū)域處理對ESD敏感的產(chǎn)品，必須依照ESD安全處理程序進行。--沒有進行必要的ESD防護，不允許進入ESD安全區(qū)域。ESD敏感產(chǎn)品的處理工序依照產(chǎn)品的特點和可能造成的ESD損壞劃分為四個ESD風險等級：1A級--特別高的ESD風險1級--很高的ESD風險2級--較高的ESD風險

（

以上級別只用行磁頭和硬盤生產(chǎn)工序）3級--高的ESD風險（硬盤生產(chǎn)DriveTopCover安裝到位以后工序PCCA/HookupDie/IC安裝，焊接及通電測試工序）4級--中等的ESD風險（PCCA，Hookup一般工序）Page13靜電防護安全區(qū)域（ESDSafeArea)ESDControl

ESD控制ESD安全區(qū)域和E62ESDControl

ESD控制ESD控制接地兩種可用的接地系統(tǒng)LNE產(chǎn)品ESD墊子機器或夾具ESD腕帶ESD地板ESD鞋工作臺ESD凈化服LNE產(chǎn)品ESD墊子機器或夾具ESD腕帶ESD鞋工作臺ESD凈化服ESD接地銅排ESD地板Page14ESDControl

ESD控制ESD控制63ESDControl

ESD控制ESD控制接地產(chǎn)品ESD墊子機器或夾具ESD腕帶ESD鞋工作臺ESD凈化服ESD地板人體通過ESD凈化服、ESD鞋及ESD地板接地接地電阻通常在1x10e8~1x10e9歐姆,這時人體的靜電電位在500V以下。人體通過ESD腕帶接地，接地電阻可以確保在1x10^6~1x10^7歐姆，可以確保人體的靜電電位在10V以下。機器或夾具等金屬物體通過接地線接地，接地電阻通常小于10歐姆，可以將機器或夾具等金屬物體上產(chǎn)生的靜電隨時導向大地，減少靜電對產(chǎn)品的危害。Page15針對我們的Arm產(chǎn)品,安全靜電電壓是

<100V

!ESDControl

ESD控制ESD控制64ESDControl

ESD控制接地是針對導體材料進行ESD控制最簡單最有效的方法人員接地腕帶太空服，太空鞋，防靜電手套防靜電服裝，防靜電鞋設(shè)備接地對生產(chǎn)流水線必須進行硬接地，流水線的輸送皮帶必須是金屬或ESD材料。工作臺應使用金屬臺面或ESD桌墊臺面，并對工作臺面進行硬接地。貯存ESD敏感產(chǎn)品或零部件的架子和手推車必須滿足ESD軟接地要求。設(shè)備/工具通過軸承或氣缸聯(lián)接的接觸ESD敏感產(chǎn)品部分應考慮另接接地線接地。設(shè)備/工具接觸ESD敏感產(chǎn)品的部分不得使用絕緣材料，應使用金屬或ESD材料。并至少滿足ESD軟接地的要求。硬接地

–指使用接地線對導體材料進行接地，金屬硬接地，對地電阻應小于10歐姆。軟接地

–指不使用接地線的接地，對地電阻（RTG）應小于1X10^9歐姆。ESD控制接地Page16ESDControl

ESD控制接地是針對導體材料進行E65ESDControl

ESD控制ESD控制--粘膠帶--粘膠帶的使用必須控制到最少，如果必須使用，應使用ESD安全的膠帶如：3M40或42。--對非ESD安全的膠帶，在撕膠帶，貼膠帶和揭膠帶時應考慮在離子風機下進行或遠離產(chǎn)品12英寸以外進行。--維修設(shè)備，聯(lián)接電線等禁止使用粘膠帶。ESD膠帶撕貼膠帶會產(chǎn)生很高的靜電，由于膠帶是絕緣材料，產(chǎn)生的靜電可以保留較長時間。不是生產(chǎn)工藝必須的膠帶必須從工作臺上拿走，嚴禁使用膠帶來固定物體或電氣維修。Page17ESDControl

ESD控制ESD控制--66ESDControl

ESD控制ESD控制--ESD安全物料PE袋ESDTray非ESD材料Tray普通紙、計算器、普通膠帶零部件料盒ESD材料的文件夾ESD材料的椅子凈化紙&許可的筆拉圾筒ESD屏蔽包保持非ESD材料與我們的ESD敏感產(chǎn)品12英寸以上距離Page18ESDControl

ESD控制ESD控制--67ESDControl

ESD控制ESD控制離子化對絕緣材料接地并不能消除所帶的靜電，要消除所帶的靜電需要使用離子風機。離子風機的作用是在局部形成離子平衡的環(huán)境，它產(chǎn)生的離子可以在較短的時間內(nèi)中和目標物體上多余的電荷。風扇很臟不但有Contamination的問題，影響離子產(chǎn)生，同時由于有大量Particle存在，反而會帶來ESD問題。--應定期（每周）用IPA對風扇和發(fā)射針進行清潔。（工程部/設(shè)施部執(zhí)行，QA核查）有維護標簽，一要定期對風機校準，二要定期進行清潔維護。指示燈亮（表示在工作）,應打到>60%最大風速。高度18-24Inch產(chǎn)品區(qū)域Page19ESDControl

ESD控制ESD控制68ESDControl

ESD控制ESD控制應該做到1）在ESD安全的工位處理對ESD敏感產(chǎn)品。2）在處理對ESD敏感產(chǎn)品之前戴上腕帶，防靜電手套。3）對所有金屬設(shè)備和工具進行接地處理。4）讓ESD敏感產(chǎn)品與絕緣材料最少保持12英寸（約30公分）的距離。

（如果對產(chǎn)品進行了保護如：產(chǎn)品放在ESD包內(nèi)，放在蓋上蓋子的ESD安全物料盒內(nèi)；如果對絕緣材料進行了屏蔽或使用了離子風機，ESD敏感產(chǎn)品與絕緣材料之間不受這個距離的限制。）5）總是保持工作區(qū)域干凈整潔，拿走不必要的物料，特別是拿走不是生產(chǎn)必需的普通塑料制品，紙制品及個人物品。6）對ESD敏感產(chǎn)品可能接觸的設(shè)備部件，

測量設(shè)備接地，確保牢固有效安全。7）不要用金屬物體接觸對ESD敏感產(chǎn)品的暴露的輸入電路，減少對ESD敏感產(chǎn)品不必要的接觸。8）服從ESD敏感區(qū)域，ESD安全紀律要求。9）如果你對ESD有不清楚的可以聯(lián)系本地ESD控制部門。Page20ESDControl

ESD控制ESD控制應該做到69ESDControl

ESD控制ESD公式Q+M=ESD“Q”:在產(chǎn)品或零部件，工具或其它物體（包括人體）上的靜電荷

（通常是由于摩擦或者是靜電感應產(chǎn)生的）“M”:與產(chǎn)品或零部件暴露的輸入電路進行小電阻的金屬聯(lián)接?！癊SD”:短時間內(nèi)的大電流損壞產(chǎn)品或零部件，造成ESD損壞沒有金屬聯(lián)接:Q+M=ESD沒有ESD損壞沒有靜電荷:Q+M=ESD沒有ESD損壞沒有靜電荷和沒有金屬聯(lián)接:Q+M=ESD沒有ESD損壞用這個公式來幫我們理解如何解決ESD問題Page21ESDControl

ESD控制ESD公式Q+M=70ESDControl

ESD控制ESD公式消除金屬聯(lián)接（M）:Q+M=NOESD

避免金屬聯(lián)接的方法：設(shè)計工具，使暴露的電路不能接觸工具的金屬表面在工具的表面使用ESD消耗材料（ESD墊子等）暴露的電路好好不好Page22ESDControl

ESD控制ESD公式消除金屬聯(lián)接（71ESDControl

ESD控制ESD公式

為導體進行可靠的接地（對固定金屬導體：接地電阻<10ohms,對移動導體，ESD材料或不可以接地的導體：接地電阻<1X10^9歐姆。）

減少或消除摩擦、撕粘膠帶等等所有可以產(chǎn)生靜電的操作。如有必要，使用離子風機消除絕緣材料上的靜電。從工位上拿走不是生產(chǎn)必須的絕緣材料。

對于生產(chǎn)工藝必須的絕緣材料和ESD敏感的產(chǎn)品，保持安全距離（12英寸以上）。減少或消除靜電荷（Q）:Q+M=NOESDPage23ESDControl

ESD控制ESD公式為導體進行72ESDControl

ESD控制ESD公式很多人首先試著只是控制

Q(靜電荷)

但消除M(金屬聯(lián)接)通常是最廉價的，最容易的，從長期來說也是最有效的解決辦法。聰明的做法是把控制

Q(靜電荷)和消除M(金屬聯(lián)接)結(jié)合起來這取決于在每個工藝過程中哪一種方法最容易，最廉價。你必須不斷改善和優(yōu)化你的工藝過程，否則ESD的問題將繼續(xù)困惑著你!Q+M=ESDPage24ESDControl

ESD控制ESD公式很多人首先73ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–ESD控制思路

電子元器件就像雞蛋，電子元器件對ESD十分敏感就像雞蛋從高處落下很容易摔壞。

電子元器件帶有靜電就像一個被舉高的雞蛋不是高度摔破了雞蛋，而是高度的突然改變（摔下雞蛋）摔破了雞蛋。

不是高的靜電電壓損壞了電子元器件，而是靜電電壓的突然改變損壞電子元器件。

金屬聯(lián)接造成的靜電電壓的突然改變等同從高處摔下雞蛋。如果超過這一高度摔下(靜電泄放)雞蛋(電子元器件)將被摔破(損壞)高度（靜電荷的多少）搬運雞蛋(電子元器件)越過障礙物，如何保證雞蛋(電子元器件)不被摔破(損壞)？？？Page25ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–74ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–ESD控制思路第一種解決方法降低障礙物的高度，

相當于傳統(tǒng)的ESD控制思路只是控制靜電荷和電壓，去除絕緣材料、使用接地、離子風機等等如果超過這一高度摔下(靜電泄放)雞蛋(電子元器件)將被摔破(損壞)高度（靜電荷的多少）Page26ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–75ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–ESD控制思路第二種解決方法在地板上靠近障礙物地方墊上軟墊子防止雞蛋被摔破在工作表面上墊上ESD墊子或ESD薄膜（靜電消耗材料），防止電子元器件暴露的電路直接接觸金屬表面。高度（靜電荷的多少）超過這一高度摔到?jīng)]有墊子的地面雞蛋將被摔破超過這一高度摔到墊有墊子的地面雞蛋將被摔破Page27ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–76ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–ESD控制思路Page28第三種解決方法為雞蛋穿上防摔的軟套。為電子元器件增加ESD防護：使用ESD屏蔽袋，設(shè)置分流和限流電阻等等。高度（靜電荷的多少）超過這一高度摔到地面，穿上防摔軟套的雞蛋將被摔破超過這一高度摔到地面，沒有防摔軟套的雞蛋將被摔破FaradayCage法拉第籠具有法拉第籠作用的ESD屏蔽袋，ESDTray(注意：只有封閉或蓋好才會有法拉第籠屏蔽防護作用）ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–77ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–ESD控制思路高度（靜電荷的多少）第四種解決方法讓雞蛋停在高處不摔下電子元器件仍然帶上靜電荷，但是不泄放，當然不會損壞電子元器件但風險依然存在，有可能在下一工序就會發(fā)生靜電泄放，損壞電子元器件這不是一種好的ESD解決辦法。如果超過這一高度摔下(靜電泄放)雞蛋(電子元器件)將被摔破(損壞)也許我們還有其它的解決辦法？？？Page29ESDControl

ESD控制電子元器件與雞蛋–78

ESDControl工廠實踐篇Page30

ESDControl工廠實踐篇Page3079

ESDControl（一）Wriststrap及monitor的使用、維護Fuji494–雙線腕帶監(jiān)測器Fuji99–單線腕帶監(jiān)測器雙線腕帶設(shè)施部定期（一般至少三個月一次）對監(jiān)測器進行PM。更換易損件，校準監(jiān)測器，確保正常工作。QA對監(jiān)測器插孔定期（一般為一個月一次）進行接地測試，確保接地良好。生產(chǎn)部在使用過程中出現(xiàn)任何問題及時通知到設(shè)施部進行修理。經(jīng)確認是腕帶損壞的及時由主管或領(lǐng)班更換腕帶。QA對使用及執(zhí)行情況進行核查。Page31

ESDControl（一）Wriststrap及mo80

ESDControl（二）電烙鐵的接地–確保烙鐵焊頭接地良好Fuji300–防靜電電烙鐵有防靜電標志不管是防靜電電烙鐵還是普通電烙鐵，必須定期測試烙鐵焊頭對地電阻(R)。標準：R<100ohms(普通電子企業(yè)）烙鐵焊頭Page32

ESDControl（二）電烙鐵的接地–確保烙鐵焊頭接81

ESDControlPage33（三）顯微鏡的接地僅對夾具進行接地，沒有固定到顯微鏡底座上，顯微鏡機體接地不良。由于顯微鏡機體和底座被油漆覆蓋，所以應另接接地線接地，確保接地良好。顯微鏡標準：對地電阻<1x10e9ohms接地線松脫

ESDControlPage33（三）顯微鏡的接地僅對82

ESDControlPage34（四）工作臺工具/設(shè)備的接地接地良好接地良好所有用于生產(chǎn)或檢驗的工作臺面。接地標準：對地電阻<10ohms接地線松脫移動的部分增加接地，確保接地良好接地線松脫

ESDControlPage34（四）工作臺工具/83

ESDControl注意：類似以上兩種放置在工作臺上的工具/設(shè)備，