Alicat質(zhì)量流量控制器操作手冊(cè)

氣體質(zhì)量流量控制器操作手冊(cè)10/26/2005Rev.4DOC-ALIMAN16C保護(hù)你的權(quán)益和延長(zhǎng)你的產(chǎn)品使用壽命設(shè)備應(yīng)用的注意事項(xiàng)請(qǐng)不要隨意拆卸，替換部件，或者執(zhí)行未經(jīng)認(rèn)可的修正。這樣會(huì)使產(chǎn)品失去保修。本設(shè)備無(wú)用戶可維護(hù)部件，并且只能由廠家授權(quán)方維護(hù)或維修。不要在易爆，潮濕或腐蝕的環(huán)境下使用此產(chǎn)品。不要用于任何腐蝕性的氣體，例如：氨，丙烯，HCI，SO2，H2S，NO2，NO，硅烷，氯，等等不要在流動(dòng)氣體，當(dāng)水蒸汽凝結(jié)成水，并堵塞產(chǎn)品內(nèi)部的條件下使用此產(chǎn)品，這樣會(huì)造成壓力傳感器的破壞不要使用一個(gè)量程范圍超出實(shí)際測(cè)量值很多的流量計(jì)，例如，不要把1000升的量程用在100升的應(yīng)用上，這樣會(huì)導(dǎo)致流量計(jì)達(dá)不到理想的精度。判斷你的流量計(jì)量程，確定工況流量是流量計(jì)滿量程的70%左右。設(shè)備安裝的注意事項(xiàng)不要快速的切斷/開(kāi)啟閥，那樣會(huì)致使流量計(jì)處在瞬時(shí)的高壓下－（尤其重要的是低流量（50SCCM和更低）和小流量的流量線路），因?yàn)槟菢幽茉斐刹顗簜鞲衅鞯膿p壞。在固定或移動(dòng)配件時(shí)，不要讓控制器的閥門(mén)處于受力狀態(tài)——閥門(mén)是一個(gè)精密設(shè)備，任何閥徑的扭曲都會(huì)影響產(chǎn)品的控制性能。不要讓流量控制器的外殼置于任何液體中，因?yàn)楸井a(chǎn)品不具有防水的電氣外殼。保證電源具有正確的正負(fù)極，電壓和電流確保在使用一個(gè)DC61或其他鈍切電纜時(shí)，在通電之前請(qǐng)仔細(xì)檢查你的接線線路。如果可能的話，請(qǐng)確保在設(shè)備的前端使用一個(gè)20-50微米）過(guò)濾系統(tǒng)（設(shè)備操作的建議確保質(zhì)量和體積流量計(jì)的標(biāo)定介質(zhì)與測(cè)量介質(zhì)一致。確?？紤]到了當(dāng)改變測(cè)量氣體或測(cè)混合氣體時(shí)，會(huì)減小質(zhì)量和體積流量計(jì)的精度，和出現(xiàn)無(wú)法預(yù)測(cè)的結(jié)果。請(qǐng)查看手冊(cè)中關(guān)于校正附備氣體粘度的指示。確保設(shè)備不要使用在高壓，或高背壓的環(huán)境中。通常使用在10~15PSIG（0.66~1bar）的壓力下。不可超過(guò)此壓力，否則測(cè)量數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確，并且還會(huì)給儀表造成損害。確保設(shè)備經(jīng)常復(fù)位，在復(fù)位的時(shí)候，應(yīng)該確保此時(shí)絕對(duì)沒(méi)有流量通過(guò)。（控制器將在設(shè)定點(diǎn)為零的時(shí)候自動(dòng)復(fù)位）確保產(chǎn)品使用在150PSIG壓力下。對(duì)于壓力表和壓力控制器，產(chǎn)品的壓力應(yīng)該在其滿量程之內(nèi)。產(chǎn)品特別指定，在低壓使用時(shí)可能會(huì)減小耐壓極限。確保產(chǎn)品在最佳性能下運(yùn)行確?？梢哉{(diào)節(jié)你的控制器P和D閥參數(shù)設(shè)置，以便適應(yīng)您的系統(tǒng)要求，注意調(diào)節(jié)前的最初設(shè)置永遠(yuǎn)不要在沒(méi)有壓力的情況下，來(lái)設(shè)置控制器的非零的設(shè)定點(diǎn)。這樣的話，控制器會(huì)給閥門(mén)提供一個(gè)滿電壓，來(lái)達(dá)到這個(gè)設(shè)定點(diǎn)。這樣會(huì)使閥門(mén)變得非常熱而永久損壞確保根據(jù)你的重新校準(zhǔn)表來(lái)使用產(chǎn)品

如果您有問(wèn)題請(qǐng)聯(lián)系我們。我們樂(lè)意為您提供幫助！北京頗特儀器有限公司聯(lián)系電話：010－64424033、轉(zhuǎn)28分機(jī)技術(shù)部目錄頁(yè)數(shù)安裝5管道設(shè)備5裝配5應(yīng)用5電源和信號(hào)連接6輸入信號(hào)7模擬輸入信號(hào)7RS-232數(shù)字輸入信號(hào)7輸出信號(hào)7RS-232數(shù)字輸出信號(hào)7標(biāo)準(zhǔn)（0-5Vdc）電壓輸出信號(hào)8選項(xiàng)0-10Vdc電壓輸出信號(hào)8選項(xiàng)（4-20mA）電流輸出信號(hào)8選項(xiàng)第2路模擬輸出信號(hào)8氣體質(zhì)量流量控制器操作說(shuō)明10主模式10設(shè)定點(diǎn)10氣體絕對(duì)壓力10氣體溫度10體積流量11質(zhì)量流量11閃爍報(bào)警信息11選擇菜單模式11控制設(shè)定點(diǎn)模式12輸入12回路13選擇回路13氣體選擇模式14通信選擇模式15部件ID15波特率15數(shù)據(jù)速率15廠家數(shù)據(jù)模式16目錄頁(yè)數(shù)氣體體積流量控制器操作說(shuō)明17主模式17體積流量17設(shè)定點(diǎn)17閃爍報(bào)錯(cuò)信息17選擇菜單模式18控制設(shè)定點(diǎn)模式18輸入18選擇回路19氣體選擇模式20通信選擇模式20廠家數(shù)據(jù)模式20RS232輸出和輸入20超級(jí)終端的使用和設(shè)置20切換流模式到輪循模式20通過(guò)RS232發(fā)送設(shè)定點(diǎn)21通過(guò)RS232線纜調(diào)節(jié)比例和導(dǎo)數(shù)條款22選擇一種氣體23數(shù)據(jù)格式24RS232通訊協(xié)議基本結(jié)構(gòu)25Alicat質(zhì)量流量控制器的設(shè)定點(diǎn)輸入方式切換26操作原理27常見(jiàn)問(wèn)題及技術(shù)支持28標(biāo)準(zhǔn)氣體數(shù)據(jù)表30氣體質(zhì)量流量控制器和體積流量控制器性能指標(biāo)32氣體質(zhì)量流量控制器和體積流量控制器尺寸圖36選項(xiàng)：累計(jì)模式39選項(xiàng)：9V電池包40選項(xiàng)：本地設(shè)定點(diǎn)模塊42選項(xiàng)：高溫選項(xiàng)43附件：FlowVision軟件44附件說(shuō)明45感謝您購(gòu)買(mǎi)ALICAT氣體流量控制器。請(qǐng)仔細(xì)查找和閱讀該操作手冊(cè)。這樣會(huì)幫助您更好地使用ALICAT產(chǎn)品。該手冊(cè)介紹了以下Alicat的產(chǎn)品： 16位氣體質(zhì)量流量控制器 16位氣體體積流量控制器 安裝管道設(shè)備所有ALICAT氣體流量控制器，進(jìn)口和出口都是內(nèi)螺紋連接。由于流量計(jì)在流量主體中安裝了一個(gè)層流元件，因此流量計(jì)的前端或后端無(wú)須是直管道。進(jìn)口和出口尺寸相同，并且是同軸對(duì)稱(chēng)。通常說(shuō)來(lái)，端口大小和尺寸根據(jù)量程的不同而變化。配有10-32端口的控制器，有“O”型環(huán)面密封，無(wú)須其他的密封劑和膠帶。注意不要在端口上面使用密封劑或粘稠物，因?yàn)楫?dāng)這些化合物進(jìn)入流量計(jì)時(shí)，會(huì)致使流量計(jì)永久性的損害。當(dāng)使用螺紋密封時(shí)，通常采用特伏龍密封膠帶，來(lái)防止螺紋周邊的泄漏。當(dāng)使用密封膠帶時(shí)，避免殘留在第一個(gè)牙或第二個(gè)牙上，這樣降低密封帶碎片進(jìn)入氣流的可能性（它會(huì)使流量計(jì)損壞）。當(dāng)更換配件時(shí)，一定要先清除螺紋外部的任何密封帶，否則它們可能會(huì)松落，并進(jìn)入氣流中。此外，推薦在滿量程為1（S）LPM，或者低于1（S）LPM的控制器前端管路中，安裝一個(gè)20微米過(guò)濾器，或者在滿量程為1（S）LPM以上的控制器的前端管路，安裝一個(gè)50微米的過(guò)濾器。裝配所有ALICAT氣體流量控制器，都帶有方便安裝在平坦的面板上的裝配孔。在手冊(cè)的36到38頁(yè)說(shuō)明了這些孔的尺寸大小。小閥門(mén)控制器對(duì)位置通常是不敏感的。大閥門(mén)控制器對(duì)于位置有些敏感，因?yàn)橛捎陂y門(mén)是由相當(dāng)厚重的柱體裝置而成的。推薦閥門(mén)柱體要豎直安裝。如果大閥門(mén)安裝的位置與推薦位置不同，這時(shí)給控制器一個(gè)零設(shè)定值，當(dāng)彈簧力關(guān)閉閥門(mén)的時(shí)候，容易會(huì)產(chǎn)生泄漏。應(yīng)用允許最大的在線操作壓力為150PSIG（1000kPa）。注意：超過(guò)165PSIA在線壓力時(shí)，會(huì)導(dǎo)致固態(tài)差壓傳感器永久性的損壞。如果在線壓力高于125PSIG（862kPa）,應(yīng)當(dāng)在流量控制器的前端管路中，安裝一個(gè)壓力調(diào)節(jié)器，使壓力降低到125PSIG（862kPa），或更低壓力。我們控制器的許多類(lèi)型都是根據(jù)廣泛咨詢顧客的特殊應(yīng)用才設(shè)計(jì)出來(lái)的。根據(jù)應(yīng)用的不同，兩個(gè)控制器會(huì)有相同量程，但是型號(hào)會(huì)有所不同?？刂破鲝囊粋€(gè)應(yīng)用領(lǐng)域到另一個(gè)時(shí)，應(yīng)該仔細(xì)測(cè)試它在新應(yīng)用中的適應(yīng)性。注意體積流量計(jì)和控制器不適合應(yīng)用在高壓或高背壓的環(huán)境中。通常都應(yīng)用在10~15PSIG（0.66~1bar）的壓力條件下。不可超過(guò)此壓力，否則測(cè)量數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確，而且還會(huì)給儀表造成損害。電源和信號(hào)連接如圖1所示，ALICAT控制器通過(guò)電源插座，或者的8針Mini-DIN連接器來(lái)供應(yīng)電源。如下面的注釋?zhuān)靡粋€(gè)適配器來(lái)使交流轉(zhuǎn)換為直流電壓和電流。電源插座配有正極為2.1mm的凹槽電壓插頭。電纜和直流/交流適配器可從制造廠家購(gòu)買(mǎi)（看45頁(yè)配件），或者由當(dāng)?shù)氐闹圃焐讨圃?。通過(guò)Mini-DIN連接器供應(yīng)電源，如下面所示：小型閥門(mén)：如果你的控制器使用小閥門(mén)（大約是你的拇指大?。?，則需要一個(gè)12-18Vdc（標(biāo)準(zhǔn)的68歐姆閥門(mén)線圈）或19-28Vdc（選項(xiàng)為136歐姆閥門(mén)線圈）帶有2.1mm正極凹槽插頭，同時(shí)須配有300mA電流的電源供應(yīng)。注意：4-20mA輸出模式時(shí)，電源要求至少15Vdc。大型閥門(mén)：如果你的控制器使用一個(gè)大型閥門(mén)（大約你拳頭的大小），需要一個(gè)24-30VDC帶有2.1mm正極凹槽插頭，配有750mA的供應(yīng)電流的電源供應(yīng)。針數(shù)功能Mini-DIN線纜顏色14-20mA輸出信號(hào)或無(wú)用黑色25.12Vdc或第二路模擬輸出（4-20mA,5Vdc,10Vdc）或報(bào)警褐色3RS-232輸入信號(hào)紅色4模擬設(shè)定點(diǎn)輸入信號(hào)橙色5RS-232輸出信號(hào)黃色60-5Vdc（或0-10Vdc）輸出信號(hào)綠色7電源正極輸入（如上所述）蘭色8地線（公共端）紫色注解：上面的針輸出說(shuō)明，應(yīng)用在所有的使用Mini-DIN連接器的流量計(jì)和控制器上。不同輸出信號(hào)的實(shí)用性，決定于流量控制器的選項(xiàng)預(yù)定。表中帶下劃線的選項(xiàng)，為儀表標(biāo)準(zhǔn)單上注明的可選配置圖1通用8針Mini-DIN連接器針口注意：禁止連接電源到1~6針上以免造成永久的損壞！輸入信號(hào)模擬輸入信號(hào)如圖1，4針連接模擬輸入信號(hào)標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)0-5Vdc：標(biāo)準(zhǔn)模擬輸入信號(hào)是0-5Vdc，除非訂購(gòu)其它輸入方式。在4針上接0-5Vdc的輸入信號(hào)，8針上接其公共地線端。在2針上有一個(gè)5.12VDC的電壓輸出，然后通過(guò)一個(gè)50K歐姆的電位計(jì)，將轉(zhuǎn)換的模擬輸入信號(hào)再返回到4針，這樣就構(gòu)成一個(gè)可調(diào)節(jié)的0-5Vdc輸入信號(hào)源。如圖所示：圖2.對(duì)控制器設(shè)定的簡(jiǎn)單方法可選信號(hào)0-10Vdc：如果訂購(gòu)時(shí)選用此模式，則把0-10Vdc輸入信號(hào)接到4針上，公共地線端接到8針上?？蛇x信號(hào)4~20mA：如果訂購(gòu)時(shí)選用此模式，則把4-20mA輸入信號(hào)將接到4針上，公共地線接到8針上。注意：4-20mA的輸出模式要求至少由15Vdc的電源供應(yīng)。RS-232數(shù)字輸入信號(hào)如果你使用RS-232輸入信號(hào)，按圖2所示，必須把RS-232輸出信號(hào)（5針），RS-232輸入信號(hào)（3針），和地線（8針）接到你的計(jì)算機(jī)串行口上。連接電纜可以使用廠家制造的，或采用本地制造商制造。在圖3中，注意圖表顯示的連接“端口”界面圖，連接器在流量計(jì)的上部，DB-9型端口在計(jì)算機(jī)的背部。電纜終端和圖3成鏡象顯示（見(jiàn)20頁(yè)的RS-232輸出和輸入的詳細(xì)說(shuō)明）輸出信號(hào)**注意**回顧圖1的針輸出類(lèi)型表格（page6）。通常容易誤將2針（5.12Vdc輸出參考電壓）作為標(biāo)準(zhǔn)的0-5Vdc的模擬輸出信號(hào)！實(shí)際上2針只是普通的恒定的5.12Vdc電壓，它反映的是系統(tǒng)總電壓，也可以作為輸入信號(hào)的電源。允許用戶通過(guò)一個(gè)50K歐姆電位計(jì)控制輸出，然后返回模擬設(shè)定點(diǎn)針口，這樣就構(gòu)成一個(gè)0-5Vdc的設(shè)定電源。RS-232數(shù)字輸出信號(hào)如果你使用RS-232輸出信號(hào)，按圖2所示，必須把RS-232輸出信號(hào)（5針），RS-232輸入信號(hào)（3針），和地線（8針）接到你的計(jì)算機(jī)串行口上。連接電纜可以使用廠家制造的，或根據(jù)采用本地制造商制造。在圖3中，注意圖表顯示的連接“端口”界面圖，連接器在流量計(jì)的上部，DB-9型端口在計(jì)算機(jī)的背部。電纜終端和圖3成鏡象顯示（見(jiàn)20頁(yè)的RS-232輸出和輸入的詳細(xì)說(shuō)明）標(biāo)準(zhǔn)（0-5Vdc）電壓輸出信號(hào)所有的ALICAT流量控制器的6針上都具有0-5Vdc的（選項(xiàng)0-10Vdc）輸出信號(hào)。這個(gè)通常也是其他的訂購(gòu)命令的輸出選項(xiàng)，電壓對(duì)應(yīng)量程范圍：零流量時(shí)對(duì)應(yīng)0.010Vdc，滿量程時(shí)對(duì)應(yīng)5.0Vdc。輸出電壓在整個(gè)量程過(guò)程中呈線性的。接地端為信號(hào)的公共端8針。 選項(xiàng)0-10Vdc電壓輸出信號(hào)如果你的流量計(jì)訂購(gòu)的是0-10Vdc輸出信號(hào)，它將會(huì)連接在6針上。（根據(jù)隨流量計(jì)一起的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)表，確定您訂貨時(shí)所選擇的輸出信號(hào)。）此電壓對(duì)應(yīng)量程為：零流量時(shí)對(duì)應(yīng)0.010Vdc，和滿量程時(shí)對(duì)應(yīng)10.0Vdc。輸出電壓在整個(gè)量程過(guò)程中是呈線性的。此信號(hào)的地線公共端在8針上。選項(xiàng)（4-20mA）電流輸出信號(hào)如果你的流量計(jì)訂購(gòu)的是4-20mA電流輸出信號(hào)，它將會(huì)連接在1針上。（根據(jù)隨流量計(jì)一起的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)表，確定您訂貨時(shí)所選擇的輸出信號(hào)）。電流信號(hào)為零流量時(shí)對(duì)應(yīng)4mA，滿量程時(shí)對(duì)應(yīng)20mA。輸出電流在整個(gè)過(guò)程中都是線性的。信號(hào)的地線在公共端8針上。（電流輸出要求由15－30Vdc電源供應(yīng)）。注意：這是電流源設(shè)備，不要把此設(shè)備連接到“電壓回路”（looppowered）中去。 選項(xiàng)第2路模擬輸出信號(hào)您可以在訂購(gòu)的同時(shí)在2針上指定第2路輸出選項(xiàng)。（根據(jù)隨流量計(jì)一起的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)表，來(lái)確定您訂貨時(shí)所選擇的輸出信號(hào)）。此輸出可能是0-5Vdc，0-10Vdc，或4-20mA模擬輸出信號(hào)，并且輸出信號(hào)可以表示任何測(cè)量參數(shù)。通過(guò)這個(gè)選項(xiàng)輸出，體積流量計(jì)能夠輸出0-5Vdc（在6針上）和4-20mA（在2針上）的體積流量，或者質(zhì)量流量計(jì)可以輸出質(zhì)量流量（0-5Vdc在6針上）和絕壓（0-5Vdc在2針上）。注意：這是電流源設(shè)備。不要把此設(shè)備連接到“電源回路”（looppowered）中。圖3DB-9串行端口用于RS-232信號(hào)圖4典型多信道（可設(shè)地址）連線結(jié)構(gòu)一個(gè)工業(yè)選項(xiàng)連接器也同樣采用：針功能電纜顏色碼1電源輸入（+）紅色2RS-232信號(hào)輸出藍(lán)色3RS-232輸入信號(hào)白色4模擬輸入信號(hào)綠色5地線（電源、通信和信號(hào)的公共端）黑色6信號(hào)輸出（訂購(gòu)確定電壓或電流）褐色圖5 選項(xiàng)工業(yè)連接器注意：所有訂購(gòu)工業(yè)連接器的流量計(jì)和控制器上，都可應(yīng)用到上面的針輸出。不同輸出信號(hào)的應(yīng)用取決于訂購(gòu)時(shí)的功能選項(xiàng)。ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器操作說(shuō)明ALICAT質(zhì)量流量控制器可以提供多種有用的測(cè)量參數(shù)，是一種簡(jiǎn)單、耐用的設(shè)備。ALICAT根據(jù)訂購(gòu)的型號(hào)，有多種顯示“模式”（MODE）。所有ALICAT控制器都具有默認(rèn)的主模式，菜單選擇模式，控制設(shè)定模式，氣體選擇模式（氣體選擇模式不能用于用戶特定的氣體，或者混合氣體），傳輸選擇模式和標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)模式。另外，您的設(shè)備還可以指定累計(jì)模式（39頁(yè)），只要接通電源，設(shè)備就會(huì)出現(xiàn)默認(rèn)的主模式。主模式（MainMode）接通電源后，初始界面顯示的是質(zhì)量流量計(jì)的主模式。如圖6所示，在主模式上顯示以下的參數(shù)。選擇的氣體類(lèi)型顯示在流量單位的下面。圖6MS系列流量控制器主模式顯示“MODE”功能鍵在顯示屏的右下角，用于在模式之間的切換。設(shè)定點(diǎn)（SetPt）設(shè)定點(diǎn)顯示在顯示屏的右上角。在主界面中，設(shè)定點(diǎn)不可以調(diào)節(jié)的。如何改變?cè)O(shè)定點(diǎn)，請(qǐng)查看“控制設(shè)定點(diǎn)模式”。氣體絕對(duì)壓力（PSIA）ALICAT流量控制器采用一個(gè)絕壓傳感器，來(lái)測(cè)量被測(cè)氣體的在線壓力。此傳感器可以用于低真空，并且在低于或高于一個(gè)大氣壓下都可以精確讀數(shù)。此參數(shù)顯示在左上角動(dòng)態(tài)標(biāo)簽“PSIA”的下面。通過(guò)按動(dòng)動(dòng)態(tài)標(biāo)簽上面的按鈕，可將參數(shù)移動(dòng)到主顯示上。絕壓的工程單位為磅/立方英寸（PSIA）。絕壓的讀數(shù)減去當(dāng)?shù)氐拇髿鈮杭礊楸韷?，其公式為：PSIG=PSIA-（當(dāng)?shù)氐拇髿鈮簭?qiáng)（默認(rèn)情況下為14.7PSI））流量控制器通常采用氣體絕壓來(lái)計(jì)算質(zhì)量流量。如果轉(zhuǎn)換為公制，1PSI=6.89kPa氣體溫度（TEM）:ALICAT流量控制器，使用溫度傳感器來(lái)測(cè)量被測(cè)氣體的在線溫度。溫度顯示的工程單位是攝氏度（℃）。流量控制器利用氣體溫度參數(shù)來(lái)計(jì)算質(zhì)量流量。此參數(shù)在顯示屏的正中上方，且在標(biāo)示為“℃”的下面。按動(dòng)標(biāo)簽“℃”上方的按鍵（中上方），則此參數(shù)可移動(dòng)到主顯示上。體積流量（Volume）：體積流量是根據(jù)第26頁(yè)所描述的流量測(cè)量操作原理確定的。此參數(shù)顯示在左下角標(biāo)簽（Volume）的上面。通過(guò)按動(dòng)標(biāo)簽“Volume”（左下方）的按鍵，可將體積流量顯示在主顯示上。為了精確的測(cè)量體積流量，必須選擇測(cè)試氣體的種類(lèi)（詳見(jiàn)氣體選擇模式），這是非常重要的。因?yàn)樵O(shè)備是根據(jù)被測(cè)氣體在測(cè)量溫度下的粘度值來(lái)計(jì)算流量。在流量計(jì)的計(jì)算中，如果測(cè)量氣體不是所選擇的，則其粘度值是不正確的，將會(huì)導(dǎo)致輸出結(jié)果也是不精確，且與兩種氣體的粘度值成正比關(guān)系。質(zhì)量流量（MassFlow）：質(zhì)量流量指的是標(biāo)準(zhǔn)的溫度和壓力狀態(tài)（14.696PSIA和25℃）下的體積流量。參數(shù)顯示在正中下方，并且顯示在標(biāo)示為“Mass”的正上方。通過(guò)按動(dòng)標(biāo)簽“Mass”下方的按鍵（中下方），可將質(zhì)量流量顯示在主顯示?？刂破魇褂盟鶞y(cè)出溫度和絕壓，來(lái)計(jì)算氣體在一個(gè)大氣壓和溫度為2閃爍報(bào)錯(cuò)信息（FlashingErrorMessage）:我們的流量計(jì)和控制器，當(dāng)在傳感器的測(cè)量值超出量程時(shí)，會(huì)顯示報(bào)錯(cuò)信息（MOV=質(zhì)量超量程，VOV=體積超量程，POV=壓力超量程，TOV=溫度超量程）。當(dāng)任何一項(xiàng)顯示閃爍的時(shí)候，則顯示的參數(shù)和質(zhì)量流量測(cè)量都是不精確的。若減小所指出的閃爍參數(shù)值，可使設(shè)備恢復(fù)到正常的狀態(tài)和精確度。選擇菜單模式（SelectMenuMode）一旦按動(dòng)按鍵“MODE”，則會(huì)顯示“SelectMenu”（選擇菜單），按下最接近您的選項(xiàng)的按鍵，進(jìn)入相應(yīng)的屏幕顯示。再按下“MODE”按鍵則返回主菜單模式。（注意：如果您的控制器預(yù)定了累計(jì)模式選項(xiàng)（見(jiàn)42頁(yè)），按下“MODE”按鍵則會(huì)顯示“TotalizingMode”累計(jì)模式，第二次按下“MODE”按鍵才會(huì)顯示“SelectMenu”選擇菜單。）圖7選擇菜單顯示控制設(shè)定點(diǎn)模式（ControlSetupMode）按下顯示屏上標(biāo)簽“ControlSetup”上面的按鍵，進(jìn)入控制設(shè)定點(diǎn)模式（如圖7所示），在此模式下，設(shè)備允許用戶設(shè)置大部分與PID控制有關(guān)的參數(shù)。流量控制器允許用戶選擇用何種方式把設(shè)定點(diǎn)的值傳達(dá)給控制器，本地控制方式如何調(diào)節(jié)設(shè)定點(diǎn)，和PID控制回路的比例、微分項(xiàng)控制回路調(diào)節(jié)。按“UP”和“DOWN”按鍵，可以長(zhǎng)按來(lái)達(dá)到快速調(diào)節(jié)，也可以反復(fù)的按鍵來(lái)達(dá)到微調(diào)。輸入（Input）如上圖8指示，流量控制器包裝時(shí)，默認(rèn)設(shè)置為模擬方式控制。按下右上角的動(dòng)態(tài)標(biāo)示為“Input”上面的按鍵，直到箭頭指向整個(gè)選項(xiàng)，來(lái)改變?nèi)绾谓o控制器傳輸設(shè)定點(diǎn)。除了所選擇的輸入方式之外，控制器將會(huì)忽視任何控制方式的設(shè)定點(diǎn)，并且在斷掉電源之后，它還會(huì)記憶選擇的輸入方式。模擬輸入（Analog）在Mini-DIN連接器（可查看此手冊(cè)安裝部分的描述）的4針上設(shè)置一個(gè)遠(yuǎn)程模擬設(shè)定點(diǎn)。為了確定你訂購(gòu)時(shí)采用哪種模擬設(shè)定點(diǎn)信號(hào)，提供跟隨著控制器的檢驗(yàn)數(shù)據(jù)表。除非你訂購(gòu)別的類(lèi)型，否則標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)是0-5Vdc。注意如果4針上沒(méi)有信號(hào)連接，并且控制器設(shè)定是模擬控制，則設(shè)定點(diǎn)將會(huì)產(chǎn)生漂移。警告！絕對(duì)不要在沒(méi)有壓力產(chǎn)生流量的情況下，設(shè)置控制器為任何非零的數(shù)值的設(shè)定點(diǎn)。因?yàn)榭刂破鲿?huì)在閥門(mén)上使用滿電量負(fù)荷，來(lái)達(dá)到這個(gè)設(shè)定點(diǎn)。當(dāng)這里沒(méi)有流量，閥門(mén)會(huì)因此變的非常熱而損壞！串行輸入（Serial）設(shè)定一個(gè)遠(yuǎn)程數(shù)字RS-232設(shè)定點(diǎn)，并通過(guò)計(jì)算機(jī)或PLC串行端口進(jìn)行設(shè)置（可查看此手冊(cè)安裝和RS-232部分的描述）。警告！絕對(duì)不要在沒(méi)有壓力產(chǎn)生流量的情況下，設(shè)置控制器為任何非零的數(shù)值的設(shè)定點(diǎn)。因?yàn)榭刂破鲿?huì)在閥門(mén)上使用滿電量負(fù)荷，來(lái)達(dá)到這個(gè)設(shè)定點(diǎn)。當(dāng)這里沒(méi)有流量，閥門(mén)會(huì)因此變的非常熱而損壞！本地輸入（Local）直接在控制器上設(shè)定一個(gè)設(shè)定點(diǎn)。要得到更多關(guān)于改變?cè)O(shè)定點(diǎn)的信息，可參考下面“Select”的描述。如果本地改變?cè)O(shè)定點(diǎn)，需要將本地輸入設(shè)置為優(yōu)先級(jí)。警告！絕對(duì)不要在沒(méi)有壓力產(chǎn)生流量的情況下，設(shè)置控制器為任何非零的數(shù)值的設(shè)定點(diǎn)。因?yàn)榭刂破鲿?huì)在閥門(mén)上使用滿電量負(fù)荷，來(lái)達(dá)到這個(gè)設(shè)定點(diǎn)。當(dāng)這里沒(méi)有流量，閥門(mén)會(huì)因此變的非常熱而損壞！圖8ALICAT控制設(shè)定點(diǎn)模式Loop（回路）該流量控制器獨(dú)一無(wú)二的特點(diǎn)是可選擇多種閉環(huán)回路。當(dāng)在系統(tǒng)電子部件的前端加一個(gè)控制閥的時(shí)候，質(zhì)量流量控制器則用來(lái)控制出口壓力（僅僅是絕壓），或者是體積流量來(lái)代替質(zhì)量流量。重復(fù)按動(dòng)在控制器上接近“Loop”的按鍵來(lái)控制可變量。從質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換為體積流量時(shí)，不需要改變什么，如果要有，即改變P和D設(shè)置。當(dāng)你將控制流量切換到控制壓力時(shí)，有時(shí)需要做相應(yīng)的根本性的改動(dòng)。如果你對(duì)此問(wèn)題感到棘手，可及時(shí)聯(lián)系廠家。選擇回路（Select）為了避免意外的更改PID回路的參數(shù)或者設(shè)定點(diǎn)，控制設(shè)置模式默認(rèn)設(shè)置在一個(gè)無(wú)效的位置上。為了改變?cè)O(shè)定點(diǎn)或PID回路中的P和D參數(shù)，請(qǐng)按下左上角動(dòng)態(tài)顯示標(biāo)示為“Select”上面的按鍵，直到箭頭指向你要改變的參數(shù)上。當(dāng)你已經(jīng)選擇好需要改變的參數(shù)時(shí)，請(qǐng)按動(dòng)態(tài)顯示“UP”和“DOWN”下端對(duì)應(yīng)的按鍵，來(lái)對(duì)數(shù)值的上下調(diào)節(jié)。重復(fù)間斷的按鍵可進(jìn)行緩慢的微調(diào)，長(zhǎng)按鍵則進(jìn)行快速調(diào)節(jié)。P值對(duì)應(yīng)的是PID回路中比例項(xiàng)。在改變此參數(shù)之前，請(qǐng)必須寫(xiě)下初始值并保存，以便以后可以恢復(fù)到廠家的默認(rèn)設(shè)置。D值對(duì)應(yīng)的是PID回路中微分項(xiàng)。在改變此參數(shù)之前，請(qǐng)必須寫(xiě)下初始值并保存，以便以后可以恢復(fù)到廠家的默認(rèn)設(shè)置。AUTOon/AUTOoff指的是自動(dòng)校準(zhǔn)或者自動(dòng)歸零功能。一般控制器設(shè)置在自動(dòng)歸零（AUTOon）的模式上，除非由于你（AUTOoff）的特殊應(yīng)用，要求它必須關(guān)閉。當(dāng)設(shè)備接受一個(gè)0設(shè)定點(diǎn)值大于兩秒的時(shí)候，設(shè)備會(huì)自動(dòng)歸零。一個(gè)零設(shè)定點(diǎn)會(huì)導(dǎo)致閥門(mén)關(guān)閉，和一個(gè)“無(wú)流量”條件。設(shè)備可通過(guò)這個(gè)功能定時(shí)地消除由于漂移所造成的累計(jì)誤差，因此具有更高的精度。Set指的是設(shè)定點(diǎn)。此參數(shù)僅在輸入模式選擇“Local”的情況下才可更改?？刹榭瓷厦孑斎肽Ｊ竭x擇的介紹。控制器的設(shè)定點(diǎn)在零到滿量程之間，可以使用UP和DOWN鍵來(lái)調(diào)節(jié)。警告！絕對(duì)不要在沒(méi)有壓力產(chǎn)生流量的情況下，設(shè)置控制器為任何非零的數(shù)值的設(shè)定點(diǎn)。因?yàn)榭刂破鲿?huì)在閥門(mén)上使用滿電量負(fù)荷，來(lái)達(dá)到這個(gè)設(shè)定點(diǎn)。當(dāng)這里沒(méi)有流量，閥門(mén)會(huì)因此變的非常熱而損壞！氣體選擇模式氣體選擇模式可通過(guò)按動(dòng)選擇菜單上，標(biāo)簽標(biāo)示為“GasSelect”的上面的按鍵進(jìn)入，具體如圖9所示。在圖6中，選擇的氣體顯示在默認(rèn)的主顯示上，并且在圖9中，氣體選擇模式中用箭頭指出。按動(dòng)標(biāo)為的“UP”和“DOWN”下面的按鍵，或“PgUP”和“PgDWN”上面對(duì)應(yīng)的按鍵，直到箭頭指向想要?dú)怏w的前端，來(lái)選擇氣體。當(dāng)返回主模式時(shí)，則選擇的氣體會(huì)顯示出來(lái)。（注意：氣體選擇模式不可用在用戶定制氣體或混合氣體。）圖9氣體選擇顯示通信選擇模式通信選擇模式，通過(guò)按動(dòng)選擇菜單顯示下的“Comm.RS-232”如圖10所示：圖10通信選擇顯示部件ID（UnitID）有效識(shí)別字母為“A-Z”和“@”（見(jiàn)下面的注意事項(xiàng)）。系統(tǒng)允許用戶給每個(gè)設(shè)備都配單獨(dú)的地址，這樣多個(gè)部件就可以通過(guò)一個(gè)RS-232接口連接到計(jì)算機(jī)上。通信選擇模式允許查看或者改變?cè)O(shè)備的地址。要改變?cè)O(shè)備的ID地址，按顯示屏左上角的“Select”鍵，使指針指向“UnitID”，然后，使用顯示下方的“UP”和“DOWN”鍵，來(lái)改變所需要的設(shè)備的ID，按“MODE”鍵退出通信選擇模式時(shí)，ID值的變化會(huì)生效。注意事項(xiàng)：當(dāng)字符@作為地址碼ID時(shí)，按“MODE”鍵退出通信選擇模式后，設(shè)備會(huì)進(jìn)入流模式。看流模式信息在RS-232通信（見(jiàn)19頁(yè)）。波特率波特率（比特每秒）決定了儀器和計(jì)算機(jī)之間數(shù)據(jù)傳輸?shù)乃俾省蓚€(gè)設(shè)備必須發(fā)送/接受相同的波特率，以使設(shè)備能夠通過(guò)RS-232傳輸。設(shè)備的默認(rèn)波特率是19200波特，有時(shí)是19.2K波特。在通信選擇模式下要改變波特率，請(qǐng)按顯示屏左上角的“Select”鍵，直到指針指向“Baud”，然后，按屏幕下方的“UP”和“DOWN”鍵，來(lái)選擇匹配你的計(jì)算機(jī)和PLC所需要的波特率，選項(xiàng)有38400、19200、9600、或2400波特如果不重新啟動(dòng)電源波特率的更改是無(wú)效的。數(shù)據(jù)速率改變數(shù)據(jù)速率，會(huì)影響儀器在流模式下儲(chǔ)存數(shù)據(jù)的速率。慢速率（Slow）是快速率（Fast）的1/2。波特率決定快速率的速度。如果通信速率降低了計(jì)算機(jī)處理器（普通的老的便攜電腦）的運(yùn)行能力，則需要減小數(shù)據(jù)速率，或者減小流模式中收集的數(shù)據(jù)文件的大小。在通信選擇模式下改變數(shù)據(jù)速率，只要下按顯示屏左上角的“Select”鍵，直到指針指向“DateRate”，然后，使用屏幕下方的“UP”和“DOWN”鍵，來(lái)選擇“Fast”或“Slow”。當(dāng)改變“Fast”和“Slow”的值時(shí)數(shù)據(jù)速率會(huì)立即更改。廠家數(shù)據(jù)模式在選擇菜單下，按下“Mfg.Data”鍵進(jìn)入“廠家數(shù)據(jù)”（圖11）。“Mfg1”將顯示廠家的名稱(chēng)和電話號(hào)碼。“Mfg2”顯示流量計(jì)的重要信息，包括型號(hào)，序列號(hào)和生產(chǎn)日期。圖11廠家數(shù)據(jù)顯示RS232輸入和輸出超級(jí)終端的使用和設(shè)置：打開(kāi)Windows下的“附件”，選擇“通訊”，選擇“超級(jí)終端”打開(kāi)“超級(jí)終端”，取消“連接描述”窗口，在“新建連接-超級(jí)終端”下選擇“文件”，再選擇“屬性”在“連接時(shí)使用”條欄選擇連接的端口，例如COM1端口或COM2端口（必須為COM端口或USB模擬COM端口）然后選擇“配置”，配置如下：每秒位數(shù)：19200，數(shù)據(jù)位：8，奇偶校驗(yàn)：無(wú)，停止位：1，數(shù)據(jù)流控制：無(wú)。再選“屬性”中選上部“設(shè)置”項(xiàng)，首先設(shè)置“終端仿真”為ANSI其次，設(shè)置右下角的ASCII碼，設(shè)置如下：ASCII碼發(fā)送,不選擇“換行符作為發(fā)送末尾”項(xiàng),選擇本地回顯鍵入的字符”項(xiàng),ASCII碼接收：選擇“將換行符附加到傳入行末尾”項(xiàng),不選擇“將傳入數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為7位的ASCII碼”項(xiàng),“將超過(guò)終端寬度的行自動(dòng)換行”項(xiàng)打勾,最后選擇確定，打開(kāi)流量控制器開(kāi)關(guān)，自動(dòng)記錄數(shù)據(jù) 6. 保存此設(shè)置，關(guān)閉超級(jí)終端并重新打開(kāi)。在輪循模式中，屏幕首先為空白，只剩下一個(gè)閃爍的指標(biāo)。為了使屏幕中顯示數(shù)據(jù)流，可按動(dòng)“Enter”幾下以便清除無(wú)關(guān)的信息。然后鍵入*@=@，再回車(chē)，如果數(shù)據(jù)還是沒(méi)有出現(xiàn)，請(qǐng)檢查所有的連接和端口部件。切換流模式到輪循模式：當(dāng)流量計(jì)為流模式時(shí)，屏幕每秒大約顯示10~60次的更新數(shù)據(jù)（取決于每行數(shù)據(jù)的數(shù)量），這樣用戶可以實(shí)時(shí)觀察真實(shí)的數(shù)據(jù)。當(dāng)使用一根RS232數(shù)據(jù)線，來(lái)控制多個(gè)質(zhì)量流量計(jì)時(shí)，此功能是比較合適和需要的。在輪循模式下流量計(jì)正常測(cè)量流量，但當(dāng)是輪循模式時(shí)，僅對(duì)其發(fā)送一次數(shù)據(jù)。每個(gè)流量計(jì)都具有一個(gè)單獨(dú)的地址。除了出廠時(shí)默認(rèn)的地址為A之外，其他的有效地址是從B到Z，總共有26個(gè)不同的流量計(jì)。一旦流量計(jì)進(jìn)入流模式，并且在屏幕上顯示信息的時(shí)候，此時(shí)可以：1. 鍵入*@=A，然后回車(chē)（可以通過(guò)RS-232通訊選擇菜單選擇或更改標(biāo)識(shí)地址和數(shù)據(jù)采集模式）來(lái)停止流模式的信息。注意當(dāng)你鍵入并且不能讀出你所鍵入信息的時(shí)候，確保你的流量計(jì)不要停止。同時(shí)，流量計(jì)不能執(zhí)行“后退鍵Backspace”和“刪除鍵delete”，所以必須一次準(zhǔn)確鍵入。如果拼寫(xiě)錯(cuò)誤，可以鍵入回車(chē)后重新開(kāi)始。如果鍵入的命令和流量計(jì)要求的不一樣，則流量計(jì)會(huì)忽略錯(cuò)誤命令。如果鍵入的命令是正確的，數(shù)據(jù)流則會(huì)立刻停止，并進(jìn)入輪循模式。然后你可以鍵入A再回車(chē)。發(fā)送一個(gè)瞬時(shí)的A，并且會(huì)返回一個(gè)值。你可以多次鍵入A然后回車(chē)。此外只要鍵入*@=@，然后回車(chē)，就可以重新進(jìn)入流模式。如果想繼續(xù)進(jìn)入輪循模式可重復(fù)步驟1。給一個(gè)設(shè)備指定一個(gè)新的地址時(shí)，需要鍵入*@=新地址，舉例說(shuō)明，*@=B。需要注意的是當(dāng)采用一個(gè)RS232通訊線控制多個(gè)流量控制器的時(shí)候，如果設(shè)置一個(gè)新的地址，則所有流量控制器的地址將會(huì)變成同一個(gè)地址。所以，質(zhì)量流量控制器的地址需要單獨(dú)設(shè)定和關(guān)閉。每個(gè)質(zhì)量流量控制器需要給其一個(gè)單獨(dú)的地址，用同一個(gè)線可以將地址還原并且進(jìn)行單獨(dú)的輪循操作。通過(guò)RS232發(fā)送設(shè)定點(diǎn)：通過(guò)RS232發(fā)送一個(gè)設(shè)定點(diǎn)，“Input”輸入選項(xiàng)，必須設(shè)定在“Serial”模式上。為了設(shè)定控制器的設(shè)定點(diǎn)，或者改變現(xiàn)在的設(shè)定點(diǎn)，可鍵入一個(gè)在0到64000之間的數(shù)，且64000對(duì)應(yīng)滿量程，然后回車(chē)。設(shè)定點(diǎn)和流量會(huì)因此而變化。如果它們沒(méi)有變化，請(qǐng)多次鍵入回車(chē)，并且重復(fù)命令。線性的執(zhí)計(jì)算公式為： 數(shù)值=（想設(shè)定的設(shè)定點(diǎn)×64000）/滿量程舉例說(shuō)明，如果你的質(zhì)量流量控制器的量程為100SLPM，你想要設(shè)定點(diǎn)為35SLPM，你應(yīng)該輸入下面的數(shù)值： 22400=（35SLPM×64000）/100SLPM如果你的控制器在從流模式轉(zhuǎn)到輪循模式的時(shí)候，設(shè)定點(diǎn)前必須加上對(duì)應(yīng)的地址然后再輸入控制器。例如，如果你的控制器已經(jīng)輸入地址D，則設(shè)定點(diǎn)命令應(yīng)該輸入為： D22400然后回車(chē)通過(guò)RS232數(shù)據(jù)線調(diào)節(jié)比例和導(dǎo)數(shù)條款：鍵入*@=A然后回車(chē)，來(lái)停止流模式的信息。想要調(diào)節(jié)PID控制器的比例項(xiàng)“P”，請(qǐng)鍵入*R21然后回車(chē)?？刂破鲿?huì)讀出當(dāng)前21寄存器的值，在0~65535之間。在此最好記錄下這個(gè)數(shù)值，以便你需要恢復(fù)廠家設(shè)置。然后在21寄存器中鍵入你想要的新的數(shù)值。例如，如果你希望“P”值為220，那么你可鍵入*W21=220,然后回車(chē)便可。想要調(diào)節(jié)PID控制器的導(dǎo)數(shù)項(xiàng)“D”請(qǐng)鍵入*R22然后回車(chē)。控制器會(huì)讀出當(dāng)前22寄存器的值，且在0~65535之間。在此最好記錄下你這個(gè)數(shù)值，以便你需要恢復(fù)到廠家設(shè)置。然后在22寄存器中鍵入你所要輸入的新數(shù)值。例如，如果你希望“D”值為25，那么你可鍵入*W22=25然后回車(chē)。你可以通過(guò)以下方法改變?cè)O(shè)定點(diǎn)，輸入“A32000”（A是默認(rèn)地址，如果你已經(jīng)通過(guò)RS－232修改地址，在數(shù)值前的字母也會(huì)相應(yīng)的變化），按回車(chē)，來(lái)給出一個(gè)1/2的滿量程的設(shè)定點(diǎn)，監(jiān)視這個(gè)裝置由此操作引起的變化，確保可以滿足你的需要。記住“P”項(xiàng)為控制從一個(gè)設(shè)定點(diǎn)到另一個(gè)設(shè)定點(diǎn)的速度，“D”項(xiàng)為控制當(dāng)它接近一個(gè)新的設(shè)定點(diǎn)的時(shí)候減速的速度。選擇一種氣體：通過(guò)RS232輸入可改變選擇的氣體。其命令如下：流模式：$$#回車(chē)輪循模式：地址$$#回車(chē)（舉例說(shuō)明，A$$#回車(chē)）在這里，#號(hào)指的是選擇氣體的代碼，具體如下圖。注意，流量控制器顯示屏上的氣體選項(xiàng)也會(huì)相應(yīng)的改變。#氣體0空氣Air1氬氣ArgonAr2甲烷MethaneCH43一氧化碳COCO4二氧化碳CO2CO25乙烷EthaneC2H66氫氣H2H27氦氣HeliumHe8氮?dú)釴2N29一氧化二氮N2ON2O10氖氣NeonNe11氧氣O2O212丙烷PropaneC3H813正丁烷Butanen-C4H1014乙炔AcetyleneC2H215乙烯EthyleneC2H416異丁烷iso-Butanei-C2H10舉例說(shuō)明：選擇丙烷：$$12回車(chē)。數(shù)據(jù)格式：顯示屏上的數(shù)據(jù)流，顯示了主模式屏上的流量參數(shù)。對(duì)于體積流量控制器，這里有3列參數(shù)對(duì)應(yīng)控制器命令、設(shè)定點(diǎn)、和選擇氣體A +4.123 4.125 AirA +4.123 4.125 AirA +4.123 4.125 AirA +4.123 4.125 AirA +4.123 4.125 AirALICAT體積流量控制器數(shù)據(jù)格式對(duì)于質(zhì)量流量控制器，這里有6列數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)流量計(jì)壓力、溫度、體積流量、質(zhì)量流量、設(shè)定點(diǎn)、和被選擇氣體。第一列數(shù)據(jù)是指絕對(duì)壓力（通常為PSIA），第二列數(shù)據(jù)為溫度（通常為攝氏度），第三列數(shù)據(jù)為體積流量，第四列數(shù)據(jù)為質(zhì)量流量。例如，如果流量計(jì)定購(gòu)單位是SCFM，流量計(jì)顯示讀書(shū)為2.004SCFM，并且下面輸出的最后兩欄代表體積流量和質(zhì)量流量，且單位分別為CFM和SCFM。A +014.70 +025.00 +02.004 +02.004 02.004 AirA +014.70 +025.00 +02.004 +02.004 02.004 AirA +014.70 +025.00 +02.004 +02.004 02.004 AirA +014.70 +025.00 +02.004 +02.004 02.004 AirA +014.70 +025.00 +02.004 +02.004 02.004 AirALICAT質(zhì)量流量控制器數(shù)據(jù)格式RS232通訊協(xié)議基本結(jié)構(gòu)波特率19200bit/s，8bit，１位停止，無(wú)校驗(yàn)位格式：0EBH，地址，命令，長(zhǎng)度（ｎ），數(shù)據(jù)1，數(shù)據(jù)ｎ，冗余說(shuō)明：0EBH為幀起始位長(zhǎng)度小于輸出端口數(shù)冗余=地址+命令+長(zhǎng)度+數(shù)1++數(shù)ｎ如果冗余=0EBH，為防止與幀起始位相同，則發(fā)送反碼，即冗余=14H當(dāng)接收正確時(shí)，1）在命令1，2，5，6時(shí)，回送0EBH，地址，命令，01H，0FAH，冗余，并執(zhí)行命令。

2）在命令3，4，7時(shí)，回送相應(yīng)信息。當(dāng)接收不正確時(shí)，1）地址正確，冗余不正確，回送0EBH，地址，命令，01H，0F5H，冗余。2）地址不正確，不回送任何信息。此外ASCII碼中數(shù)與數(shù)之間（如，壓力，溫度，流量，氣體類(lèi)型）可能以“空格”為分隔號(hào)，數(shù)組的分隔則可能是以“，”（例如第一組壓力溫度流量等數(shù)據(jù)和第二壓力溫度流量等數(shù)據(jù)）。反映在ASCII碼上則例如：14.69 25.6 0.000 0.000 AirASCII碼則對(duì)應(yīng)為14.69 25.6 0.000 0.000 Air其中&#代表ASCII碼的號(hào)，32代表“空格”14.69對(duì)應(yīng)14.6ᙝ.6對(duì)應(yīng)25.티對(duì)應(yīng)0.000Air對(duì)應(yīng)Air回車(chē)換行“，”對(duì)應(yīng)&#-23636類(lèi)似于此，輸入信號(hào)也為ASCII碼（具體見(jiàn)ALICAT操作手冊(cè)）例如：*@=A<回車(chē)>為輪循方式*@=A<回車(chē)>為流方式$$#<回車(chē)>為輪循方式下選擇氣體、Address(地址)$$#<回車(chē)>為流方式下選擇氣體A數(shù)值<回車(chē)>為設(shè)定控制點(diǎn)的值A(chǔ)licat質(zhì)量流量控制器的設(shè)定點(diǎn)輸入方式切換通常使用方法如下：連接質(zhì)量流量控制器，進(jìn)入超級(jí)終端界面下：如果此時(shí)的質(zhì)量流量計(jì)輸入方式為RS-232（SERIAL）鍵入*@=A，然后回車(chē)，并確定已經(jīng)連接鍵入*R20，然后回車(chē)，會(huì)顯示一個(gè)數(shù)據(jù)，請(qǐng)立刻記下這個(gè)數(shù)據(jù)！以便將來(lái)返回到廠家的初始設(shè)置。這個(gè)數(shù)據(jù)加上16384，算出一個(gè)新的數(shù)據(jù)。例如，算出一個(gè)數(shù)據(jù)為24000然后鍵入*W20=24000,再回車(chē)。此時(shí)控制器4號(hào)針口輸入信號(hào)方式則變?yōu)槟M輸入！同理，開(kāi)始為模擬輸入的方式時(shí)：鍵入*@=A，然后回車(chē)，確定已經(jīng)連接鍵入*R20，然后回車(chē)，得到一個(gè)數(shù)據(jù)，請(qǐng)立刻記下這個(gè)數(shù)據(jù)！以便將來(lái)返回廠家的初始設(shè)置。這個(gè)數(shù)據(jù)減去16384，算出一個(gè)新的數(shù)據(jù)。例如，算出一個(gè)數(shù)據(jù)為36000然后鍵入*W20=36000再回車(chē)。此時(shí)控制器4號(hào)針口輸入信號(hào)方式則變?yōu)閿?shù)字RS-232輸入！操作原理 Alicat所有的M系列和V系列的氣體流量計(jì)（以及MC系列河VC系列的氣體流量控制器）都是以精確測(cè)量體積流量為基礎(chǔ)的。體積流量是由流量計(jì)內(nèi)部獨(dú)特的截流裝置兩端的差壓所決定的，Alicat的這種截流裝置稱(chēng)為層流部件。被測(cè)氣體在通過(guò)整個(gè)層流部件時(shí)被強(qiáng)制分流為相互平行的流層；因此我們?cè)O(shè)備的運(yùn)行方式都有層流部件所決定。與其他流量測(cè)量設(shè)備不同的是，層流流量計(jì)上壓降和流量是成線性關(guān)系的。我們的16種流量計(jì)因?yàn)槠湓矶加腥缦碌仁剑篞=(P1-P2)πr4/8ηL此處：Q=體積流量，P1=入口靜壓，P2=出口靜壓，r=層流元件半徑，η=流體絕對(duì)黏度，L=層流元件長(zhǎng)度根據(jù)π，r和L是恒量；方程1可以重新寫(xiě)為：Q＝K（△P/η）這里K由于幾何因素而是常量，方程2表示體積流量Q，差壓△P和絕對(duì)粘度是一般形式氣體粘度：為了得到精確的體積流量，必須測(cè)量所選擇的氣體。這是很重要的，因?yàn)榱髁坑?jì)計(jì)算的流量是在根據(jù)測(cè)量溫度下的氣體粘度計(jì)算的。如果氣體不是選擇的，則流量計(jì)的計(jì)算使用的粘度值是不正確的，并且輸出的在兩種不同的氣體粘度的正比結(jié)果是不準(zhǔn)確的。Alicat質(zhì)量流量計(jì)和控制器的設(shè)計(jì)，相比其它類(lèi)型的層流質(zhì)量流量計(jì)的優(yōu)點(diǎn)如下：無(wú)直管道安裝要求內(nèi)置提供氣壓和溫度（密度）補(bǔ)償簡(jiǎn)單，對(duì)安裝位置的要求不敏感實(shí)時(shí)數(shù)字功能提供一個(gè)寬大的選項(xiàng)范圍而不需要附加的軟件工具此外，所有Alicat有CE認(rèn)證并可提供NIST付費(fèi)校驗(yàn)Alicat的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（STP）默認(rèn)為25℃Alicat按照工業(yè)規(guī)范來(lái)確定測(cè)量單位，例如SLPM（標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘）或SCFM（標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下立方英寸/分鐘），來(lái)表示在一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)壓力和溫度下通過(guò)的體積流量。常見(jiàn)問(wèn)題及技術(shù)支持顯示屏無(wú)顯示或很微弱檢查電源和地線連接讀數(shù)不隨實(shí)際在線流量的變化而變化，幾乎固定且接近零點(diǎn)或滿量程差壓傳感器可能已經(jīng)損壞。避免安裝時(shí),使差壓傳感器所受壓降超過(guò)10PSID。通常引起此問(wèn)題的原因，是流量計(jì)的前端管路快速啟動(dòng)電磁閥的開(kāi)關(guān)，引起瞬時(shí)高壓氣體。由于過(guò)壓引起的損壞不在保修范圍之內(nèi)。質(zhì)量流量、體積流量、壓力或溫度的顯示閃爍并且顯示“MOV”“VOV”“POV”或“TOV”流量計(jì)和控制器在傳感器的測(cè)量值超出量程時(shí)，會(huì)顯示報(bào)錯(cuò)信息（MOV=質(zhì)量超量程，VOV=體積超量程，POV=壓力超量程，TOV=溫度超量程）。當(dāng)任何一項(xiàng)閃爍的時(shí)候，則顯示的參數(shù)和質(zhì)量流量測(cè)量數(shù)值都是不精確的。減小指出報(bào)錯(cuò)的參數(shù)值，可使設(shè)備恢復(fù)到正常的操作和精度。安裝過(guò)后，發(fā)現(xiàn)無(wú)流量Alicat公司的體積質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量控制器，通常情況下出廠時(shí)閥門(mén)是關(guān)閉的，需要有一個(gè)設(shè)定點(diǎn)來(lái)開(kāi)啟它。檢查你現(xiàn)在的設(shè)定點(diǎn)信號(hào)，并且是否有正確針口（PIN）連接，同時(shí)，在設(shè)定點(diǎn)控制模式下是否在“Input”選項(xiàng)中，選擇了正確的輸入模式。同時(shí)檢查地線是否連接正確。流量延遲在設(shè)定點(diǎn)后確保足夠的壓力可以達(dá)到想要的流量。如果設(shè)定點(diǎn)輸入信號(hào)線，或者設(shè)定點(diǎn)輸出信號(hào)線相對(duì)較長(zhǎng)，必須要提供更粗的電線（特別是地線），來(lái)取消長(zhǎng)線所導(dǎo)致的電壓衰減。如果D參數(shù)數(shù)值相對(duì)P參數(shù)數(shù)值較大，PID控制的設(shè)置不當(dāng)，也會(huì)引起此現(xiàn)象。流量計(jì)不可以和其他流量計(jì)使用一條線路一般體積流量計(jì)和控制器，不允許和另一個(gè)流量計(jì)，或控制器用在同一個(gè)管路中，因?yàn)樗鼈儠?huì)受到壓降的影響。體積流量控制器不應(yīng)跟質(zhì)量流量控制器相比較。如果在兩個(gè)流量計(jì)之間沒(méi)有泄漏，并且具有相同的標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力的情況下，質(zhì)量流量計(jì)可以相互校正。在氣體測(cè)量時(shí)，兩個(gè)兩量計(jì)必須是校準(zhǔn)的。ALICAT質(zhì)量流量計(jì)設(shè)置的標(biāo)準(zhǔn)溫度是25注意：根據(jù)用戶特定的標(biāo)準(zhǔn)條件可以定購(gòu)特殊流量計(jì)。校準(zhǔn)表中提供了每個(gè)流量計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)條件?？刂破鞯牧髁匡@示相對(duì)于設(shè)定點(diǎn)的改變，顯得緩慢或有時(shí)會(huì)來(lái)回?cái)[動(dòng)。不恰當(dāng)?shù)腜ID控制設(shè)置會(huì)引起此問(wèn)題。使用條件的差別相比設(shè)備初始設(shè)置，需要對(duì)PID回路進(jìn)行必要的調(diào)整。輸出信號(hào)低于顯示器讀數(shù)有可能是因?yàn)槭褂幂^長(zhǎng)的電纜，而導(dǎo)致輸出信號(hào)產(chǎn)生電壓衰減。使用更粗的電纜，尤其是地線，可以減少電壓衰減。體積流量計(jì)的讀數(shù)非常的奇怪，不協(xié)調(diào)或者不正確確保你的體積流量計(jì)僅在低壓環(huán)境下（接近大氣壓），和低背壓環(huán)境下，有精確的讀數(shù)。質(zhì)量流量控制器可以使用在高壓環(huán)境下。RS232串行通訊未響應(yīng)檢查你的流量計(jì)是否通電，并且連接是否正確。確保與流量計(jì)連接的電腦端口是工作的。確定RS232的端口接線是否正確。關(guān)閉超級(jí)終端，并且重新啟動(dòng)你的計(jì)算機(jī)。比規(guī)定的響應(yīng)緩慢體積質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量控制器系列流量計(jì)，具有RS－232可編程幾何運(yùn)算平均值（GRA）的特點(diǎn)。根據(jù)流量計(jì)的滿量程，它可有GRA設(shè)置，來(lái)使流量計(jì)具有更高的穩(wěn)定性和可讀性。它也會(huì)導(dǎo)致流量數(shù)據(jù)的響應(yīng)時(shí)間緩慢。如果你想要更快的響應(yīng)時(shí)間，可聯(lián)系廠家來(lái)調(diào)節(jié)GRA值。低流量時(shí)跳到零點(diǎn)體積流量控制器和質(zhì)量流量控制器系列流量計(jì)，具有一個(gè)RS232可編程零點(diǎn)死區(qū)。廠家設(shè)置通常為滿量程的0.5%。通過(guò)RS232通訊可在滿量程的0到6.375%調(diào)節(jié)死區(qū)。聯(lián)系廠家并獲取更多信息。新老部件的差異請(qǐng)看“標(biāo)準(zhǔn)氣體數(shù)據(jù)表”（2005年10月修改）標(biāo)準(zhǔn)氣體數(shù)據(jù)表氣體號(hào)碼氣體縮寫(xiě)氣體全稱(chēng)粘度2514.696PSIA密度2514.696PSIA可壓縮性25℃14.696PSIA0AirAir184.9181.18400.99971ArArgon225.5931.63390.99942CH4Methane111.8520.65690.99823COCarbonMonoxide176.4731.14530.99974CO2CarbonDioxide149.3321.80800.99495C2H6Ethane93.5401.23850.99246H2Hydrogen89.1530.082351.00067HeHelium198.4570.163531.00058N2Nitrogen178.1201.14530.99989N2ONitrousOxide148.4561.80880.994610NeNeon311.1490.82461.000511O2Oxygen204.5911.30880.999412C3H8Propane81.4581.83160.984113n-C4H10normal-Butane74.0522.44940.969914C2H2Acetylene104.4481.07200.992815C2H4Ethylene103.1771.15330.994316i-C4H10iso-Butane74.9882.44030.972817KrKrypton251.3423.42740.999418XeXenon229.7855.39540.994719SF6SulfurHexafluoride153.5326.03800.988720C-2575%Aegon/25%CO2205.6151.67660.998721C-1090%Aegon/10%CO2217.5291.65090.999122C-892%Aegon/8%CO2219.1341.64750.999223C-298%Aegon/2%CO2223.9731.63730.999324C-7575%CO2/25%Argon167.4511.76340.996625A-7575%Argon/25%Helium230.9981.26600.999726A-2575%Helium/25%Argon234.3060.53061.000227A102590%Helium/7.5%Argon/2.5%CO2(Praxair-HelistarA1025)214.8400.31461.000328Star2990%Argon/8%CO2/2%Oxygen(Praxair-StargonCS)218.8171.64100.999229P-590%Argon/5%Methane223.4831.58500.9993*inmicroposie(1Poise=gram/(cm)(sec))**Grams/Liter(NISTREFPROP7database)在25℃氣體號(hào)碼氣體縮寫(xiě)氣體全稱(chēng)粘度014.696PSIA密度014.696PSIA可壓縮性0℃14.696PSIA0AirAir172.5881.29270.99941ArArgon209.5661.78400.99912CH4Methane103.6570.71750.99763COCarbonMonoxide165.1301.25050.99944CO2CarbonDioxide137.1291.97680.99335C2H6Ethane86.1271.35510.99006H2Hydrogen83.9700.089881.00077HeHelium186.9450.178491.00058N2Nitrogen166.3711.25040.99959N2ONitrousOxide136.3501.97780.992810NeNeon293.8250.89991.000511O2Oxygen190.5551.42900.999012C3H8Propane74.6872.01010.978713n-C4H10normal-Butane67.6912.70480.958714C2H2Acetylene97.3741.17280.990515C2H4Ethylene94.6901.26110.992516i-C4H10iso-Butane68.7592.68930.962717KrKrypton232.1753.74220.999118XeXenon212.0855.89880.993119SF6SulfurHexafluoride140.8906.61540.985020C-2575%Aegon/25%CO2190.5791.83090.998221C-1090%Aegon/10%CO2201.8971.80270.998722C-892%Aegon/8%CO2203.4231.79890.998823C-298%Aegon/2%CO2208.0221.78770.999024C-7575%CO2/25%Argon154.3281.92700.995425A-7575%Argon/25%Helium214.8081.38210.999526A-2575%Helium/25%Argon218.9620.57941.000227A102590%Helium/7.5%Argon/2.5%CO2(Praxair-HelistarA1025)201.2840.34341.000228Star2990%Argon/8%CO2/2%Oxygen(Praxair-StargonCS)203.1391.79180.998829P-590%Argon/5%Methane207.6331.73070.9990*inmicroposie(1Poise=gram/(cm)(sec))**Grams/Liter(NISTREFPROP7database)在0℃Alicat氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器性能指標(biāo)量程范圍：0-0.5SCCM～0-50SCCM指標(biāo)質(zhì)量流量控制器體積流量控制器描述精度±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程清零后在校準(zhǔn)條件下高精度±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程清零后在校準(zhǔn)條件下重復(fù)性±0.2%滿量程量程比100:1測(cè)量和控制響應(yīng)時(shí)間100毫秒（可調(diào)）標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)25℃無(wú)僅測(cè)量質(zhì)量流量用溫度范圍-10～50℃零點(diǎn)漂移0.02％滿量程/℃/Atm量程漂移0.02％滿量程/℃/Atm濕度范圍0-100%無(wú)冷凝測(cè)量流量范圍102.4％滿量程最大耐壓150150*PSIG輸入/輸出（數(shù)字）質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度體積流量RS-232串口輸入/輸出（模擬）質(zhì)量流量體積流量0-5VDC可選輸入/輸出第二路模擬質(zhì)量流量、體積流量、絕壓或溫度體積流量0-5VDC,0-10VDC或4-20mA電氣連接8針小型圓插頭供電電壓12-18VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC）**供電電流0.250A安裝位置敏感度0%預(yù)熱時(shí)間＜1秒接液材質(zhì)303&302不銹鋼，Viton?，RTV硅樹(shù)脂，玻璃纖維增強(qiáng)尼龍，鋁，銅，410不銹鋼*對(duì)于體積流量控制器，若入口壓力＞10PSIG時(shí)，須同廠家聯(lián)系。**使用24V時(shí)需指定24V線圈.ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器機(jī)械指標(biāo)質(zhì)量流量控制器滿量程范圍體積流量控制器滿量程范圍尺寸過(guò)程連接壓降**（PSID）0.5SCCM～1SCCM0.5CCM～1CCM3.9″Hх3.5″Wх1.1″D10-32UNF*0.52SCCM～50SCCM2CCM～50CCM1.0*可選1/8″NPT內(nèi)螺紋。**可選擇更低的壓降，請(qǐng)聯(lián)系廠家。尺寸圖請(qǐng)參考第34頁(yè)Alicat氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器性能指標(biāo)量程范圍：＞50SCCM～0-20SLPM指標(biāo)質(zhì)量流量控制器體積流量控制器描述精度±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程清零后在校準(zhǔn)條件下高精度±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程清零后在校準(zhǔn)條件下重復(fù)性±0.2%滿量程量程比100:1測(cè)量和控制響應(yīng)時(shí)間100毫秒（可調(diào)）標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)25℃無(wú)僅測(cè)量質(zhì)量流量用溫度范圍-10～50℃零點(diǎn)漂移0.02％滿量程/℃/Atm量程漂移0.02％滿量程/℃/Atm濕度范圍0-100%無(wú)冷凝測(cè)量流量范圍102.4％滿量程最大耐壓150150*PSIG輸入/輸出（數(shù)字）質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度體積流量RS-232串口輸入/輸出（模擬）質(zhì)量流量體積流量0-5VDC可選輸入/輸出第二路模擬質(zhì)量流量、體積流量、絕壓或溫度體積流量0-5VDC,0-10VDC或4-20mA電氣連接8針小型圓插頭供電電壓12-18VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC）**供電電流0.250A安裝位置敏感度0%安裝后清零預(yù)熱時(shí)間＜1秒接液材質(zhì)303&302不銹鋼，Viton?，RTV硅樹(shù)脂，玻璃纖維增強(qiáng)尼龍，鋁，銅，410不銹鋼*對(duì)于體積流量控制器，若入口壓力＞10PSIG時(shí)，須同廠家聯(lián)系。**使用24V時(shí)需指定24V線圈.ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器機(jī)械指標(biāo)質(zhì)量流量控制器滿量程范圍體積流量控制器滿量程范圍尺寸過(guò)程連接壓降**（PSID）＞50SCCM～500SCCM＞50CCM～500CCM4.1″Hх3.6″Wх1.1″D1