標(biāo)準(zhǔn)解讀

GB/T 16942-1997是一項中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)，全稱為《電子工業(yè)用氣體 氫》。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)中使用的氫氣的質(zhì)量要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運輸和儲存要求，旨在確保氫氣作為電子工業(yè)原材料時的純度與安全性，滿足半導(dǎo)體制造、平板顯示及其他高科技電子設(shè)備生產(chǎn)過程中的嚴(yán)格需求。

標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容概覽：

  1. 范圍：明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)生產(chǎn)過程中使用的氫氣，規(guī)定了其技術(shù)條件及試驗、檢驗、包裝、標(biāo)識、運輸和儲存的具體要求。

  2. 規(guī)范性引用文件：列出了實施本標(biāo)準(zhǔn)時需要參考的其他相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)或規(guī)范文件。

  3. 術(shù)語和定義：對標(biāo)準(zhǔn)中涉及的專業(yè)術(shù)語給出明確的定義，幫助讀者理解標(biāo)準(zhǔn)具體內(nèi)容。

  4. 要求：

    • 純度：詳細(xì)規(guī)定了氫氣的純度要求，包括對雜質(zhì)（如氧氣、氮氣、水、碳?xì)浠衔锏龋┑淖畲笤试S含量，以ppm（百萬分之一）為單位進(jìn)行限定。
    • 物理化學(xué)性質(zhì)：如露點、密度、壓力等指標(biāo)也需符合一定的標(biāo)準(zhǔn)。
    • 其它特性：可能還包括對毒性和可燃性的控制要求，確保使用安全。

  5. 試驗方法：介紹了如何通過科學(xué)方法檢測氫氣的純度、雜質(zhì)含量及其它關(guān)鍵性能指標(biāo)，確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。

  6. 檢驗規(guī)則：規(guī)定了產(chǎn)品出廠前的檢驗程序、抽樣方法、合格判定準(zhǔn)則等，確保每批次產(chǎn)品的質(zhì)量可控。

  7. 包裝、標(biāo)志、運輸和儲存：

    • 包裝：要求氫氣的容器應(yīng)能有效防止外界污染，且能承受相應(yīng)的壓力，保證運輸安全。
    • 標(biāo)志：明確標(biāo)記產(chǎn)品信息，包括但不限于生產(chǎn)商名稱、批號、純度等級、生產(chǎn)日期等。
    • 運輸：提供運輸過程中的安全措施和注意事項，確保氫氣的安全運輸。
    • 儲存：說明了氫氣儲存條件，如溫度、壓力、避光避熱等要求，以防變質(zhì)或危險事故的發(fā)生。

實施意義：

該標(biāo)準(zhǔn)的制定與執(zhí)行對于提升電子工業(yè)用氫氣的質(zhì)量控制水平、保障生產(chǎn)安全、促進(jìn)電子產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)品質(zhì)量具有重要意義。它為電子工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)氫氣的供應(yīng)商和用戶提供了一套統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)體系，有助于提升整個產(chǎn)業(yè)鏈的標(biāo)準(zhǔn)化水平和國際競爭力。


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  • 已被新標(biāo)準(zhǔn)代替，建議下載現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 16942-2009
  • 1997-08-13 頒布
  • 1998-05-01 實施
?正版授權(quán)
GB/T 16942-1997電子工業(yè)用氣體氫_第1頁
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文檔簡介

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T16942-1997電子工業(yè)用氣體Gasesforlectronicindustry--Hydrogen1997-08-13發(fā)布1998-05-01實施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

GB/T16942-1997前本標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)SEMIC3.19-93鋼瓶裝氫標(biāo)準(zhǔn)》95年版)制定的，在技術(shù)要求上與之等同，試驗方法與之等效。在將SEMIC3.19一93轉(zhuǎn)化為本國標(biāo)準(zhǔn)時，結(jié)合我國實際情況，刪去了SEMIC3.19一93中僅作為參考的說明和物理常數(shù)及注釋等內(nèi)容，試驗方法中增加了抽樣、采樣和氫氣純度三條，除氮含量的測定采用SEMIC3.19一93的方法外，其余各項雜質(zhì)含量的測定分別采用我國相應(yīng)的通用試驗方法國家標(biāo)準(zhǔn)，同時對檢測限和標(biāo)樣要求按SEMI標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定進(jìn)行了適當(dāng)?shù)恼{(diào)整。以上變動與SEMI標(biāo)準(zhǔn)無實質(zhì)性差異，使標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)內(nèi)容更加完整。本標(biāo)準(zhǔn)由中華人民共和國化學(xué)工業(yè)部提出。本標(biāo)準(zhǔn)由化學(xué)工業(yè)部西南化工研究院歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：化學(xué)工業(yè)部西南化工研究院。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：陳雅麗、戴培述。

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)電子工業(yè)用氣體CB/T16942-1997Gasesforelectronicindustry-Hydrogen范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氫的技術(shù)要求、試驗方法和包裝、標(biāo)志、安全等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以工業(yè)氫為原料經(jīng)純化制取的鋼瓶裝氫氣。氫主要被用來提供還原氣敘，作為外延工藝的載氣以及等離子體蝕刻劑的配氣原料。分子式：H：相對分子質(zhì)量：2.016(按1991年國際相對原子質(zhì)量)2引用標(biāo)準(zhǔn)下列標(biāo)準(zhǔn)所包含的條文，通過在本標(biāo)準(zhǔn)中引用而構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文。本標(biāo)準(zhǔn)出版時,所示版本均為有效。所有標(biāo)準(zhǔn)都會被修訂，使用本標(biāo)準(zhǔn)的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性。GB/T3634—1995氫氣GB/T5832.1—86氣體中微量水分的測定電解法GB/T5832.2—86氣體中微量水分的測定露點法GB/T6285—86氣體中微量氧的測定電化學(xué)法GB/T6681—86氣體化工產(chǎn)品采樣通則GB/T8984.1—1997氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測定氣相色譜法GB/T8984.3-1997氣體中總烴的測定火焰離子化法3要求電子工業(yè)用氫技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1的要求。表1技術(shù)指標(biāo)V/V氫純度,10-99.9995復(fù)含最：10-氧含量,10~0-氧化碳含量,10-0.5二氧化碳含量,10一0.5總烴(以甲燒計)含量,10-0

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