集成電路實習基地檢修與改造-集成電路制造工藝實訓(xùn)中心維護改造2022_第1頁
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文檔簡介

集成電路制造工藝實訓(xùn)中心維護改造去離子水處理系統(tǒng)改造原水桶增設(shè)上、下液位傳感器和控制部分，起到報警和保護功能。原凈化樹脂桶已破損，必須新購替換。凈化設(shè)備下增設(shè)接液盤，防止漏液外溢。硬件采購費用預(yù)計*萬元；勞務(wù)費用預(yù)計*萬元（含專用工具）；合計約*萬元。鍍膜設(shè)備檢修電子腔電源異常，高壓無法加載，必須檢查維修。腔室閥門和氣缸動作異常，需檢修或采購更換。前、后級真空泵需檢查維修。氣、液體管路需要檢修更換。預(yù)計硬件費用*萬元；勞務(wù)費用預(yù)計*萬元；合計約*萬元。擴散爐檢修（6管）溫控異常：檢查電源；檢查溫控器；檢查熱偶；檢查所有連線。檢查爐體，損壞涉及定制更換。檢查石英，損壞涉及定制更換。溫控異常檢查工作量大，熱偶、爐體、石英價格昂貴。硬件采購費用預(yù)計*萬/管。勞務(wù)費用預(yù)計*萬/管。合計約*萬元（6管）。氣房檢修改造氣瓶閥銹蝕，更換；空壓機銹蝕，更換；地板、墻面損壞嚴重，需處理。材料費用預(yù)計*萬元；勞務(wù)費用預(yù)計*萬元；合計約*萬元?？偨Y(jié)&建議上述設(shè)備長期未進行維保，系統(tǒng)啟動異常，部分功能已失效，通過上述檢修和改造，可恢復(fù)其基本功能，同時，因設(shè)備老舊，恢復(fù)后也必須在資深人員的指導(dǎo)下操作。為適應(yīng)國內(nèi)集成電路行業(yè)的高速發(fā)展，建議適時配置一些新型的設(shè)備，比如：鍍膜設(shè)備、擴散爐等設(shè)備，國產(chǎn)化的價格大多在每臺*~*萬之間

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